JP4677005B2 - 真空インタラプタ - Google Patents

真空インタラプタ Download PDF

Info

Publication number
JP4677005B2
JP4677005B2 JP2008104586A JP2008104586A JP4677005B2 JP 4677005 B2 JP4677005 B2 JP 4677005B2 JP 2008104586 A JP2008104586 A JP 2008104586A JP 2008104586 A JP2008104586 A JP 2008104586A JP 4677005 B2 JP4677005 B2 JP 4677005B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
vacuum interrupter
ceramic
epoxy resin
glaze
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008104586A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008270209A (ja
Inventor
在杰 李
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LS Electric Co Ltd
Original Assignee
LSIS Co Ltd
LS Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by LSIS Co Ltd, LS Electric Co Ltd filed Critical LSIS Co Ltd
Publication of JP2008270209A publication Critical patent/JP2008270209A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4677005B2 publication Critical patent/JP4677005B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66207Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66261Specific screen details, e.g. mounting, materials, multiple screens or specific electrical field considerations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/70Switches with separate means for directing, obtaining, or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/7015Switches with separate means for directing, obtaining, or increasing flow of arc-extinguishing fluid characterised by flow directing elements associated with contacts
    • H01H33/7076Switches with separate means for directing, obtaining, or increasing flow of arc-extinguishing fluid characterised by flow directing elements associated with contacts characterised by the use of special materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66207Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
    • H01H2033/6623Details relating to the encasing or the outside layers of the vacuum switch housings

Landscapes

  • High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Sealing Material Composition (AREA)

