JPS6155832A

JPS6155832A - 真空バルブ

Info

Publication number: JPS6155832A
Application number: JP17742284A
Authority: JP
Inventors: 加川　芳弘; 神原　静夫
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1984-08-28
Filing date: 1984-08-28
Publication date: 1986-03-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は真空バルブに関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

先に出願人により提案されている真箪ノクルプは、第３
図、第４図に示す如く、絶縁筒６の両端に固定側端板７
と可動側端板８ｔ−封着して真空容器を形成し、固定軸
１は、固定側端板７に気密に固着され、可動軸２は、ベ
ローズ５を介して可動４１’Ｊ　ＭａＡ板８に気密に固
着され、真空を撮ることなく接点３の開閉ができるよう
になっている。又、シールド４は固定側端板７、可動側
端板８よりに２縁され、接点３を囲むように配置されて
おり、接点３の′Ｌ０：流開閉時開閉時する金属蒸気が
絶縁筒６の内面に封着して、絶縁筒６の絶縁耐力が低下
することを防止している。絶縁子−ルド１１は、接地電
極９、弾性波センサー１０を内紙している。、接地電極
９はシールド４の電位変化を５〜１５％に変える程度の
大きさにしてあり、その電位変化によシ、真空不良が発
生した場合に通電部（可動軸２、−短軸１、接点３）と
シールド４間の放電を発生しやすくしたもので、接地電
極９に取付けた弾性波センサー１０で放電を検出するよ
うにし、その検出した信匈は、増幅器１２を介して表示
器１３へ送られている。

この場合、真空バルブが開極時に固定軸】と可動軸２に
は、所定の電圧が加わり他社そ−ルド１１にも同等の電
圧が加わるため相当の耐電圧性能が要求される。そのた
め、一般に絶縁モールド１１は、リング状に注型して製
作、あるいは、あらかじめ接地電極９と弾性波センサー
１０をモールドしたものを接着剤によって絶縁筒６の表
面に固着し、真空バルブと絶Ｏそ−ルド１１の境界の耐
電圧性能を満足している。

しかし、前記注型によυ製作したものおよび接着剤によ
る固着したものは、次のような間眩がある。

（１）注型により製作したものの問題点弾性波センサー
１０の容器がステンレス製であり、その熱膨張係数は、
９．９〜１１．７　Ｘ　１０−’で、一方の注型材の場
合は３５〜４０Ｘ１０−’の熱膨張係数である。

この熱膨張係数の差、および弾性波センサー１０の容器
が円柱状で鋭いコーナ一部を有しているため硬化物に応
力集中が生じ亀裂が入りやすい。亀裂の発生は致命的で
あり、短絡事故等のｌ大事故を誘発する。

まだ、注型の場合、金型を必要とするが真空バルブの絶
縁筒６の外径寸法公差が最大で５ｍｍもあるため、真空
バルブ個々によって寸法調整が必要であシ、金型調整の
都度、樹脂漏れ防止のだめのシールが必要である。

（２）接着による固着の問題点第４図に示す如く、あらかじめ接地電極９と弾性波セン
サー１０を絶縁モールド１１シたものを接着剤層１４に
よって絶縁筒６に固着するものであるが、接地電極９は
、ｅ縁部６の表面に密着させなければならないため固着
前は、絶縁モールド１１の表面に露出されている。この
ことから、真空バルブと接地電極９の絶縁は、固定側端
＆７あるいは可動側端板８と絶縁モールド１１までの気
中ギャップと接着剤層１４に依存している。接着剤層１
４は周知のとお９、接着剤塗亜時あるいは貼合せ時に巻
込む気泡の存在等の電気的に有害な欠隔を含んでいる。

特に真空バルブのように高信頼性を必要とするものは、
２０年以上の寿命が要求され、運転時の振動。

衝撃力等によって接着Ｎ１４に剥′Ｉａが住じ、絶縁モ
ールド１１が落下することがないようにする必要がある
０また、接着による固着は、接着層１４の厚さは数十ミク
ロンと薄い方が接着力を向上させるが先にも述べたよう
に真空バルブの外径にバラツキがあシ真空バルブ個々の
外径の曲率が異゛るため接着層１４の厚さは一定になら
な込。接着層１４の厚さは接着強さに重大な影響を与え
、一般的には薄い方が高い値を示すが、前記のように接
着層１４の厚さが一定でない場合、剥離力や剪断力によ
って生ずる歪は、接着層１４の厚い方に集中し、接着の
特徴であ、る歪の分散ができないため接着強さが著しる
しく低下する。

〔発明の目的〕

本発明は、あらかじめ絶縁モールドした接地電極と弾性
波センサーを真空バルブに確実に装着し、信頼性の高い
真空バルブを提供することを目′的とする。

〔発明の概要〕

本発明によれば真空バルブのシールドの電位変動を５〜
１５％におさえる接地電極と弾性波センサーを、真空バ
ルブ表面に配置するために、あらかじめ接地電極と弾性
波センサーを絶縁モールドし、真空バルブ固着部に接着
剤を塗布した真空バルブ外径よｊｏ　１０〜ｂム製のケースに収納して、真空バルブ表面に固着したこ
と。また、前記ブチルゴム製のケースのかワシにシリコ
ーンゴム、塩化ビニル、テフロン等の収縮チューブのケ
ースを用匹て真空バルブ表面に固着したことを特徴とす
る真空バルブ。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面によって説明する。従来
例の第３図、第４図と同一機能は同−付号を付し、その
部分の詳細な説明を省略する。

