JP4675785B2 - カラーフィルタ基板、液晶表示パネルおよびカラーフィルタ基板の製造方法 - Google Patents

カラーフィルタ基板、液晶表示パネルおよびカラーフィルタ基板の製造方法 Download PDF

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この発明は、カラーフィルタ基板、このカラーフィルタ基板を備えた液晶表示パネルおよびカラーフィルタ基板の製造方法に関する。
画像を表示する表示パネルとして液晶表示パネルが用いられている。一般に、液晶表示パネルは、アレイ基板と、対向基板と、これら両基板の基板間に狭持された液晶層と、アレイ基板および対向基板のいずれか一方に形成されたカラーフィルタと、を有している。カラーフィルタは、赤色、緑色、青色の複数の着色層で形成されている。アレイ基板および対向基板の間には、粒状の複数のスペーサが配置され、この2枚の基板間の隙間を一定に保持している(例えば、特許文献1参照)。
近年、液晶表示パネルは画質の向上が求められている。粒状のスペーサによるコントラスト低下を抑制するため、スペーサは樹脂を用いて形成されている。また、カラーフィルタが対向基板に形成された場合、アレイ基板と対向基板との位置合わせズレにより、開口率が低下してしまう。この開口率の低下を避けるため、カラーフィルタはアレイ基板に形成されている。その他、液晶表示パネルが複屈折を利用するモードの場合、液晶表示パネルには、色毎に着色層の厚みを変えたマルチギャップ構造が採用されている。これにより、表示色毎に液晶層の厚さを変えることができ、色付きや視野角の改善を行うことが可能となる。
特開平11−258635号公報
上記液晶表示パネルの画質の向上のため、精度の良いセルギャップ均一性が求められている。しかしながら、液晶表示パネルの周辺部には、遮光部、シール材および液晶注入口等が設けられているため、この周辺部においては、特に、セルギャップ均一性が崩れ易い。このため、液晶表示パネルの周辺部において表示ムラが発生し易い傾向にある。
また、カラーフィルタをアレイ基板に形成した場合、アレイ基板の凹凸構造や隣合う着色層の周縁部同士が重なって盛り上がった凸構造によりカラーフィルタ表面に凹凸が形成される。このため、液晶表示パネルの画質が低下する恐れがある。カラーフィルタ表面の凹凸を低減するため、着色層を機械的に研磨する場合があるが、基板面内にて研磨量のバラツキが生じることもある。このため、着色層を機械的に研磨した場合であっても、液晶表示パネルの画質が低下する恐れがある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示品位に優れた液晶表示パネルを形成できるカラーフィルタ基板、表示品位に優れた液晶表示パネルおよびカラーフィルタ基板の製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の態様に係るカラーフィルタ基板は、
基板と、
表示領域に重ねて前記基板上に塗布された複数色のレジストで形成され、複数色の着色層を有したカラーフィルタと、
前記表示領域を囲むよう前記基板上に塗布された青色のレジストで形成された第1ダミー着色層および前記第1ダミー着色層上に塗布された青色以外のレジストで形成され前記第1ダミー着色層上に積層され前記第1ダミー着色層より硬度の高い第2ダミー着色層を有したダミーパターンと、を備えている。
また、本発明の他の態様に係る液晶表示パネルは、
基板と、表示領域に重ねて前記基板に塗布された複数色のレジストで形形成され、複数色の着色層を有したカラーフィルタと、前記表示領域を囲むよう前記基板上に塗布された青色のレジストで形成された第1ダミー着色層および前記第1ダミー着色層上に塗布された青色以外のレジストで形成され前記第1ダミー着色層上に積層され前記第1ダミー着色層より硬度の高い第2ダミー着色層を有したダミーパターンと、を具備したカラーフィルタ基板と、
前記カラーフィルタ基板に隙間を保持して対向配置された他の基板と、
前記カラーフィルタ基板および他の基板間に挟持された液晶層と、を備えている。
また、本発明の他の態様に係るカラーフィルタ基板の製造方法は、
表示領域に重ねて基板上に複数色のレジストを塗布し複数色の着色層を有したカラーフィルタを形成し、
