KR100587191B1 - 세라믹 정전척의 접합구조체 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
NO | 접합층 Thickenss | 접합 후 평탄도 | 연마 후 평탄도 |
실시예 1 | 156㎛ | 12㎛ | 5㎛ |
비교예 1 | 20㎛ | 50㎛ | 15㎛ |
Claims (8)
- 정전척 접합 구조체에 있어서,세라믹 정전척 부재와, 금속 부재와, 그 사이를 접착제로 접합하여 형성된 접착제층을 포함하며,상기 접착제는 유기용제를 포함하지 않는 열경화 부가반응을 하는 겔형 실리콘 수지와 접착 실리콘 수지 중 어느 한가지 또는 이 둘의 혼합으로 이루어지며,상기 접착제층의 두께는 50~500㎛이며,상기 세라믹 정전척 부재의 상면에는 웨이퍼가 흡착되고, 평탄도 조절은 접합이 이루어진 이후에 연마에 의하여 행해지는 것을 특징으로 하는 정전척 접합구조체.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 평탄도는 0.1㎛ 내지 5㎛인 것을 특징으로 하는 정전척 접합구조체.
- 세라믹 정전척 부재와 금속 부재를 접착제로 접합하는 정전척 접합구조체 제조 방법에 있어서,세라믹 정전척 부재와 금속 부재를 접합하기 위하여 접착제를 접합부 각 면에 도포하는 단계;상기에서 도포된 접착제를 대기중에서 가열하여 유동성을 갖도록 하는 단계;상기의 접착제가 도포된 세라믹 정전척 부재와 금속 부재를 가접착하는 단계;상기 가접착된 세라믹 정전척 부재와 금속 부재를 온도와 압력을 달리하여 2단계 이상의 경화 후 냉각을 수행하여 접합하는 단계;접합이 이루어진 후 평탄도 제어를 위하여 세라믹 정전척의 상면을 연마하는 단계를 포함하며,상기 접착제는 유기용제를 포함하지 않는 부가반응에 의한 열경화성 겔(gel)형 실리콘 수지와 접착(adhesive) 실리콘 수지 중 어느 한가지 또는 이 둘의 혼합인 것을 특징으로 하는 정전척 접합구조체 제조방법.
- 삭제
- 제4항에 있어서, 최초 경화 단계의 하중은 5g/cm2내지 30g/cm2이고, 온도는 60℃ 내지 100℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척 접합구조체 제조방법.
- 제4항 또는 제6항에 있어서, 최종 경화 단계의 하중 및 온도는 각각 50g/cm2내지 100g/cm2이고, 100℃ 내지 200℃에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척 접합구조체의 제조방법.
- 삭제
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KR1020040113996A KR100587191B1 (ko) | 2004-12-28 | 2004-12-28 | 세라믹 정전척의 접합구조체 및 그 제조방법 |
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2004
- 2004-12-28 KR KR1020040113996A patent/KR100587191B1/ko active IP Right Grant
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