JP2005084230A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】表示品位が高く、製造が容易な液晶表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】アレイ基板1および対向基板2のいずれか一方にカラーフィルタが形成されている。このカラーフィルタは着色層23R、24G、25Bを有し、各着色層は間隙26bを置いて並んで配置されている。その間隙26bには間隙材を充填して形成された充填部32を有している。
【選択図】 図1

Description

この発明は、液晶表示装置およびその製造方法に関する。
一般に、液晶表示素子は、アレイ基板および対向基板を所定の隙間を置いて対向配置し、これら2枚の基板間に液晶層を挟持して構成されている。これら2枚の基板の周縁部はシール材によって貼り合わされ、そのシール材の一部には液晶封入口が形成されている。この液晶封入口は、熱硬化型または紫外線硬化型のアクリル系若しくはエポキシ系の接着剤等の封止材で封止されている。
2枚の基板間には、基板間の隙間を一定に保持するため、粒径の均一なスペーサとしてプラスティックビーズが散在されている。このように構成された液晶表示装置によれば、製造時、プラスティックビーズを基板上に散布して製造するためプラスティックビーズが製造ラインを汚染するパーティクルとなり不良の原因となっている。また、表示領域に存在するプラスティックビーズは液晶分子の配向を乱し表示品位低下の原因となる。さらに、散布密度が不均一な場合はギャップ不良を引き起こす。
上記問題に対処する技術として、アレイ基板上に直接複数の柱状スペーサを設けた構成が提案されている。この構成によれば、ギャップ不良および液晶分子の配向に乱れの無い液晶表示素子を提供することができる。また、柱状スペーサと遮光部とを同一基板上に形成する場合、これら柱状スペーサおよび遮光部を同一材料で同時に形成することで製造工程を減らすことが可能である。
液晶表示素子によりカラー表示する場合、アレイ基板および対向基板の一方の基板には、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)からなる着色層を有したカラーフィルタが配置されている。アレイ基板側にカラーフィルタを配置する場合、アレイ基板の表示領域にカラーフィルタが形成され、カラーフィルタの周縁部に遮光部が形成されている。また、着色層上に画素電極および配向膜が順次形成されている。
通常、カラーフィルタは、赤色、緑色、および青色の着色層を交互に並ベて構成されている。これらの着色層を形成する場合、まず、一色目の着色層を形成する。この際、着色層のエッジは盛り上がらず、平坦に形成される。続いて、2色目、3色目の着色層を順次形成するが、その際、隣合う他の色の着色層に一部を重ねて形成する。そのため、2色目、3色目の着色層のエッジ、すなわち、着色層が互いに重なった重複部分は盛り上がって形成される。この場合、この重複部分上方の液晶層はセルギャップが狭まり、コントラストの低下や、液晶分子の配向不良が発生しやすくなる。これは、特に、平坦性を要求するOCBモードなどのECB形で問題となる。そこで、着色層の重複部分を研磨することで着色層の表面を平坦化する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平9−230124
しかしながら、上記のように着色層を研磨により平坦化する場合、アレイ基板あるいは対向基板の製造工程において研磨工程が別途必要となる。例えば、成膜装置により基板上に着色層を形成した後、この基板を成膜装置から研磨装置に移し替え、着色層の重複部分を研磨する。その後、基板を再び成膜装置に移し替え、平坦化した着色層上に導電膜や配向膜等を形成する。このように、着色層が形成された基板を研磨装置と成膜装置との間で移し替えることが必要となり、製造工程が繁雑となる。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示品位が高く、製造が容易な液晶表示装置およびその製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、この発明に係る液晶表示装置は、表示領域を有するアレイ基板と、所定の隙間を保持して前記アレイ基板に対向配置された対向基板と、前記アレイ基板および対向基板に狭持された液晶層と、前記アレイ基板および対向基板のいずれか一方に形成されたカラーフィルタと、を備え、前記カラーフィルタは間隙を置いて並んで配置された複数の各着色層と、前記間隙に間隙材を充填して形成された充填部と、を有することを特徴としている。
