JP4674632B2 - 拡散板駆動装置及び投射型画像表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、拡散板を駆動させる拡散板駆動装置、及びこの拡散板駆動装置を用いてスクリーン等の表示部に画像を投射して表示を行う投射型画像表示装置に関するものである。

大画面表示が可能な画像表示装置として、投射型画像表示装置、すなわちプロジェクタ装置が知られている。

この投射型画像表示装置は、光源からの光をスクリーン上に投射して画像を表示している。そして、投射型画像表示装置は、スクリーン上に映し出された画像を観察者が見ることができるように構成されている。

投射型画像表示装置用の光源としては、従来では、例えば高輝度の投射管が用いられている。これを例えば画像が表示された液晶パネルを通して投射することにより、スクリーンに画像を投射していたが、明るさや色再現性等が充分に満たされなかった。そこで、映像信号による変調の容易さ、色再現性の良さ、明るさの確保等を目的として、光源に赤、緑、青の各色のレーザ光を用いた投射型画像表示装置が提案されている。

ところが、このようにレーザ光を光源とした投射型画像表示装置においては、スペックルノイズという粒子状のノイズが画面上に発生し、画質を著しく劣化させることが問題となる。これは、レーザ光の高い可干渉性により、レーザスペックル現象が生じるためである。例えばスクリーン等の粗い表面等にレーザ光が照射されたときに、粒子状・斑点状の干渉パターンが発生する。

レーザ光を光源として用いた画像表示装置において、このスペックルノイズを低減する方法としては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがある。この特許文献１は、レーザ光の光路中に回転可能に支持された拡散板（以下、「ディフューザ」という。）を設けている。このディフューザには、レーザ光から映像光（２次元中間像）が入射される。そして、特許文献１は、ディフューザを回転駆動させることによって、時間的に異なるスペックルパターンを発生させている。これにより、目の平均効果によりスペックルノイズを目立たなくさせている。

特開平６−２０８０８９号公報

従来、ディフューザにゴミが付着したりパターン欠陥が発生する場合があった。ディフューザにゴミが付着したりパターン欠陥が発生すると、ゴミやパターン欠陥がスクリーンに表示され、画質の低下を招いていた。そのため、ゴミやパターン欠陥をユーザに認識させないように、ディフューザを所定の時間（例えば、１秒間）のうちに同一軌跡を通らない軌道で駆動させる必要がある。

しかしながら、特許文献１に記載されたスペックルノイズを低減する方法では、ディフューザを一方向に回転駆動させている。すなわち、特許文献１に記載されたディフューザの任意の点は、非常に短い周期で同一軌跡を通っていた。そのため、ディフューザに付着したゴミやパターン欠陥が、ディフューザに投射された２次元中間像内にて同一軌跡を描くことになる。その結果、投射したスクリーン上で円弧状のスジとなってユーザに認識され、画質低下を招く、という問題があった。

また、ディフューザを回転駆動させる投射型表示装置は、映像光のサイズ（２次元中間像）に比べて大きなディフューザが必要であった。そのため、装置全体の大型化を招くだけでなく、コストアップを招くという問題もあった。更に、ディフューザを回転駆動させると、ディフューザには、光の光軸方向に対して面ブレが生じていた。そして、ディフューザが面ブレすることにより、更なる画質の低下を招いていた。そのため、この回転駆動するディフューザの面ブレを低減するためには、偏心調整が必要であり、組み立て調整に手間がかかっていた。

本発明の目的は、上述の問題点を考慮し、拡散板に付着したゴミやパターン欠陥による画質低下の影響を抑制することができる拡散板駆動装置及び投射型画像表示装置を提供することにある。

上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の拡散板駆動装置は、光源としてレーザを採用した投射型表示装置に用いられる拡散板駆動装置であって、拡散板が取り付けられた移動枠と、移動枠を移動可能に支持する支持枠とを備えた。また、移動枠を拡散板に入射される映像光の光軸と直交する第１の方向及び第１の方向と直交する方向であって光軸とも直交する第２の方向に振動可能とした駆動部を備えた。更に、移動枠における第１の方向への振動と第２の方向への振動との位相差を変化させ、且つ移動枠を拡散板に付着したゴミやパターン欠陥がユーザに対して認識されない速度以上の移動速度で駆動させるように駆動部を制御する制御部と、移動枠が駆動時において光軸の方向である第３の方向に対して面ブレすることを抑制し、又は防止するために、移動枠を支持枠側に付勢する付勢部材と、を備えた。
また、制御部は、移動枠を付勢部材の共振周波数よりも低い周波数で駆動させるように駆動部を制御する。

また、本発明の投射型画像表示装置は、映像光を形成して投射し、且つ光源としてレーザを用いた光学系ブロックと、この映像光を表示部へ拡大投射する投射レンズと、を有している。更に、光学系ブロックと投射レンズとの間に配置され、光学系ブロックから映像光が入射される拡散板を備えた拡散板駆動装置を有して構成されている。
拡散板駆動装置は、上述したとおりのものであり、拡散板が取り付けられた移動枠と、移動枠を移動可能に支持する支持枠とを備えた。また、移動枠を拡散板に入射される映像光の光軸と直交する第１の方向及び第１の方向と直交する方向であって光軸とも直交する第２の方向に振動可能とした駆動部を備えた。更に、移動枠における第１の方向への振動と第２の方向への振動との位相差を変化させ、且つ移動枠を拡散板に付着したゴミやパターン欠陥がユーザに対して認識されない速度以上の移動速度で駆動させるように駆動部を制御する制御部と、移動枠が駆動時において光軸の方向である第３の方向に対して面ブレすることを抑制し、又は防止するために、移動枠を支持枠側に付勢する付勢部材と、を備えた。
また、制御部は、移動枠を付勢部材の共振周波数よりも低い周波数で駆動させるように駆動部を制御する。

本発明の拡散板駆動装置及び投射型画像表示装置によれば、移動枠における第１の方向への振動と第２の方向への振動との位相の差を変化させている。これにより、拡散板のある一点が同一軌跡を通る時間の間隔を長くすることができる。すなわち、拡散板を、所定の時間のうちに同一軌跡を通らない軌道で駆動することができる。その結果、拡散板に付着したゴミやパターン欠陥をユーザが認識し難くなるため、画質低下の影響を抑制することが可能である。

以下、本発明の実施の形態例について、図１〜図１２を参照して説明する。なお、各図において共通の部材には、同一の符号を付している。また、本発明は、以下の形態に限定されるものではない。

１．第１の実施の形態例
［投射型画像表示装置の構成］
まず、本発明が適用される投射型画像表示装置の実施の形態例を図１に従って説明する。図１は本発明の投射型画像表示装置の実施の形態例を示す概略構成図である。