Description

本発明は真空インタラプタに関する。
真空遮断器において、負荷開閉及び故障電流遮断は真空インタラプタ内の真空状態で行われるが、真空インタラプタ(Vacuum Interrupter)の外部絶縁は様々な媒質内で行われる。VCB(Vacuum Circuit Breaker)のように真空インタラプタが空気内で絶縁するか、OCB(Oil Circuit Breaker)のようにオイルで真空インタラプタが巻かれて絶縁する。また、高圧開閉器のようにSFガスを用いて絶縁することもある。しかしながら、このような絶縁方式には多数の問題点がある。
VCBのような空気絶縁方式は、空気の低い絶縁耐力のために高い脳衝撃電圧が要求されるところでは使用できない。また、OCBのようなオイル絶縁を用いる場合は、オイルの爆発危険性のために最近では殆ど使用していない。最後に、高圧開閉器のようにSFガスを用いる場合、高い脳衝撃電圧が要求されるところで使用が可能で爆発危険性はないが、環境的側面で使用が規制されているのが実情である。
このような傾向により、最近では固体絶縁方式のうち、エポキシ成形の際に真空インタラプタを挿入する一体型の固体絶縁方式が用いられている。
しかしながら、前記固体絶縁方式を用いる真空インタラプタはエポキシ樹脂でモールディングする場合、エポキシ樹脂と真空バルブの上、下固定プレート又はセラミック間の接合面の接着性に応じて真空インタラプタの電気的・機械的特性の差が発生する。前記接合面が同一材料からなる場合には、真空インタラプタの初期製作時に接着力を極大化することにより、前記電気的・機械的特性の差が解決できるが、エポキシ一体型の真空インタラプタの製造及び使用時に真空インタラプタを構成する金属またはセラミックとこれを外部で取り囲むように成形されるエポキシとの材料が異なるので、その物性の差による熱膨張係数の差により界面の剥離またはクラックが生ずる恐れがあるため、これを補完するためにゴム材質の緩衝層が適用された。
図1は、従来のエポキシ樹脂モールディング型の真空インタラプタの内部構造を示した縦断面図である。図1に示したように、真空インタラプタ101の外側にはエポキシ樹脂などの固体絶縁物103が成形されており、真空インタラプタ101の外面にはセラミック104とエポキシ103との熱膨張係数の差による熱応力を吸収するためのゴム材質の緩衝層102が形成されている。しかしながら、前記ゴム材質の緩衝層102は、セラミック104とエポキシ103との物理的な密着を補助することにより、セラミック絶縁ケース104とエポキシ層103との間の機械的な接触力を増大させうるが、セラミック層104、緩衝層102及びエポキシ層103との間には微細な界面間の剥離が存在しうる。また、真空インタラプタ101の外部形状に応じて緩衝層102が真空インタラプタの外部と完全に密着して界面内のボイド(void)のような欠陥を完全に除去すべきであるが、チューブ形状の緩衝層102を適用する場合、真空インタラプタ101の金属部及びセラミック間の接合部のような凹凸部分は緩衝層102が完全に充填せずに欠陥の発生する可能性がある。また、液状やゲル状のゴム材料の塗布時にも塗布中に緩衝層の内部にボイドの発生する可能性がある。
上述したように、真空インタラプタは初期の製造過程の緩衝層を形成する過程でボイドなどの欠陥が発生し、かかる欠陥は使用中の機械的な動作衝撃又は温度変化による収縮膨張過程でも発生することがある。さらに、真空インタラプタのエポキシ成形工程中には緩衝層を形成するための追加工程が必要になり、前記緩衝層を製造するためにも追加工程及びコストが必要である。
このような界面間の剥離または層内のボイドは、エポキシ成形真空インタラプタの部分放電特性を大幅に低下させる要因となり、界面及びエポキシ樹脂内における部分放電の発生と電気的ツリーの発生可能性がより高くなる。これにより、真空インタラプタの長期的な使用時にエポキシ樹脂の絶縁特性に対する信頼度を低下させるという問題点がある。
したがって、前記問題点を解決するための本発明の目的は、エポキシ樹脂モールディング用の真空インタラプタにゴム材質の緩衝層のない新たな界面処理方式を適用することにより、電気的・機械的特性に優れているのみならず、コストが低減できる真空インタラプタを提供することである。
前記目的を達成するための本発明は、上部導体及び下部導体を具備したセラミック絶縁ケースと、前記絶縁ケースの外部面に成形される釉薬層と、前記釉薬層の外部面をサンドブラスターで処理して形成される突起層と、前記突起層の外部面にシーラント結合剤を塗布して形成されるシーラント結合剤層と、前記シーラント結合剤層の外部面に成形されるエポキシ樹脂絶縁層と、を含み、前記シーラント結合剤層は前記釉薬層及び前記エポキシ樹脂絶縁層と化学的に結合する真空インタラプタを提供する。
