JP4664544B2 - スクライビング装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物の表面にスクライブラインを形成するスクライビング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリート（切断ライン）に沿ってダイシングすることにより個々の半導体素子を製造している。この半導体ウエーハのダイシングには一般に円盤状の切削ブレードを回転しつつストリートに沿って相対的に移動させることによりストリートを切削する切削装置が用いられている。しかるに、切削装置を用いる場合には、切削ブレードによる切削によって生ずるチッピングを考慮すると、ストリートの幅は切削ブレードの幅の３倍以上必要となる。例えば、ブレード幅が１５μｍの切削ブレードを用いる場合には、ストリートの幅は５０μｍ以上となる。
【０００３】
上述した切削装置よりストリートの幅を小さくすることができるダイシング方法として、スクライビングが従来から用いられている。このスクライビングはダイヤモンドカッター（スクライバ）によりストリートに沿ってスクライブラインを形成するが、形成されるスクライブラインの幅はチッピングを考慮しても１０μｍ以下であり、ストリートの幅を１０μｍ以下にすることが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
而して、従来のスクライビング装置は、揺動可能に支持されたアーム部材の先端部にスクライバを装着し、アーム部材に荷重付与手段によって所定の荷重を付与することによりスクライバを被加工物に押圧するようになっている。しかるに、上述したスクライビング装置は、アーム部材の先端部に装着されたスクライバに作用する全方向の加工負荷がアーム部材の揺動支点で受ける構成であるため、アーム部材の支持剛性が低いとスクライブラインに対して垂直な方向であるスクライバが割り出し方向にブレる。即ち、被加工物の表面に形成されたストリートに沿ってスクライブラインを形成すると、ストリートの起伏によってスクライバにはスクライブラインに対して垂直な方向である割り出し方向の負荷が作用するため、アーム部材の支持剛性が低いとスクライバが割り出し方向にブレて、形成されるスクライブラインに６μｍ程度のズレが生ずる。上記スクライバの割り出し方向のブレを解消するためには アーム部材の剛性および支持剛性を高めればよいが、アーム部材の重量が増大し慣性モーメントが大きくなる。このため、ストリートの起伏によってスクライバがバウンドすると、アーム部材の慣性モーメントが大きいために復帰がおくれて、連続したスクライブラインを形成することができないという問題もある。従って、従来のスクライブ装置においては、送り速度を５０ｍｍ／ｓｅｃ以下で実施しており、生産性の面で必ずしも満足し得るものではない。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、スクライバを装着したアーム部材の剛性を高くすることなく、スクライバが割り出し方向にブレることを防止できるスクライビング装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する被加工物保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの被加工物保持面上に保持された被加工物の表面にスクライブラインを形成するスクライバユニットと、該チャックテーブルとスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向に相対的に移動するスクライブライン生成送り手段と、該チャックテーブルとスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向と垂直な割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送り手段と、を具備するスクライビング装置において、
該スクライバユニットは、ベース部材と、該ベース部材に中間部が該チャックテーブルの被加工物保持面に対して垂直な面内で回動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材の一端部に装着されたスクライバと、該アーム部材の他端部に作用し該アーム部材の一端側を該チャックテーブルの被加工物保持面側に向けて回動するように所定の荷重を付与する荷重付与手段と、該ベース部材に対して該アーム部材の割り出し送り方向の変位を規制するブレ規制手段とを備え、
該ブレ規制手段は、該アーム部材の一端部における割り出し送り方向の両側に配設された一対のニードル軸受と、該一対のニードル軸受を保持する一対の軸受ブラケットとを具備し、該一対のニードル軸受によって該アーム部材を挟持するように該一対の軸受ブラケットが該ベースに固定されている、
ことを特徴とするスクライビング装置が提供される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成されたスクライビング装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】
図１には、本発明に従って構成されたスクライビング装置の斜視図が示されている。
図１に示されたスクライビング装置は、略直方体状の装置ハウジング１０を具備している。この装置ハウジング１０内には、図２に示す静止基台２と、該静止基台２にスクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構３と、静止基台２に割り出し送り方向である矢印Ｙで示す方向（スクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に垂直な方向）に移動可能に配設されたスクライバユニット支持機構４が配設されている。
【００１０】
上記チャックテーブル機構３は、静止基台２上に矢印Ｘで示す方向に沿って平行に配設された２本の案内レール３１、３２と、該案内レール３１、３２上に矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設された被加工物保持手段としてのチャックテーブル３３を具備している。このチャックテーブル３３は、案内レール３１、３２上に移動可能に配設された吸着チャック支持台３３１と、該吸着チャック支持台３３１上に装着され被加工物保持面３３２ａを有する吸着チャック３３２と、該吸着チャック３３２の被加工物保持面３３２ａから所定高さ下方に配設された支持テーブル３３３を具備しており、該吸着チャック３３２の被加工物保持面３３２ａ上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。
【００１１】