図１に示す、投射型画像表示装置は、１次元型光変調素子１と、オフナーリレー２と、ガルバノミラー３と、像面湾曲補正光学系４と、拡散板駆動装置５と、投射レンズ６とを有して構成されている。１次元型光変調素子１は、紙面に垂直な方向に多数の画素が並んで形成されている。

この１次元型光変調素子１には、例えばいわゆるＧＬＶ（Grating Light Valve）素子に代表される位相反射型回折格子等を用いることができる。なお、ＧＬＶ素子等を用いた場合には、素子自身が発光しないので、図示しない光源と光源からの光を素子に投射する光学系とが必要になる。このとき、光源としては、コヒーレントな光源を用いることが望ましい。そして、この１次元型光変調素子１から光が出射する方向には、オフナーリレー２が配置されている。

オフナーリレー２は、反射ミラーの組み合わせによるリレー光学系である。オフナーリレー２は、一次元画像の等倍像を形成するものである。このオフナーリレー２は、正鏡と副鏡により構成されている。

正鏡は、１次元型光変調素子１側に凹面が向いた凹面鏡であり、１次元型光変調素子１からの光について、１回目と３回目の反射を担当している。副鏡は、正鏡側に凹面が向いた凹面鏡であり、２回目の反射を担当している。

１次元型光変調素子１からオフナーリレー２に入射した光は、まず正鏡で反射されてから副鏡に到達し、ここで２回目の反射を受けて再び正鏡へと向かう。そして、正鏡で３回目の反射を受けた光がガルバノミラー３へと向かうことになる。

ガルバノミラー３は、平板状のミラーから成り、オフナーリレー２の結像位置の手前に配置されている。このガルバノミラー３は、画像信号と同期して一次元像を走査する光走査部として構成されている。ガルバノミラー３は、１次元型光変調素子１の配列方向に対して垂直な面において、図示しない駆動手段（アクチュエータ等）により、平板状のミラーを回動させることにより、走査を行うことができる。

このとき、ガルバノミラー３の走査角に応じた画像信号に基づいて、１次元型光変調素子１で光変調を行うことにより、１次元像から、この１次元像を含む面に直交する方向に走査して形成される２次元像が得られる。この２次元像は、ガルバノミラー３の回動軸を中心とした円筒面上に形成される。

このように円筒面上に形成された２次元像をそのまま投射しても、平面のスクリーンに画像を正しく表示することができない。そこで、ガルバノミラー３により形成される２次元像の位置に、像面湾曲補正光学系４が設置されている。この像面湾曲補正光学系４を通過させることにより、平面状の２次元中間像を形成することができる。この像面湾曲補正光学系４としては、例えば円筒レンズを用いて構成することができる。

１次元型光変調素子１と、オフナーリレー２と、ガルバノミラー３と、像面湾曲補正光学系４が、光学系ブロック９を構成している。この光学系ブロック９は、上述したように映像光である２次元中間像を形成している。そして、光学系ブロック９は、拡散板駆動装置５及び投射レンズ６に形成した２次元中間像を投射している。

また、投射レンズ６は、形成された平面状の２次元中間像をスクリーン上に拡大投影するものである。そして、像面湾曲補正光学系４と投射レンズ６との間における平面上の２次元中間像が形成されている位置に、拡散板駆動装置５が配置されている。

［拡散板駆動装置の構成］
次に、図２〜図６を参照して本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例（以下、「本例」という。）について説明する。図２は、本例の拡散板駆動装置を示す斜視図、図３及び図４は、本例の拡散板駆動装置を示す分解斜視図である。図５は、本例の拡散板駆動装置を断面した状態を示す説明図、図６は、本例の拡散板駆動装置を模式的に示す平面図である。

図２〜図４に示すように、拡散板駆動装置５は、固定台１１と、支持枠１２と、第１の移動枠１３と、第２の移動枠１４と、拡散板（以下、「ディフューザ」という。）１６と、２つの駆動部１７，１８と、制御部７と等を備えて構成されている。

第１の移動枠１３は、支持枠１２に光学系の光軸Ｌである第３の方向Ｚと直交する第１の方向Ｘへ移動自在に支持されている。第２の移動枠１４は、第１の移動枠１３に第３の方向Ｚと直交する方向であって第１の方向Ｘとも直交する第２の方向Ｙへ移動自在に支持されている。すなわち、図２及び図５に示すように、支持枠１２と、第１の移動枠１３と、第２の移動枠１４の３つの部材は、第３の方向Ｚに対してやぐら状に組み立てられている。

固定台１１は、略長方形状の平面部を有する略平板状として形成されている。この固定台１１は、複数の固定ねじ１９等の固定方法により投射型表示装置１０の本体に固定される。そして、固定台１１の平面部には、位置調整台２１が重ね合わされている。

位置調整台２１は、略平板状に形成されている。位置調整台２１には、複数の固定穴が設けられている。なお、図に現れないが、複数の固定穴は、楕円形をなす長穴として形成されている。そして、位置調整台２１は、固定ねじ１９による固定方法により固定台１１に固定されている。更に、位置調整台２１には、略Ｌ字型をなす固定部２２が設けられている。固定部２２は、固定ねじ１９等の固定方法により位置調整台２１に固定されている。そして、この固定部２２には、支持枠１２が固定ねじ等の固定方法によって固定されている。

また、位置調整第２１は、長穴をなす複数の固定穴によって、支持枠１２の第３の方向Ｚにおける初期位置を調整することができる。更に、この位置調整第２１は、Ｌ字型をなす固定部２２によって、支持枠１２における第１の方向Ｘを回転軸とした回転角度Ｘ−ｒｏと第２の方向Ｙを回転軸とした回転角度Ｙ−ｒｏの初期位置を調整することができる。その結果、この位置調整台２１を固定台１１と支持枠１２の間に設けることで、ディフューザ１６のパターン面と、像面湾曲補正光学系４から投射される２次元中間像の位置合わせ及び角度合わせを行うことが可能である。

支持枠１２は、略長方形状の板体から形成されている。支持枠１２には、その略中央に略長方形状の開口部２３が設けられている。この開口部２３の開口面積は、２次元中間像のサイズと略等しいか、あるいはやや大きく設定されている。そして、支持枠１２は、その長手方向が第１の方向Ｘと平行をなすように、位置調整台２１の固定部２２に取り付けられている。そのため、図３及び図４に示すように、支持枠１２の開口部２３の開口側は、第３の方向Ｚに向けられている。

また、支持枠１２は、２つのレール部材２４Ａ，２４Ｂと、４つの磁石２６，２６，２６，２６を有している。２つのレール部材２４Ａ，２４Ｂは、第１の移動枠１３を第１の方向Ｘと平行に移動（振動）可能に支持するものである。２つのレール部材２４Ａ，２４Ｂは、それぞれ断面形状がコの字状に形成されている。そして、２つのレール部材２４Ａ，２４Ｂのコの字状をなす凹部内には、第１の移動枠１３に取り付けられる後述する摺動部材３２Ａ，３２Ｂがそれぞれ摺動可能に係合されている。

