JP4823125B2 - X線結晶方位測定装置及びx線結晶方位測定方法 - Google Patents
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- 被測定単結晶の測定面にX線を照射し、当該X線の照射により結晶の格子面に対応して得られる回折スポットを二次元検出器で検出し、当該検出した回折スポットの中心位置を測定して結晶の格子面法線を算出するX線結晶方位測定方法において、
前記被測定単結晶を、前記X線の照射点を中心に紙面に垂直な回転軸の周りにω回転させ、かつ、前記被測定単結晶の測定面の照射点に対して所定の回折条件を満足する入射角度になるように照射すると共に、前記被測定単結晶の測定面の照射点からの回折スポットを、TDI読み出しモードで動作するCCDにより構成しかつ固定した二次元検出器で検出し、
当該CCDより、前記被測定単結晶の前記ω回転の開始から終了に同期させた帯状の画像でその中に回析スポットが記録された当該帯状の画像を出力した当該帯状の画像を出力し、かつ、当該帯状の画像の長手方向に角度情報を持たせたことを特徴とするX線結晶方位測定方法。 - 被測定単結晶の測定面における結晶方位をX線を用いて測定するための装置であって:
被測定単結晶の測定面に照射するX線を発生する発生手段と;
当該発生手段からのX線を前記被測定単結晶の測定面に対して所定の回折条件を満足する入射角度になるように照射する照射手段と;
当該照射手段から前記被測定単結晶の測定面上に照射された前記所定の回折条件を満足する入射角度になるように照射された前記X線による回折像を検出する検出手段と;
当該検出手段により検出された回折像より、前記被測定単結晶の測定面における結晶方位を算出する算出手段とを備えたX線結晶方位測定装置であって、
前記被測定単結晶を、前記X線の照射点を中心に紙面に垂直な回転軸の周りにω回転させる回転手段を備え、
前記検出手段を固定するとともにTDI読み出しモードで動作するCCDにより構成し、
当該CCDより、前記被測定単結晶の前記ω回転の開始から終了に同期させた帯状の画像でその中に回析スポットが記録された当該帯状の画像を出力し、かつ、当該帯状の画像の長手方向に角度情報を持たせたことを特徴とするX線結晶方位測定装置。
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