JP2023171001A - 補助装置 - Google Patents

Abstract

【課題】切削ブレードを自動的に交換できる補助装置であって、ユーザーに既に納品した切削装置に後から装着することができるとともに、切り刃検出センサー等を洗浄可能な補助装置を提供する。【解決手段】補助装置２は、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段４と、切削ブレード保管手段４から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段６と、搬出入手段６を切削ブレード保管手段４に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段８と、搬出入手段６をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段１０と、搬出入手段６をＸ軸方向に移動して切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段１２と、洗浄機構１３と、を少なくとも備える。【選択図】図１

Description

本発明は、切削装置に連結される補助装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

切削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを固定ナットで固定した切削手段と、チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、切削手段をＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向に切削手段を切り込み送りするＺ軸送り手段とを備え、保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる。

また、本出願人は、切削手段に装着された切削ブレードを自動的に交換できる自動交換装置を提案した（たとえば特許文献１参照）。

特開２００７－９８５３６号公報

しかし、ユーザーに既に納品した切削装置に後から自動交換装置を装着することが困難であるという問題がある。また、切削ブレードの切り刃の状態を検出する切り刃検出センサー等を洗浄する場合、オペレータが行う必要があり煩に耐えないという問題がある。

本発明の課題は、切削ブレードを自動的に交換できる補助装置であって、ユーザーに既に納品した切削装置に後から装着することができるとともに、切り刃検出センサー等を洗浄可能な補助装置を提供することである。

本発明によれば、上記課題を解決する以下の補助装置が提供される。すなわち、
「被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定フランジに装着し固定ナットで固定した切削手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向に該切削手段を切り込み送りするＺ軸送り手段とを備え、該保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定された切削装置に連結される補助装置であって、
複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段と、該切削ブレード保管手段から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段を該切削ブレード保管手段に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段と、該搬出入手段をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段と、該搬出入手段をＸ軸方向に移動して該切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段と、洗浄機構と、を少なくとも備える補助装置」が提供される。

好ましくは、該洗浄機構は、該切削手段に配設され切削ブレードの切り刃の状態を検出する切り刃検出センサーを洗浄する第一の洗浄ユニットを備え、該搬出入手段は該第一の洗浄ユニットを該固定フランジに装着させる。該第一の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管され得る。

該洗浄機構は、該チャックテーブルに隣接して配設され、該切削手段に装着された切削ブレードの切り刃の位置を検出する位置検出センサーを洗浄する第二の洗浄ユニットを備え、該搬出入手段は該第二の洗浄ユニットを該固定フランジに装着させてもよい。該第二の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されているのが好適である。

該洗浄機構は、該固定フランジを洗浄する第三の洗浄ユニットを備え、該搬出入手段は、該第三の洗浄ユニットを保持して該固定フランジに押し当てることができる。該第三の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されているのが好都合である。

該洗浄機構は、ワッシャーブレードを該固定フランジとで挟持する装着フランジの挟持面を洗浄する第四の洗浄ユニットを備え、該搬出入手段は、該装着フランジを保持して回転させながら該第四の洗浄ユニットに押し当てるのが望ましい。該第四の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されて得る。

本発明の補助装置は、
被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定フランジに装着し固定ナットで固定した切削手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向に該切削手段を切り込み送りするＺ軸送り手段とを備え、該保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定された切削装置に連結される補助装置であって、
複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段と、該切削ブレード保管手段から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段を該切削ブレード保管手段に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段と、該搬出入手段をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段と、該搬出入手段をＸ軸方向に移動して該切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段と、洗浄機構と、を少なくとも備えるので、ユーザーに既に納品した切削装置に後から装着することができるとともに、切り刃検出センサー等を洗浄可能である。

本発明に従って構成された補助装置の斜視図。 図１に示す切削ブレード保管手段の分解斜視図。 図２に示すブレード支持軸の斜視図。 図２に示すブレード支持軸の断面図。 ワッシャーブレードを支持するブレード支持軸の斜視図。 図１に示す搬出入手段の斜視図。 図１に示す枠体、昇降テーブルおよびベース架台の分解斜視図。 図１に示す枠体の分解斜視図。 第一の洗浄ユニットを示す斜視図。 第二の洗浄ユニットを示す斜視図。 第三の洗浄ユニットを示す斜視図。 第四の洗浄ユニットを示す斜視図。 図１に示す補助装置が連結される切削装置の斜視図。 図１３に示すチャックテーブルの斜視図。 図１３に示す切削手段の斜視図。 図１５に示すブレードカバーが開放された状態における切削手段の斜視図。 図１３に示す切削手段の分解斜視図。 ワッシャーブレードが装着される場合の切削手段の分解斜視図。 図１３に示す切削手段の切り刃検出センサーを示す斜視図。 図１に示す補助装置が図１３に示す切削装置に連結された状態を示す斜視図。 図１に示す補助装置の切削ブレード保管手段と搬出入手段とが対面している状態を示す斜視図。 図２１に示す状態から枠体が切削ブレード保管手段に向かって前進した状態を示す斜視図。 図２２に示す状態から枠体が後退するとともに、昇降テーブルが上昇した状態を示す斜視図。 図２３に示す状態から搬出入手段が切削装置に向かって前進した状態を示す斜視図。 図９に示す第一の洗浄ユニットによって切り刃検出センサーを洗浄している状態を示す模式図。 図１０に示す第二の洗浄ユニットによって位置検出センサーを洗浄している状態を示す模式図。 図１１に示す第三の洗浄ユニットによって固定フランジを洗浄する状態を示す模式図。 図１２に示す第四の洗浄ユニットによって装着フランジの挟持面を洗浄する状態を示す模式図。

以下、本発明に従って構成された補助装置の好適実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

（補助装置２）
図１を参照して説明すると、全体を符号２で示す補助装置は、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段４と、切削ブレード保管手段４から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段６と、搬出入手段６を切削ブレード保管手段４に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段８と、搬出入手段６をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段１０と、搬出入手段６をＸ軸方向に移動して、切削装置の切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段１２と、洗浄機構１３と、を少なくとも備える。