図３及び図６に示すように、第１のレール部材２４Ａは、支持枠１２の平面部における短手方向の一側で、且つ長手方向の一側に配置されている。そして、第１のレール部材２４Ａは、その長手方向を支持枠１２の長手方向、すなわち、第１の方向Ｘと略平行に設けられている。

また、第２のレール部材２４Ｂは、支持枠１２の平面部における短手方向の他側で、且つ長手方向の他側に配置されている。すなわち、第２のレール部材２４Ｂは、支持枠１２において第１のレール部材２４Ａの対角線上に配置されている。そして、第２のレール部材２４Ｂは、その長手方向を支持枠１２の長手方向、すなわち、第１の方向Ｘと略平行に設けられている。このように、第１のレール部材２４Ａ及び第２のレール部材２４Ｂは、開口部２３における長手方向及び短手方向の外側に配置されている。

図３に示すように、４つの磁石２６，２６，２６，２６は、開口部２３を間に挟んで開口部２３の長手方向の両側に２つずつ配置されている。この磁石２６は、支持枠１２と第１の移動枠１３の間に介在される。そして、磁石２６は、その吸着力によって駆動時における第１の移動枠１３の第３の方向Ｚへの振動を軽減させるものである。これにより、駆動時における光軸Ｌと平行をなす第３の方向Ｚへの面ブレを抑制することができ、投射画像にて良好なフォーカスを得ることができる。

第１の移動枠１３は、略長方形をなす平板状の部材から形成されている。第１の移動枠１３は、短手方向の両端が略垂直に折り曲げられている。この、第１の移動枠１３における上部両端には、第１の上部係止穴１５ａと第２の上部係止穴１５ｂが設けられている。更に、第１の移動枠１３における下部両端には、下部係止穴１５ｃが設けられている。

また、第１の移動枠１３には、その略中央に略長方形状の第１の開口窓２７が設けられている。第１の開口窓２７の開口面積は、支持枠１２に設けた開口部２３の開口面積と略等しく、あるいはやや大きく設定されている。図５に示すように、第１の開口窓２７は、第１の移動枠１３と支持枠１２を重ね合わせた際に、支持枠１２の開口部２３と対向する。更に、第１の移動枠１３は、その長手方向の一端側に第１の取付片２８を有している。この第１の取付片２８は、舌片状をなして第１の移動枠１３の短辺の略中央から突出している。

また、第１の移動枠１３には、２つのレール部材３１Ａ，３１Ｂと、２つの摺動部材３２Ａ，３２Ｂが設けられている。２つのレール部材３１Ａ，３１Ｂは、支持枠１２に設けた２つのレール部材２４Ａ，２４Ｂと同様に、それぞれ断面形状がコの字状に形成されている。そして、２つのレール部材３１Ａ，３１Ｂのコの字状をなす凹部内には、第２の移動枠１４に取り付けられる後述する摺動部材３７Ａ，３７Ｂがそれぞれ摺動可能に係合されている。

図３及び図６に示すように、第３のレール部材３１Ａ及び第４のレール部材３１Ｂは、第１の開口窓２７を間に挟むように、第１の開口窓２７の長手方向の両側に配置されている。第３のレール部材３１Ａは、第１の開口窓２７の長手方向の一側に設けられている。また、第４のレール部材３１Ｂは、第１の開口窓２７の長手方向の他側に設けられている。そして、第３のレール部材３１Ａ及び第４のレール部材３１Ｂは、その長手方向を第１の移動枠１３の短手方向、すなわち、第２の方向Ｙと略平行に設けられている。

２つの摺動部材３２Ａ，３２Ｂは、それぞれ略直方体に形成されている。この２つの摺動部材３２Ａ，３２Ｂは、２つのレール部材３１Ａ，３１Ｂを取り付けた面は反対側である第１の移動枠１３の背面部側に取り付けられる。第１の摺動部材３２Ａは、第１の移動枠１３の背面部における短手方向の一側で、且つ長手方向の一側に配置されている。この第１の摺動部材３２Ａは、その長手方向を第１の移動枠１３の長手方向、すなわち、第１の方向Ｘと略平行に設けられている。そして、第１の摺動部材３２Ａは、固定ねじ等の固定方法によって第１の移動枠１３に固定される。

また、第２の摺動部材３２Ｂは、第１の移動枠１３の背面部における短手方向の他側で、且つ長手方向の他側に配置されている。すなわち、第２の摺動部材３２Ｂは、第１の移動枠１３において第１の摺動部材３２Ａの対角線上に配置されている。そして、第２の摺動部材３２Ｂは、その長手方向を第１の移動枠１３の長手方向、すなわち、第１の方向Ｘと略平行に設けられている。そして、第２の摺動部材３２Ｂは、固定ねじ等の固定方法によって第１の移動枠１３に固定される。なお、第１及び第２の摺動部材３２Ａ，３２Ｂの固定方法は、固定ねじに限定されるものではなく、例えば溶接によって第１及び第２の摺動部材３２Ａ，３２Ｂを固定してもよいことは、言うまでもない。

更に、第１の摺動部材３２Ａは、支持枠１２と第１の移動枠１３を重ね合わせた際に、支持枠１２に設けた第１のレール部材２４Ａと摺動可能に係合する。そして、この第１のレール部材２４Ａと第１の摺動部材３２Ａで本発明のガイド部材の一具体例を構成している。同様に、第２の摺動部材３２Ｂは、支持枠１２に設けた第２のレール部材２４Ｂと摺動可能に係合する。そして、この第２のレール部材２４Ｂと第２の摺動部材３２Ｂで本発明のガイド部材の一具体例を構成している。これにより、第１の移動枠１３は、第１のレール部材２４Ａ及び第２のレール部材２４Ｂにガイドされて、第１の方向Ｘと略平行に移動可能とされている。

第２の移動枠１４は、略長方形をなす平板状の部材から形成されている。第２の移動枠１４は、長手方向の両端が略垂直に折り曲げられている。そして、第２の移動枠１４における上部両端には、上部係止穴２５ａが設けられている。更に、第２の移動枠１４における下部両端には、下部係止穴２５ｂが設けられている。

また、第１の移動枠１３と同様に、第２の移動枠１４には、その略中央に略長方形状の第２の開口窓３４が設けられている。第２の開口窓３４の開口面積は、第１の開口窓２７の開口面積と略等しく設定されている。図５に示すように、第２の開口窓３４は、支持枠１２、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４を重ね合わせた際に、開口部２３、第１の開口窓２７と対向する。更に、第２の移動枠１４は、その短手方向の一端側に第２の取付片３６を有している。この第２の取付片３６は、舌片状をなして第２の移動枠１４の長辺の略中央から突出している。