図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、チャックテーブル３３を２本の案内レール３１、３２に沿って矢印Ｘで示す方向に移動させるための駆動手段３４を具備している。駆動手段３４は、上記２本の案内レール３１と３２の間に平行に配設された雄ネジロッド３４１と、該雄ネジロッド３４１を回転駆動するためのサーボモータ３４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３４１は、その一端が上記静止基台２に固定された軸受ブロック３４３に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ３４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３４１は、チャックテーブル３３を構成する吸着チャック支持台３３１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、サーボモータ３４２によって雄ネジロッド３４１を正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル３３は案内レール３１、３２に沿って矢印Ｘで示す方向に移動せしめられる。従って、サーボモータ３４２、雄ネジロッド３４１および軸受ブロック３４３は、チャックテーブルと後述するスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に相対的に移動するスクライブライン生成送り手段として機能する。また、チャックテーブル機構３は、チャックテーブル３３を回転する図示しない回転機構を具備している。
【００１２】
上記スクライバユニット支持機構４は、静止基台２上に矢印Ｙで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された２本の案内レール４１、４２と、該案内レール４１、４２上に矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台４３を具備している。この可動支持基台４３は、案内レール４１、４２上に移動可能に配設された移動支持部４３１と、該移動支持部４３１に取り付けられた装着部４３２とからなっている。装着部４３２は、一側面に矢印Ｚで示す方向に延びる２本の案内レール４３２ａ、４３２ａが平行に設けられている。図示の実施形態におけるスクライバユニット支持機構４は、可動支持基台４３を２本の案内レール４１、４２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動させるための駆動手段４４を具備している。駆動手段４４は、上記２本の案内レール４１、４２の間に平行に配設された雄ネジロッド４４１と、該雄ねじロッド４４１を回転駆動するためのパルスモータ４４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４４１は、その一端が上記静止基台２に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ４４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド４４１は、可動支持基台４３を構成する移動支持部４３１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ４４２によって雄ネジロッド４４１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台４３は案内レール４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動せしめられる。従って、パルスモータ４４２および雄ネジロッド４４１等は、チャックテーブルと後述するスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向（矢印Ｘ方向）と垂直な矢印Ｙで示す割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送り手段として機能する。
【００１３】
図示の実施形態のおけるスクライバユニット支持機構４は、ユニットホルダ５１と、該ユニットホルダ５１に取り付けられたユニット支持部材５２を具備している。ユニットホルダは、上記装着部４３２に設けられた２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに摺動可能に嵌合する２本の被案内レール５１ａ、５１ａが設けられており、この被案内レール５１ａ、５１ａを上記案内レール４３２ａ、４３２ａに嵌合することにより、矢印Ｚで示す方向に移動可能に支持される。図示の実施形態のおけるスクライバユニット支持機構４は、ホルダ５１を２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動させるための駆動手段５３を具備している。駆動手段５５は、上記駆動手段３４および４４と同様に案内レール４３２ａ、４３２ａの間に配設された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ５３２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ５３２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ５１およびユニット支持部材５２を案内レール４３２ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動せしめる。
【００１４】
上記スクライバユニット支持機構４を構成するユニット支持部材５２の先端にスクライバユニット６が装着される。スクライバユニット６について、図２および図３を参照して説明する。
図示の実施形態におけるスクライバユニット６は、上記ユニット支持部材５３の先端に取り付けられるベース部材６１と、該ベース部材６１の中間部が回動可能に支持されたアーム部材６２と、該アーム部材６２の一端部に装着されたスクライバ６３と、アーム部材６２の他端部に作用しスクライバ６３に所定の荷重を付与する荷重付与手段６４を具備している。
【００１５】
上記ベース部材６１は矩形状に形成され、その中央部には上記ユニット支持部材５３への２個の取付け穴６１１、６１１が設けられており、この取付け穴６１１、６１１を挿通して配設される取付けボルト６５１、６５１をユニット支持部材５２の先端面に形成されたねじ穴（図示せず）に螺合することにより、ユニット支持部材５２に取り付けられる。ベース部材６１のユニット支持部材５２への取付け側と反対側の面には、アーム部材６２を支持するためのねじ穴６１２ａを備えた支持ボス６１２が突出して設けられている。また、ベース部材６１の後端には、アーム部材６２の回動を規制するためのストッパー部６１３が突出して形成されている。
【００１６】
上記アーム部材６２は中間部に取付け穴６２１が設けられており、この取付け穴６２１を通してベース部材６１に後述するアーム支持手段６６によって支持される。アーム部材６２は一端部に下方に突出して形成されたスクライバ取付部６２２が設けられており、他端部にはベース部材６１側に水平に延びねじ穴６２３ａを備えた調整ねじ取付部６２３が設けられている。この調整ねじ取付部６２３は、上記ベース部材６１の後端に設けられたストッパー部６１３の下側に位置付けられるように構成される。また、アーム部材６２の後端と上記取付け穴６２１との間ににおける下面には、後述する荷重付与手段６４を構成するエアシリンダのピストンロッドと係合する係合溝６２４が形成されている。
【００１７】