また、前記シーラント結合剤が前記セラミック絶縁ケースの前記上部導体及び下部導体の外部面に塗布されることを特徴とする真空インタラプタを提供する。
また、前記シーラント結合剤は、下記の化学式1で表現される化合物であることを特徴とする真空インタラプタを提供する。
[化学式1]
R:有機反応基グループ,(CH:リンカー,Si:珪素,
:加水分解性アルコキシ反応基グループ
(前記化学式1において、Rは反応基の存在する炭素数1〜15の脂肪族または芳香族炭化水素であり、nは1〜10の整数であり、Xは炭素数1〜15の脂肪族または芳香族アルコキシ基である。)
また、前記エポキシ樹脂絶縁層は寸法安定剤としてシリカを含むことを特徴とする真空インタラプタを提供する。
た、本発明は、真空インタラプタの製造方法において、セラミック絶縁ケースを準備するステップと、前記セラミック絶縁ケースの外部面に釉薬処理をして釉薬層を形成するステップと、前記釉薬層の外部面をサンドブラスターで処理して突起層を形成するステップと、前記突起層の外部面にシーラント結合剤を塗布してシーラント結合剤層を形成するステップと、前記シーラント結合剤層の外部面にエポキシ樹脂絶縁層を成形するステップと、を含むことを特徴とする真空インタラプタの製造方法を提供する。
上述したように、本発明による真空インタラプタはエポキシ絶縁層の直接成形方式を適用して優れた接着特性を確保することにより、従来の緩衝層がなくても真空インタラプタの表面とエポキシ樹脂の接着性を向上させることにより、機械的強度及び部分放電などの電気的な特性をはるかに向上させうる。また、本発明の真空インタラプタは界面の接着性の増大を通じて剥離現象を除去し、ボイドの発生を最小化することにより、既存のゲル状のシリコン緩衝層方式に比べて約50%以上の部分放電消滅電圧の上昇効果があった。
以下、本発明の一実施形態である真空インタラプタを添付図面に参照してより詳しく説明する。
図2は本発明の一実施形態である真空インタラプタの内部の構造を示した縦断面図である。より詳しくは、図2は、真空インタラプタのセラミック絶縁ケース104、203の表面にシーラント結合剤を塗布した後、外部にエポキシ樹脂を加圧ゲル化成形法により一体に成形した構造を示している。図2の真空インタラプタは、セラミック203、シーラント結合剤塗布面202及びエポキシ樹脂絶縁層201で構成される構造である。このような図2のエポキシ成形真空インタラプタを製造する過程は、真空インタラプタを洗浄し、その外部面にシーラント結合剤を塗布した後、予熱し金型装着及び成形過程を通じて後硬化させるように行われる。この際、シーラント結合剤の塗布は予熱前または予熱後に行われる。前記シーラント結合剤の塗布方法としては、スプレーを用いる方法又は筆を用いる方法など、いずれも可能である。
前記シーラント結合剤202は、既存のゴム系列の緩衝層のような物理的な接触でなく、有機物のエポキシと無機物のセラミックまたは金属間の化学的な結合を通じても接着する形態である。したがって、エポキシとセラミックまたは金属間の接着面の熱膨張係数の差により発生する収縮率の差は、このような化学的結合により相当に相殺できる。また、前記エポキシ樹脂絶縁層は寸法安定剤としてセラミック系列のシリカを含むことにより、セラミック絶縁ケースとの熱膨張係数の差により発生する問題点をさらに減少させうる。
また、前記シーラント結合剤を真空インタラプタのセラミック部分のみならず、上部および下部の導体部分204にも塗布することにより、導体部分の接着力も増大させうる。
図3は、本発明のシーラント結合剤を用いる真空インタラプタのセラミック絶縁ケース301(図2のセラミック絶縁ケース203に相当)とエポキシ樹脂絶縁層302(図2のエポキシ樹脂絶縁層201に相当)との間に処理されている釉薬層303を示す構造図である。本発明における真空インタラプタのセラミック絶縁ケース203は、セラミックの外部表面に釉薬処理されていることが好ましい。前記セラミック絶縁ケースの表面の釉薬層303は、セラミックの表面の湿気、ほこりなどの汚染を防止する役割と真空インタラプタの最も重要な機能中の一つである高真空を保持するシーリングの役割を果たす。このようなセラミックの表面301の釉薬処理は別に制限されないが、約100μm程度の厚さで釉薬を塗布することが好ましい。釉薬の塗布されたセラミック絶縁容器は1300〜1400℃で焼いて前記釉薬がセラミック層にしみ込むようにする。これにより、前記釉薬が塗布されて形成された釉薬層303はセラミックの内部に含沈される層を有する。このようにセラミックの表面に塗布され含沈される釉薬層303により前記セラミック絶縁ケース301は高真空が維持できるようになる。前記セラミックケース301の外部に塗布される釉薬はセラミックのような珪素が主成分なので、シーラント結合剤の反応基とも容易に反応することができる。