また、第２の移動枠１４には、２つの摺動部材３７Ａ，３７Ｂと、複数の留め具３８が設けられている。２つの摺動部材３７Ａ，３７Ｂは、それぞれ略直方体に形成されている。この２つの摺動部材３７Ａ，３７Ｂは、第２の移動枠１４を第１の移動枠１３と重ね合わせた際に第１の移動枠１３と向かい合う第２の移動枠１４の背面部側に取り付けられる。

第３の摺動部材３７Ａ及び第４の摺動部材３７Ｂは、第２の開口窓３４を間に挟むように、第２の開口窓３４の長手方向の両側に配置されている。第３の摺動部材３７Ａは、第２の開口窓３４の長手方向の一側に設けられている。また、第４の摺動部材３７Ｂは、第２の開口窓３４の長手方向の他側に設けられている。そして、第３の摺動部材３７Ａ及び第４の摺動部材３７Ｂは、その長手方向を第２の移動枠１４の短手方向、すなわち、第２の方向Ｙと略平行に設けられている。

そして、第３の摺動部材３７Ａ及び第４の摺動部材３７Ｂは、固定ねじ等の固定方法によって第１の移動枠１３に固定される。なお、第３及び第４の摺動部材３２Ａ，３２Ｂの固定方法は、固定ねじに限定されるものではなく、例えば溶接や接着によって第１及び第２の摺動部材３２Ａ，３２Ｂを固定してもよいことは、言うまでもない。

また、第３の摺動部材３７Ａは、第１の移動枠１３と第２の移動枠１４を重ね合わせた際に、第１の移動枠１３に設けた第３のレール部材３１Ａと摺動可能に係合する。そして、この第３のレール部材３１Ａと第３の摺動部材３７Ａで本発明のガイド部材の一具体例を構成している。同様に、第４の摺動部材３７Ｂは、第１の移動枠１３に設けた第４のレール部材３１Ｂと摺動可能に係合する。そして、この第４のレール部材３１Ｂと第４の摺動部材３７Ｂで本発明のガイド部材の一具体例を構成している。これにより、第２の移動枠１４は、第３のレール部材３１Ａ及び第４のレール部材３１Ｂにガイドされて、第２の方向Ｙと略平行に移動可能とされている。

なお、本例では、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４をガイドするガイド部材の一具体例としてレール部材と摺動部材を用いた例を説明した。しかしながら、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４をガイドするガイド部材は、上述したレール部材と摺動部材に限定されるものではない。例えば、ガイド部材を、棒状の部材からなる摺動軸と、この摺動軸を摺動可能にガイドする軸受とから構成してもよい。

複数の留め具３８は、第２の開口窓３４を囲むように配置されている。そして、この複数の留め具３８によって、第２の開口窓３４の開口を閉じるように、ディフューザ１６が例えば固定ねじ等の固定方法によって固定されている。すなわち、ディフューザ１６は、第３の方向Ｚに対して略垂直に配置されている。なお、ディフューザ１６の固定方法は、固定ねじに限定されるものではなく、例えば接着剤を用いて接着させてもよい。

ディフューザ１６は、略長方形をなす平板状の部材である。図６に示すように、ディフューザ１６の表面積は、２次元中間像Ｍの面積よりもやや大きく設定されている。このディフューザ１６は、表面に複数の凹凸を有している。このように、ディフューザ１６の表面に凹凸パターンを形成したことにより、ディフューザ１６を通過した光は、凹凸パターンの形状に対応した空間位相変調を受ける。そして、スクリーンに投影された投影像のスペックルノイズパターンは、光の位相によって変化する。従って、ディフューザ１６を駆動する（動かす）ことにより、時々刻々異なる位相変調を与えることができる。これにより、スクリーン上のスペックルパターンは変化するため、人間の目の平均効果によりノイズが低減することができる。

このようなディフューザ１６は、透明材例えばガラス基板を用いて、フォトリソグラフィ等の手法により、繰り返しの凹凸パターンを形成することにより製造することができる。

更に、図５及び図６に示すように、像面湾曲補正光学系４からの２次元中間像が光軸Ｌに沿って開口部２３、第１の開口窓２７及び第２の開口窓３４を通過する。そして、この２次元中間像がディフューザ１６に投射されて、ディフューザ１６のパターン面に、２次元中間像Ｍが形成される。

ここで、図６に示すように、第１のレール部材２４Ａと第１の摺動部材３２Ａは、開口部２３及び第１の開口窓２７の上方を避けるように配置されている。また、第３及び第４のレール部材３１Ａ，３１Ｂと第３及び第４の摺動部材３７Ａ，３７Ｂは、第１の開口窓２７及び第２の開口窓３４の左右両端に配置されている。すなわち、第１の移動枠１３と第２の移動枠１４をガイドする摺動機構は、光路の上方（重力方向上部）を避けて配置されている。これにより、レール部材と摺動部材が摺動して摩耗粉が発生した場合、その摩耗粉が光路上に落ちることを防止し、又は抑制することができる。その結果、ディフューザ１６のパターン面に摩耗粉が付着することを防止することができると共にディフューザ１６のパターン面に綺麗な２次元中間像Ｍを形成することが可能である。

次に、２つの駆動部１７，１８について説明する。２つの駆動部１７，１８は、同一の構成を有するものである。そして、この２つの駆動部１７，１８の駆動方式は、ボイスコイルモータ（以下、「ＶＣＭ」という。）方式である。

第１の駆動部１７は、第１のコイル４１と、２つのマグネット４２ａ，４２ｂと、第１のヨーク４３とから構成されている。この第１の駆動部１７は、その駆動によって第１の移動枠１３を第１の方向Ｘへ移動（振動）させるものである。

図３及び図４に示すように、第１のコイル４１は、平面的に巻回されていると共に略楕円形をなしており、中央に略長方形状の空間部を有する扁平コイルとして構成されている。図２に示すように、第１のコイル４１は、フレキシブル配線板４９を間に介して第１の移動枠１３の第１の取付片２８に配設されている。この第１のコイル４１は、ハンダ付け等の固着手段により実装されてフレキシブル配線板４９と一体的に構成されている。これにより、第１のコイル４１は、フレキシブル配線板４９に設けた配線パターンと電気的に接続されている。

ここで、第１のコイル４１において、幅方向に対向する長辺側の２つの直線部分が、駆動部として推力を発生する推力発生部となっている。第１の駆動部１７の第１のコイル４１は、推力発生部が延長する方向を第１の方向Ｘと直交する方向に向けて配置されている。