また、本発明の他の態様に係る液晶表示装置の製造方法は、表示領域を有するアレイ基板と、所定の隙間を保持して前記アレイ基板に対向配置された対向基板と、前記アレイ基板および対向基板に狭持された液晶層と、前記アレイ基板および対向基板のいずれか一方に形成されたカラーフィルタと、を備えた液晶表示装置の製造方法において、基板上に複数の着色層を間隙をおいて並べて形成し、前記間隙に間隙材を充填し、前記着色層の表面と同一平面に位置した表面を有した充填部を形成することを特徴としている。
上記のように構成された液晶表示装置およびその製造方法によれば、表示品位が高く、製造が容易な液晶表示装置が得られる。
この発明によれば、表示品位が高く、製造が容易な液晶表示装置およびその製造方法を提供できる。
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係る液晶表示装置について詳細に説明する。
図1ないし図3に示すように、液晶表示装置は、アレイ基板1と、このアレイ基板に所定の隙間を保持して対向配置された対向基板2と、を備え、これらアレイ基板と対向基板との間に液晶層3が挟持されている。アレイ基板1および対向基板2は、中央部に位置した矩形状の表示領域4と、表示領域周縁部に沿って位置した枠状の非表示領域5とを有している。
アレイ基板1はガラス等の透明な絶縁基板11を有している。絶縁基板11上方には、第1配線としての信号線19、第2配線としての走査線20および信号線と平行な補助容量線21がそれぞれ複数本配置されている。第1配線および第2配線はマトリクス状に設けられ、信号線19と走査線20との各交差部には、スイッチング素子としてTFT素子12が設けられている。
図2および図3に示すように、TFT素子12は、ソース/ドレイン領域を備えているとともにアモルファスシリコン(a−Si)あるいはポリシリコン(p−Si)等により形成された半導体膜13と、走査線20の一部を延在してなるゲート電極15と、半導体膜のソース/ドレイン領域にそれぞれ接続された第1電極17および第2電極18と、を有している。
詳細に述べると、絶縁基板11上には、半導体膜13が形成され、この半導体膜を含む絶縁基板上にはゲート絶縁膜14が堆積されている。ゲート絶縁膜14上には、例えば、Mo−Wで形成されたゲート電極15および走査線20、並びに補助容量線21が配設されている。ゲート電極15、走査線20、補助容量線21、およびゲート絶縁膜14上に重ねて層間絶縁膜16が堆積されている。
層間絶縁膜16上には、第1、第2電極17、18が形成され、これらの電極は、ゲート絶縁膜14、および層間絶縁膜に形成された所定のコンタクトホールを介し、半導体膜13にそれぞれ接続されている。また、層間絶縁膜16上には、信号線19およびコンタクト配線22aが配設されている。第2電極18は信号線19の一部によって形成され、また、第1電極17は、コンタクト配線22a、および層間絶縁膜16を貫通したコンタクト電極22bを介し補助容量線21に接続されている。
図1ないし図3に示すように、表示領域4において、第1、第2電極17、18上、即ち信号線19、およびコンタクト配線22aを含み層間絶縁膜16上には、赤色の着色層23R、緑色の着色層24G、および青色の着色層25Bが間隙26bを置いて交互に並んで配設され、カラーフィルタを形成している。より詳しくは、着色層23R、24G、25Bはそれぞれほぼ矩形状に形成され、信号線19および補助容量線21によって囲まれた領域に配設されている。また、各着色層23R、24G、25は、その周縁部が信号線19および補助容量線21の側縁に重なって設けられている。
着色層23R、24G、25B間の間隙26bには、間隙材が充填され充填部32が形成されている。充填部32は、着色層23R、24G、25Bと同一の高さに形成され、その表面は各着色層の表面と同一平面上に位置している。これにより、着色層23R、24G、25Bおよび充填部32の表面は、重複部がなく平坦に形成されている。また、充填部32は、信号線19および補助容量線21に重なって配設されている。充填部32上には、その一部に重ねて柱状スペーサ31が複数設けられている。本実施の形態では、柱状スペーサ31は充填部32と同一材料で一体的に形成されている。
着色層23R、24G、25B上には、ITO(インジウム・ティン・オキサイド)等の透明材料により画素電極28がそれぞれ形成されている。各画素電極28は着色層に形成されたスルーホール26aを介して対応するTFT素子12の第1電極17に接続されている。そして、画素電極28および充填部32上には、配向膜29が形成されている。