すなわち、本発明の真空インタラプタは、真空インタラプタのセラミックの表面に処理された釉薬層303の上にシーラント結合剤202を塗布した後、エポキシ樹脂302を成形してなる。これにより、珪素系列の無機質と結合する反応基を有する前記シーラント結合剤202は、ガラス質のセラミックケース301の外部の釉薬層303とも容易に反応するようになる。
このように釉薬処理されているセラミックとエポキシ樹脂層との間のシーラント結合剤202は緩衝層適用時の物理的な接触方式を用いることとは異なり、シーラント結合剤の二重反応構造によりエポキシ樹脂とセラミック及びセラミックの表面の釉薬と化学的に反応して結合環を形成するので、二つの材料間の化学的な結合により二つの材料を接着させる。これは既存の緩衝層を適用した場合の単純な機械的な密着構造でなく化学的な結合構造であるため、接着部分の剥離による部分放電の発生や界面絶縁破壊のような電気的な問題を起こさないという効果がある。
前記シーラント結合剤は、下記の化学式1で表現される水素化系列の化合物が好ましい 。前記化学式1で表現されるシーラント結合剤は1分子中に有機物と反応できる有機作用基グループと無機物質と反応できる加水分解性(Hydrolyzable)アルコキシグループとを有している。
[化学式1]
R:有機反応基グループ,(CH:リンカー,Si:珪素,
:加水分解性アルコキシ反応基グループ
シリコンシーラント結合剤は、前記化学式1からわかるように、1分子中に二つ以上の他の反応基を有しているため、同時に二つの反応をする。前記反応基中の一つは有機質材料(各種合成樹脂)と化学結合をする有機反応基グループ(ビニル基、エポキシ基、アミノ基、メタクリル基、メルカプト基など)であり、もう一つは無機質材料(ガラス、金属、砂など)と化学結合をする加水分解性アルコキシ反応基グループ(メトキシ基、エトキシ基など)である。したがって、通常はごく連結しにくい有機質材料と無機質材料を連結する結合剤として使用が可能である。
かかるシーラント結合剤をエポキシ樹脂成形真空インタラプタの製造に使用するとき、前処理法(無機充填材を優先して処理する)または integral blend法(樹脂構成物に添加)などのいずれも適用できるが、本発明では前処理法として真空インタラプタの表面にシーラント結合剤を処理し、エポキシ樹脂を直接成形する方式を適用した。このような直接成形方式は、従来の緩衝層を形成しなくても真空インタラプタの表面とエポキシ樹脂の接着性を向上させて機械的強度及び部分放電などの電気的な特性をはるかに向上させうる。
図4は、本発明の他の実施形態である真空インタラプタのセラミック絶縁ケース301とエポキシ樹脂絶縁層302との間に形成されている突起層400を示した詳細構造図である。前記突起層400はシーラント結合剤を用いるエポキシ成形真空インタラプタで前記シーラント結合剤の接着力をより向上させるためのものであって、表面に釉薬層303が形成されているセラミック絶縁ケース301の外部をサンドブラスター処理することにより、セラミック絶縁ケース301の表面に突起400を形成させて前記シーラント結合剤202の反応面積を極大化した。
前記サンドブラスター処理は珪砂、セラミック、金属などの粒子をエアで発射して表面を加工する方法である。本発明のサンドブラスター処理では、30〜60メッシュの珪砂またはセラミック粒子を用いることが好ましい。また、使用粒子の大きさに応じて所要時間が変わるが、個当り3分程度の時間で処理することが好ましい。
前記サンドブラスター処理により、セラミック絶縁ケースの表面に形成される突起層400は、二つの材料間の界面の構造が微細に多方向性を有するので、シーラント結合剤を用いるエポキシ成形真空インタラプタの接着力を大幅に向上させることができる。
従来のエポキシ樹脂モールディング真空インタラプタの内部構造を示した縦断面図である。 本発明の一実施形態の真空インタラプタの内部構造を示した縦端面図である。 本発明の一実施形態の真空インタラプタのセラミック絶縁ケースとエポキシ樹脂絶縁層との間の詳細構造を示した構造図である。 本発明の他の実施形態の真空インタラプタのセラミック絶縁ケースとエポキシ樹脂絶縁層との間の詳細構造を示した構造図である。