第１のヨーク４３は、扁平状をなす筒体として形成されている。この第１のヨーク４３は、第１ヨーク部材４４と、第２ヨーク部材４６とから構成されている。第１ヨーク部材４４は、略コの字状に形成されている。第１ヨーク部材４４は、互いに対向するように配置された２つの対向片４４ａ，４４ａと、両対向片４４ａ，４４ａをつなぐ連結片４４ｃを有している。この第１ヨーク部材４４における両対向片４４ａ，４４ａには、係合爪４５，４５がそれぞれ設けられている。更に、第１ヨーク部材４４における連結片４４ｃには、第１マグネット４２ａが接着等の固定方法によって一体的に固定されている。

これに対し、第２ヨーク部材４６は、平板状をなしている。第２ヨーク部材４６の長手方向の両端には、第１ヨーク部材４４の２つの係合爪４５が係合される係合受部４８が設けられている。この第２ヨーク部材４６には、第２マグネット４２ｂが接着等の固定方法によって一体的に固定されている。また、第２ヨーク部材４６における第２マグネット４２ｂを配置した面と反対側には、支持枠１２に固定するための固定部材４７が取り付けられている。そして、固定部材４７は、固定ねじ等の固定方法によって支持枠１２の長手方向の一側に固定される。

また、第１ヨーク部材４４の係合爪４５を第２ヨーク部材４６の係合受部４８に係合させると、第１マグネット４２ａと第２マグネット４２ｂが対向する。このとき、第１マグネット４２ａと第２マグネット４２ｂは、互いに異なる磁性が対向している。そして、図２及び図５に示すように、この第１マグネット４２ａと第２マグネット４２ｂの間の空間に、第１の移動枠１３に取り付けられた第１のコイル４１が配置されている。

このように、第１マグネット４２ａ及び第２マグネット４２ｂによる磁力が第１のコイル４１と垂直をなす方向に作用している。その結果、第１のコイル４１に電流を流すと、フレミングの左手の法則により、第１の駆動部１７には第１の方向Ｘに向かう推力が発生する。

第２の駆動部１８は、第２のコイル５１と、２つのマグネット５２ａ，５２ｂと、第２のヨーク５３とから構成されている。この第２の駆動部１８は、第２の移動枠１４を第２の方向Ｙへ移動（振動）させるものである。

図３及び図４に示すように、第２のコイル５１は、第１のコイル４１と同様に、平面的に巻回されていると共に略楕円形をなしており、中央に略長方形状の空間部を有する扁平コイルとして構成されている。図２に示すように、第２のコイル５１は、フレキシブル配線板４９を間に介して第２の移動枠１４の第２の取付片３６に配設されている。この第２のコイル５１は、ハンダ付け等の固着手段により実装されてフレキシブル配線板４９と一体的に構成されている。これにより、第２のコイル５１は、フレキシブル配線板４９に設けた配線パターンと電気的に接続されている。

ここで、第１のコイル４１と同様に、第２のコイル５１において、幅方向に対向する長辺側の２つの直線部分が、アクチュエータとして推力を発生する推力発生部となっている。第２の駆動部１８の第２のコイル５１は、推力発生部が延長する方向を第２の方向Ｙと直交する方向に向けて配置されている。

第２のヨーク５３は、扁平状をなす筒体として形成されている。この第２のヨーク５３は、第１ヨーク部材５４と、第２ヨーク部材５６とから構成されている。第１ヨーク部材５４は、略コの字状に形成されている。第１ヨーク部材５４は、互いに対向するように配置された２つの対向片５４ａ，５４ｂと、両対向片５４ａ，５４ｂをつなぐ連結片５４ｃを有している。この第１ヨーク部材５４における両対向片５４ａ，５４ａには、係合爪５５，５５がそれぞれ設けられている。更に、第１ヨーク部材５４における連結片５４ｃには、第１マグネット５２ａが接着等の固定方法によって一体的に固定されている。

これに対し、第２ヨーク部材５６は、平板状をなしている。第２ヨーク部材５６の長手方向の両端には、第１ヨーク部材５４の２つの係合爪５５が係合される係合受部５８が設けられている。この第２ヨーク部材５６には、第２マグネット５２ｂが接着等の固定方法によって一体的に固定されている。また、第２ヨーク部材５６における第２マグネット５２ｂを配置した面と反対側には、支持枠１２に固定するための固定部材５７が取り付けられている。そして、固定部材５７は、固定ねじ等の固定方法によって支持枠１２の短手方向の一側に固定される。また、固定部材５７には、２つの係止穴５９，５９が設けられている。

更に、第１ヨーク部材５４の係合爪５５を第２ヨーク部材５６の係合受部５８に係合させると、第１マグネット５２ａと第２マグネット５２ｂが対向する。このとき、第１マグネット５２ａと第２マグネット５２ｂは、互いに異なる磁性が対向している。そして、図２及び図５に示すように、この第１マグネット５２ａと第２マグネット５２ｂの間の空間に、第１の移動枠１３に取り付けられた第２のコイル５１が配置されている。

このように、第１マグネット５２ａ及び第２マグネット５２ｂによる磁力が第２のコイル５１と垂直をなす方向に作用している。その結果、第２のコイル５１に電流を流すと、フレミングの左手の法則により、第２の駆動部１８には第２の方向Ｙに向かう推力が発生する。

なお、本例では、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８の駆動方式としてＶＣＭ方式を用いた例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８の駆動方式として、圧電素子や形状記憶合金、偏心カム機構等を適用してもよい。

このような構成を有する第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８は、フレキシブル配線板４９を介して制御部７と電気的に接続されている。

更に、図２に示すように、支持枠１２と第１の移動枠１３は、付勢部材の一具体例を示す２つの引張コイルばね６１，６１によって連結されている。２つの引張コイルばね６１，６１の長手方向の一端は、第１の移動枠１３の上部両端に設けた第１の上部係止穴１５ａに係止されている。そして、２つの引張コイルばね６１の長手方向の他端は、支持枠１２に固定された固定部材５７の係止穴５９に係止されている。

この２つの引張コイルばね６１，６１は、第１の移動枠１３を支持枠１２側に付勢している。そのため、第１及び第２のレール部材２４Ａ，２４Ｂと第１及び第２の摺動部材３２Ａ，３２Ｂは、駆動中常に第３の方向Ｚへの負荷がかかるようになっている。これにより、第１の移動枠１３が駆動時において光軸方向である第３の方向Ｚに対して面ブレすることを抑制し、又は防止することが可能である。

また、第１の移動枠１３と第２の移動枠１４は、４つの引張コイルばね６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄによって連結されている。第１の引張コイルばね６２Ａと第２の引張コイルばね６２Ｂは、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４の長手方向の一端側に配設されている。また、第３の引張コイルばね６２Ｃと第４の引張コイルばね６２Ｄは、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４の長手方向の他端側に配設されている。