前記表示領域を囲むよう前記基板上に青色のレジストを塗布し第1ダミー着色層を形成し、
前記第1ダミー着色層上に青色以外のレジストを塗布し前記第1ダミー着色層より硬度の高い第2ダミー着色層を積層し、前記第1ダミー着色層および第2ダミー着色層を有したダミーパターンを形成している。
この発明によれば、表示品位に優れた液晶表示パネルを形成できるカラーフィルタ基板、表示品位に優れた液晶表示パネルおよびカラーフィルタ基板の製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係る液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法について詳細に説明する。始めに、この製造方法によって製造された液晶表示パネルの構成を説明する。
図1、図2、図3および図4に示すように、液晶表示パネルは、アレイ基板1と、このアレイ基板と異なる他の基板としての対向基板2と、液晶層3と、カラーフィルタ4とを備えている。液晶表示パネルは、画像を表示する矩形状の表示領域Rを有している。
アレイ基板1は、透明な絶縁基板として、矩形状のガラス基板10を備えている。ガラス基板10上には複数の信号線11および複数の走査線12が互いに交差して格子状に設けられ、これら信号線と走査線との各交差部近傍にスイッチング素子として、例えばTFT(薄膜トランジスタ)13が設けられている。
TFT13は、走査線12の一部を延在したゲート電極13a、ゲート電極上に設けられたゲート絶縁膜13b、ゲート絶縁膜を介してゲート電極と対向した半導体膜13c、半導体膜の一方の領域に接続されたソース電極13dおよび半導体膜の他方の領域に接続されたドレイン電極13eを有している。ソース電極13dは、信号線11に接続され、ドレイン電極13eは、後述する画素電極14に接続されている。TFT13は、共通のゲート絶縁膜13bで形成されている。
表示領域Rにおいて、信号線11、走査線12およびTFT13を含むガラス基板10上には、赤色の着色層4R、緑色の着色層4Gおよび青色の着色層4Bが互いに隣接し、交互に並んで設けられている。着色層4R、4G、4Bはカラーフィルタ4を形成している。着色層4R、4G、4Bは、それぞれストライプ状に形成され、その周縁部を信号線11に重ねて配設されている。この実施の形態において、着色層4Gは、着色層4Rおよび着色層4Bの硬度より高い硬度を有している。
液晶表示パネルはマルチギャップ構造を有しているため、着色層4R、4G、4Bは色毎に膜厚を異ならせて形成されている。ここでは、着色層4Bが最も厚く、着色層4B、着色層4G、着色層4Rの順に薄く形成されている。
着色層4R、4G、4B上には、複数の画素電極14がマトリクス状に設けられている。これら画素電極14は、ITO(インジウム・ティン・オキサイド)等の透明な導電材料により形成されている。各画素電極14は、各着色層に形成されたコンタクトホール4hを介して対応するTFT13のドレイン電極13eと電気的に接続されている。
一方、図2、図5および図6に示すように、表示領域Rの外側において、ガラス基板10上には、表示領域Rの周縁に隙間を置いて矩形枠状の遮光部31が形成されている。遮光部31は、表示領域Rの外側から漏れる光の遮光に寄与している。
表示領域Rおよび遮光部31間の隙間にダミーパターン41が設けられている。ダミーパターン41は、第1ダミー着色層42およびこの第1ダミー着色層に重なった第2ダミー着色層43を有している。
第1ダミー着色層42は、表示領域Rの周縁を囲むとともにこの表示領域の周縁に接してガラス基板10上に形成されている。第1ダミー着色層42は、矩形枠状に形成され、カラーフィルタ4の周縁および遮光部31の内側の周縁に隣接して形成されている。第1ダミー着色層42は、青色の着色層で形成されている。
第2ダミー着色層43は、矩形枠状に形成され、第1ダミー着色層42上に積層されている。第2ダミー着色層43は、第1ダミー着色層42の硬度より高い硬度を有している。第2ダミー着色層43は、緑色の着色層で形成されている。
この実施の形態において、第1ダミー着色層42は、着色層4Bと同時に同一材料を用いて形成されている。第2ダミー着色層43は、着色層4Gと同時に同一材料を用いて形成されている。
