JP4677948B2 - パワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
パワーモジュール用基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4677948B2 JP4677948B2 JP2006141512A JP2006141512A JP4677948B2 JP 4677948 B2 JP4677948 B2 JP 4677948B2 JP 2006141512 A JP2006141512 A JP 2006141512A JP 2006141512 A JP2006141512 A JP 2006141512A JP 4677948 B2 JP4677948 B2 JP 4677948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit layer
- ceramic plate
- power module
- module substrate
- positioning hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
また、前記揮発した揮発性有機媒体が加熱炉内から十分に排気されずこの加熱炉内に残存していた場合には、接合工程時に加熱炉にかかる負担が大きくなり、そのランニングコストが増大してパワーモジュール用基板の低コスト化を図ることがさらに困難になるという問題があった。
この発明によれば、積層工程時および接合工程時それぞれにおいて、前記位置決め孔の内周面で回路層の側面をその全周にわたって支持するので、セラミックス板の表面とろう材箔との間、およびろう材箔と回路層との間のうち少なくとも一方には、揮発性有機媒体を介在させなくても、前記積層体において、回路層をセラミックス板の表面にその表面に沿った方向に位置決めして固定した状態で載置することができる。したがって、揮発性有機媒体の使用量を低減することが可能になり、パワーモジュール用基板の低コスト化を図ることができる。
または、これに代えて、前記位置決め孔は、前記接合工程時に回路層の表面に当接して前記積層体を積層方向に加圧する加圧板の表面に形成された凹み部とされてもよい。
これらの場合、前述の作用効果が容易かつ確実に奏効されることになる。
以上より、半導体チップからの熱が放熱体および冷却シンク部を介して外部へ放散されるようになっている。
まず、純Al若しくはAl合金からなる母材の表面に、揮発性有機媒体を介在させてろう材箔を配置しておく。これにより、母材の表面に揮発性有機媒体の表面張力によってろう材箔を仮固定する。次に、この母材における回路層13の形成予定部の表面に向けて打ち抜きパンチを前進移動し、この母材における回路層13の形成予定部をその表面側から押圧して、このパンチの前進移動を、回路層13の形成予定部の外周縁を母材の厚さ方向全域でせん断変形させて破断するまで継続することにより母材から打ち抜くことによって、表面にろう材箔が揮発性有機媒体の表面張力により仮固定された回路層13を形成する。
一方、金属層14についても回路層13を形成するのと同様にして形成する。
ここで、前記積層体を形成し、さらにその後、この積層体を積層方向に加圧する装置について説明する。
なお、柱部21の前記内側側面21aは、セラミックス板12の隅部における側面うち、このセラミックス板12の表面に沿った方向で互いに対向する一対の側面のみに接触し、残りの一対の側面とは非接触とされている。
以上より、回路層13を、セラミックス板12の表面においてこの回路層13が配置される位置に向けて開口し、かつ回路層13の外周縁と同形同大の内周面形状とされた位置決め孔24に嵌めた状態で、セラミックス板12の表面にろう材箔を介して載置するとともに、金属層14を、セラミックス板12の裏面においてこの金属層14が配置される位置に向けて開口し、かつ金属層14の外周縁と同形同大の内周面形状とされた位置決め孔25に嵌めた状態で、セラミックス板12の裏面にろう材箔を介して載置することによって、積層体を形成する(積層工程)。
例えば、前記実施形態では、パワーモジュール用基板11として、セラミックス板12の裏面に金属層14が設けられた構成を示したが、金属層14を有しない構成においても適用可能である。
また、前記実施形態では、ろう材箔と回路層13および金属層14との間にそれぞれ揮発性有機媒体を介在させてその表面張力によってこれらを仮固定したが、これに代えて、例えばろう材箔とセラミックス板12の表裏面との間にのみ揮発性有機媒体を介在させてもよいし、あるいは揮発性有機媒体を全く使用しないでパワーモジュール用基板11を形成するようにしてもよい。
この場合、まず、下側加圧板22bの位置決め孔25に、表面にろう材箔が揮発性有機媒体の表面張力により仮固定された金属層14の裏面側を嵌めた後に、この金属層14の表面に前記ろう材箔を介してセラミックス板12を載置し、その後、このセラミックス板12の表面に回路層13をろう材箔を介して配置する。ここで、セラミックス板12の表面に回路層13を配置する前に予め、回路層13の裏面とろう材箔との間に揮発性有機媒体を介在させて、その表面張力により回路層13とろう材箔とを仮固定しておく。
12 セラミックス板
13 回路層
22a、22b 加圧板
23a、23b テンプレート
24、25 位置決め孔
Claims (3)
- セラミックス板の表面にろう材箔を介して回路層を載置して積層体を形成する積層工程と、この積層体を積層方向に加圧して加熱することにより、セラミックス板の表面に回路層をろう付けしてパワーモジュール用基板を形成する接合工程とを有するパワーモジュール用基板の製造方法であって、
前記積層工程は、回路層を、セラミックス板の表面においてこの回路層が配置される位置に向けて開口し、かつ回路層の外周縁と同形同大の内周面形状とされた位置決め孔に嵌めた状態で、セラミックス板の表面にろう材箔を介して載置することにより前記積層体を形成し、
前記接合工程は、回路層を前記位置決め孔に嵌めた状態で、前記積層体を積層方向に加圧して加熱しパワーモジュール用基板を形成することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 請求項1記載のパワーモジュール用基板の製造方法において、
前記位置決め孔は、前記接合工程時に回路層の表面に当接して前記積層体を積層方向に加圧する加圧板と、セラミックス板の表面との間に設けられたテンプレートの表面に形成された貫通孔とされていることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 請求項1記載のパワーモジュール用基板の製造方法において、