上記アーム部材６２の中間部をベース部材６１に回動可能に支持するアーム支持手段６６は、支持ボルト６６１とコイルばね６６２およびカラー６６３とからなり、軸線方向が上記チャックテーブル３３の被加工物保持面３３２ａと平行に配設された支持ボルト６６１をコイルばね６６２およびカラー６６３に挿通し、アーム部材６２の取付け穴６２１に挿通した後、ベース部材６１に設けられた支持ボス６１２に形成されたねじ穴６１２ａに螺合することにより、アーム部材６２が支持ボルト６６１を中心として回動可能に支持される。このように、軸線方向が上記チャックテーブル３３の被加工物保持面３３２ａと平行に配設された支持ボルト６６１によって中間部が回動可能に支持されたアーム部材６２は、チャックテーブル３３の被加工物保持面３３２ａに対して垂直な面内で回動可能に支持されることになる。なお、アーム支持手段６６は、支持ボルト６６１の締付力を調整することにより、アーム部材６２と支持ボス６１２およびカラー６６３との間に生ずる摩擦力を調整することができる。
【００１８】
上述したようにして、ベース部材６１に中間部が回動可能に支持されるアーム部材６２の他端部に設けられた調整ねじ取付部６２３には、ねじ穴６２３ａに調整ねじ６７が螺合される。この調整ねじ６７の先端が上記ベース部材６１の後端に設けられたストッパー部６１３の下面に当接することにより、アーム部材６２の回動が規制される。従って、調整ねじ６７を進退することによりアーム部材６２の回動規制位置を調整することができる。
【００１９】
上記スクライバ取付部６２２の下端部には、スクライバ６３が装着される。図示の実施形態におけるスクライバ６３は、例えば直径１．８ｍｍ、幅０．８ｍｍの焼結ダイヤモンドで形成されたローラスクライバからなっている。このようなローラスクライバ６３は、スクライバ取付部６２２の下端部に装着された支持軸６８に回転可能に支持されている。
【００２０】
上記荷重付与手段６４は、エアシリンダ６４１と、該エアシリンダ６４１内に摺動可能に配設されたピストンに装着されたピストンロッド６４２と、エアシリンダ６４１の外周面に装着された取付け板６４３とを具備している。なお、取付け板６４３には２個のねじ穴（図示せず）が上下に設けられており、このねじ穴に上記ベース部材６１に設けられた２個のボルト挿通穴６１４、６１４をベース部材６１の背面側から挿通して配設された２個の取付けボルト６９、６９を螺合することによって、ベース部材６１にエアシリンダ６４１が固定される。上記ピストンロッド６４２の先端には略直角に曲げられた係止部６４２ａが設けられており、この係止部６４２ａが上記アーム部材６２に設けられた係合溝６２４を係合するようになっている。このように構成された荷重付与手段６４は、エアシリンダ６４１に図示しないエア供給手段によってエアが供給されると、ピストンロッド６４２を上方に作動して、アーム部材６２を支持ボルト６６１を中心として他端側を持ち上げ、アーム部材６２の一端部に装着されたローラスクライバ６３を下方に押し下げる。この結果スクライビング作業時には、ローラスクライバ６３はチャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ１１に所定の荷重で押し付けられる。なお、この荷重は１ニュートン（１Ｎ）程度が望ましい。
【００２１】
図示の実施形態におけるスクライバユニット６は、上記ベース部材６１に対してアーム部材６２の割り出し方向の変位を規制するブレ規制手段７を具備している。ブレ規制手段７は、アーム部材６２の一端部即ちスクライバ取付部６２２の近傍においてアーム部材６２の割り出し方向（矢印Ｙ方向）両側に配設される一対の第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂと、該第１の軸受ブラケット７１ａと第２の軸受ブラケット７１ｂにそれぞれ装着される一対の第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂと、第１の軸受ブラケット７１ａと第２の軸受ブラケット７１ｂとの間に配設される２個のスペーサカラー７３ａ、７３ｂと、２個の締付ボルト７４ａ、７４ｂおよび２個のコイルばね７５ａ、７５ｂとを具備している。第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂは、互いに対向する側面にそれぞれ軸受装着凹部７１１ａおよび７１１ｂを備えており、該軸受装着凹部７１１ａおよび７１１ｂの上側および下側にそれぞれボルト挿通穴７１２ａ、７１２ａおよび７１２ｂ、７１２ｂが設けられている。このように構成された第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂの軸受装着凹部７１１ａおよび７１１ｂに第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂを嵌合して装着した軸受組み立て体をアーム部材６２の両側に配設する。そして、締付ボルト７４ａと７４ｂをそれぞれコイルばね７５ａ、７５ｂ、第２の軸受ブラケット７１ｂに設けられたボルト挿通穴７１２ｂ、７１２ｂ、スペーサカラー７３ａ、７３ｂ、第１の軸受ブラケット７１ａに設けられたボルト挿通穴７１２ａ、７１２ａに挿通し、ベース部材６１の一端部に設けられた２個のねじ穴６１４、６１４に螺合し所定の締付力を与えることにより、第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂによってアーム部材６２を挟持した状態で第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂがベース部材６１に固定される。このようにブレ規制手段７は、アーム部材６２の両側を第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂによって挟持するので、アーム部材６２の回動は許容しつつアーム部材６２の割り出し方向（矢印Ｙ方向）の変位即ちブレを規制することがきる。なお、このブレを１μｍ未満に抑えることが望ましい。
【００２２】
図１に戻って説明すると、図示のスクライブ装置は、被加工物である半導体ウエーハ１１をストックするカセット１２と、被加工物搬出手段１３と、被加工物搬送手段１４と、洗浄手段１５と、洗浄搬送手段１６、および顕微鏡やＣＣＤカメラ等で構成されるアライメント手段１７を具備している。また、図示のスクライブ装置は、アライメント手段１７によって撮像された画像等を表示する表示手段１８を具備している。なお、半導体ウエーハ１１は、フレーム１１１にテープ１１２によって装着されており、フレーム１１１に装着された状態で上記カセット１２に収容される。また、カセット１２は、図示しない昇降手段によって上下に移動可能に配設されたカセットテーブル１２１上に載置される。
【００２３】
次に、上述したスクライブ装置の加工処理動作について簡単に説明する。
