JP4676583B2

JP4676583B2 - クリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート

Info

Publication number: JP4676583B2
Application number: JP12702499A
Authority: JP
Inventors: 俊幸加藤
Original assignee: Achilles Corp
Current assignee: Achilles Corp
Priority date: 1999-05-07
Filing date: 1999-05-07
Publication date: 2011-04-27
Anticipated expiration: 2019-05-07
Also published as: JP2000318099A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体等を製造するクリーンルームの間仕切り用フィルム又はシート（以下「フィルム・シート」と記す）に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、半導体等を製造するクリーンルームの間仕切り用フィルム・シートとして、合成樹脂製の帯電防止性透明軟質フィルムが使用されている。
中でも、塩化ビニル系樹脂製の軟質フィルム・シートは、帯電防止性、防炎性、透明性、柔軟性の面で特に優れるため、上記のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートとして多用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記の間仕切り用フィルム・シートは、一般に難燃性が要求されるため、この様な用途に使用される塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートは、可塑剤として、リン酸エステル系可塑剤を含む塩化ビニル系樹脂組成物から得られるものが一般的である。
【０００４】
一方、最近では、上記の塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートをクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートとして使用した場合に、当該間仕切り用フィルム・シートから放出される気体成分（アウトガスと呼ばれている）によって、シリコンウエハー等が汚染され、半導体等の不良率が増加するという問題がクローズアップされている。
特に、より精密な半導体等が製造されるようになった今日では、上記の問題が深刻化してきている。
【０００５】
上記の塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートにおけるアウトガスの原因となる物質としては、リン酸エステル系可塑剤、安定剤中に含まれるトリフェニルリン酸エステル等が挙げられている。
しかしながら、上記のような塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートから、この様な成分を全て除くと、所望の難燃性が付与されない等、クリーンルームの間仕切り用フィルム・シートとして要求される諸物性を損なうという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、難燃性等のクリーンルームの間仕切り用フィルム・シートに要求される諸物性を損なうことなく、アウトガスに起因する問題をも解決し得るクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するためになされた本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートは、リン酸エステル系可塑剤が添加された塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートの両面にフッ素系樹脂製フィルムが積層されてなる透明性フィルム又はシートの片面又は両面に帯電防止性層が積層されてなることを特徴とするものである。
また、本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートは、該透明性フィルム又はシートの片面又は両面に、導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより帯電防止性層が形成されているフィルム又はシートであるクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート、該透明性フィルム又はシート表面の導電性材料を含む塗料が塗布されていない部分の面積が７０％以上であり、帯電防止性層の抵抗値が１０^１０Ω未満であるクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート、塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートが、塩化ビニル系樹脂１００重量部当たり３０〜８０重量部の可塑剤を含む塩化ビニル系樹脂組成物を形成して得られる透明なフィルム又はシートであって、全可塑剤中の３０重量％以上が導電性可塑剤としたフィルム又はシートであるクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート、導電性可塑剤が、化１に示す導電性可塑剤であるクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシートである。
