JP4682769B2 - 誘電体薄膜、薄膜誘電体素子及びその製造方法 - Google Patents
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14 熱酸化膜
16 下部電極層
18 誘電体薄膜としてのBST薄膜
20 上部電極層
Claims (6)
- 膜厚が40nmを超えて200nm以下のチタン酸バリウムストロンチウムからなる誘電体薄膜であって、組成式を(Ba1−x,Srx)aTiO3と表記したときのxが0.5<x≦0.6でaが1.0<a≦1.2を満たす組成を有し、且つ比誘電率が250を超えて380以下で印加電圧100kV/cmのときのリーク電流密度が2.7×10 −8 A/cm 2 以上1.0×10−5A/cm2以下であることを特徴とする誘電体薄膜。
- 基板上に、下部電極層、請求項1記載の誘電体薄膜、上部電極層の順に形成した積層構造を有するか、或いは基板上に形成した下部電極層と上部電極層との間に請求項1記載の誘電体薄膜を複数層設け且つ該誘電体薄膜間に内部電極層を設けた積層構造を有することを特徴とする薄膜誘電体素子。
- 基板上に形成した下部電極層上に、膜厚が40nmを超えて200nm以下で、組成式を(Ba1−x,Srx)aTiO3と表記したときのxが0.5<x≦0.6でaが1.0<a≦1.2を満たし、且つ比誘電率が250を超えて380以下で印加電圧100kV/cmのときのリーク電流密度が2.7×10 −8 A/cm 2 以上1.0×10−5A/cm2以下のチタン酸バリウムストロンチウムからなる誘電体薄膜を気相法により、基板温度が550℃以上800℃以下、該誘電体薄膜の成膜速度が2nm/分以下の条件にて形成する工程と前記誘電体薄膜の上に電極層を形成する工程を含むことを特徴とする薄膜誘電体素子の製造方法。
- 前記誘電体薄膜をスパッタリング法により形成することを特徴とする請求項3記載の薄膜誘電体素子の製造方法。
- 前記誘電体薄膜を、酸化性ガス雰囲気中にて成膜することを特徴とする請求項3又は4に記載の薄膜誘電体素子の製造方法。
- 前記誘電体薄膜の成膜後、アニール工程を経ないことを特徴とする請求項3、4又は5に記載の薄膜誘電体素子の製造方法。
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