他方、非表示領域5において、層間絶縁膜16上には、矩形枠状の遮光部33が形成され、表示領域4の着色層周縁部に沿って延びている。ここで、遮光部33は、表示領域4周縁部、ないし後述するベゼル50内側から漏れる光の遮光に寄与している。
対向基板2は、ガラス等の透明な絶縁基板41を備え、この絶縁基板上にはITO等の透明材料で形成された対向電極42、および配向膜43が順次形成されている。
アレイ基板1および対向基板2は、両基板の周縁部に配置された、例えば、熱硬化型のシール材30により互いに接合され、複数の柱状スペーサ31により所定の隙間を保持して対向配置されている。なお、図1および図4に示すように、アレイ基板1および対向基板2は、夫々の配向膜29、43に施したラビング方向を平行にして対向配置されている。そして、アレイ基板1および対向基板2の間に液晶層3が狭持されている。シール材30付近のアレイ基板1および対向基板2には、アレイ基板から対向基板上の対向電極42に電圧を印加するための図示しない電極転移材が設けられている。
対向基板2の外面には、2軸性の光学補償フィルムとしての位相差板45、および偏光板46が順次配置されている。アレイ基板1の外面には偏光板44が配置されている。アレイ基板1の外面側には、バックライト51が配置されている。このバックライト51はアレイ基板1に対向配置された導光板52と、この導光板の一側縁に対向配置された光源53および反射板54とを有している。更に、対向基板2の外面側、並びにアレイ基板1および対向基板の非表示領域5の周縁部には、枠状のベゼル50が配置されている。
次に、上記液晶表示装置の一層詳しい構成を、その製造方法と併せて説明する。
まず、絶縁基板11として、例えば、厚さ0.7mmのガラス基板上に信号線19、走査線20、コンタクト配線22a、およびTFT素子12等を形成する。次に、信号線19およびコンタクト配線22aを含み層間絶縁膜16上全面に、赤色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジスト(以下、赤色レジストと称する)を、例えば、スピンナにて塗布する。続いて、赤色を着色したい部分に光が照射されるフォトマスクを用い、赤色レジストにパターンを露光する。露光する際、赤色レジストには、波長を365nm、露光量を100mJ/cmとして紫外線を照射する。
続いて、図5(a)に示すように露光された赤色レジストを、TMAH(テトラメチルアンモニウムハイドライド)の水溶液で50秒間現像した後、230℃で1時間、焼成することで着色層23Rを形成する。このように、フォトリソグラフィ法を用い、表示領域4に着色層23Rを形成する。その後、着色層23Rと同様、フォトリソグラフィ法を用い、着色層24G、および着色層25Bを順次形成する。着色層24Gおよび着色層25Bを形成する際、例えば着色層24Gを形成する際、青色の顔料を分散させた紫外線硬化型アクリル樹脂レジストをエッチングすることで、既に形成された着色層23Rと間隙26bを置いて形成する。同様に、着色層24Gを着色層23R、25Bと間隙26bを置いて形成する。各着色層を形成する際、所定のスルーホール26aも同時に形成する。
本実施の形態において、着色層23R、24G、25Bは、膜厚を3.0μm、隣接する着色層間の間隙26bをそれぞれ5.0μmとした。また、各着色層を形成する際、層間絶縁膜16上に形成された信号線19および補助容量線21の側縁側に、例えば、3.0μm程度重ねて形成する。
間隙26bを置いて着色層23R、24G、25Bを形成した後、各着色層および層間絶縁膜16上に、遮光性を有する材料として、例えば、黒色顔料を20wt%添加したネガ型の感光性アクリル性透明樹脂(以下、黒色樹脂と称する)を、例えば、スピンナにて6.0μmの膜厚に塗布する。この塗布により、間隙材として黒色樹脂が間隙26bに充填される。即ち、間隙26bおよび着色層23R、24G、25B上に同一材料層として黒色樹脂層が形成される。その後、黒色樹脂層を90℃で10分間乾燥させる。
次に、図5(b)に示すように、フォトマスク60を黒色樹脂層27と対向して配置する。そして、フォトマスク60を介して紫外線を照射し、黒色樹脂層27を露光する。ここで、フォトマスク60は階調パターンを有し、柱状スペーサ31および遮光部33が形成される領域と対向しているとともに光をほぼ100%透過する第1領域61と、スルーホール26aを除き各着色層と対向しているとともに光を遮光する第2領域62と、充填部32が形成される領域と対向しているとともに光を30%透過する第3領域63と、を有している。紫外線の照射条件は、例えば、露光量を500mJ/cm、波長を365nmとする。