Ｘ軸方向は、図１に矢印Ｘで示す方向であり、Ｙ軸方向は、図１に矢印Ｙで示す方向であってＸ軸方向に直交する方向である。また、Ｚ軸方向は、図１に矢印Ｚで示す方向であってＸ軸方向およびＹ軸方向に直交する上下方向である。Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定する平面は実質上水平である。

（切削ブレード保管手段４）
図２に示すとおり、切削ブレード保管手段４は、Ｙ軸方向に延びる回転軸１４を有する駆動歯車１６と、駆動歯車１６とＺ軸方向に離間しＹ軸方向に延びる回転軸１８を有する従動歯車２０と、駆動歯車１６と従動歯車２０とに巻き掛けられた無限軌道２２と、無限軌道２２に所定の間隔で配設され切削ブレードの中央開口部に挿入され切削ブレードを支持するＹ軸方向に延びるブレード支持軸２４とを含む。

（駆動歯車１６）
図１および図２を参照して説明すると、図示の実施形態の切削ブレード保管手段４は、ベース板２６（図１参照。）と、ベース板２６の上面から上方に延びる支持壁２８と、支持壁２８の片面に固定されたモータ３０とを含む。図２に示すとおり、モータ３０には、駆動歯車１６の回転軸１４が連結されており、モータ３０は、Ｙ軸方向を軸心として駆動歯車１６を回転させるようになっている。

（従動歯車２０）
図２に示すとおり、従動歯車２０は駆動歯車１６の上方に配置され、従動歯車２０の回転軸１８は、Ｙ軸方向を軸心として回転自在かつＺ軸方向に昇降自在に支持壁２８に支持されている。支持壁２８には、従動歯車２０をＺ軸方向に昇降させる昇降手段（図示していない。）が設けられている。昇降手段は、従動歯車２０の回転軸１８に連結されＺ軸方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータとを有する構成でよい。

（無限軌道２２）
無限軌道２２は、相互に連結された多数のリンク片（符号省略）から構成されており、駆動歯車１６と従動歯車２０とに巻き掛けられている。無限軌道２２は、モータ３０によって駆動歯車１６が回転するのに応じて回転するようになっている。

図示の実施形態の切削ブレード保管手段４においては、昇降手段で従動歯車２０のＺ軸方向の位置を変えることにより、駆動歯車１６と従動歯車２０とのＺ軸方向の間隔が調整できるようになっている。また、切削ブレード保管手段４においては、無限軌道２２のリンク片の数量を適宜増減することにより、無限軌道２２の長さも調整できるようになっている。

（ブレード支持軸２４）
図２に示すとおり、ブレード支持軸２４は、所定の間隔をおいて無限軌道２２に複数配設されている。また、図２とともに図３を参照することによって理解されるとおり、ブレード支持軸２４は、無限軌道２２に連結された円柱状の基部３２と、基部３２の端面からＹ軸方向に延びる円柱状の軸部３４とを有する。軸部３４の直径は基部３２の直径よりも小さい。

（ハブブレード３６）
図３には、切削ブレード保管手段４に保管される切削ブレードとしてのハブブレード３６も示されている。ハブブレード３６は、環状の基台３８と、基台３８の外周に配設された環状の切り刃４０とを有する。基台３８は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台３８の中央部には、円形の中央開口部３８ａが設けられている。切り刃４０は、ダイヤモンド等の砥粒と、金属や樹脂等の結合材とから所定の厚み（たとえば１０～３０μｍ程度）に形成されており、基台３８の外周縁から径方向外側に突出している。

図示の実施形態のブレード支持軸２４の軸部３４は、ハブブレード３６の中央開口部３８ａの内径に対応する外径を備えており、ブレード支持軸２４においては、ハブブレード３６の中央開口部３８ａに軸部３４が挿入され、複数（たとえば５個）のハブブレード３６を軸部３４で支持するようになっている。

図示の実施形態では、図２を参照することによって理解されるとおり、複数のブレード支持軸２４のうち半数のブレード支持軸２４にハブブレード３６が支持されている。また、図３に示すとおり、軸部３４の先端側には、軸部３４で支持したハブブレード３６の飛び出しを防止するための複数のボールプランジャー４２が周方向に間隔をおいて装着されている。

図４に示すとおり、ブレード支持軸２４の各基部３２の内部には流路３２ａが形成されており、各流路３２ａの一端部に連通する複数の流路２２ａが無限軌道２２に形成されている。各流路３２ａの他端部は、図３に示す如く、軸部３４よりも径方向外側の基部３２の端面において開口している。

また、図２に示すとおり、支持壁２８には、駆動歯車１６の下方においてＹ軸方向に突出するエアーノズル４４が設けられており、エアーノズル４４は、高圧エアー供給手段（図示していない。）に接続されている。図示の実施形態では、無限軌道２２の回転に伴うブレード支持軸２４の軌道において最下端に位置するブレード支持軸２４と、エアーノズル４４の先端とが対面している。

そして、軸部３４の先端側に位置するハブブレード３６が搬出された場合に、エアーノズル４４から無限軌道２２の流路２２ａを介して、最下端に位置するブレード支持軸２４の基部３２の流路３２ａに高圧エアーを供給することにより、軸部３４に残されたハブブレード３６を軸部３４の先端側に押し出すことができるようになっている。ただし、ボールプランジャー４２の作用によってハブブレード３６が軸部３４から落下することはない。

（ワッシャーブレード４５）
切削ブレード保管手段４に保管される切削ブレードは、上記ハブブレード３６に限定されず、図５に示すワッシャーブレード４５であってもよい。ワッシャーブレード４５は、環状に形成された切り刃から構成される。ワッシャーブレード４５が切削ブレード保管手段４に保管される場合には、ブレード支持軸２４の軸部３４は、ワッシャーブレード４５の中央開口部４５ａの内径に対応する外径Ｄに形成される。そして、ワッシャーブレード４５の中央開口部４５ａに軸部３４が挿入され、複数枚（たとえば１０枚）のワッシャーブレード４５が軸部３４によって支持される。