［化１］
（式中、Ｒ_１、Ｒ_２は炭素数３〜１５の直鎖状又は分岐状アルキル基、Ａ_１、Ａ_２は炭素数２〜４のアルキレン基、ｍ、ｎは１〜７の整数を示す。但し、Ｒ_１とＡ_１の炭素数の合計及びＲ_２とＡ_２の炭素数の合計は５〜１７である。）
さらに、本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートは、塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートの表面に、導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより帯電防止性層が形成されているフィルム又はシートであるクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシートである。
本発明における透明フィルムとは、透明フィルムや半透明フィルム及び透明や半透明のフィルム上の一部に不透明の印刷を施したものを指す。
【０００８】
上記塩化ビニル系樹脂製のフィルム・シートは、塩化ビニル系樹脂１００重量部当たり、３０〜８０重量部の可塑剤を含む塩化ビニル系樹脂組成物を成形して得られるものが好ましい。
【０００９】
上記の塩化ビニル系樹脂としては、塩化ビニルの単独重合体であるポリ塩化ビニルの他、塩化ビニルとエチレン、酢酸ビニル、ビニルエーテル、マレイン酸エステル、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル等のモノマーとの共重合体、あるいはこれらの混合物等が使用できる。
【００１０】
塩化ビニル系樹脂に添加される可塑剤としては、ジ−２−エチルヘキシルフタレート、ジ−ｎ−オクチルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジブチルフタレート等のフタル酸エステル系可塑剤；トリクレジルホスフェート、トリキシリルホスフェート、トリブチルホスフェート、トリフェニルホスフェート、トリクロロエチルホスフェート、トリオクチルホスフェート、ジフェニルクレジルホスフェート、トリブトキシエチルホスフェート等のリン酸エステル系可塑剤；ジオクチルアジペート、ジオクチルアゼレート、ジオクチルセバケート等の脂肪酸エステル系可塑剤；エポキシ化大豆油、エポキシ樹脂等のエポキシ系可塑剤；ポリエステル系可塑剤；トリオクチルトリメリテート等のトリメリット酸エステル系可塑剤；等から選ばれる一種あるいは二種以上を使用することができる。
また、塩化ビニル系樹脂に添加される導電性可塑剤以外の可塑剤を添加する場合には、難燃性の面から、導電性可塑剤以外の可塑剤として、リン酸エステル系可塑剤等の難燃性可塑剤のみ、或いは難燃性可塑剤を主体とする混合可塑剤を用いることが好ましい。
【００１１】
上記の塩化ビニル系樹脂には、難燃剤、顔料、酸化防止剤、紫外線吸収剤、安定剤、充填剤、滑剤等を適宜添加しても良い。
特に顔料として、黄やオレンジ系の顔料を添加することによって、防虫効果を持たせることができ、特に好ましい。
【００１２】
難燃剤としては、トリクレジルホスフェート、トリス（β−クロロエチル）ホスフェート、トリス（ジクロロプロピル）ホスフェート、トリス（ジブロモプロピル）ホスフェート、ブロモホスフェート、トリキシリルホスフェート、トリブチルホスフェート、トリフェニルホスフェート、トリクロロエチルホスフェート、トリオクチルホスフェート、ジフェニルクレジルホスフェート、トリブトキシエチルホスフェート等のリン酸エステル；塩素化パラフィン、四臭化エチレン等のハロゲン化炭化水素；ジンクボレート、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、酸化モリブデン、モリブデン酸亜鉛、三酸化アンチモン等の無機系難燃剤；含リンポリオール、含臭素ポリオール、四塩化無水フタル酸、四臭化無水フタル酸等の反応性難燃剤等が使用できる。
【００１３】
酸化防止剤としては、アルキルフェノール、アルキレンビスフェノール、アルキルフェノールチオエーテル、β，β’−チオプロピオン酸エステル、有機亜リン酸エステル、芳香族アミン、フェノール・ニッケル複合体等が挙げられる。これらの酸化防止剤は、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
【００１４】
紫外線吸収剤としては、サリチル酸エステル、ベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリロニトリル置換体等が挙げられる。これらの紫外線吸収剤は、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
【００１５】
