JP4666475B2 - 固体撮像装置及び固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
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Description
垂直電荷転送装置64は、図11に示す垂直転送チャネル54と該垂直転送チャネル54上方に、絶縁膜60aを挟んで光電変換素子52の間隙を蛇行するように水平方向に形成される転送電極56aおよび56bを含んで形成されている。
Claims (2)
- 2次元表面を画定する半導体基板と、
前記半導体基板の受光領域に、正方行列の第1正方格子の格子点に配置される第1列の光電変換素子と、前記第1正方格子の格子間位置に格子点を有する第2正方格子の格子点に配置される第2列の光電変換素子と、
前記第1列及び前記第2列の光電変換素子の水平方向の片側に隣接して形成されるチャネルストップ領域と、
前記第1列及び前記第2列の光電変換素子の列間に垂直方向に配列された複数の垂直電荷転送チャネルと、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第1列の光電変換素子の水平方向下部に隣接して水平方向に配列される第1の転送電極と、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第2列の光電変換素子の水平方向上部及び前記第1の転送電極に隣接して水平方向に配列される第2の転送電極と、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第2列の光電変換素子の水平方向下部に隣接して水平方向に配列される第3の転送電極と、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第1列の光電変換素子の水平方向上部に隣接して水平方向に配列される第4の転送電極とを含む垂直電荷転送装置と、
前記第1及び第4の転送電極を読み出し電極として用い、前記第1列の光電変換素子に対応し、該対応する第1列の光電変換素子に蓄積される信号電荷を前記チャネルストップ領域が形成されていない側に隣接する垂直電荷転送チャネルに読み出す第1の読み出し部と、
前記第2及び第3の転送電極を読み出し電極として用い、前記第2列の光電変換素子に対応し、該対応する第2列の光電変換素子に蓄積される信号電荷を前記チャネルストップ領域が形成されていない側に隣接する垂直電荷転送チャネルに読み出す第2の読み出し部と、
前記第1及び第2の転送電極にそれぞれVL、VM、VHの電圧を印加する第1及び第2の3値ドライバーと、
前記第3及び第4の転送電極にそれぞれVL、VMの電圧を印加する第1及び第2の2値ドライバーとを有する固体撮像装置であって、
前記第1及び第2の転送電極に対して同時にVHの電圧を印加することにより、前記第1列及び前記第2列の光電変換素子から隣接する垂直電荷転送チャネルへ信号電荷を同時に読み出すことを特徴とする固体撮像装置。 - 2次元表面を画定する半導体基板と、
前記半導体基板の受光領域に、正方行列の第1正方格子の格子点に配置される第1列の光電変換素子と、前記第1正方格子の格子間位置に格子点を有する第2正方格子の格子点に配置される第2列の光電変換素子と、
前記第1列及び前記第2列の光電変換素子の水平方向の片側に隣接して形成されるチャネルストップ領域と、
前記第1列及び前記第2列の光電変換素子の列間に垂直方向に配列された複数の垂直電荷転送チャネルと、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第1列の光電変換素子の水平方向下部に隣接して水平方向に配列される第1の転送電極と、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第2列の光電変換素子の水平方向上部及び前記第1の転送電極に隣接して水平方向に配列される第2の転送電極と、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第2列の光電変換素子の水平方向下部に隣接して水平方向に配列される第3の転送電極と、前記垂直電荷転送チャネル上方に形成され前記第1列の光電変換素子の水平方向上部に隣接して水平方向に配列される第4の転送電極とを含む垂直電荷転送装置と、
前記第1及び第4の転送電極を読み出し電極として用い、前記第1列の光電変換素子に対応し、該対応する第1列の光電変換素子に蓄積される信号電荷を前記チャネルストップ領域が形成されていない側に隣接する垂直電荷転送チャネルに読み出す第1の読み出し部と、
前記第2及び第3の転送電極を読み出し電極として用い、前記第2列の光電変換素子に対応し、該対応する第2列の光電変換素子に蓄積される信号電荷を前記チャネルストップ領域が形成されていない側に隣接する垂直電荷転送チャネルに読み出す第2の読み出し部と、
前記第1及び第2の転送電極にそれぞれVL、VM、VHの電圧を印加する第1及び第2の3値ドライバーと、
前記第3及び第4の転送電極にそれぞれVL、VMの電圧を印加する第1及び第2の2値ドライバーとを有する固体撮像装置の駆動方法であって、
前記第1及び第2の転送電極に対して同時にVHの電圧を印加することにより、前記第1列及び前記第2列の光電変換素子から隣接する垂直電荷転送チャネルへ信号電荷を同時に読み出すことを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
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