なお、切削ブレード保管手段４には、ハブブレード３６またはワッシャーブレード４５のどちらか一方のみが保管されるようになっていてもよく、あるいは、ハブブレード３６およびワッシャーブレード４５の双方が保管されるようになっていてもよい。

（搬出入手段６）
図６を参照して搬出入手段６について説明する。搬出入手段６は、Ｚ軸方向に延びるＺ回転軸４６と、Ｚ回転軸４６に放射状に連結され切削ブレードを吸引保持するブレード保持部４８と、固定ナットを切削装置のスピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱する固定ナット保持部５０とを少なくとも備える。

図６に示すとおり、図示の実施形態の搬出入手段６は更にケーシング５２を備え、ケーシング５２は、正六角形状の天板５４と、天板５４の周縁から垂下する矩形板状の６個の側壁５６とを有する。天板５４の上面からは上記Ｚ回転軸４６が突出している。ケーシング５２の内部には、Ｚ回転軸４６に連結されたモータ（図示していない。）が収容されている。

図示の実施形態では、ケーシング５２の６個の側壁５６のうち、４個の側壁５６にはブレード保持部４８が装着され、２個の側壁５６には固定ナット保持部５０が装着されており、２個の固定ナット保持部５０は対向する一対の側壁５６に設けられている。

（ブレード保持部４８）
ブレード保持部４８は、ケーシング５２に回転自在に装着されており、ケーシング５２に収容されたモータ５７によって回転されるようになっている。ブレード保持部４８は円筒状に形成されており、ブレード保持部４８の端面５８には、上記ブレード支持軸２４の軸部３４および切削装置のスピンドルの先端部を受け入れ可能な円形の中央開口部６０と、中央開口部６０の周囲に周方向に等間隔をおいて配置された複数個の第一の吸引孔６１とが設けられている。

また、端面５８の外周部には、環状突出部６２が設けられている。環状突出部６２には、周方向に等間隔をおいて配置された第二の吸引孔６３が形成されている。第一・第二の吸引孔６１、６３は、吸引手段（図示していない。）に接続されている。

なお、環状突出部６２の内径は、ワッシャーブレード４５を支持する軸部３４の外径Ｄよりも若干大きく、環状突出部６２は、ワッシャーブレード４５を支持する軸部３４を受け入れ可能になっている。

ブレード保持部４８は、切削ブレード保管手段４に保管されているハブブレード３６の基台３８にブレード保持部４８の端面５８が接触する位置に位置づけられた状態において、吸引手段によって第一の吸引孔６１に吸引力を生成することによりハブブレード３６を吸引保持する。

また、ブレード保持部４８は、ワッシャーブレード４５を保持する場合には、吸引手段によって第二の吸引孔６３に吸引力を生成して、切削ブレード保管手段４に保管されているワッシャーブレード４５を吸引保持する。

（固定ナット保持部５０）
図６を参照して説明を続けると、固定ナット保持部５０は、ケーシング５２の側壁５６に固定された円筒状のハウジング６４と、ハウジング６４の内部に回転自在に収容された環状の回転体６６と、回転体６６を回転させるモータ６７とを含む。

回転体６６には、切削装置のスピンドルの先端部を受け入れ可能な中央開口部６８が形成されている。回転体６６の端面６６ａには、複数個の吸引孔７０と、複数個のピン７２とが交互に周方向に間隔をおいて設けられている。

各吸引孔７０は、吸引手段（図示していない。）に接続されている。ピン７２は、回転体６６に内蔵されたバネ（図示していない。）によって回転体６６の端面６６ａから突出する位置（図６に示す位置）に位置づけられているとともに、回転体６６の内部に向かって押されると、バネが収縮して回転体６６の内部に収容される。また、ピン７２は、固定ナットに形成されたピン孔の位置に対応して配置されている。

固定ナット保持部５０においては、吸引手段で各吸引孔７０に吸引力を生成して固定ナットを吸引保持するとともに、固定ナットに形成されたピン孔にピン７２を挿入した状態において、モータ６７によって回転体６６を回転させることにより、切削装置のスピンドルにハブブレード３６またはワッシャーブレード４５を固定するための固定ナットをスピンドルの先端に形成された雄ネジに螺着および螺脱することができるようになっている。

なお、固定ナットをスピンドルから螺脱する（取り外す）際に、固定ナット保持部５０のピン７２の位置と、固定ナットのピン孔の位置とがずれている場合でも、スピンドルに装着されている固定ナットの端面に回転体６６の端面６６ａを位置づけて、ピン７２を回転体６６の内部に収容した後に、モータ６７によって回転体６６を回転させると、ピン７２の位置がピン孔の位置に整合したときにバネによってピン７２が押し出され、ピン孔にピン７２が挿入される。

上記のとおりに構成され得る搬出入手段６は、図示の実施形態では図１に示すとおり、枠体７４の内部に配設されている。枠体７４は、昇降テーブル７６にＹ軸方向に移動自在に支持され、昇降テーブル７６は、ベース架台７８にＺ軸方向に昇降自在に支持されている。

（枠体７４）
図１とともに図７を参照して説明すると、枠体７４は、矩形板状の底部８０と、底部８０の上面四隅から上方に延びる４個の支柱８２と、各支柱８２の上端に固定された板状の天井部８４（図１参照。）とを含む。底部８０の下面には、Ｙ軸方向に延びる溝８６ａが形成された被ガイド部材８６がＸ軸方向に間隔をおいて一対設けられている。