安定剤としては、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸バリウムなどの金属石鹸、エポキシ化大豆油などのエポキシ化合物、ジフェニルデシルホスファイトなどの有機ホスファイト系安定剤、ジブチル錫ラウレートなどの錫系安定剤などが使用できる。
また、これらの安定剤は、単独又は２種以上を混合して使用することができる。
【００１６】
充填剤としては、炭酸カルシウム、水酸化アルミニウム、タルク等の無機充填剤が好ましい。
【００１７】
滑剤としては、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸バリウム、ステアリン酸カルシウム等の金属石鹸；流動パラフィン、ポリエチレンワックス類、塩素化炭化水素類等の炭化水素類；ステアリン酸、ステアリン酸アミド、パルミチン酸アミド、メチレンビスステアロアミド、エチレンビスステアロアミド等の脂肪酸及び脂肪酸アミド；ステアリン酸ブチル、パルミチン酸セチル、ステアリン酸モノグリセリド等の脂肪酸エステル等の滑剤が使用できる。
【００１８】
顔料としては、黄鉛、亜鉛黄、クロム酸バリウム、カドミウムイエロー、黄色酸化鉄、黄土、チタン黄、鉛シアナミド、鉛酸カルシウム、イソインドリノンイエロー、ローダミンレーキ、アンスラキノンイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエロー１０Ｇ、ハンザイエロー５Ｇ、ハンザイエロー３Ｇ、ハンザイエローＧ、ハンザイエローＧＲ、ダイヤジンイエローＧＲ、ハンザイエローＡ、ハンザイエローＲＮ、ハンザイエローＲ、ピグメントイエローＬ、ベンジシンイエロー、ベンジシンイエローＧ、ベンジシンイエローＧＲ、パーマネントイエローＮＣＧ、バルカンフアストイエロー５Ｇ、バルカンフアストイエローＲ、タートラジンレーキ、キノリンイエローレーキ、アンスラゲンイエロー６ＧＬ、パーマネントイエローＨ１０Ｇ、パーマネントイエローＨＲ、アンスラピリジンイエロー等の黄色系顔料もしくは染料が使用できる。
【００１９】
上記の塩化ビニル系樹脂組成物は、カレンダー法、押出法、インフレーション法等の公知の手段により、所望の厚さのフィルム・シートに成形される。勿論、本発明のフィルム・シートは、間仕切り用フィルム・シートとしての透視性を確保し得る程度に透明であることが必要である。
【００２０】
上記の透明性フィルム・シートには、次のような手段により、帯電防止性を付与することができる。例えば、
▲１▼塩化ビニル系樹脂製フィルム・シートの両面にフッ素系樹脂製フィルムを積層してなる透明性フィルム・シートの片面又は両面に、導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより、帯電防止性を付与する手段。
▲２▼塩化ビニル系樹脂組成物中に含まれる全可塑剤中の３０重量％以上を導電性可塑剤にし、さらに、透明性フィルム・シートの片面又は両面に導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより、より高い帯電防止性を付与する。
▲３▼塩化ビニル系樹脂製フィルム・シートの片面又は両面に導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布し、さらに、透明性フィルム・シートの片面又は両面に導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより、より高い帯電防止性を付与する。
▲４▼塩化ビニル系樹脂組成物中に含まれる全可塑剤中の３０重量％以上を導電性可塑剤にし、塩化ビニル系樹脂製フィルム・シートの片面又は両面に導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布し、さらに、透明性フィルム・シートの片面又は両面に導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより、より高い帯電防止性を付与する
等である。
【００２１】
上記の手段で使用される塗料中に含まれる導電性材料としては、カーボンブラック、グラファイト、銀、酸化錫等が使用できるが、塗装適性等の見地から、カーボンブラックあるいはグラファイト等のカーボンを主体とするものが好適である。
【００２２】
また、これらの導電性材料を混入させる塗料としては、各種の樹脂バインダーを含む溶剤系、水系、紫外線硬化型等の塗料が使用できるが、基体となる塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シート又は透明性フィルム・シートとの接着性の見地から、架橋タイプあるいは非架橋タイプの塩化ビニル系樹脂やアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤系塗料が好適である。
【００２３】
上記の導電性材料を含む塗料は、例えば、連続した線状（波線等も含む）、格子状、細目状、連続した模様状に塗布される。
また、カーボンブラック等の導電性材料を含む塗料は、一般に黒色系で不透明であるが、上記した通り、間仕切り用フィルム・シートは透視性を確保する必要があるため、この塗料を塗布する場合には、フィルム表面の導電性材料を含む塗料が塗布されていない部分の面積比（開口率）が７０％以上、更に好ましくは、９０％以上となるようにするのが望ましい。
