JP4664700B2 - 振動体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明によれば、第2の領域は電圧が印加されないためにフォトレジストが付着せず、第2の領域に形成された形状を視認するときに、形状を正確に認識することができる。
図1、図2は、本発明の振動体デバイス、特に2本の脚を有する振動体を用いた振動体デバイスの製造工程を示す図である。まず、図1(a)に示すように水晶基板1を板状に加工する。次に、水晶基板1の表裏両面に蒸着またはスパッタリングによって下地層の金属膜としてCr膜3を500Å程度成膜し、続いてその上に表面層の金属膜としてAu膜5を1000Å程度積層し成膜する(図1(b))。Cr膜3はAu膜5と水晶基板1との密着性を向上させる中間層として作用する。またAu膜5は後ほど水晶をエッチングする際に用いるフッ酸とフッ化アンモニウム溶液の混合液に対する耐蝕膜として作用する。
状態になる。続いて、残存するフォトレジスト層7を剥離した後、Au膜5、Cr膜3を全てエッチングして除去する(図2(g))。
次に、本発明の第2の実施形態について図を用いて説明する。図9は水晶基板1の周縁
部に管理マーク17を設けたものである。管理マーク17は電極パターンの露光の際に露光機で水晶基板の種類と個体を自動識別し、生産管理に用いる目的で設けられている。本実施形態では、説明する上で管理マーク17として数字の2を用いたが、その他の文字でも構わない。
3、103 Cr膜
5、105 Au膜
7、107 フォトレジスト層
8 第1の領域
9、109 アライメントマーク
10 第2の領域
11 電極用金属膜
12 電極マスク
13 遮蔽マスク
14 マスク側アライメントマーク
15 電着フォトレジスト
17 管理マーク
Claims (5)
- 基板に振動体とともにアライメントマークを形成するエッチング工程と、
前記基板の前記振動体を含む第1の領域と前記アライメントマークを含む第2の領域に、互いに分離した電極用金属膜をそれぞれ形成する電極用金属膜形成工程と、
前記第1の領域に形成した前記電極用金属膜にのみ電圧を印加した状態で、前記第1の領域に形成した前記電極用金属膜に電着フォトレジストを付着する電着フォトレジスト付着工程と、
前記アライメントマークを用いてマスクの位置合わせを行い、前記電着フォトレジストに電極パターンを露光し、現像して振動体に電極を形成する電極形成工程と、を有することを特徴とする振動体デバイスの製造方法。 - 前記アライメントマークの外形は、前記第2の領域の外形と異なる形状であることを特徴とする請求項1に記載の振動体デバイスの製造方法。
- 前記第2の領域には、管理用の管理マークが設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動体デバイスの製造方法。
- 前記電極用金属膜形成工程は、前記基板の一部分をマスクで覆い、前記電極用金属膜が付着しない部分を形成することにより、前記第1の領域と前記第2の領域のそれぞれに付着した前記電極用金属膜を互いに分離することを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の振動体デバイスの製造方法。
- 前記電極用金属膜形成工程は、前記基板に前記電極用金属膜を付着した後に前記電極用金属膜の一部を剥離することにより、前記第1の領域と前記第2の領域のそれぞれに付着した前記電極用金属膜を互いに分離することを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の振動体デバイスの製造方法。
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