（昇降テーブル７６）
昇降テーブル７６は、矩形板状の天板８８と、天板８８の下面四隅から下方に延びる４個の円柱状の脚部９０とを含む。天板８８の上面には、Ｘ軸方向に間隔をおいてＹ軸方向に延びる一対のガイドレール９２が設けられており、一対のガイドレール９２は、枠体７４の一対の被ガイド部材８６の溝８６ａに摺動自在に嵌合している。

（Ｙ軸方向位置付け手段８）
また、昇降テーブル７６の天板８８の上面には、Ｙ軸方向位置付け手段８が設けられている。Ｙ軸方向位置付け手段８は、一対のガイドレール９２間においてＹ軸方向に延びるボールねじ９４と、ボールねじ９４を回転させるモータ９６とを有する。ボールねじ９４のナット部（図示していない。）は、枠体７４の底部８０の下面に固定されている。

Ｙ軸方向位置付け手段８においては、ボールねじ９４によりモータ９６の回転運動を直線運動に変換して枠体７４に伝達し、一対のガイドレール９２に沿って枠体７４をＹ軸方向に移動させる。このように、搬出入手段６が配設された枠体７４は、昇降テーブル７６に配設されたＹ軸方向に延びるガイドレール９２に摺動可能に支持され、Ｙ軸方向位置付け手段８によって切削ブレード保管手段４に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置付けられるようになっている。

上記作用位置は、搬出入手段６のブレード保持部４８が切削ブレード保管手段４に接近した位置であって、切削ブレード保管手段４に支持されている切削ブレードをブレード保持部４８によって吸引保持可能な位置である。また、上記退避位置は、上記作用位置よりも搬出入手段６のブレード保持部４８が切削ブレード保管手段４から離間した位置である。

（ベース架台７８）
図７に示すとおり、ベース架台７８は、フレーム９８と、フレーム９８の上部に固定された矩形状のベース板１００とを含む。ベース板１００の四隅には、昇降テーブル７６の脚部９０が摺動自在に挿入される４個の円形孔１０２が形成されている。また、ベース板１００の中央部には雌ネジ１０４が形成されている。

（Ｚ軸移動手段１０）
図７を参照して説明を続けると、昇降テーブル７６およびベース架台７８には、Ｚ軸移動手段１０が連結されている。Ｚ軸移動手段１０は、Ｚ軸方向に延びるボールねじ１０６と、ボールねじ１０６を回転させるモータ１０８と、モータ１０８の上端に固定された連結板１１０とを含む。ボールねじ１０６は、ベース板１００の雌ネジ１０４に螺合している。連結板１１０は、昇降テーブル７６の天板８８の下面にボルト（図示していない。）等の適宜の連結手段によって固定されている。

Ｚ軸移動手段１０においては、ボールねじ１０６によりモータ１０８の回転運動を直線運動に変換し、ベース架台７８に対して昇降テーブル７６を昇降させることによって、搬出入手段６が配設された枠体７４をＺ軸方向に移動させる。

（Ｘ軸移動手段１２）
図８を参照して説明すると、Ｘ軸移動手段１２は、枠体７４に装着された屈曲アーム１１２と、屈曲アーム１１２を作動させる第一のモータ１１４および第二のモータ１１５とを含む。屈曲アーム１１２は、スペーサ１１６を介して枠体７４の天井部８４の下面に揺動自在に連結された第一のアーム片１１８と、第一のアーム片１１８の下面に揺動自在に連結された第二のアーム片１２０とを有する。

スペーサ１１６は、第一のアーム片１１８の一端部に配置されている。第一のアーム片１１８は、スペーサ１１６側を揺動中心として天井部８４に連結されている。また、第一のアーム片１１８の他端部の上面にもスペーサ１２２が設けられている。第二のアーム片１２０は、スペーサ１２２側を揺動中心として第一のアーム片１１８に連結されている。

第二のアーム片１２０の先端（スペーサ１２２とは反対側の端部）には、円形孔（図示していない。）が設けられている。この円形孔には、搬出入手段６のＺ回転軸４６が挿入され、Ｚ回転軸４６は第二のアーム片１２０に回転不能に固定される。Ｚ回転軸４６に連結されている搬出入手段６のモータが駆動すると、第二のアーム片１２０に対して搬出入手段６のケーシング５２が回転し、ブレード保持部４８および固定ナット保持部５０が任意の向きに位置づけられる。このように、搬出入手段６は、屈曲アーム１１２の先端にＺ回転軸４６を介して連結されているとともに、屈曲アーム１１２を介して枠体７４に配設されている。

Ｘ軸移動手段１２においては、第一のモータ１１４によって、スペーサ１１６側を揺動中心として第一のアーム片１１８を揺動させるとともに、第二のモータ１１５によって、スペーサ１２２側を揺動中心として第二のアーム片１２０を揺動させることにより、屈曲アーム１１２を屈曲または伸長させ、搬出入手段６をＸ軸方向に移動させるようになっている。

（洗浄機構１３）
図２に示すとおり、洗浄機構１３は、切削ブレード保管手段４に保管されており、ブレード支持軸２４に支持されている。洗浄機構１３は、切削手段に配設され切削ブレードの切り刃の状態を検出する切り刃検出センサーを洗浄する第一の洗浄ユニット１２４と、チャックテーブルに隣接して配設され、切削手段に装着された切削ブレードの切り刃の位置を検出する位置検出センサーを洗浄する第二の洗浄ユニット１２６と、切削手段の固定フランジを洗浄する第三の洗浄ユニット１２８と、切削ブレードとしてのワッシャーブレード４５を固定フランジとで挟持する装着フランジの挟持面を洗浄する第四の洗浄ユニット１３０とを備える。

（第一の洗浄ユニット１２４）
図９を参照して説明すると、第一の洗浄ユニット１２４は、環状の基台１３２と、基台１３２の外周に設けられた環状の洗浄部材１３４とを有する。