【００２４】
上記の導電性材料を含む塗料による塗膜の抵抗値としては、１０¹⁰Ω未満とするのが望ましく、特に１０⁷Ω未満とするのが望ましい。
導電性材料を含む塗料による塗膜の抵抗値が高すぎると、クリーンルーム間仕切り用として要求される帯電防止性を付与することができない。
【００２５】
一方、上記の手段において使用する導電性可塑剤としては、従来より知られている導電性可塑剤、例えば化１に示す一般式で表されるフタル酸エステル系の導電性可塑剤が使用できるが、特に好ましくは、化１に示すフタル酸エステル系の導電性可塑剤である。
【００２６】
［化１］
（式中、Ｒ₁，Ｒ₂は炭素数３〜１５の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、Ａ₁，Ａ₂は炭素数２〜４のアルキレン基、ｍ，ｎは１〜７の整数を示す。
但し、Ｒ₁とＡ₁の炭素数の合計及びＲ₂とＡ₂の炭素数の合計は５〜１７である。）
【００２７】
上記のフタル酸エステル系の導電性可塑剤は、炭素数１〜１３の直鎖状あるいは分岐状のアルコールに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドを１〜７モル付加させ、アルコールとアルキレンオキサイドの合計炭素数が５〜１７である末端ヒドロキシル化合物と、フタル酸とを反応させて得られるものである。
【００２８】
上記の導電性可塑剤の添加量は、塩化ビニル系樹脂に添加する全可塑剤中の３０重量％以上、好ましくは５０重量％以上である。
【００２９】
本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートに用いられる透明性フィルム・シートは、上記のようにして得られた塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートの両面にフッ素系樹脂製フィルムを積層してなる。
このフッ素系樹脂製フィルムとしては、四フッ化エチレン樹脂、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、三フッ化塩化エチレン樹脂、フッ化ビニリデン樹脂等から選ばれる一種あるいは二種以上の混合物などのフッ素系樹脂からなる透明フィルムが使用できる。
【００３０】
さらに、フッ素系樹脂製フィルムとしては、上記フッ素系樹脂からなるフッ素系樹脂層とアクリル系樹脂層又は／及び塩化ビニル系樹脂層を積層したフィルムを使用することができる。特に、フッ素系樹脂層とアクリル系樹脂層、塩化ビニル系樹脂層を順次積層したフィルムは、高周波ウェルダー適性に優れ、かつ塩化ビニル系樹脂製軟質フィルムと熱ラミネートすることもできるため、特に好ましい。また、フッ素系樹脂層とアクリル系樹脂層又は／及び塩化ビニル系樹脂層を積層したフッ素系樹脂製フィルムは共押出法やラミネート法等で製造することができる。
該フッ素系樹脂製フィルム中の塩化ビニル系樹脂層にも、上記した塩化ビニル系樹脂製軟質フィルムと同様に、可塑剤、難燃剤、顔料、酸化防止剤、紫外線吸収剤、安定剤、充填剤、滑剤等を適宜添加しても良い。
【００３１】
また、上記のフッ素系樹脂製フィルムと前記の塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートとを積層するには、通常接着剤が使用される。この接着剤としては、塩化ビニル系接着剤やアクリル系接着剤等の公知の接着剤が使用できる。
さらに、該接着剤にも、上記した塩化ビニル系樹脂と同様に、可塑剤、難燃剤、顔料、酸化防止剤、紫外線吸収剤、安定剤、充填剤、滑剤等を適宜添加しても良い。
フッ素系樹脂製フィルムとして、フッ素系樹脂層、アクリル系樹脂層、塩化ビニル系樹脂層を順次積層したフッ素系樹脂製フィルムを用いた場合には、熱ラミネート法や、高周波ウェルダーにより、塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シートと接着することが可能である。
【００３２】
以上の構成からなる本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートは、従来の塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム・シート単体からなる間仕切り用フィルム・シートと比較して、アウトガスの発生が著しく抑制されたものである。
また、帯電防止性、防炎性（難燃性）、透明性、柔軟性の面でも、従来の軟質塩化ビニル系樹脂フィルム・シート単体からなる間仕切り用フィルム・シートを比較して、何ら遜色のないものである。
さらに、本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートは、耐光性に優れ、殺菌灯などの強い紫外線を長時間受けても添加剤がブリードすることが無く、クリーンルームや滅菌室に非常に有効である。
【００３３】
【実施例】
実施例１
表１に示す配合からなる塩化ビニル系樹脂組成物を、ロール温度１７５℃のカレンダー装置を用いて成形し、厚さ０．３ｍｍの塩化ビニル系樹脂製シートを得た。
【００３４】
【表１】
【００３５】
次いで、得られた塩化ビニル系樹脂製軟質シートの片面に、塩化ビニル系接着剤を介して、ポリフッ化ビニリデン製フィルムを積層し、透明性フィルム・シートを得た。