カセット１２の所定位置に収容されたフレーム１１１に装着された状態の半導体ウエーハ１１（以下、フレーム１１１に装着された状態の半導体ウエーハ１１を単に半導体ウエーハ１１という）は、図示しない昇降手段によってカセットテーブル１２１が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、被加工物搬出手段１３が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハ１１を被加工物載置領域１９に搬出する。被加工物載置領域１９に搬出された半導体ウエーハ１１は、被加工物搬送手段１４の旋回動作によって上記チャックテーブル機構３を構成するチャックテーブル３３の吸着チャック３３２上に搬送され、該吸着チャック３３２に吸引保持される。このようにして半導体ウエーハ１１を吸引保持したチャックテーブル３３は、案内レール３１、３２に沿ってアライメント手段１７の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３３がアライメント手段１７の直下に位置付けられると、アライメント手段１７によって半導体ウエーハ１１に形成されているストリート（スクライビングライン）が検出され、上記スクライバユニット６のローラスクライバ６３と精密位置合わせ作業が行われる。
【００２４】
その後、半導体ウエーハ１１を吸引保持したチャックテーブル３３をスクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動することにより、チャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ１１にはローラスクライバ３により所定のストリートに沿ってスクライブラインが形成される。即ち、ローラスクライバ６３は上述したように荷重付与手段６４によって半導体ウエーハ１１に所定の荷重で押し付けられているので、チャックテーブル３３をローラスクライバ６３の下側に沿ってスクライブライン生成送り方向に移動することにより、チャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ１１にはローラスクライバ６３により所定のストリートに沿ってスクライブラインが形成される。このとき、ローラスクライバ６３を支持するアーム部材６２は、ブレ規制手段７によって割り出し送り方向である矢印Ｙで示す方向の変位が規制されているので、ローラスクライバ６３の割り出し送り方向のブレが防止され、精密なスクライブラインを形成することができる。このように、ブレ規制手段７を設けることによりスクライバを支持するアーム部材の剛性および支持剛性を高くすることなく、スクライバが割り出し方向にブレることを防止できるので、アーム部材をアルミニウムや合成樹脂等の軽量な材料で構成することが可能となる。従って、スクライバを支持するアーム部材６２の慣性モーメントが小さくなるので、半導体ウエーハ１１に形成されたストリートの起伏に対するスクライバの追随性が良好となり、バウンド現象を軽減することができる。このように、ブレ規制手段７を設けることでアーム部材の慣性モーメントを小さくできバウンド現象が軽減することから、スクライブライン生成送り速度を１００〜２００ｍｍ／ｓｅｃの高速にすることが可能となり、生産性を向上することができる。
【００２５】
上記のようにして半導体ウエーハ１１のストリートに沿ってスクライブラインの形成が終了した後、半導体ウエーハ１１を保持したチャックテーブル３３は、最初に半導体ウエーハ１１を吸引保持した位置に戻され、ここで半導体ウエーハ１１の吸引保持を解除する。次に、半導体ウエーハ１１は、洗浄搬送手段１６によって洗浄手段１５に搬送され、ここで洗浄される。このようにして洗浄された半導体ウエーハ１１は、被加工物搬送手段１４によって被加工物載置領域１９に搬出される。そして、半導体ウエーハ１１は、被加工物搬出手段１３によってカセット１２の所定位置に収納される。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によるスクライビング装置は以上のように構成されているので、次の作用効果を奏する。
【００２７】
即ち、本発明によれば、スクライバユニットは、ベース部材に対してスクライバを装着したアーム部材の割り出し送り方向の変位を規制するブレ規制手段とを備えているので、スクライバの割り出し送り方向のブレが防止され、精密なスクライブラインを形成することができる。また、ブレ規制手段を設けることによりスクライバを支持するアーム部材の剛性および支持剛性を高くすることなく、スクライバが割り出し方向にブレることを防止できるので、アーム部材をアルミニウムや合成樹脂等の軽量な材料で構成することが可能となる。従って、スクライバを支持するアーム部材の慣性モーメントが小さくなるので、被加工物に形成されたストリートの起伏に対するスクライバの追随性が良好となり、バウンド現象を軽減することができる。また、アーム部材の慣性モーメントを小さくできバウンド現象が軽減することから、スクライブライン生成送り速度を高速にすることが可能となり、生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたスクライビング装置の斜視図。
【図２】図１に示すスクライビング装置の要部斜視図。
【図３】図１に示すダイシング装置にを構成するスクライバユニットの分解斜視図。
【符号の説明】
２：静止基台
３：チャックテール機構
３１、３２：チャックテーブル機構の案内レール
３３：チャックテーブル機構のチャックテーブル
３４：チャックテーブル機構の駆動手段
４：スクライバユニット支持機構
４１、４２：チャックテーブル機構の案内レール
４３：チャックテーブル機構の可動支持基台
４４：チャックテーブル機構の駆動手段
５１：ユニットホルダ
５２：ユニット支持部材
６：スクライバユニット
６１：ベース部材
６２：アーム部材
６３：ローラスクライバ
６４：荷重付与手段
６４１：エアシリンダ
６４２：ピストンロッド
６４３：取付け板
６７：調整ねじ
７：ブレ規制手段
７１ａ：第１の軸受ブラケット
７１ｂ：第２の軸受ブラケット
７２ａ：第１の二ードル軸受
７２ｂ：第２の二ードル軸受
７３ａ、７３ｂ：スペーサカラー
７４ａ、７４ｂ：締付ボルト
７５ａ、７５ｂ：コイルばね
１０：装置ハウジング
１２：カセット
１３：被加工物搬出手段
１４：被加工物搬送手段
１５：洗浄手段
１６：洗浄搬送手段
１７：アライメント手段
１８：表示手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物の表面にスクライブラインを形成するスクライビング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリート（切断ライン）に沿ってダイシングすることにより個々の半導体素子を製造している。この半導体ウエーハのダイシングには一般に円盤状の切削ブレードを回転しつつストリートに沿って相対的に移動させることによりストリートを切削する切削装置が用いられている。しかるに、切削装置を用いる場合には、切削ブレードによる切削によって生ずるチッピングを考慮すると、ストリートの幅は切削ブレードの幅の３倍以上必要となる。例えば、ブレード幅が１５μｍの切削ブレードを用いる場合には、ストリートの幅は５０μｍ以上となる。
【０００３】
上述した切削装置よりストリートの幅を小さくすることができるダイシング方法として、スクライビングが従来から用いられている。このスクライビングはダイヤモンドカッター（スクライバ）によりストリートに沿ってスクライブラインを形成するが、形成されるスクライブラインの幅はチッピングを考慮しても１０μｍ以下であり、ストリートの幅を１０μｍ以下にすることが可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