図3、図5および図6に示すように、表示領域Rおよび表示領域の外側において、着色層4Gおよびダミーパターン41上には、複数のスペーサとして、樹脂で形成された複数の柱状スペーサ15が形成されている。より詳しくは、表示領域Rにおいて、柱状スペーサ15は、着色層4Gに重なった画素電極14上に形成されている。表示領域Rの外側において、柱状スペーサ15は、ダミーパターン41の延出した延出方向に間隔を置いて形成されている。表示領域Rの外側において、柱状スペーサ15は、第2ダミー着色層43上に形成されている。なお、スペーサとしては、樹脂で形成された柱状スペーサ15に限られるものではなく、球状スペーサ等他のスペーサであっても良い。着色層4R、4G、4Bおよび画素電極14上には配向膜16が成膜されている。
図1、図3、図5および図6に示すように、対向基板2は、透明な絶縁基板として、矩形状のガラス基板20を備えている。このガラス基板20上には、ITO等の透明な導電膜で形成された対向電極21が形成されている。対向電極21上には、配向膜22が成膜されている。なお、対向電極21および配向膜22は、ガラス基板20全面にそれぞれ形成されている。
アレイ基板1および対向基板2は、柱状スペーサ15により所定の隙間を保持して対向配置されている。アレイ基板1および対向基板2は、両基板の周辺に配設されたシール材51により互いに接合されている。シール材51は、遮光部31の外周に沿って形成されている。
液晶層3は、アレイ基板1および対向基板2間に挟持されている。シール材51の一部には液晶注入口52が形成され、この液晶注入口は封止材53で封止されている。
次に、上記のように構成された液晶表示パネルの製造方法について説明する。特に、カラーフィルタ基板としてのアレイ基板1の製造方法を詳しく説明する。
図1ないし図6に示すように、まず、カラーフィルタ形成基板としてガラス基板10を用意する。用意したガラス基板10上には、成膜およびパターニング等を繰り返す等、通常の製造工程により、信号線11、走査線12およびTFT13等を形成する。
続いて、スピンナを用い、有機顔料として赤色顔料を分散した感光性赤色レジスト(以下、赤色レジストと称する)を、ガラス基板10上全面に塗布する。次いで、塗布された赤色レジストを90℃で5分間仮焼成(プリベーク)する。
その後、所定のフォトマスクを用い、赤色レジストにパターニングを露光する。露光する際、赤色レジストには、露光量150mJ/cmとして紫外線を照射する。ここで用いたフォトマスクは、赤色に着色したい個所に紫外線が照射されるようなパターンと、コンタクトホール4hのためのパターンとを有している。
次いで、露光された赤色レジストを約0.1重量%のTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドライド)水溶液で約40秒間現像し、その後、さらに水洗いする。続いて、水洗いした赤色レジストを約200℃で約1時間本焼成(ポストベーク)する。これにより、赤色の着色層4Rが形成される。
続いて、スピンナを用い、有機顔料として青色顔料を分散した感光性青色レジスト(以下、青色レジストと称する)を、ガラス基板10上全面に塗布する。その後、フォトマスクのパターンを変更し、上記した工程と同様の工程にて製造することにより、青色の着色層4Bおよび第1ダミー着色層42が同時に同一材料で形成される。
次いで、スピンナを用い、有機顔料として緑色顔料を分散した感光性緑色レジスト(以下、緑色レジストと称する)を、ガラス基板10上全面に塗布する。その後、フォトマスクのパターンを変更し、上記した工程と同様の工程にて製造することにより、緑色の着色層4Gおよび第2ダミー着色層43が同時に同一材料で形成される。これにより、カラーフィルタ4およびダミーパターン41が形成される。
続いて、着色層4R、4G、4Bおよびコンタクトホール4hを含むガラス基板10全面に、ITOをスパッタリング法により堆積する。次いで、所定のマスクを用い、PEP(Photo Engraving process)により画素電極14をパターン化する。これにより、着色層4R、4G、4Bに重なった複数の画素電極14が形成される。