前記位置決め孔は、前記接合工程時に回路層の表面に当接して前記積層体を積層方向に加圧する加圧板の表面に形成された凹み部とされていることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141512A JP4677948B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | パワーモジュール用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006141512A JP4677948B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | パワーモジュール用基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007311702A JP2007311702A (ja) | 2007-11-29 |
JP4677948B2 true JP4677948B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=38844258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006141512A Active JP4677948B2 (ja) | 2006-05-22 | 2006-05-22 | パワーモジュール用基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4677948B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5494271B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2014-05-14 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006059859A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06169148A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-06-14 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | 金属ベース回路基板及びその製法 |
-
2006
- 2006-05-22 JP JP2006141512A patent/JP4677948B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006059859A (ja) * | 2004-08-17 | 2006-03-02 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007311702A (ja) | 2007-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016021491A1 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP5125241B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP2008010520A (ja) | パワーモジュール用基板及びその製造方法 | |
JP2010010561A (ja) | パワーモジュール用基板及びその製造方法 | |
JP6361532B2 (ja) | 放熱板付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP5989465B2 (ja) | 絶縁基板の製造方法 | |
JP7024331B2 (ja) | 絶縁回路基板の製造方法、ヒートシンク付き絶縁回路基板の製造方法、及び、絶縁回路基板の積層構造体の製造方法 | |
JP4765889B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法およびパワーモジュール用基板の製造装置 | |
JP4311303B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法 | |
WO2006019099A1 (ja) | 絶縁基板、パワーモジュール用基板並びにそれらの製造方法およびそれらを用いたパワーモジュール | |
US11478868B2 (en) | Method for producing bonded body, method for producing insulated circuit board, and method for producing insulated circuit board with heatsink | |
JP4677948B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JPWO2013141384A1 (ja) | カード、カードの製造方法 | |
JP4569468B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP6183166B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びその製造方法 | |
JP2010238963A (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール | |
JP2007311528A (ja) | パワーモジュール用基板およびパワーモジュール用基板の製造方法並びにパワーモジュール | |
JP2005116843A (ja) | 回路用金属板およびセラミックス回路基板 | |
JP2018041868A (ja) | 放熱基板 | |
JP2018157115A (ja) | 絶縁回路基板の製造方法、及び、ヒートシンク付き絶縁回路基板の製造方法 | |
JP5181922B2 (ja) | パワーモジュール用基板の製造装置及びパワーモジュール用基板の製造方法 | |
WO2019167931A1 (ja) | 絶縁回路基板 | |
JP5613913B2 (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール | |
JP2018041867A (ja) | 放熱基板、及び放熱基板の製造方法 | |
JP6102271B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4677948 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210 Year of fee payment: 3 |