而して、従来のスクライビング装置は、揺動可能に支持されたアーム部材の先端部にスクライバを装着し、アーム部材に荷重付与手段によって所定の荷重を付与することによりスクライバを被加工物に押圧するようになっている。しかるに、上述したスクライビング装置は、アーム部材の先端部に装着されたスクライバに作用する全方向の加工負荷がアーム部材の揺動支点で受ける構成であるため、アーム部材の支持剛性が低いとスクライブラインに対して垂直な方向であるスクライバが割り出し方向にブレる。即ち、被加工物の表面に形成されたストリートに沿ってスクライブラインを形成すると、ストリートの起伏によってスクライバにはスクライブラインに対して垂直な方向である割り出し方向の負荷が作用するため、アーム部材の支持剛性が低いとスクライバが割り出し方向にブレて、形成されるスクライブラインに６μｍ程度のズレが生ずる。上記スクライバの割り出し方向のブレを解消するためには アーム部材の剛性および支持剛性を高めればよいが、アーム部材の重量が増大し慣性モーメントが大きくなる。このため、ストリートの起伏によってスクライバがバウンドすると、アーム部材の慣性モーメントが大きいために復帰がおくれて、連続したスクライブラインを形成することができないという問題もある。従って、従来のスクライブ装置においては、送り速度を５０ｍｍ／ｓｅｃ以下で実施しており、生産性の面で必ずしも満足し得るものではない。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、スクライバを装着したアーム部材の剛性を高くすることなく、スクライバが割り出し方向にブレることを防止できるスクライビング装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する被加工物保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの被加工物保持面上に保持された被加工物の表面にスクライブラインを形成するスクライバユニットと、該チャックテーブルとスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向に相対的に移動するスクライブライン生成送り手段と、該チャックテーブルとスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向と垂直な割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送り手段と、を具備するスクライビング装置において、
該スクライバユニットは、ベース部材と、該ベース部材に中間部が該チャックテーブルの被加工物保持面に対して垂直な面内で回動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材の一端部に装着されたスクライバと、該アーム部材の他端部に作用し該アーム部材の一端側を該チャックテーブルの被加工物保持面側に向けて回動するように所定の荷重を付与する荷重付与手段と、該ベース部材に対して該アーム部材の割り出し送り方向の変位を規制するブレ規制手段とを備え、
該ブレ規制手段は、該アーム部材の一端部における割り出し送り方向の両側に配設された一対のニードル軸受と、該一対のニードル軸受を保持する一対の軸受ブラケットとを具備し、該一対のニードル軸受によって該アーム部材を挟持するように該一対の軸受ブラケットが該ベースに固定されている、
ことを特徴とするスクライビング装置が提供される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成されたスクライビング装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【０００９】
図１には、本発明に従って構成されたスクライビング装置の斜視図が示されている。
図１に示されたスクライビング装置は、略直方体状の装置ハウジング１０を具備している。この装置ハウジング１０内には、図２に示す静止基台２と、該静止基台２にスクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構３と、静止基台２に割り出し送り方向である矢印Ｙで示す方向（スクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に垂直な方向）に移動可能に配設されたスクライバユニット支持機構４が配設されている。
【００１０】
上記チャックテーブル機構３は、静止基台２上に矢印Ｘで示す方向に沿って平行に配設された２本の案内レール３１、３２と、該案内レール３１、３２上に矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設された被加工物保持手段としてのチャックテーブル３３を具備している。このチャックテーブル３３は、案内レール３１、３２上に移動可能に配設された吸着チャック支持台３３１と、該吸着チャック支持台３３１上に装着され被加工物保持面３３２ａを有する吸着チャック３３２と、該吸着チャック３３２の被加工物保持面３３２ａから所定高さ下方に配設された支持テーブル３３３を具備しており、該吸着チャック３３２の被加工物保持面３３２ａ上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。
【００１１】
図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、チャックテーブル３３を２本の案内レール３１、３２に沿って矢印Ｘで示す方向に移動させるための駆動手段３４を具備している。駆動手段３４は、上記２本の案内レール３１と３２の間に平行に配設された雄ネジロッド３４１と、該雄ネジロッド３４１を回転駆動するためのサーボモータ３４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３４１は、その一端が上記静止基台２に固定された軸受ブロック３４３に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ３４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド３４１は、チャックテーブル３３を構成する吸着チャック支持台３３１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、サーボモータ３４２によって雄ネジロッド３４１を正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル３３は案内レール３１、３２に沿って矢印Ｘで示す方向に移動せしめられる。従って、サーボモータ３４２、雄ネジロッド３４１および軸受ブロック３４３は、チャックテーブルと後述するスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に相対的に移動するスクライブライン生成送り手段として機能する。また、チャックテーブル機構３は、チャックテーブル３３を回転する図示しない回転機構を具備している。