その後、ガラス基板10の周縁部に、黒色樹脂を用いて遮光部31を形成する。次いで、着色層4Gに重なった画素電極14および第2ダミー着色層43上に、透明樹脂を用いて複数の柱状スペーサ15を形成する。なお、遮光部31および柱状スペーサ15を形成する際、着色層を形成する工程と同様の手法にて形成した。
続いて、表示領域Rを含むガラス基板10上にポリイミドからなる配向膜材料を塗布し、配向膜16を成膜する。そして、この配向膜16に所定の配向処理(ラビング)を施すことにより配向膜16が形成される。これにより、アレイ基板1が完成する。
一方、対向基板2の製造方法においては、まず、ガラス基板20を用意する。用意したガラス基板20全面に、ITOをスパッタリング法により堆積する。これにより、ガラス基板20上に対向電極21が形成される。続いて、対向電極21に重ねてガラス基板20上にポリイミドからなる配向膜材料を塗布し、配向膜22を成膜する。そして、この配向膜22に所定の配向処理(ラビング)を施すことにより配向膜22が形成される。これにより、対向基板2が完成する。
次いで、ガラス基板20の周辺に、例えば、熱硬化型のシール材51を印刷する。続いて、アレイ基板1および対向基板2を複数の柱状スペーサ15により所定の隙間を保持して対向配置させ、アレイ基板および対向基板の周辺同士をシール材51により貼り合せる。その後、シール材51を加熱して硬化させ、アレイ基板1および対向基板2を固定する。これにより、空の表示パネルが形成される。
続いて、真空注入法により、シール材51の一部に形成された液晶注入口52から、カイラル材が添加されたネマティック液晶を注入する。その後、液晶注入口52を、例えば紫外線硬化型樹脂からなる封止材53により封止する。これにより、アレイ基板1および対向基板2間に液晶が封入され、液晶層3が形成される。そして、アレイ基板1の外面および対向基板2の外面にそれぞれ図示しない偏光板を配置することにより液晶表示パネルが完成する。
上記したように構成された液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法によれば、ダミーパターン41は第1ダミー着色層42および第2ダミー着色層43が積層されて形成されている。青色レジスト塗布時、青色レジストはガラス基板10の周辺に向かって膜厚が薄く成膜される傾向にあるため、着色層4Bと第1ダミー着色層42とで膜厚が互いに異なって形成される傾向にある。また、第1ダミー着色層42全域で膜厚にバラツキが生じる場合もある。
このため、青色レジストで第1ダミー着色層42を形成した後、緑色レジストを塗布して第1ダミー着色層上に第2ダミー着色層43を形成している。表示領域R外側において、柱状スペーサ15は第2ダミー着色層43上に形成されている。このため、表示領域R外側においても、ガラス基板10表面から柱状スペーサ15の頂点までの高さを十分に高くすることができる。これにより、表示領域Rを含む液晶表示パネル全域でセルギャップの均一性を向上させることができる。
ダミーパターン41は、青色の着色層で形成された第1ダミー着色層42を有している。このため、ダミーパターン41を透過する光のレベルを低くすることができる。すなわち、ダミーパターン41は、表示領域R外側を透過した光を目立たなくすることができる。第1ダミー着色層42上には緑色の着色層で形成された第2ダミー着色層43が形成されているため、表示領域R外側を透過した光が青色の緑色の混合色となり、一層目立たなくすることができる。
また、表示領域R外側に遮光性をもたせるため、ダミーパターン41の下層に金属膜を形成する場合もあるが、この場合、ダミーパターン41は、金属膜で反射した反射光を目立たなくすることができる。なお、金属膜はTFT13形成時に同一材料を用いて同時に形成すれば良い。
上記したことから、液晶表示パネルの画質の低下を防止することができ、表示品位に優れた液晶表示パネルを得ることができる。
次に、この発明の他の実施の形態に係る液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法について詳細に説明する。なお、この実施の形態において、他の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