基台１３２は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台１３２の中央開口部１３２ａは、ブレード支持軸２４の軸部３４に嵌め合わされ、第一の洗浄ユニット１２４はブレード支持軸２４に着脱自在に支持されている。また、基台１３２の外径は、ブレード保持部４８の環状突出部６２の内径よりも若干小さく、第一の洗浄ユニット１２４はブレード保持部４８によって吸引保持されるようになっている。

洗浄部材１３４は、フェルトまたは合成樹脂製の硬質スポンジから形成されている。洗浄部材１３４の厚みは、切り刃検出センサーの発光部および受光部のそれぞれを洗浄可能な厚みとなっている。

（第二の洗浄ユニット１２６）
図１０に示すとおり、第二の洗浄ユニット１２６は、第一の洗浄ユニット１２４と同じように、環状の基台１３６と、基台１３６の外周に設けられた環状の洗浄部材１３８とを有する。

基台１３６は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台１３６の中央開口部１３６ａはブレード支持軸２４の軸部３４に嵌め合わされ、第二の洗浄ユニット１２６はブレード支持軸２４に着脱自在に支持されている。また、基台１３６の外径は、ブレード保持部４８の環状突出部６２の内径よりも若干小さく、第二の洗浄ユニット１２６は、ブレード保持部４８によって吸引保持され得る。

洗浄部材１３８は、フェルトまたは合成樹脂製の硬質スポンジから形成されている。洗浄部材１３８の厚みは、位置検出センサーの発光部および受光部のそれぞれを洗浄可能な厚みとなっている。

（第三の洗浄ユニット１２８）
図１１に示すように、第三の洗浄ユニット１２８は、環状の基台１４０と、基台１４０の裏面に設けられた環状の洗浄部材１４２とを有する。第三の洗浄ユニット１２８の中央には、基台１４０および洗浄部材１４２を貫通する開口部１４４が形成されている。開口部１４４は、ブレード支持軸２４の軸部３４に嵌め合わされ、第三の洗浄ユニット１２８は、洗浄部材１４２が基部３２側を向いた状態で、ブレード支持軸２４に着脱自在に支持されている。

基台１４０は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台１４０の表面には、環状突出部１４０ａが形成されている。環状突出部１４０ａの外径は、ブレード保持部４８の環状突出部６２の内径よりも若干小さく、第三の洗浄ユニット１２８は、ブレード保持部４８によって吸引保持されるようになっている。

洗浄部材１４２の材料は、フェルトまたは合成樹脂製の比較的硬質なスポンジでよい。また、洗浄部材１４２は、切削手段の固定フランジを洗浄可能な大きさに形成されている。

（第四の洗浄ユニット１３０）
図１２を参照して説明すると、第四の洗浄ユニット１３０は、環状の基台１４６と、基台１４６の表面に設けられた環状の洗浄部材１４８とを有する。第四の洗浄ユニット１３０の中央には、基台１４６および洗浄部材１４８を貫通する開口部１５０が形成されている。開口部１５０は、ブレード支持軸２４の軸部３４に嵌め合わされており、第四の洗浄ユニット１３０は、基台１４６が基部３２側を向いた状態で、ブレード支持軸２４に回転不能に固定されている。

基台１４６は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。洗浄部材１４８の材料は、フェルトまたは合成樹脂製の比較的硬質なスポンジでよい。また、洗浄部材１４８は、切削ブレードとしてのワッシャーブレード４５を固定フランジとで挟持する装着フランジの挟持面を洗浄可能な大きさに形成されている。

次に、図１３ないし図１９を参照して、上述した補助装置２が連結される切削装置１７０について説明する。

（切削装置１７０）
図１３に示すとおり、切削装置１７０は、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブル１７２と、チャックテーブル１７２に保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定ナットで装着した切削手段１７４と、チャックテーブル１７２をＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段１７６と、切削手段１７４をＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段１７８と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向に切削手段１７４を切り込み送りするＺ軸送り手段１８０とを備える。

（チャックテーブル１７２）
図１３および図１４を参照して説明すると、切削装置１７０は、基台１８２（図１３参照。）の上面にＸ軸方向に移動自在に設けられたＸ軸可動板１８４と、Ｘ軸可動板１８４の上面に固定された支柱１８６と、支柱１８６の上端に固定されたカバー板１８８とを備える。カバー板１８８には、円形開口１８８ａが形成されている。チャックテーブル１７２は、支柱１８６の上端に回転自在に搭載され、カバー板１８８の円形開口１８８ａを通って上方に延びている。チャックテーブル１７２は、支柱１８６に内蔵されたモータ（図示していない。）によってＺ軸方向を軸心として回転される。

図１４に示すとおり、チャックテーブル１７２の上端部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の円形状の吸着チャック１９０が配置されている。チャックテーブル１７２においては、吸引手段で吸着チャック１９０の上面に吸引力を生成することにより、吸着チャック１９０の上面に載せられた被加工物を吸引保持するようになっている。

このようにチャックテーブル１７２においては、吸着チャック１９０の上面が被加工物を保持する保持面となっており、保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定されるＸＹ平面上に位置づけられている。また、チャックテーブル１７２の周縁には、周方向に間隔をおいて複数のクランプ１９２が配置されている。

図１４を参照して説明を続けると、カバー板１８８の上面には、切削手段１７４に装着されている切削ブレードの切り刃の位置（下端位置）を検出する位置検出センサー１９４がチャックテーブル１７２に隣接して配設されている。図示の実施形態では、Ｙ軸方向に間隔をおいて一対の位置検出センサー１９４が設けられている。位置検出センサー１９４は、カバー板１８８の上面に固定された基板１９５と、互いに間隔をおいて基板１９５の上面に配置された発光部１９６および受光部１９７とを有する。

位置検出センサー１９４によって切削ブレードの切り刃の位置を検出する際は、発光部１９６から受光部１９７に向かって光を照射させながら、発光部１９６と受光部１９７との間に切削手段１７４の切削ブレードを徐々に下降させていく。そして、切削ブレードの切り刃によって発光部１９６の光が遮られ、受光部１９７が受光する光量が所定値まで減少したときの、切削ブレードの切り刃の位置が位置検出センサー１９４によって検出される。