【００１２】
上記スクライバユニット支持機構４は、静止基台２上に矢印Ｙで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された２本の案内レール４１、４２と、該案内レール４１、４２上に矢印Ｙで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台４３を具備している。この可動支持基台４３は、案内レール４１、４２上に移動可能に配設された移動支持部４３１と、該移動支持部４３１に取り付けられた装着部４３２とからなっている。装着部４３２は、一側面に矢印Ｚで示す方向に延びる２本の案内レール４３２ａ、４３２ａが平行に設けられている。図示の実施形態におけるスクライバユニット支持機構４は、可動支持基台４３を２本の案内レール４１、４２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動させるための駆動手段４４を具備している。駆動手段４４は、上記２本の案内レール４１、４２の間に平行に配設された雄ネジロッド４４１と、該雄ねじロッド４４１を回転駆動するためのパルスモータ４４２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４４１は、その一端が上記静止基台２に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ４４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド４４１は、可動支持基台４３を構成する移動支持部４３１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ４４２によって雄ネジロッド４４１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台４３は案内レール４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動せしめられる。従って、パルスモータ４４２および雄ネジロッド４４１等は、チャックテーブルと後述するスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向（矢印Ｘ方向）と垂直な矢印Ｙで示す割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送り手段として機能する。
【００１３】
図示の実施形態のおけるスクライバユニット支持機構４は、ユニットホルダ５１と、該ユニットホルダ５１に取り付けられたユニット支持部材５２を具備している。ユニットホルダは、上記装着部４３２に設けられた２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに摺動可能に嵌合する２本の被案内レール５１ａ、５１ａが設けられており、この被案内レール５１ａ、５１ａを上記案内レール４３２ａ、４３２ａに嵌合することにより、矢印Ｚで示す方向に移動可能に支持される。図示の実施形態のおけるスクライバユニット支持機構４は、ホルダ５１を２本の案内レール４３２ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動させるための駆動手段５３を具備している。駆動手段５５は、上記駆動手段３４および４４と同様に案内レール４３２ａ、４３２ａの間に配設された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ５３２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ５３２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ５１およびユニット支持部材５２を案内レール４３２ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動せしめる。
【００１４】
上記スクライバユニット支持機構４を構成するユニット支持部材５２の先端にスクライバユニット６が装着される。スクライバユニット６について、図２および図３を参照して説明する。
図示の実施形態におけるスクライバユニット６は、上記ユニット支持部材５３の先端に取り付けられるベース部材６１と、該ベース部材６１の中間部が回動可能に支持されたアーム部材６２と、該アーム部材６２の一端部に装着されたスクライバ６３と、アーム部材６２の他端部に作用しスクライバ６３に所定の荷重を付与する荷重付与手段６４を具備している。
【００１５】
上記ベース部材６１は矩形状に形成され、その中央部には上記ユニット支持部材５３への２個の取付け穴６１１、６１１が設けられており、この取付け穴６１１、６１１を挿通して配設される取付けボルト６５１、６５１をユニット支持部材５２の先端面に形成されたねじ穴（図示せず）に螺合することにより、ユニット支持部材５２に取り付けられる。ベース部材６１のユニット支持部材５２への取付け側と反対側の面には、アーム部材６２を支持するためのねじ穴６１２ａを備えた支持ボス６１２が突出して設けられている。また、ベース部材６１の後端には、アーム部材６２の回動を規制するためのストッパー部６１３が突出して形成されている。
【００１６】
上記アーム部材６２は中間部に取付け穴６２１が設けられており、この取付け穴６２１を通してベース部材６１に後述するアーム支持手段６６によって支持される。アーム部材６２は一端部に下方に突出して形成されたスクライバ取付部６２２が設けられており、他端部にはベース部材６１側に水平に延びねじ穴６２３ａを備えた調整ねじ取付部６２３が設けられている。この調整ねじ取付部６２３は、上記ベース部材６１の後端に設けられたストッパー部６１３の下側に位置付けられるように構成される。また、アーム部材６２の後端と上記取付け穴６２１との間ににおける下面には、後述する荷重付与手段６４を構成するエアシリンダのピストンロッドと係合する係合溝６２４が形成されている。
【００１７】
上記アーム部材６２の中間部をベース部材６１に回動可能に支持するアーム支持手段６６は、支持ボルト６６１とコイルばね６６２およびカラー６６３とからなり、軸線方向が上記チャックテーブル３３の被加工物保持面３３２ａと平行に配設された支持ボルト６６１をコイルばね６６２およびカラー６６３に挿通し、アーム部材６２の取付け穴６２１に挿通した後、ベース部材６１に設けられた支持ボス６１２に形成されたねじ穴６１２ａに螺合することにより、アーム部材６２が支持ボルト６６１を中心として回動可能に支持される。このように、軸線方向が上記チャックテーブル３３の被加工物保持面３３２ａと平行に配設された支持ボルト６６１によって中間部が回動可能に支持されたアーム部材６２は、チャックテーブル３３の被加工物保持面３３２ａに対して垂直な面内で回動可能に支持されることになる。なお、アーム支持手段６６は、支持ボルト６６１の締付力を調整することにより、アーム部材６２と支持ボス６１２およびカラー６６３との間に生ずる摩擦力を調整することができる。
【００１８】