第１の引張コイルばね６２Ａは、その長手方向の一端が第１の移動枠１３の上部に設けた第２の上部係止穴１５ｂに係止されている。そして、第１の引張コイルばね６２Ａは、長手方向の他端が第２の移動枠１４の下部係止穴２５ｂに係止されている。第２の引張コイルばね６２Ｂは、その長手方向の一端が第２の移動枠１４の上部係止穴２５ａに係止され、長手方向の他端が第１の移動枠１３の下部係止穴１５ｃに係止されている。すなわち、第１の引張コイルばね６２Ａと第２の引張コイルばね６２Ｂは、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４の長手方向の一端において、互いに交差するように設けられている。

また、同様に、第３の引張コイルばね６２Ｃと第４の引張コイルばね６２Ｄは、第１及び第２の移動枠１３，１４の長手方向の他端において互いに交差するように設けられている。

そして、４つの引張コイルばね６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄは、第２の移動枠１４を第１の移動枠１３側に付勢している。そのため、第３及び第４のレール部材３１Ａ，３１Ｂと第３及び第４の摺動部材３７Ａ，３７Ｂは、駆動中常に第３の方向Ｚへの負荷がかかるようになっている。これにより、第１の移動枠１３と同様に、第２の移動枠１４が駆動時において第３の方向Ｚに対して面ブレすることを抑制し、又は防止することが可能である。その結果、極めて簡単な構成で、駆動中のディフューザ１６に垂直な方向へのふらつきを低減することができ、良好な画像を得ることができる。

このように、本例の拡散板駆動装置５は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄを設けている。これにより、引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの弾性力によって、２つの駆動部１７，１８が駆動していない時に、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４をストロークセンター付近に戻すことができる。更に、引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの弾性力が、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８による振動駆動の補助となる。その結果、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８の消費電力を軽減することができる。

なお、本例では、付勢部材として引張コイルばねを用いた例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、付勢部材にマグネットを用いて、磁力による吸着力で第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４を支持枠１２側に付勢するようにしてもよい。

［拡散板駆動装置の回路構成例］
次に、図７を参照して拡散板駆動装置の回路構成について説明する。図７は、拡散板駆動装置５の制御概念を説明するブロック図である。制御部７は、中央演算部（マイコン）７１と、２つの増幅器（ＡＭＰ）７２Ａ，７２Ｂと、２つのローパスフィルタ（ＬＰＦ）７３Ａ，７３Ｂを備えて構成されている。中央演算部７１は、第１の増幅器７２Ａと、第１のローパスフィルタ７３Ａを介して第１の駆動部１７と電気的に接続されている。また、中央演算部７１は、第２の増幅器７２Ｂと、第２のローパスフィルタ７３Ｂを介して第２の駆動部１８と電気的に接続されている。そして、中央演算部７１は、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８に対して後述する制御信号を出力する。

［制御部の駆動処理例及び拡散板駆動装置の動作］
次に、図７〜図１０を参照して、制御部７による第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８の駆動制御について説明する。
図８は、ある瞬間における第１の駆動部及び第２の駆動部に出力される制御信号を示す図、図９は、第１の駆動部及び第２の駆動部に出力される制御信号の位相差を示す図である。図１０は、ディフューザにおける任意の点の駆動軌跡を示す図である。

ここでディフューザ１６にゴミが付着したりパターン欠陥が発生した場合には、ゴミやパターン欠陥をユーザに認識させないように、ディフューザ１６を所定の時間のうちに同一軌跡を通らない軌道で駆動させる必要がある。そこで、本例の拡散板駆動装置５は、制御部７によって、下記のように第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８を駆動制御し、ディフューザ１６を駆動している。

図７に示す制御部７の中央演算部７１は、例えば下記式１から電圧値又は電流値Ｖｘを算出し、この電圧値又は電流値Ｖｘを第１の駆動部１７に出力している。このとき、Ａｘは、第１の駆動部１７に与える電圧又は電流の最大値、Ｔｘは、第１の駆動部１７の基本振動の周期である。そして、ｔは時間、Ｐは、第１の駆動部１７と第２の駆動部１８の制御に与える位相差を示している。
[式１]
Ｖｘ＝Ａｘ×ｓｉｎ（２π×ｔ／Ｔｘ＋Ｐ）

同様に、中央演算部７１は、例えば下記式２から電圧値又は電流値Ｖｙを算出し、この電圧値又は電流値Ｖｙを第２の駆動部１８に出力している。このとき、Ａｙは、第２の駆動部１８に与える電圧又は電流の最大値、Ｔｙは、第２の駆動部１８の基本振動の周期である。
[式２]
Ｖｙ＝Ａｙ×ｃｏｓ（２π×ｔ／Ｔｙ−Ｐ）

すなわち、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８には、ある瞬間において図８に示す駆動波形が制御部７から出力される。

ここで、第１の駆動部１７を構成する２つのマグネット４２ａ，４２ｂの磁力は、一定であるため、第１の移動枠１３における第１の方向Ｘへの速度は、第１の駆動部１７に与えられた電圧値又は電流値Ｖｘと相関している。そして、第１の移動枠１３は、電圧値又は電流値Ｖｘが＋のときは、第１の方向Ｘの一側に駆動力が発生し、電圧値又は電流値Ｖｘが−のときは、第１の方向Ｘの他側に駆動力が発生する。そのため、第１の移動枠１３は、第１の方向Ｘに沿って周期Ｔｘで振動する。

同様に、第２の駆動部１８を構成する２つのマグネット５２ａ，５２ｂの磁力は、一定であるため、第２の移動枠１４における第２の方向Ｙへの速度は、第２の駆動部１８に与えられた電圧値又は電流値Ｖｙと相関している。そして、第２の移動枠１４は、電圧値又は電流値Ｖｙが＋のときは、第２の方向Ｙの一側に駆動力が発生し、電圧値又は電流値Ｖｙが−のときは、第２の方向Ｙの他側に駆動力が発生する。そのため、第２の移動枠１４は、第２の方向Ｙに沿って周期Ｔｙで振動する。

なお、第１の駆動部１７と第２の駆動部１８の制御に与える位相差Ｐは、例えば下記式３から求められる。ここで、Ｔｐは、動的位相差の繰り返し期間（周期）、Ｐａは、動的位相差の最大値、Ｐｐは、静的位相差を示している。
［式３］
Ｐ＝Ｐａ×ｓｉｎ（２π×ｔ／Ｔｐ）＋Ｐｐ

このように、制御部７は、第１の駆動部１７と第２の駆動部１８の制御に与える位相差Ｐを時間ｔ毎に逐次変化させている。ここで、上述したように、第１の駆動部１７に与えられる電圧値又は電流値Ｖｘは、第１の移動枠１３の速度に比例している。また、第２の駆動部１８に与えられる電圧値又は電流値Ｖｙは、第２の移動枠１４の速度に比例している。その結果、第１の駆動部１７と第２の駆動部１８に与えられる信号の位相差が変化することにより、第１の移動枠１３における第１の方向Ｘへの振動と第２の移動枠１４における第２の方向Ｙへの振動との位相差も変化する。