（Ｘ軸送り手段１７６）
図１４に示すとおり、Ｘ軸送り手段１７６は、Ｘ軸可動板１８４に連結されＸ軸方向に延びるボールねじ１９８と、ボールねじ１９８を回転させるモータ２００とを有する。Ｘ軸送り手段１７６は、ボールねじ１９８によりモータ２００の回転運動を直線運動に変換してＸ軸可動板１８４に伝達し、基台１８２の案内レール１８２ａに沿ってＸ軸可動板１８４を移動させるとともに、チャックテーブル１７２をＸ軸方向に加工送りする。

図１３に示すとおり、切削装置１７０は、チャックテーブル１７２を跨って配置された門型のフレーム２０２を含む。フレーム２０２は、Ｙ軸方向に間隔をおいて基台１８２の上面から上方に延びる一対の支柱２０４と、一対の支柱２０４の上端間に架け渡されＹ軸方向に延びる梁２０６とを有する。

（切削手段１７４）
切削手段１７４は、梁２０６の片側の側面（図１３において背面側の側面）にＹ軸方向に間隔をおいて一対設けられている。図示の実施形態の切削装置１７０においては、切削ブレードが対面するように一対の切削手段１７４が設けられており、チャックテーブル１７２に保持された被加工物を一対の切削ブレードによって同時に切削加工を施すことができるようになっている。なお、切削手段１７４は１個であってもよい。

図１５に示すとおり、各切削手段１７４は、Ｙ軸方向に移動自在に梁２０６の片側の側面に支持される矩形状のＹ軸可動部材２０８と、Ｙ軸可動部材２０８にＺ軸方向に昇降自在に支持された断面Ｌ字状のＺ軸可動部材２１０と、Ｚ軸可動部材２１０の下端に固定されたスピンドルハウジング２１２とを備える。

Ｙ軸可動部材２０８の片側の側面（図１５において手前側の側面）には、Ｚ軸方向に間隔をおいてＹ軸方向に延びる一対の被案内溝２０８ａが形成され、被案内溝２０８ａは、梁２０６の片側の側面において上下方向に間隔をおいてＹ軸方向に延びる一対の案内レール（図示していない。）に摺動自在に連結される。

（Ｙ軸送り手段１７８）
Ｙ軸送り手段１７８は、梁２０６の片側の側面においてＹ軸方向に延びるボールねじ２１４と、ボールねじ２１４を回転させるモータ２１６とを有する。ボールねじ２１４はＹ軸可動部材２０８に連結されている。Ｙ軸送り手段１７８は、ボールねじ２１４によりモータ２１６の回転運動を直線運動に変換してＹ軸可動部材２０８に伝達し、梁２０６の片側の側面に付設された案内レールに沿ってＹ軸可動部材２０８をＹ軸方向に割り出し送りする。

Ｙ軸可動部材２０８の他側の側面（図１５において背面側の側面）には、Ｙ軸方向に間隔をおいてＺ軸方向に延びる一対の案内レール（図示していない。）が形成されており、Ｚ軸可動部材２１０は、Ｙ軸可動部材２０８の一対の案内レールに摺動自在に連結される一対の被案内溝（図示していない。）を有する。

（Ｚ軸送り手段１８０）
Ｚ軸送り手段１８０は、Ｚ軸可動部材２１０に連結されＺ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ２１８とを有する。Ｚ軸送り手段１８０は、ボールねじによりモータ２１８の回転運動を直線運動に変換してＺ軸可動部材２１０に伝達し、Ｙ軸可動部材２０８の案内レールに沿ってＺ軸可動部材２１０をＺ軸方向に切り込み送りする。

図１６を参照して説明すると、スピンドルハウジング２１２には、Ｙ軸方向を軸心として回転自在に円柱状のスピンドル２２０が支持されているとともに、スピンドル２２０を回転させるモータ（図示していない。）が収容されている。スピンドル２２０の先端には、被加工物を切削する切削ブレードが固定ナット２２２により着脱自在に固定されている。なお、図１６には、切削ブレードとしてハブブレード３６がスピンドル２２０に固定されている例が示されている。

スピンドルハウジング２１２の先端には、切削ブレードを覆うブレードカバー２２４が装着されている。ブレードカバー２２４は、スピンドルハウジング２１２の先端に固定された第一のカバー部材２２４ａと、第一のカバー部材２２４ａの先端に移動自在に装着された第二のカバー部材２２４ｂとを有する。第二のカバー部材２２４ｂは、エアシリンダ等の適宜のアクチュエータ（図示していない。）によってＸ軸方向に移動されるようになっており、切削ブレードの交換時には図１６に示す開放位置に位置づけられ、切削加工時には図１５に示す閉塞位置に位置づけられる。

図１７に示すとおり、スピンドル２２０の先端側外周面には、径方向外側に突出する環状の固定フランジ２２６が設けられている。固定フランジ２２６の先端面の径方向内側部分には環状の凹所２２６ａが形成されており、固定フランジ２２６の先端面の外周側部分は、軸方向に突出した環状の受け部２２６ｂとなっている。また、固定フランジ２２６よりも更に先端側のスピンドル２２０の外周面には、雄ネジ２２８が形成されている。

そして、切削ブレードとしてハブブレード３６がスピンドル２２０に装着される場合には、ハブブレード３６の中央開口部３８ａがスピンドル２２０の先端部に嵌合し、スピンドル２２０の雄ネジ２２８と固定ナット２２２とが螺着（締結）されることにより、固定フランジ２２６の受け部２２６ｂと固定ナット２２２とにハブブレード３６が挟み込まれてスピンドル２２０の先端に着脱自在に固定される。また、固定ナット２２２の側面には、搬出入手段６の固定ナット保持部５０のピン７２が挿入される複数個のピン孔２２２ａが周方向に等間隔をおいて形成されている。