続いて、露光された黒色樹脂層27をpH11.5のアルカリ水溶液により現像し、不要な部分を除去する。その後、現像された黒色樹脂層27を200℃で60分焼成する。これにより、図5cに示すように、膜厚5.0μm程度の柱状スペーサ31、充填部32、および膜厚3.0μmの遮光部33を同一材料で同時に形成する。この際、充填部32の表面、および着色層23R、24G、25Bの表面は同一平面上に位置し、全面に渡って平坦となっている。
続いて、スルーホール26a、および着色層23R、24G、25Bを含み層間絶縁膜16上に、ITO(インジウム・ティン・オキサイド)等の導電性を有する透明材料を、例えば、スパッタリング法により1500Åの膜厚に堆積する。堆積されたITOをパターニングし、それぞれ着色層に重なった複数の画素電極28を形成する。次いで、表示領域4を含むアレイ基板1の全面に、膜厚を500Åとして配向膜材料を塗布し、配向膜29を形成する。そして、配向膜29には、所定のラビング方向にラビング処理をする。
他方、対向基板2の製造においては、透明な絶縁基板41として、例えば、厚さ0.7mmのガラス基板を用いる。そして、対向電極42および配向膜43を順次絶縁基板41上に形成し、対向基板2を完成する。
上記のように形成されたアレイ基板1および対向基板2は、複数の柱状スペーサ31により所定の隙間を保持して対向配置し、両基板をその周縁部に配置したシール材30により貼り合せる。そして、シール材30に形成された図示しない液晶注入口により両基板の間に液晶を注入し、その後、液晶注入口を紫外線硬化型樹脂等の封止材で封止する。これにより、アレイ基板1および対向基板2の間に液晶が封入され、液晶層3が形成される。
以上のように構成された液晶表示装置およびその製造方法によれば、着色層23R、24G、25Bはそれぞれ間隙26bを置いて交互に並んで配置され、間隙26bには間隙材を充填することで各着色層の表面と同一平面上に位置した充填部32が形成されている。これにより、着色層23R、24G、25Bのそれぞれは隣接する他の着色層と重なることがなく平坦となり、充填部32を合わせて、凹凸のない平坦なカラーフィルタが得られる。このため、アレイ基板1に形成される配向膜を平坦化し、一部ギャップが異なることにより起こるコントラストの低下や、液晶分子の配向不良等の発生を抑制することができる。
また、充填部32は、柱状スペーサ31および遮光部33と同一の遮光材料で同時に形成されるため、工程を増やさずに充填部32を得ることができる。柱状スペーサ31、充填部32、および遮光部33はそれぞれ膜厚が異なるが、所定の階調パターンを有したフォトマスクを用いることにより、同一材料で同時に形成することができる。そのため、研磨により着色層を平坦化する場合に比較して、製造効率の向上を図ることができる。すなわち、着色層23R、24G、25Bを平坦化する際、成膜装置と研磨装置との間で基板を移し替える必要がなく、成膜装置のみで行うことができる。そのため、研磨装置を用いた研磨工程を省略し、製造効率を向上することができる。
また、信号線19および補助容量線21上に位置した間隙26bに遮光材料からなる充填部32を形成することにより、アレイ基板1に対して斜入射されるバックライトの光を充填部32によって遮光することができる。そのため、液晶表示装置を斜めから見た場合の視覚特性が格段に向上し、視野角が高く表示品位に優れた液晶表示装置が得られる。また、着色層23R、24G、25Bは、信号線19および補助容量線21の一部に重ねて、かつ信号線および補助容量線で囲まれた領域に配置されているため、高い開口率の実現と、液晶表示装置正面からの表示品位の向上とが可能となる。
また、着色層23R、24G、25Bを挟み信号線19および補助容量線21、並びに画素電極が形成された場合、着色層の膜厚は1.0ないし5.0μmに形成されている。各着色層を1.0μm以上に形成することにより、配線部と画素電極との距離を離し、配線容量を適正に保持することができる。他方、各着色層を5.0μm以内に形成することにより、透過率の確保及びフォトリソグラフィプロセスにおける加工性の確保を実現することができる。なお、各着色層を1.0ないし5.0μmに形成した場合、充填部32の表面は各着色層の表面と同一平面上に位置することは言うまでもない。
更に、本実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法によれば、各着色層間の間隙26bに、少なくとも充填部32が形成されているため、間隙を有したことで起こる、現像、洗浄、およびラビング等の製造工程での着色層の剥離を抑制することができる。