そして、第１の移動枠１３における第１の方向Ｘへの振動と第２の移動枠１４における第２の方向Ｙへの振動が合成されることで、ディフューザ１６の任意の点は、図１０に示すような駆動軌跡を描く。

この図１０に示すように、第１の方向Ｘへの振動と第２の方向Ｙへの振動との位相差Ｐを変化させることで、ディフューザ１６における任意の一点が描く軌道の長さを長くすることができる。その結果、ディフューザを回転駆動させる場合よりも、ディフューザ１６における任意の一点が同一軌跡を通る時間の間隔（以下、「駆動周期」という。）を長くすることが可能である。

そのため、所定の時間あたりの同一エリアの通過回数（駆動軌跡の重複回数）を、ディフューザ１６を回転駆動させる場合よりも、減らすことが可能である。すなわち、ディフューザ１６は、所定時間のうちに同一軌跡を通らない軌道で駆動するため、ディフューザ１６に付着したゴミやパターン欠陥をユーザに対して認識し難くすることができる。これにより、ゴミの付着やパターン欠陥による画質低下の影響を抑制することが可能である。

ここで、ディフューザ１６の駆動速度が遅くなると、ディフューザ１６のパターン面に付着したゴミやパターン欠陥がユーザに認識されやすくなる。そのため、制御部７は、ディフューザ１６の駆動速度が所定の速度（付着したゴミやパターン欠陥がユーザに対して認識されない速度）以上で駆動するように、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８を制御している。

例えば、２次元中間像面のサイズが１８ｍｍ×３２ｍｍの場合、直径５０μｍのゴミやパターン欠陥が画質に影響を及ぼさないようにするには、ディフューザ１６の駆動速度を１００ｍｍ／ｓ以上にする必要がある。そのため、第１の移動枠１３と第２の移動枠１４を、振幅４ｍｍ、周波数５Ｈｚで振動させ、その位相差を±２０°の範囲で１０°ずつ変化させる。これにより、ゴミやパターン欠陥がユーザに対して認識されにくくなり、画質が低下することを防止し、又は抑制することができる。

また、第１の駆動部１７及び第２の駆動部１８による第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４を駆動させる周波数は、引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの共振周波数よりも低く設定することが好ましい。例えば、引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの共振周波数が８Ｈｚの場合、駆動周波数を５Ｈｚに設定する。これにより、長時間の使用においても、２つの移動枠１３，１４が引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄと共振して、駆動中にストッパー等に衝突することを防止し、又は抑制することができる。その結果、拡散板駆動装置５の摺動機構の寿命を延ばすことができるだけでなく、騒音や消費電力を軽減することが可能である。

なお、引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの共振周波数よりも駆動周波数を高く設定しても、低い場合と同様に、スペックル低減効果や、ゴミや欠陥によって画質が劣化することを削減する効果を得ることが可能である。

また、駆動周波数を引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの共振周波数に合わせてもよい。これにより、引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄとの共振作用を利用することで消費電力を更に軽減することができる。なお、駆動周波数を引張コイルばね６１，６２Ａ〜６２Ｄの共振周波数に合わせる場合、２つの移動枠１３，１４の駆動中にストッパー等に衝突することを防止するために共振による振幅を制御することが必要である。

また、ディフューザ１６の駆動軌跡をより正確に制御するために、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４のスライド位置を検出する位置検出センサを設けてもよい。位置検出センサとしては、例えば、ホール素子、リニアエンコーダやＰＳＤ（Position Sensitive Detector）からなる光位置センサ等を用いることができる。位置検出センサは、制御部７に電気的に接続され、第１の移動枠１３及び第２の移動枠１４の位置情報を制御部７に出力する。そして、制御部７は、入力された位置情報に応じて第１の駆動部１７の第１のコイル４１及び第２の駆動部１８の第２のコイルに与える電圧値又は電流値を制御する。これにより、ディフューザ１６の駆動軌跡をその位置に応じて正確に制御することができる。

２．第２の実施の形態例
［拡散板駆動装置の構成］
次に、図１１及び図１２を参照して本発明の拡散板駆動装置の第２の実施の形態例について説明する。図１１は、第２の実施の形態例に係る拡散板駆動装置を模式的に示す平面図、図１２は、第２の実施の形態例における拡散板駆動装置の要部を示す説明図である。

この第２の実施の形態例に係る拡散板駆動装置１０５は、ディフューザ１６を保持する移動枠を一つにしたものである。図１１に示すように、拡散板駆動装置１０５は、支持枠１１２と、ディフューザ１６を保持する移動枠１１３と、２つの駆動部１１７，１１８と、３つの球体１１９等を備えて構成されている。

移動枠１１３は、ガイド部材の他の具体例を示す３つの球体１１９を介して支持枠１１２に光学系の光軸である第３の方向Ｚと直交する２方向（第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙ）へ移動自在に支持されている。更に、移動枠１１３は、第１の駆動部１１７により第１の方向Ｘへ移動可能とされていると共に、第２の駆動部１１８により第２の方向Ｙへ移動可能とされている。また、移動枠１１３は、３つのばね部材１２１により、支持枠１１２側へ付勢されている。

図１２に示すように、支持枠１１２には、球体１１９を保持する球体保持部１２２が設けられている。この球体保持部１２２は、球体１１９の直径よりも大きな直径で、円形の凹部として形成されている。３つの球体１１９は、支持枠１１２に設けた球体保持部１２２内に転動自在に保持されている。この３つの球体１１９は、球体保持部１２２に保持された状態で、支持枠１１２と移動枠１１３の間に介在されている。これにより、移動枠１１３と球体１１９と支持枠１１２との間に生じる摩擦抵抗を極めて小さくすることができる。その結果、各駆動部１１７，１１８は、小さな駆動力で移動枠１１３を確実に振動させることができる。また、球体１１９や、この球体１１９と接触する部分は、摩耗により劣化や発塵等が起きやすいので、セラミック等摩耗に強い材質とすることが好ましい。

その他の構成及び動作は、前述した第１の実施の形態にかかる拡散板駆動装置５と同様であるため、それらの説明は省略する。このような、構成を有する拡散板駆動装置１０５によっても、前述した第１の実施の形態にかかる拡散板駆動装置５と同様の作用及び効果を得ることができる。

なお、この第２の実施の形態例に係る拡散板駆動装置１０５によれば、第１の実施の形態例に係る拡散板駆動装置５よりも第２の移動枠の部品点数を削減することができ、装置全体を小型化することが可能である。

以上説明してきたように、本発明の拡散板駆動装置では、拡散板を保持する移動枠の第１の方向への振動と第２の方向への振動との位相差を変化させている。そのため、拡散板を回転駆動させる場合よりも、拡散板における駆動周期を長くすることができる。すなわち、拡散板を所定時間のうちに同一軌跡を通らない軌道で駆動することができる。更に、拡散板の駆動速度を、ユーザに対して拡散板に付着したゴミやパターン欠陥を認識されない速度以上で駆動している。その結果、拡散板に付着したゴミやパターン欠陥をユーザに対して認識し難くすることができ、ゴミの付着やパターン欠陥による画質低下の影響を抑制することが可能である。