上述したようにして、ベース部材６１に中間部が回動可能に支持されるアーム部材６２の他端部に設けられた調整ねじ取付部６２３には、ねじ穴６２３ａに調整ねじ６７が螺合される。この調整ねじ６７の先端が上記ベース部材６１の後端に設けられたストッパー部６１３の下面に当接することにより、アーム部材６２の回動が規制される。従って、調整ねじ６７を進退することによりアーム部材６２の回動規制位置を調整することができる。
【００１９】
上記スクライバ取付部６２２の下端部には、スクライバ６３が装着される。図示の実施形態におけるスクライバ６３は、例えば直径１．８ｍｍ、幅０．８ｍｍの焼結ダイヤモンドで形成されたローラスクライバからなっている。このようなローラスクライバ６３は、スクライバ取付部６２２の下端部に装着された支持軸６８に回転可能に支持されている。
【００２０】
上記荷重付与手段６４は、エアシリンダ６４１と、該エアシリンダ６４１内に摺動可能に配設されたピストンに装着されたピストンロッド６４２と、エアシリンダ６４１の外周面に装着された取付け板６４３とを具備している。なお、取付け板６４３には２個のねじ穴（図示せず）が上下に設けられており、このねじ穴に上記ベース部材６１に設けられた２個のボルト挿通穴６１４、６１４をベース部材６１の背面側から挿通して配設された２個の取付けボルト６９、６９を螺合することによって、ベース部材６１にエアシリンダ６４１が固定される。上記ピストンロッド６４２の先端には略直角に曲げられた係止部６４２ａが設けられており、この係止部６４２ａが上記アーム部材６２に設けられた係合溝６２４を係合するようになっている。このように構成された荷重付与手段６４は、エアシリンダ６４１に図示しないエア供給手段によってエアが供給されると、ピストンロッド６４２を上方に作動して、アーム部材６２を支持ボルト６６１を中心として他端側を持ち上げ、アーム部材６２の一端部に装着されたローラスクライバ６３を下方に押し下げる。この結果スクライビング作業時には、ローラスクライバ６３はチャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ１１に所定の荷重で押し付けられる。なお、この荷重は１ニュートン（１Ｎ）程度が望ましい。
【００２１】
図示の実施形態におけるスクライバユニット６は、上記ベース部材６１に対してアーム部材６２の割り出し方向の変位を規制するブレ規制手段７を具備している。ブレ規制手段７は、アーム部材６２の一端部即ちスクライバ取付部６２２の近傍においてアーム部材６２の割り出し方向（矢印Ｙ方向）両側に配設される一対の第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂと、該第１の軸受ブラケット７１ａと第２の軸受ブラケット７１ｂにそれぞれ装着される一対の第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂと、第１の軸受ブラケット７１ａと第２の軸受ブラケット７１ｂとの間に配設される２個のスペーサカラー７３ａ、７３ｂと、２個の締付ボルト７４ａ、７４ｂおよび２個のコイルばね７５ａ、７５ｂとを具備している。第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂは、互いに対向する側面にそれぞれ軸受装着凹部７１１ａおよび７１１ｂを備えており、該軸受装着凹部７１１ａおよび７１１ｂの上側および下側にそれぞれボルト挿通穴７１２ａ、７１２ａおよび７１２ｂ、７１２ｂが設けられている。このように構成された第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂの軸受装着凹部７１１ａおよび７１１ｂに第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂを嵌合して装着した軸受組み立て体をアーム部材６２の両側に配設する。そして、締付ボルト７４ａと７４ｂをそれぞれコイルばね７５ａ、７５ｂ、第２の軸受ブラケット７１ｂに設けられたボルト挿通穴７１２ｂ、７１２ｂ、スペーサカラー７３ａ、７３ｂ、第１の軸受ブラケット７１ａに設けられたボルト挿通穴７１２ａ、７１２ａに挿通し、ベース部材６１の一端部に設けられた２個のねじ穴６１４、６１４に螺合し所定の締付力を与えることにより、第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂによってアーム部材６２を挟持した状態で第１の軸受ブラケット７１ａおよび第２の軸受ブラケット７１ｂがベース部材６１に固定される。このようにブレ規制手段７は、アーム部材６２の両側を第１の二ードル軸受７２ａおよび第２の二ードル軸受７２ｂによって挟持するので、アーム部材６２の回動は許容しつつアーム部材６２の割り出し方向（矢印Ｙ方向）の変位即ちブレを規制することがきる。なお、このブレを１μｍ未満に抑えることが望ましい。
【００２２】
図１に戻って説明すると、図示のスクライブ装置は、被加工物である半導体ウエーハ１１をストックするカセット１２と、被加工物搬出手段１３と、被加工物搬送手段１４と、洗浄手段１５と、洗浄搬送手段１６、および顕微鏡やＣＣＤカメラ等で構成されるアライメント手段１７を具備している。また、図示のスクライブ装置は、アライメント手段１７によって撮像された画像等を表示する表示手段１８を具備している。なお、半導体ウエーハ１１は、フレーム１１１にテープ１１２によって装着されており、フレーム１１１に装着された状態で上記カセット１２に収容される。また、カセット１２は、図示しない昇降手段によって上下に移動可能に配設されたカセットテーブル１２１上に載置される。
【００２３】
次に、上述したスクライブ装置の加工処理動作について簡単に説明する。
カセット１２の所定位置に収容されたフレーム１１１に装着された状態の半導体ウエーハ１１（以下、フレーム１１１に装着された状態の半導体ウエーハ１１を単に半導体ウエーハ１１という）は、図示しない昇降手段によってカセットテーブル１２１が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、被加工物搬出手段１３が進退作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハ１１を被加工物載置領域１９に搬出する。被加工物載置領域１９に搬出された半導体ウエーハ１１は、被加工物搬送手段１４の旋回動作によって上記チャックテーブル機構３を構成するチャックテーブル３３の吸着チャック３３２上に搬送され、該吸着チャック３３２に吸引保持される。このようにして半導体ウエーハ１１を吸引保持したチャックテーブル３３は、案内レール３１、３２に沿ってアライメント手段１７の直下まで移動せしめられる。チャックテーブル３３がアライメント手段１７の直下に位置付けられると、アライメント手段１７によって半導体ウエーハ１１に形成されているストリート（スクライビングライン）が検出され、上記スクライバユニット６のローラスクライバ６３と精密位置合わせ作業が行われる。
【００２４】