Claims (5)

  1. 上部導体及び下部導体を具備したセラミック絶縁ケースと、
    前記絶縁ケースの外部面に成形される釉薬層と、
    前記釉薬層の外部面をサンドブラスターで処理して形成される突起層と、
    前記突起層の外部面にシーラント結合剤を塗布して形成されるシーラント結合剤層と、
    前記シーラント結合剤層の外部面に成形されるエポキシ樹脂絶縁層と、を含み、
    前記シーラント結合剤層は前記釉薬層及び前記エポキシ樹脂絶縁層と化学的に結合することを特徴とする真空インタラプタ。
  2. 前記シーラント結合剤が前記セラミック絶縁ケースの前記上部導体及び下部導体の外部面に塗布されることを特徴とする請求項1に記載の真空インタラプタ。
  3. 前記シーラント結合剤は、下記の化学式1で表現される化合物であることを特徴とする請求項1に記載の真空インタラプタ。
    [化学式1]


    R:有機反応基グループ,(CH:リンカー,Si:珪素,
    :加水分解性アルコキシ反応基グループ
    (前記化学式1において、Rは反応基の存在する炭素数1〜15の脂肪族または芳香族炭化水素であり、nは1〜10の整数であり、Xは炭素数1〜15の脂肪族または芳香族アルコキシ基である。)
  4. 前記エポキシ樹脂絶縁層は寸法安定剤としてシリカを含むことを特徴とする請求項1に記載の真空インタラプタ。
  5. 真空インタラプタの製造方法において、
    セラミック絶縁ケースを準備するステップと、
    前記セラミック絶縁ケースの外部面に釉薬処理して釉薬層を形成するステップと、
    前記釉薬層の外部面をサンドブラスターで処理して突起層を形成するステップと、
    前記突起層の外部面にシーラント結合剤を塗布してシーラント結合剤層を形成するステップと、
    前記シーラント結合剤層の外部面にエポキシ樹脂絶縁層を成形するステップと、を含むことを特徴とする真空インタラプタの製造方法。
JP2008104586A 2007-04-18 2008-04-14 真空インタラプタ Active JP4677005B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070037949A KR100851760B1 (ko) 2007-04-18 2007-04-18 진공 인터럽터

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008270209A JP2008270209A (ja) 2008-11-06
JP4677005B2 true JP4677005B2 (ja) 2011-04-27

Family

ID=39683488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008104586A Active JP4677005B2 (ja) 2007-04-18 2008-04-14 真空インタラプタ

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP1983537B1 (ja)
JP (1) JP4677005B2 (ja)
KR (1) KR100851760B1 (ja)
CN (1) CN101290846B (ja)
DE (1) DE602008003350D1 (ja)
ES (1) ES2354242T3 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101859657A (zh) * 2009-04-09 2010-10-13 麦克奥迪(厦门)电气有限公司 高压开关用密封端子板防气漏表面处理工艺
EP2407990A1 (en) * 2010-07-15 2012-01-18 ABB Technology AG Circuit-breaker pole part and method for producing such a pole part
KR101240078B1 (ko) * 2011-05-30 2013-03-06 장기봉 진공 인터럽터 절연장치 및 그 제작방법
AT513355B1 (de) * 2012-09-07 2021-01-15 Kuvag Gmbh & Co Kg Umgossener Leistungsschalter
JP7455648B2 (ja) 2020-04-20 2024-03-26 株式会社東芝 モールド真空バルブの製造方法
CN111863485B (zh) * 2020-06-30 2022-11-01 国网电力科学研究院有限公司 一种断路器极柱部件及其制造方法
KR102667689B1 (ko) * 2024-03-25 2024-05-20 양봉현 진공 인터럽터 제조장치 및 그 제조방법

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5797604A (en) * 1980-12-10 1982-06-17 Mitsubishi Electric Corp Insulated molded unit
JPS59156341U (ja) * 1983-04-06 1984-10-20 株式会社明電舎 真空インタラプタ
JPS6155832A (ja) * 1984-08-28 1986-03-20 株式会社東芝 真空バルブ
JPH06231661A (ja) * 1993-02-09 1994-08-19 Toshiba Corp 樹脂モールド真空バルブ及びその製造方法
JP2004306528A (ja) * 2003-04-09 2004-11-04 Mitsubishi Electric Corp エポキシ樹脂注型物品
JP2004351852A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Mitsubishi Electric Corp モールド真空バルブの製造方法およびモールド真空バルブ
JP2005041063A (ja) * 2003-07-25 2005-02-17 Toshiba Corp モールド電気機器およびそのモールド方法
JP2005251413A (ja) * 2004-03-01 2005-09-15 Toshiba Corp 固体絶縁スイッチギヤ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MY119298A (en) * 1996-09-13 2005-04-30 Cooper Ind Inc Encapsulated vacuum interrupter and method of making same
JP4247009B2 (ja) * 2002-03-06 2009-04-02 株式会社東芝 スイッチギヤ
US7304262B2 (en) * 2003-04-25 2007-12-04 Cooper Technologies Company Vacuum encapsulation having an empty chamber