得られた透明性フィルム・シートの両面に導電性材料としてカーボンブラックを含むアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤塗料（塗膜の二点間抵抗値は２×１０³Ω）を亀甲模様状の連続模様（開口率９０％）となるように塗布し、本発明のクリーンルーム間仕切り用シートを得た。
得られたクリーンルーム間仕切り用シートは、アウトガスの発生がなく、また、耐光性、帯電防止性、防炎性（難燃性）、透明性及び柔軟性の面でも、クリーンルームの間仕切り用シートとして十分適用し得るものであった。
【００３６】
尚、上記した実施例１の間仕切り用シートを図１に示す。図１は、実施例１の間仕切り用シートの部分拡大断面図であり、図中の符号１は、間仕切り用シート、符号１０Ａは塩化ビニル系樹脂製シート、符号１０Ｂは導電性材料を含む塗料による塗膜、符号１１はフッ素系樹脂製フィルム、符号１２は、フッ素系樹脂製フィルム１１と塩化ビニル系樹脂製軟質シート１０とを接着するための接着剤を示している。
【００３７】
（比較例１）
実施例１と比較するため、実施例１における塩化ビニル系樹脂製軟質シートの両面に導電性材料としてカーボンブラックを含むアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤塗料（塗膜の二点間抵抗値は２×１０³Ω）を亀甲模様状の連続模様（開口率９０％）となるように塗布し、クリーンルーム間仕切り用シートとした。
この間仕切り用シートは、帯電防止性、防炎性（難燃性）、透明性及び柔軟性の面では、クリーンルームの間仕切り用シートとして十分に適用し得るものであったが、アウトガスが発生し、殺菌灯の光を２４時間照射すると、ブリードを起こすという欠点を有するものであった。
【００３８】
（実施例２）
表２に示す配合からなる塩化ビニル系樹脂組成物をロール温度１７５℃のカレンダー装置を用いて形成し、厚さ０．３ｍｍの塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質シートを得た。
【００３９】
【表２】
＊１新日本理化社製「サンソサイザーＣ−１１００」（商品名）
【００４０】
得られた塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質シートの両面に、塩化ビニル系接着剤を介して、ポリフッ化ビニリデン製フィルムを積層し、透明性フィルム・シートを得た。
得られた透明性フィルム・シートの両面に導電性材料としてカーボンブラックを含むアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤塗料（塗膜の二点間抵抗値は２×１０³Ω）を亀甲模様状の連続模様（開口率９０％）となるように塗布し、本発明のクリーンルーム間仕切り用シートを得た。
得られたクリーンルーム間仕切り用シートは、アウトガスの発生がなく、また、耐光性、帯電防止性、防炎性（難燃性）、透明性及び柔軟性の面でも、クリーンルーム間仕切り用シートとして十分に通用し得るものであった。
【００４１】
尚、上記した実施例２の間仕切り用シートを図２に示す。図２は、実施例２の間仕切り用シートの部分拡大断面図であり、図中の符号２は間仕切り用シート、符号２０は、塩化ビニル製の帯電防止性透明軟質シート、符号２１はフッ素系樹脂製フィルム、符号２２は、フッ素系樹脂製フィルム２１と塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質シートとを接着するための接着剤を示している。
【００４２】
（比較例２）
実施例２と比較するため、実施例２における塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質シートの片面に導電性材料としてカーボンブラックを含むアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤塗料（塗膜の二点間抵抗値は２×１０³Ω）を亀甲模様状の連続模様（開口率９０％）となるように塗布し、本発明のクリーンルーム間仕切り用シートを得た。
この間仕切り用シートは、帯電防止性、防炎性（難燃性）、透明性及び柔軟性の面では、クリーンルーム間仕切り用シートとして十分に適用し得るものであったが、アウトガスを発生し、殺菌灯の光を２４時間照射すると、ブリードを起こすという欠点を有するものであった。
【００４３】
（実施例３）
表３に示す配合からなる塩化ビニル系樹脂組成物をロール温度１７５℃のカレンダー装置を用いて形成し、厚さ０．３ｍｍの塩化ビニル系樹脂製軟質シートを得た。
【００４４】
【表３】
【００４５】
次いで、得られた塩化ビニル系樹脂製軟質シートの両面にアクリル樹脂層を積層したフッ素系樹脂フィルムを積層し、透明性シートを得た。
得られた透明性シートの片面に導電性材料としてカーボンブラックを含むアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤塗料（塗膜の二点間抵抗値は２×１０³Ω）を格子状の連続模様（開口率９０％）となるように塗布し、本発明のクリーンルーム間仕切り用シートを得た。得られたクリーンルーム間仕切り用シートは、アウトガスの発生がなく、また、耐光性、帯電防止性、実施例１，２よりも高い防炎性（難燃性）、防虫性及び柔軟性の面でも、クリーンルームの間仕切り用シートとして十分適用でき得るものであった。