また、切削ブレードとしてワッシャーブレード４５がスピンドル２２０に装着される場合には、図１８に示すように、固定フランジ２２６の受け部２２６ｂと環状の装着フランジ２２９の挟持面２２９ａとでワッシャーブレード４５が挟み込まれた状態で、スピンドル２２０の雄ネジ２２８と固定ナット２２２とが螺着（締結）されることにより、ワッシャーブレード４５がスピンドル２２０の先端に着脱自在に固定される。

なお、装着フランジ２２９の挟持面２２９ａには、ワッシャーブレード４５の中央開口部４５ａの内径に対応する外径Ｄ（切削ブレード保管手段４の軸部３４の外径Ｄと同一である。）を有する環状の突出部２２９ｂが設けられている。そして、ワッシャーブレード４５がスピンドル２２０に固定される際には、ワッシャーブレード４５の中央開口部４５ａが突出部２２９ｂに嵌め合わされる。

図１６に示すとおり、ブレードカバー２２４の第一のカバー部材２２４ａの上部には、切削ブレードの切り刃の状態を検出する切り刃検出センサー２３０が設けられている。図１９を参照して説明すると、切り刃検出センサー２３０は、切削ブレードを挟んで対向する位置に配置された発光部２３２および受光部２３４を含む。

切削ブレードの切り刃に摩耗や欠けが発生していない正常時には、発光部２３２からの光が切削ブレードの切り刃によって一部が遮光される。一方、切削ブレードの切り刃に摩耗や欠けが発生すると、受光部２３４の受光量が、上記正常時よりも増加する。このようなことから、切り刃検出センサー２３０においては、受光部２３４の受光量に基づいて切削ブレードの切り刃の破損状態を検出するようになっている。なお、切り刃検出センサー２３０は、図示していない昇降手段によって昇降され、上下方向位置が調整される。

図１３に示すとおり、フレーム２０２の梁２０６の他側の側面（図１３において手前側の側面）には、チャックテーブル１７２に保持された被加工物を撮像する一対の撮像手段２３６がＹ軸方向に移動自在に装着されているとともに、撮像手段２３６をＹ軸方向に移動させる一対の移動手段２３８が装着されている。

移動手段２３８は、梁２０６の他側の側面においてＹ軸方向に延びるボールねじ２４０と、ボールねじ２４０を回転させるモータ２４２とを有する。ボールねじ２４０は撮像手段２３６に連結されている。そして、移動手段２３８は、ボールねじ２４０によりモータ２４２の回転運動を直線運動に変換して撮像手段２３６に伝達し、梁２０６の他側の側面に付設された案内レール２０６ａに沿って撮像手段２３６をＹ軸方向に移動させる。なお、撮像手段２３６は１個であってもよい。

（切削加工）
切削装置１７０を用いて、ウエーハ等の被加工物に対して切削加工を施す際は、まず、チャックテーブル１７２に被加工物を吸着させる。次いで、Ｘ軸送り手段１７６でチャックテーブル１７２を撮像手段２３６の下方に移動させるとともに、移動手段２３８で撮像手段２３６のＹ軸方向位置を調整する。次いで、撮像手段２３６で上方から被加工物を撮像して被加工物の切削領域を検出する。

次いで、撮像手段２３６で検出した被加工物の切削領域に基づいて、チャックテーブル１７２を回転させ、切削手段１７４の切削ブレードに対する被加工物の切削領域の向きを調整する。次いで、Ｘ軸送り手段１７６でチャックテーブル１７２をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｙ軸送り手段１７８でスピンドルハウジング２１２をＹ軸方向に移動させ、被加工物の切削領域の上方に一対の切削ブレードを位置づける。

次いで、Ｚ軸送り手段１８０でスピンドルハウジング２１２を下降させ、高速回転させた切削ブレードの切り刃を被加工物の切削領域に切り込ませるとともに、切削ブレードの切り刃を切り込ませる部分に切削水を供給しながら、チャックテーブル１７２をＸ軸方向に加工送りすることによって、被加工物の切削領域に所定の切削加工を施す。Ｙ軸送り手段１７８でスピンドルハウジング２１２をＹ軸方向に割り出し送りしながら、上記切削加工を適宜繰り返し、被加工物の切削領域のすべてに切削加工を施す。切削工程が終了した切削加工済みの被加工物は次工程に搬送される。

（切削ブレードの交換）
切削工程を繰り返し実施すると切削ブレードは磨耗し、切削ブレードの磨耗が所定量に達すると切削精度が維持されなくなるため、スピンドル２２０に装着されている切削ブレードを新たな切削ブレードに交換する必要がある。また、スピンドル２２０に装着されている切削ブレードの磨耗が所定量に達していない場合でも、前に切削加工を施した被加工物の素材と異なる素材の被加工物に切削加工を施すときは、被加工物の素材に応じた切削ブレードに交換する必要が生じることもある。

図示の実施形態では図２０に示すとおり、切削装置１７０の切削ブレードを自動的に交換できる補助装置２が切削装置１７０に連結されており、以下、補助装置２を用いてハブブレード３６を交換する方法について説明する。

図２０に示すとおり、補助装置２は、切削装置１７０のＸ軸方向奥側に配置されており、ユーザーに既に納品した切削装置１７０に後から装着することができるようになっている。補助装置２を用いて、切削装置１７０に装着されている切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、切削装置１７０に搬入すべき新たなハブブレード３６を支持しているブレード支持軸２４を所定位置（たとえば、ブレード支持軸２４の軌道における最下端の位置）に位置づける。

次いで、図２１に示すとおり、搬出入手段６のＺ回転軸４６に連結されているモータでケーシング５２を回転させ、ブレード保持部４８が装着されているケーシング５２の側壁５６をＸ軸方向に沿わせ、ブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。

また、Ｘ軸移動手段１２およびＺ軸移動手段１０を作動させ、上記所定位置のブレード支持軸２４の軸部３４をブレード保持部４８の中央開口部６０（図６参照。）に挿入することができるように、ブレード保持部４８のＸ軸方向位置およびＺ軸方向位置を調整する。