液晶表示パネルは、上述した実施の形態と同一の製造方法で形成されている。ただし、カラーフィルタ4形成後に研磨工程を追加し、カラーフィルタの研磨を行った。この研磨は、アレイ基板の凹凸構造や隣接する着色層の周縁部同士が重なって盛り上がった凸構造によりカラーフィルタ4表面に形成される凹凸を低減するために行った。
研磨する際、図示しない研磨ステージにカラーフィルタ4およびダミーパターン41が形成されたガラス基板10を載置する。そして、同じく図示しない研磨パットの研磨面をカラーフィルタ4およびダミーパターン41に対向配置する。その後、研磨ステージおよび研磨パットを互いに逆方向に回転させるとともに、研磨液を供給しながら、カラーフィルタ4およびダミーパターン41を一括して機械的に100秒間研磨する。この実施の形態において、上記研磨による研磨量は0.4μmであった。
これにより、マルチギャップ構造に対応した各着色層の膜厚を維持しながら、カラーフィルタ4表面に形成された凹凸を低減することができた。次いで、ガラス基板10を洗浄し、この基板表面の研磨液等を除去する。言うまでもないが、以降は、液晶表示パネルを上述した実施の形態と同一の製造方法で形成した。
上記したように構成された液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法によれば、アレイ基板1は、第1ダミー着色層42および第2ダミー着色層43を有したダミーパターン41を有している。このため、上述した実施の形態と同様の効果を得ることができる。
また、上記研磨工程を追加したことにより、マルチギャップ構造に対応した各着色層の膜厚を維持しながら、カラーフィルタ4表面に形成された凹凸を低減することができる。これにより、カラーフィルタ4表面の凹凸に起因した視野角およびコントラストの悪化を抑制することができる。
第2ダミー着色層43を形成せずに上記研磨した場合、ガラス基板10周縁部の第1ダミー着色層42が過剰に研磨され、ひいては表示領域Rの着色層4R、4G、4Bも過剰に研磨される恐れがある。しかしながら、この実施の形態に係る液晶表示パネルにおいて、ガラス基板10上には、第2ダミー着色層43が形成されているため、着色層4R、4G、4Bに生じる過剰研磨を防止することができる。
カラーフィルタ4およびダミーパターン41は、赤色の着色層、緑色の着色層および青色の着色層で形成されているが、第2ダミー着色層43は、これら着色層の中で最も硬度の高い緑色の着色層で形成されている。これにより、第2ダミー着色層43に生じる過剰研磨を防止することができる。
上記したことから、液晶表示パネルの画質の低下を防止することができ、表示品位に優れた液晶表示パネルを得ることができる。
次に、液晶表示パネルの比較例について説明する。
比較例において、液晶表示パネルは上述した第2の実施の形態と同一の製造方法で形成されている。ただし、ダミーパターン41において、第2ダミー着色層43は形成せず、着色層4G形成時に、緑色の着色層で第1ダミー着色層42のみ形成した。また、カラーフィルタ4および第1ダミー着色層42形成後、これらカラーフィルタおよびダミーパターンを一括して機械的に100秒間研磨した。
上記研磨において、第1ダミー着色層42は過剰に研磨される。研磨したカラーフィルタ4および第1ダミー着色層42上に樹脂からなる柱状スペーサ15を形成したが、表示領域R周縁付近でセルギャップにムラが生じ、表示不良となった。
また、反射光により第1ダミー着色層42を観察したところ、上記金属膜で反射して第1ダミー着色層を透過した緑色の反射光が目立つ結果となった。上記したことから、液晶表示パネルの画質が低下し、表示品位に優れた液晶表示パネルを得ることができなかった。
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、図7に示すように、第2ダミー着色層43は、一部を切り抜いた切り欠き部43aを有していても良い。この切り欠き部43aは、例えば、第2ダミー着色層43を形成する際に同時に形成される。表示領域Rの外側において、柱状スペーサ15は、切り欠き部43aを介して第1ダミー着色層42上に設けられている。このため、表示領域R外側のセルギャップを補正することができる。これにより、液晶表示パネル全域でセルギャップが調整され、表示領域R外側のセルギャップ変動による表示ムラを低減させることができる。