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5797604A (en) * 1980-12-10 1982-06-17 Mitsubishi Electric Corp Insulated molded unit
JPS59156341U (ja) * 1983-04-06 1984-10-20 株式会社明電舎 真空インタラプタ
JPS6155832A (ja) * 1984-08-28 1986-03-20 株式会社東芝 真空バルブ
JPH06231661A (ja) * 1993-02-09 1994-08-19 Toshiba Corp 樹脂モールド真空バルブ及びその製造方法
JP2004306528A (ja) * 2003-04-09 2004-11-04 Mitsubishi Electric Corp エポキシ樹脂注型物品
JP2004351852A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Mitsubishi Electric Corp モールド真空バルブの製造方法およびモールド真空バルブ
JP2005041063A (ja) * 2003-07-25 2005-02-17 Toshiba Corp モールド電気機器およびそのモールド方法
JP2005251413A (ja) * 2004-03-01 2005-09-15 Toshiba Corp 固体絶縁スイッチギヤ

Also Published As

Publication number Publication date
DE602008003350D1 (de) 2010-12-23
EP1983537A3 (en) 2009-11-25
CN101290846A (zh) 2008-10-22
EP1983537A2 (en) 2008-10-22
CN101290846B (zh) 2011-08-10
JP2008270209A (ja) 2008-11-06
KR100851760B1 (ko) 2008-08-11
ES2354242T3 (es) 2011-03-11
EP1983537B1 (en) 2010-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4677005B2 (ja) 真空インタラプタ
RU2479061C2 (ru) Изоляция коммутационного устройства типа вакуумного картриджа посредством формования заливкой
CN101930892A (zh) 静电吸附承盘及等离子体装置
CN102163510B (zh) 一种固封极柱的生产工艺
KR100656233B1 (ko) 성형 전기 장치 및 성형 전기 장치의 제조 방법
JP4886531B2 (ja) 注型絶縁物およびその製造方法
JP5328740B2 (ja) 半導体装置および半導体装置の製造方法
CN104103566A (zh) 等离子体处理装置及其静电夹盘
KR102155583B1 (ko) 라미네이팅 장치의 배면 전극형 정전척과, 이의 제조 방법 및 라미네이팅 장치
JP2004079861A (ja) 静電チャック
JP4064835B2 (ja) 静電チャック及びその製造方法
JP4104386B2 (ja) 静電チャックの製造方法
CN110473824A (zh) 一种半导体用可再生静电卡盘及其制造方法
KR101240078B1 (ko) 진공 인터럽터 절연장치 및 그 제작방법
JP5072256B2 (ja) 絶縁スペーサとその製造方法及びそれを用いたガス絶縁開閉装置
KR100587191B1 (ko) 세라믹 정전척의 접합구조체 및 그 제조방법
JP4268450B2 (ja) ディスプレー用大型ガラス基板吸着装置
KR100336614B1 (ko) 기판 봉착방법
CN112837907A (zh) 变压器用接线端子及其制作方法
JP2004351852A (ja) モールド真空バルブの製造方法およびモールド真空バルブ
KR100962516B1 (ko) 도전성 실리콘을 사용한 전극의 절연 표면처리 방법
CN114743857A (zh) 一种干刻机台下电极及其制造工艺方法
JPH0877853A (ja) 絶縁操作ロッド
CN114242601A (zh) 一种用于igbt模块的密封方法
CN1433037A (zh) Apg固封绝缘子中真空灭弧室的封包工艺

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100921

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101210

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110111

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110128

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140204

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4677005

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250