【００４６】
（実施例４）
表４に示す配合からなる塩化ビニル系樹脂組成物をロール温度１７５℃のカレンダー装置を用いて形成し、厚さ０．３ｍｍの塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質シートを得た。
次いで、得られた塩化ビニル系樹脂製の帯電防止性透明軟質シートの両面に、ポリフッ化ビニリデン層の裏面にアクリル樹脂層、ポリ塩化ビニル樹脂層を順次積層したフッ素系樹脂フィルムを熱ラミネート法によって積層し、透明性シートを得た。得られた透明性シートの両面に導電性材料としてカーボンブラックを含むアクリル系樹脂をバインダーとする溶剤塗料（塗膜の二点間抵抗値は２×１０³Ω）を格子状の連続模様（開口率９０％）となるように塗布し、本発明のクリーンルーム間仕切り用シートを得た。得られたクリーンルーム間仕切り用シートは、アウトガスの発生がなく、また、耐光性、実施例１，２よりも高い帯電防止性を有し、防炎性（難燃性）、防虫性及び柔軟性の面でも、クリーンルームの間仕切り用シートとして十分適用でき得るものであった。
【００４７】
【表４】
＊１新日本理化社製「サンソサイザーＣ−１１００」（商品名）
【００４８】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明のクリーンルーム間仕切り用フィルム・シートは、帯電防止性、防炎性（難燃性）、透明性及び柔軟性の面で、クリーンルーム間仕切り用シートとして十分に適用し得るものであることは勿論のこと、アウトガスの発生についても極めて抑制されており、従って、このアウトガスによってシリコンウエハー等を汚染し、半導体等の不良率が増加するという問題も懸念されないものである。
また、クリーンルーム間仕切り用フィルム・シートを黄色顔料により黄色の半透明のものとした場合には、防虫性にも優れるものである。
さらに、帯電防止性層を表面に露出させたことにより、高い帯電防止性を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のクリーンルーム間仕切り用シートの一実施例の部分拡大断面図である。
【図２】本発明のクリーンルーム間仕切り用シートの一実施例の部分拡大断面図である。
【図３】本発明のクリーンルーム間仕切り用シートの一実施例の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
１，２，３クリーンルーム間仕切り用シート
１０，２０，３０塩化ビニル系樹脂製軟質シート
１１，２１フッ素系樹脂製フィルム
１２，２２接着剤
１３，２３，３３導電性材料を含む塗料
３１ａポリ塩化ビニル樹脂層
３１ｂアクリル樹脂層
３１ｃポリフッ化ビニリデン層

Claims

半導体等を製造するクリーンルームの間仕切り用として使用されるフィルム又はシートであって、
リン酸エステル系可塑剤が添加された塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートの両面にフッ素系樹脂製フィルムが積層されてなる透明性フィルム又はシートの片面又は両面に、帯電防止性層が積層されてなることを特徴とするクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
透明性フィルム又はシートの片面又は両面に、導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に印刷することにより、帯電防止性層が形成されているフィルム又はシートである請求項１記載のクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
透明性フィルム又はシート表面の導電性材料を含む塗料が塗布されていない部分の面積が７０％以上であり、帯電防止性層の抵抗値が１０^１０Ω未満である請求項２記載のクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートが、塩化ビニル系樹脂１００重量部当たり３０〜８０重量部の可塑剤を含む塩化ビニル系樹脂組成物を形成して得られる透明なフィルム又はシートであって、全可塑剤中の３０重量％以上が導電性可塑剤としたフィルム又はシートである請求項１〜３いずれか１項記載のクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
導電性可塑剤が、化１に示す導電性可塑剤である請求項４記載のクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。
（式中、Ｒ_１、Ｒ_２は炭素数３〜１５の直鎖状又は分岐状アルキル基、Ａ_１、Ａ_２は炭素数２〜４のアルキレン基、ｍ、ｎは１〜７の整数を示す。
但し、Ｒ_１とＡ_１の炭素数の合計及びＲ_２とＡ_２の炭素数の合計は５〜１７である。）
塩化ビニル系樹脂製軟質フィルム又はシートの表面に、導電性材料を含む塗料を任意の連続模様状に塗布することにより帯電防止性層が形成されているフィルム又はシートである請求項１〜５いずれか１項記載のクリーンルーム間仕切り用フィルム又はシート。