その後、半導体ウエーハ１１を吸引保持したチャックテーブル３３をスクライブライン生成送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動することにより、チャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ１１にはローラスクライバ３により所定のストリートに沿ってスクライブラインが形成される。即ち、ローラスクライバ６３は上述したように荷重付与手段６４によって半導体ウエーハ１１に所定の荷重で押し付けられているので、チャックテーブル３３をローラスクライバ６３の下側に沿ってスクライブライン生成送り方向に移動することにより、チャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ１１にはローラスクライバ６３により所定のストリートに沿ってスクライブラインが形成される。このとき、ローラスクライバ６３を支持するアーム部材６２は、ブレ規制手段７によって割り出し送り方向である矢印Ｙで示す方向の変位が規制されているので、ローラスクライバ６３の割り出し送り方向のブレが防止され、精密なスクライブラインを形成することができる。このように、ブレ規制手段７を設けることによりスクライバを支持するアーム部材の剛性および支持剛性を高くすることなく、スクライバが割り出し方向にブレることを防止できるので、アーム部材をアルミニウムや合成樹脂等の軽量な材料で構成することが可能となる。従って、スクライバを支持するアーム部材６２の慣性モーメントが小さくなるので、半導体ウエーハ１１に形成されたストリートの起伏に対するスクライバの追随性が良好となり、バウンド現象を軽減することができる。このように、ブレ規制手段７を設けることでアーム部材の慣性モーメントを小さくできバウンド現象が軽減することから、スクライブライン生成送り速度を１００〜２００ｍｍ／ｓｅｃの高速にすることが可能となり、生産性を向上することができる。
【００２５】
上記のようにして半導体ウエーハ１１のストリートに沿ってスクライブラインの形成が終了した後、半導体ウエーハ１１を保持したチャックテーブル３３は、最初に半導体ウエーハ１１を吸引保持した位置に戻され、ここで半導体ウエーハ１１の吸引保持を解除する。次に、半導体ウエーハ１１は、洗浄搬送手段１６によって洗浄手段１５に搬送され、ここで洗浄される。このようにして洗浄された半導体ウエーハ１１は、被加工物搬送手段１４によって被加工物載置領域１９に搬出される。そして、半導体ウエーハ１１は、被加工物搬出手段１３によってカセット１２の所定位置に収納される。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によるスクライビング装置は以上のように構成されているので、次の作用効果を奏する。
【００２７】
即ち、本発明によれば、スクライバユニットは、ベース部材に対してスクライバを装着したアーム部材の割り出し送り方向の変位を規制するブレ規制手段とを備えているので、スクライバの割り出し送り方向のブレが防止され、精密なスクライブラインを形成することができる。また、ブレ規制手段を設けることによりスクライバを支持するアーム部材の剛性および支持剛性を高くすることなく、スクライバが割り出し方向にブレることを防止できるので、アーム部材をアルミニウムや合成樹脂等の軽量な材料で構成することが可能となる。従って、スクライバを支持するアーム部材の慣性モーメントが小さくなるので、被加工物に形成されたストリートの起伏に対するスクライバの追随性が良好となり、バウンド現象を軽減することができる。また、アーム部材の慣性モーメントを小さくできバウンド現象が軽減することから、スクライブライン生成送り速度を高速にすることが可能となり、生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成されたスクライビング装置の斜視図。
【図２】図１に示すスクライビング装置の要部斜視図。
【図３】図１に示すダイシング装置にを構成するスクライバユニットの分解斜視図。
【符号の説明】
２：静止基台
３：チャックテール機構
３１、３２：チャックテーブル機構の案内レール
３３：チャックテーブル機構のチャックテーブル
３４：チャックテーブル機構の駆動手段
４：スクライバユニット支持機構
４１、４２：チャックテーブル機構の案内レール
４３：チャックテーブル機構の可動支持基台
４４：チャックテーブル機構の駆動手段
５１：ユニットホルダ
５２：ユニット支持部材
６：スクライバユニット
６１：ベース部材
６２：アーム部材
６３：ローラスクライバ
６４：荷重付与手段
６４１：エアシリンダ
６４２：ピストンロッド
６４３：取付け板
６７：調整ねじ
７：ブレ規制手段
７１ａ：第１の軸受ブラケット
７１ｂ：第２の軸受ブラケット
７２ａ：第１の二ードル軸受
７２ｂ：第２の二ードル軸受
７３ａ、７３ｂ：スペーサカラー
７４ａ、７４ｂ：締付ボルト
７５ａ、７５ｂ：コイルばね
１０：装置ハウジング
１２：カセット
１３：被加工物搬出手段
１４：被加工物搬送手段
１５：洗浄手段
１６：洗浄搬送手段
１７：アライメント手段
１８：表示手段
Claims (1)
- 被加工物を保持する被加工物保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの被加工物保持面上に保持された被加工物の表面にスクライブラインを形成するスクライバユニットと、該チャックテーブルとスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向に相対的に移動するスクライブライン生成送り手段と、該チャックテーブルとスクライバユニットとをスクライブライン生成送り方向と垂直な割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送り手段と、を具備するスクライビング装置において、
該スクライバユニットは、ベース部材と、該ベース部材に中間部が該チャックテーブルの被加工物保持面に対して垂直な面内で回動可能に支持されたアーム部材と、該アーム部材の一端部に装着されたスクライバと、該アーム部材の他端部に作用し該アーム部材の一端側を該チャックテーブルの被加工物保持面側に向けて回動するように所定の荷重を付与する荷重付与手段と、該ベース部材に対して該アーム部材の割り出し送り方向の変位を規制するブレ規制手段とを備え、
該ブレ規制手段は、該アーム部材の一端部における割り出し送り方向の両側に配設された一対のニードル軸受と、該一対のニードル軸受を保持する一対の軸受ブラケットとを具備し、該一対のニードル軸受によって該アーム部材を挟持するように該一対の軸受ブラケットが該ベースに固定されている、
ことを特徴とするスクライビング装置。
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| JPH02213748A (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-24 | Kyodo Yushi Kk | ニードルを用いたころがりすべり試験方法 |
| JPH09278589A (ja) * | 1996-04-09 | 1997-10-28 | Sumitomo Sitix Corp | 結晶切断装置 |
-
2001
- 2001-07-27 JP JP2001227308A patent/JP4664544B2/ja not_active Expired - Lifetime
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