JP4674327B2 - Si多結晶インゴット、Si多結晶インゴットの製造方法およびSi多結晶ウェハー - Google Patents
Si多結晶インゴット、Si多結晶インゴットの製造方法およびSi多結晶ウェハー Download PDFInfo
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Description
キャスト成長炉を用いて、石英坩堝内に入れたSi原料を融解した後、一方向成長の初期段階に、石英坩堝底面の下方向から線状形状の冷却管を近づけることにより、石英坩堝内のSi融液を線状に局部的に冷却した。これにより、デンドライト結晶が、局部的に冷却された線状の冷却管の直上の融液からのみ、坩堝底面に沿って成長した。その後、温度勾配中で坩堝を移動させることにより一方向成長を行い、Siバルク多結晶インゴットを作製した。比較のため、線状の冷却管を使用せずに成長初期に坩堝底面に沿ってデンドライト結晶を成長させた後、一方向成長させた従来のSiバルク多結晶インゴットも作製した。
Claims (2)
- Si融液からキャスト法を利用してSi多結晶インゴットを成長させる初期過程において、前記Si融液の入った坩堝底面に沿って成長するデンドライト結晶の発生位置を制御するよう、前記坩堝底面を線状形状の冷却管で冷却することにより製造され、
全体積の2/3以上の体積部分が平均幅で1cm以上の大きさの結晶粒で占められており、かつ底面に平行に切り出した時、その断面積の70%以上が、±15°の範囲内で面方位が{112}または{110}の結晶面を有する結晶粒で構成されていることを、
特徴とするSi多結晶インゴット。 - 請求項1記載のSi多結晶インゴットから切り出され、表面積の70%以上の面積部分が平均幅で1cm以上の大きさの結晶粒で占められており、かつ前記表面積の70%以上が、±15°の範囲内で面方位が{112}または{110}の結晶面を有する結晶粒で構成されていることを、特徴とするSi多結晶ウェハー。
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