ダミーパターン41の少なくとも1つのダミー着色層は、青色の着色層で形成されていれば良く、これにより、表示領域R外側を透過した光を一層目立たなくすることができる。第2ダミー着色層43は、緑色の着色層で形成されているが、これに限らず、第1ダミー着色層42の硬度より高い硬度を有していれば良い。このため、第2ダミー着色層43は、カラーフィルタ4を形成する着色層の中で最も硬度の高い着色層で形成されていても良い。
液晶表示パネルの構造は、マルチギャップ構造に限定されるものではない。カラーフィルタ基板は、カラーフィルタ4が形成されたアレイ基板1に限定されるものではなく、カラーフィルタ4が形成された対向基板2であっても良い。カラーフィルタ基板が対向基板2の場合、アレイ基板1が他の基板である。
本発明の実施の形態に係る液晶表示パネルの斜視図。 上記液晶表示パネルの平面図であり、特に、カラーフィルタおよびダミーパターンの関係を示す平面図。 図2に示した線A−A断面図。 上記液晶表示パネルのアレイ基板の配線構造を概略的に示す平面図。 図2に示した線B−B断面図。 図2に示した線C−C断面図。 上記液晶表示パネルの変形例を示す断面図であり、特に、表示領域の外側を示す断面図。
符号の説明
1…アレイ基板、2…対向基板、3…液晶層、4…カラーフィルタ、4R,4G,4B…着色層、10…ガラス基板、13…TFT、14…画素電極、15…柱状スペーサ、20…ガラス基板、31…遮光部、41…ダミーパターン、42…第1ダミー着色層、43…第2ダミー着色層、43a…切り欠き部、R…表示領域。

Claims (8)

  1. 基板と、
    表示領域に重ねて前記基板上に塗布された複数色のレジストで形成され、複数色の着色層を有したカラーフィルタと、
    前記表示領域を囲むよう前記基板上に塗布された青色のレジストで形成された第1ダミー着色層および前記第1ダミー着色層上に塗布された青色以外のレジストで形成され前記第1ダミー着色層上に積層され前記第1ダミー着色層より硬度の高い第2ダミー着色層を有したダミーパターンと、を備えているカラーフィルタ基板。
  2. 前記第2ダミー着色層は、緑色の着色層で形成されている請求項1に記載のカラーフィルタ基板。
  3. 前記カラーフィルタおよびダミーパターン上にそれぞれ設けられた複数のスペーサを備えている請求項1に記載のカラーフィルタ基板。
  4. 前記カラーフィルタおよび第2ダミー着色層上にそれぞれ設けられた複数のスペーサを備えている請求項1に記載のカラーフィルタ基板。
  5. 基板と、表示領域に重ねて前記基板上に塗布された複数色のレジストで形成され、複数色の着色層を有したカラーフィルタと、前記表示領域を囲むよう前記基板上に塗布された青色のレジストで形成された第1ダミー着色層および前記第1ダミー着色層上に塗布された青色以外のレジストで形成され前記第1ダミー着色層上に積層され前記第1ダミー着色層より硬度の高い第2ダミー着色層を有したダミーパターンと、を具備したカラーフィルタ基板と、
    前記カラーフィルタ基板に隙間を保持して対向配置された他の基板と、
    前記カラーフィルタ基板および他の基板間に挟持された液晶層と、を備えている液晶表示パネル。
  6. 前記カラーフィルタ基板は、前記カラーフィルタおよびダミーパターン上に設けられた複数のスペーサを備え、
    前記スペーサは、前記カラーフィルタ基板および他の基板間の隙間を保持している請求項5に記載の液晶表示パネル。
  7. 表示領域に重ねて基板上に複数色のレジストを塗布し複数色の着色層を有したカラーフィルタを形成し、
    前記表示領域を囲むよう前記基板上に青色のレジストを塗布し第1ダミー着色層を形成し、
    前記第1ダミー着色層上に青色以外のレジストを塗布し前記第1ダミー着色層より硬度の高い第2ダミー着色層を積層し、前記第1ダミー着色層および第2ダミー着色層を有したダミーパターンを形成するカラーフィルタ基板の製造方法。
  8. 前記カラーフィルタおよびダミーパターン上に複数のスペーサを設ける請求項7に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
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