また、移動枠を支持側に付勢する付勢部材を設けたことにより、駆動中の拡散板における光軸方向のブレを低減することができ、投射画像にて良好なフォーカスを得ることができる。更に、拡散板を２次元中間像面よりもひとまわり大きなサイズで済むことにより、拡散板を回転駆動させるタイプに比べて拡散板のコストを削減することができる。

なお、本発明は前述しかつ図面に示した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能であることはいうまでもない。例えば、映像光（２次元中間像）を形成し、投射する光学系ブロックの構成としては、上述した実施の形態例に限定されるものではない。すなわち、複数の発光部や他のレーザを光源として用いた光学系ブロックを適用してもよい。

また、拡散板（ディフューザ）と移動枠を一体に構成し、拡散板に駆動部を形成するコイル等を固定し、この拡散板を駆動するようにしてもよい。

本発明の投射型画像表示装置の実施の形態例を示す概略構成図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例を示す斜視図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例を正面側から見た分解斜視図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例を背面側から見た分解斜視図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例を断面した状態を示す説明図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例を模式的に示す平面図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例に係る制御部の回路構成を示すブロック図である。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例に係る第１の駆動部及び第２の駆動部に出力される制御信号を示すグラフである。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例に係る第１の駆動部及び第２の駆動部に出力される制御信号の位相差を示すグラフである。 本発明の拡散板駆動装置の第１の実施の形態例に係る拡散板の任意の点の駆動軌跡を示す説明図である。 本発明の拡散板駆動装置の第２の実施の形態例を模式的に示す平面図である。 本発明の拡散板駆動装置の第２の実施の形態例における要部を断面して示す説明図である。

符号の説明

１…１次元型光変調素子、 ２…オフナーリレー、 ３…ガルバノミラー、 ４…像面湾曲補正光学系、 ５，１０５…拡散板駆動装置、 ６…投射レンズ、 ７…制御部、 ９…光学系ブロック、 １０…投射型表示装置、 １２，１１２…支持枠、１３，１１３…第１の移動枠（移動枠）、 １４…第２の移動枠（移動枠）、 １６…ディフューザ（拡散板）、 １７，１１７…第１の駆動部（駆動部）、 １８，１１８…第２の駆動部（駆動部）、２１…位置調整台、 ２２…固定部、 ２４Ａ…第１のレール部材（ガイド部材）、 ２４Ｂ…第２のレール部材（ガイド部材）、 ２７…第１の開口窓、 ３１Ａ…第３のレール部材、３１Ｂ…第４のレール部材（ガイド部材）、 ３２Ａ…第１の摺動部材（ガイド部材）、 ３２Ｂ…第２の摺動部材（ガイド部材）、 ３４…第２の開口窓、 ３７Ａ…第３の摺動部材（ガイド部材）、 ３７Ｂ…第４の摺動部材（ガイド部材）、 ４９…フレキシブル配線板、 ６１，６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６２Ｄ…引張コイルばね（付勢部材） ７１…中央演算部、 １１９…球体、 Ｌ…光軸、 Ｍ…２次元中間像、 Ｐ…位相差、 Ｘ…第１の方向、 Ｙ…第２の方向、 Ｚ…第３の方向

Claims (5)

1. 光源としてレーザを採用した投射型表示装置に用いられる拡散板駆動装置であって、
   拡散板が取り付けられた移動枠と、
   前記移動枠を移動可能に支持する支持枠と、
   前記移動枠を前記拡散板に入射される映像光の光軸と直交する第１の方向及び前記第１の方向と直交する方向であって前記光軸とも直交する第２の方向に振動可能とした駆動部と、
   前記移動枠における前記第１の方向への振動と前記第２の方向への振動との位相差を変化させ、且つ前記移動枠を前記拡散板に付着したゴミやパターン欠陥がユーザに対して認識されない速度以上の移動速度で駆動させるように前記駆動部を制御する制御部と、
   前記移動枠が駆動時において前記光軸の方向である第３の方向に対して面ブレすることを抑制し、又は防止するために、前記移動枠を前記支持枠側に付勢する付勢部材と、
   を備え、
   前記制御部は、前記移動枠を前記付勢部材の共振周波数よりも低い周波数で駆動させるように前記駆動部を制御する
   拡散板駆動装置。
2. 前記支持枠は、前記移動枠を前記第１の方向及び前記第２の方向にガイドするガイド部材を有し、
   前記ガイド部材は、前記支持枠に取り付けられた前記拡散板における重力方向の上方を避けて配置されている
   請求項１に記載の拡散板駆動装置。
3. 前記ガイド部材は、前記移動枠と前記支持枠の間に介在される少なくとも３つの球体からなる
   請求項２に記載の拡散板駆動装置。
4. 前記移動枠は、前記拡散板を保持し、且つ前記第１の方向に移動可能な第１の移動枠と、前記第１の移動枠を移動可能に支持し、且つ前記第２の方向に移動可能な第２の移動枠とからなり、
   前記駆動部は、前記第１の移動枠を前記第１の方向に移動可能とした第１の駆動部と、前記第２の移動枠を前記第２の方向に移動可能とした第２の駆動部と、から構成されている
   請求項１〜３のいずれかに記載の拡散板駆動装置。
5. 映像光を形成して投射し、且つ光源としてレーザを用いた光学系ブロックと、
   前記映像光を表示部へ拡大投射する投射レンズと、
   前記光学系ブロックと前記投射レンズとの間に配置され、前記光学系ブロックから前記映像光が入射される拡散板を備えた拡散板駆動装置と、から構成され、
   前記拡散板駆動装置は、
   前記拡散板が取り付けられた移動枠と、
   前記移動枠を移動可能に支持する支持枠と、
   前記移動枠を前記拡散板に入射される前記映像光の光軸と直交する第１の方向及び前記第１の方向と直交する方向であって前記光軸とも直交する第２の方向に振動可能とした駆動部と、
   前記移動枠における前記第１の方向への振動と前記第２の方向への振動との位相差を変化させ、且つ前記移動枠を前記拡散板に付着したゴミやパターン欠陥がユーザに対して認識されない速度以上の移動速度で駆動させるように前記駆動部を制御する制御部と、
   前記移動枠が駆動時において前記光軸の方向である第３の方向に対して面ブレすることを抑制し、又は防止するために、前記移動枠を前記支持枠側に付勢する付勢部材と、
   を備え、
   前記制御部は、前記移動枠を前記付勢部材の共振周波数よりも低い周波数で駆動させるように前記駆動部を制御する
   投射型画像表示装置。

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