ｇ１図において、接地Ｊｔ極９と弾性波センサー１０は
、絶縁モールド１１の歪集中を緩和するため予じめイソ
シアネートプレポリマー（０ＣＮ−Ｒ−ＮＣＯ）とポリ
オール（ＨＯ−Ｒ’−０）（）からなるポリウレタン（
日本ゼオン■のシステム９４に該当）でモールドし、次
いで第１表に示す組成の注型材料で絶縁モールドした。

第１表真空バルブへの取付けは、第２図に示すごとく、絶縁モ
ールド１１を収納できるケースを有するリング状のブチ
ルゴム製のケース１６による。リングの内径は、真空バ
ルブの外径の最小公差より１０〜２０チ小さくシ、真空
バルブに取付けた時に常に締付力が加わるようにした。

ブチルゴムは、昭和電線■の耐トラツキング性ブチルゴ
ムを用いた。その配合を第２表に示す。

以下余白第２表同ゴムは、汚損環境下でもすぐれた電気特性を発揮する
ことから、真空バルブの使用環境を重汚損環境（等価基
分量：　０．１２ｍｊｌ／ＣＴｉ’　）を想定して前記
耐トラツキング性ブチルゴムを用いたが、汚損環境を無
視できる場合は、エチレンプロピレンゴム、クロロ７０
レンゴム等の使用も可能である。

真空バルブに絶縁モールド１１を取付ける操作はまず、
真空バルブの接着面、ブチルゴム製のケース１６、絶縁
モールドＨの表面を有機溶剤（アセトン）で脱脂する。

次いで、絶縁そ−ルド１１の全面、ブチルゴム製のケー
ス１６の内側全面にエポキシ系接着剤を塗布し、収納部
１７に絶縁モールド１１を収納後、真空バルブに取付け
る。エポキシ系接着剤は、長潮チパ■社の７２ルダイト
スタンダードを用いた。

こうすることによって、ブチルゴム製のケース１６の内
径は、常に真空バルブの外径よシ小さいため、内面に塗
布された接着剤の硬化時に締付力が加わシ強固に固着さ
れる。取付られたブチルゴム製のケース１６は、弾性波
センサー１０を含む絶縁モールド１１を外部よシ保獲す
るとともに、絶縁モールドＨの脱落は完全に防止できる
。

又、ブチルゴム製のケース１６のかわシに、シリコーン
収縮チューブのケース１６を用いた。

まず、絶縁モールド１１および真空バルブの固着面を有
機溶剤（アセトン）で脱脂後、エポキシ系接着剤（長細
チバ叶９社製アラルダイトスメンダート）によって接着
する。史に、信越化学工栗■社のシリコーンゴム収縮チ
ューブ（ＳＴ−１０００ＤＧ）ＶＣよって固着する。こ
の際、シリコーンゴム収Ｍ　チューブは、エポキシ樹脂
等の熱硬化性接着剤、アクリル樹脂、塩化ビニル樹脂等
の熱硬化性接着剤ともに接着しないため、同質材料であ
るシリコーンシーラント（東芝シリコーン■のＴＳＥ　
３８２　ＲＴＶ　）を内面に塗布後に固着する。収縮チ
ューブにシリコーンゴム系を用いた理由は、耐トラッキ
ング性ブチルゴム同様重汚損環境下ですぐれた電気特性
を発揮するためである。従って、使用環境によって収縮
チューブの材料は適宜選定される。

本発明の真空バルブと従来のモールドによる真空バルブ
および接着による真空バルブを用いて、ＡＣ耐圧試験、
インパルス耐圧試験を行ない更に９８〜１００℃の温水
に１時間浸漬後直ちに０〜２℃の冷水中に１時間浸漬を
１サイクルとして１０サイクルまで行ないその後再びＡ
Ｃ耐圧、インパルス耐圧を調査した。その結果を第３表
に示す。

以下余白また、本発明の真空バルブは１０，０００回以上の無負
荷開閉試験も合せて行なったが、外観に変化はみられず
、試験後の±５ＱＫＶのインパルス耐圧にも異常は認め
られなかった。

〔発明の効果〕

本発明によれば、接地電極と弾性波センサーを絶縁モー
ルドしたものを、真空バルブの外面に藺単に装着が可能
であり、絶縁モールドが剥離および落下することのない
、電気特性のすぐれた高い信頼性を有する真空バルブが
得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す真空バルブの断面図、
第２図は第１図の平面図、第３図は従来の真空バルブの
断面図、第４図は従来の真空バルブの平面図である。１１・・絶縁モールド　　　１４・・接着層１６、ケー
ス（７３１７）　　代理人　弁理士　則　近　恵　佑　（
ほか１名〕第１図第２図第３図第４図

Claims

【特許請求の範囲】

絶縁筒の一端を固定側端板に、他方を可動側端板で閉塞
した真空容器と、この真空容器内の軸方向に対向して接
離可能な状態で配置した可動電極と固定電極と、この両
電極を包囲するようにして、前記絶縁筒に取付けたシー
ルドと、前記可動電極に固着した可動通電軸をベローズ
を介して前記可動側端板に封着し、前記固定電極に固着
した固定通電軸を固定側端板に封着してなる真空バルブ
において、前記絶縁筒の表面にあらかじめ絶縁物にてモ
ールドされた接地電極と弾性波センサーなる検出器を絶
縁性の弾性体ケースを用いて固着したことを特徴とする
真空バルブ。