本実施の形態によれば、コントラスト比が400と高く、表示品位の良い液晶表示装置が得られた。また、着色層のエッジ部分が隣接する他の着色層に重なった従来の液晶表示装置を作製し、着色層の膜厚を3.0μm、重複部の膜厚を6μmとした場合、コントラスト比は150と低下した。
次に、本発明の他の実施の形態に係る液晶表示装置をその製造方法と併せて説明する。前述した実施の形態では、充填部32を遮光材料で形成したが、本実施の形態では充填部32を透明材料で形成している。つまり、充填部32および柱状スペーサ31を同時に形成する際、透明材料として、例えば、ポジ型の感光性アクリル性透明樹脂を用いて同一材料層を形成し、階調パターンを有したフォトマスクを介して紫外線を照射し、同一材料層を露光する。その後、同一材料層を現像および焼成する。ここでフォトマスクは、例えば、柱状スペーサ31が形成される領域への光を遮光する第1領域と、スルーホール26aを除く各着色層への光を透過する第2領域と、充填部32が形成される領域への光を60%透過する第3領域と、を有している。また、遮光部33は遮光性の遮光材料により、対向基板2の表示領域4周縁部に形成する。
以上のように、柱状スペーサ31、および充填部32を透明材料で形成した場合、充填部および着色層の表面は同一平面上に位置している。充填部32は柱状スペーサ31と同一材料で同時に形成できるため、製造工程を増やさずに形成することができる。上記の構成によれば、コントラスト比が380と高く、表示品位の良い液晶表示装置が得られた。上記液晶表示装置において、他の構成は上述した実施の形態と同一であり、その詳細な説明を省略する。
また、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、図6に示すように、充填部32の膜厚を、着色層23R、24G、25Bと同等以上の膜厚に形成しても良い。この液晶表示装置によれば、着色層23R、25Bは、例えば、膜厚3.0μmに形成され、充填部32は、信号線19としての第2電極18上部に、例えば、膜厚5.0μmに形成されている。着色層23R、25B上には画素電極28が形成され、充填部32の側面に接している。画素電極28、および充填部32上には、配向膜29が形成されている。この場合、信号線19および補助容量線21と、画素電極28との間へ斜入射されるバックライトの光は、充填部32により一層遮光することが可能となる。上記液晶表示装置において、充填部32以外の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略した。
その他、着色層23R、24G、25Bの有するカラーフィルタは、アレイ基板1に限らず、アレイ基板および対向基板2のいずれか一方に形成されれば良い。また、前述した実施の形態では、第1配線を信号線19、第2配線を補助容量線21として説明したが、この第2配線は走査線20でも良い。この場合、着色層23R、24G、25Bは信号線19および走査線20によって囲まれた領域に配置され、その周縁部は、信号線および走査線の一部に重なって設けられている。
また、カラーフィルタは信号線19に平行なストライプ状であってもよい。この場合は信号線19上が充填部となる。
上述した実施の形態では、充填部32を柱状スペーサ31、および遮光部33と同時に形成したが、この充填部は柱状スペーサ31、および遮光部33のいずれか一方と同時に形成すれば良い。そして、遮光部33は遮光性の遮光材料により、アレイ基板1および対向基板2のいずれか一方の表示領域4周縁部に形成すれば良い。また、それぞれ膜厚の異なる柱状スペーサ31、充填部32、および遮光部33を同一材料で同時に形成する際、同一材料層を階調マスクを用いて露光する構成としたが、階調マスクを用いる代わりに、柱状スペーサが形成される領域と、充填部が形成される領域と、遮光部が形成される領域と、着色層が形成される領域と、にそれぞれ露光強度の異なる光を照射する照射装置を用いても良い。
また、柱状スペーサ31は充填部34上に限らず、他の領域に形成することも可能である。この場合、遮光部33と柱状スペーサ31が形成される領域の露光量は等しくてもよい。
本発明の実施の形態に係る液晶表示装置の断面図。 図1に示した液晶表示装置の平面図。 図2に示したアレイ基板のA1−A2断面図。 図1に示した液晶表示装置の構成を示す模式図。 図1に示した液晶表示装置においてスルーホールを除き充填部、およびスペーサを形成する工程を詳細に示す断面図。 図1、2に示した液晶表示装置の充填部が着色層と同等以上の膜厚に構成されたアレイ基板の一部を示す拡大図。
符号の説明
1…アレイ基板,2…対向基板,3…液晶層,11、41…絶縁基板,12…TFT素子,19…信号線,20…走査線,23R、24G、25B…着色層,26b…間隙,28…画素電極,31…柱状スペーサ,32…充填部,33…遮光部

Claims (12)

  1. 表示領域を有するアレイ基板と、所定の隙間を保持して前記アレイ基板に対向配置された対向基板と、前記アレイ基板および対向基板に狭持された液晶層と、前記アレイ基板および対向基板のいずれか一方に形成されたカラーフィルタと、を備え、
    前記カラーフィルタは間隙を置いて並んで配置された複数の各着色層と、前記間隙に間隙材を充填して形成された充填部と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
  2. 前記アレイ基板および対向基板の間に配設された複数の柱状スペーサを備え、前記複数の柱状スペーサは前記充填部に重ねて設けられ、前記充填部と同一材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 前記アレイ基板は表示領域周縁部に配置された遮光部を有し、前記遮光部は前記充填部と同一材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  4. 前記充填部は、遮光材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  5. 前記充填部は、透明材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  6. 前記アレイ基板はマトリクス状に配置された複数の第1配線および複数の第2配線と、それぞれ前記着色層上に形成された複数の画素電極と、を有し、前記着色層は、前記第1配線および第2配線で囲まれた領域に配置され、前記着色層の周縁部は前記第1配線および第2配線の一部に重なって設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  7. 前記着色層は1.0ないし5.0μmの膜厚に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  8. 表示領域を有するアレイ基板と、所定の隙間を保持して前記アレイ基板に対向配置された対向基板と、前記アレイ基板および対向基板に狭持された液晶層と、前記アレイ基板および対向基板のいずれか一方に形成されたカラーフィルタと、を備えた液晶表示装置の製造方法において、
    基板上に複数の着色層を間隙をおいて並べて形成し、
    前記間隙に間隙材を充填し、前記着色層の表面と同一平面に位置した表面を有した充填部を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  9. 前記充填部と同時に、複数の柱状スペーサを形成することを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。
  10. 前記表示領域の周縁部に、前記充填部と同時に遮光部を形成することを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。
  11. 前記表示領域に複数の第1配線および複数の第2配線をマトリクス状に形成し、前記第1配線および第2配線の一部に重ねて、前記第1配線および第2配線で囲まれた領域に前記着色層を形成し、前記着色層に重ねて画素電極を形成することを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。
  12. 前記柱状スペーサ、および充填部を同時に形成する工程は、同一材料を前記着色層上に塗布するとともに前記間隙に充填することにより同一材料層を形成し、
    前記柱状スペーサが形成される領域と対向した第1領域と、前記着色層が形成される領域と対向した第2領域と、前記充填部が形成される領域と対向した第3領域と、を有しているとともに前記第1ないし第3領域の透過率がそれぞれ異なるフォトマスクを前記同一材料層と対向して配置し、前記フォトマスクを介して前記同一材料層を露光した後、前記同一材料層を現像することを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法。
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