次いで、図２２に示すとおり、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させ、ブレード支持軸２４に支持されているハブブレード３６をブレード保持部４８によって保持可能な作用位置に搬出入手段６を位置づける。これによって、上記所定位置のブレード支持軸２４の軸部３４をブレード保持部４８の中央開口部６０に挿入するとともに、軸部３４の先端側に位置するハブブレード３６の端面にブレード保持部４８の端面５８を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の第一の吸引孔６１に吸引力を生成し、軸部３４の先端側に位置するハブブレード３６をブレード保持部４８で吸引保持する。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８を作動させ、搬出入手段６を切削ブレード保管手段４からＹ軸方向に離間させて退避位置に位置づける。次いで、搬出入手段６のケーシング５２を１８０°回転させ、ハブブレード３６を吸引保持したブレード保持部４８の反対側のブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８を作動させ、反対側のブレード保持部４８によってブレード支持軸２４のハブブレード３６を保持可能な作用位置に搬出入手段６を位置づける。次いで、反対側のブレード保持部４８の第一の吸引孔６１に吸引力を生成し、軸部３４の先端側に位置するハブブレード３６をブレード保持部４８によって吸引保持する。これによって、４個のブレード保持部４８のうち対向する一対のブレード保持部４８で、新たなハブブレード３６を吸引保持した状態となる。

次いで、図２３に示すとおり、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させるとともに、Ｚ軸移動手段１０で昇降テーブル７６をＺ軸方向に移動させる。これによって、切削ブレード保管手段４から搬出入手段６を離間させて退避位置に位置づけるとともに、切削装置１７０に対する搬出入手段６のＹ軸方向位置およびＺ軸方向位置を調整する。位置調整後の搬出入手段６のＹ軸方向位置は、切削装置１７０の一対の切削手段１７４の間であり、位置調整後の搬出入手段６のＺ軸方向位置は、チャックテーブル１７２の保持面よりも上方である。

次いで、図２４に示すとおり、Ｘ軸移動手段１２によって搬出入手段６をＸ軸方向に移動させ、一対の切削手段１７４に対する搬出入手段６のＸ軸方向位置を調整する。具体的には、搬出入手段６の一対のブレード保持部４８で吸引保持している新たな一対のハブブレード３６の中心のＸ軸方向位置と、一対の切削手段１７４に装着されている一対のハブブレード３６の中心のＸ軸方向位置とを整合させる。

また、補助装置２のＺ軸移動手段１０または切削装置１７０のＺ軸送り手段１８０を作動させ、ブレード保持部４８のハブブレード３６の中心のＺ軸方向位置と、切削手段１７４のハブブレード３６の中心のＺ軸方向位置とを整合させる。

次いで、搬出入手段６のケーシング５２を６０°回転させ、一対の固定ナット保持部５０を一対の切削手段１７４のハブブレード３６に対面させる。なお、搬出入手段６を前進させる前に、ケーシング５２を６０°回転させておいてもよい。

次いで、一対の切削手段１７４のそれぞれのブレードカバー２２４の第二のカバー部材２２４ｂを開放位置（図１６参照。）に位置づける。また、切り刃検出センサー２３０を上昇させ、ハブブレード３６から遠ざける。次いで、切削装置１７０のＹ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をＹ軸方向に移動させ、スピンドル２２０にハブブレード３６を固定している固定ナット２２２を固定ナット保持部５０の回転体６６の端面６６ａに接触させる。そうすると、固定ナット保持部５０のピン７２が固定ナット２２２に押されて回転体６６の内部に収容されるとともに、スピンドル２２０の先端が回転体６６の中央開口部６８に収容される。

次いで、固定ナット保持部５０のモータ６７で回転体６６を回転させると、各ピン７２が固定ナット２２２のピン孔２２２ａと合致したときに、各ピン７２がピン孔２２２ａに嵌合し、回転体６６の回転運動が各ピン７２を介して固定ナット２２２に伝達され、固定ナット２２２が緩む。これによって、切削手段１７４のスピンドル２２０の雄ネジ２２８から固定ナット２２２を螺脱する（取り外す）ことができる。また、固定ナット保持部５０の各吸引孔７０に吸引力を生成し、取り外した固定ナット２２２を固定ナット保持部５０で吸引保持する。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４を搬出入手段６から離間させるとともに、搬出入手段６のケーシング５２を６０°回転させ、ハブブレード３６を吸引保持していない空のブレード保持部４８を切削手段１７４のハブブレード３６に対面させる。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４を搬出入手段６に接近させ、切削手段１７４のスピンドル２２０をブレード保持部４８の中央開口部６０に挿入するとともに、切削手段１７４のハブブレード３６の端面に、空のブレード保持部４８の端面５８を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の第一の吸引孔６１に吸引力を生成し、切削手段１７４のハブブレード３６をブレード保持部４８で吸引保持する。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４を搬出入手段６から離間させるとともに、搬出入手段６のケーシング５２を６０°回転させ、新たなハブブレード３６を吸引保持しているブレード保持部４８を切削手段１７４のスピンドル２２０に対面させる。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４を搬出入手段６に接近させ、スピンドル２２０を新たなハブブレード３６の中央開口部３８ａに挿入して、スピンドル２２０の固定フランジ２２６の受け部２２６ｂにハブブレード３６の端面を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、ブレード保持部４８からスピンドル２２０に新たなハブブレード３６を受け渡す。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４を搬出入手段６から離間させるとともに、搬出入手段６のケーシング５２を６０°回転させ、取り外した固定ナット２２２を吸引保持している固定ナット保持部５０を切削手段１７４のスピンドル２２０に対面させる。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４を搬出入手段６に接近させ、固定ナット保持部５０で吸引保持した固定ナット２２２をスピンドル２２０の先端部に嵌合させる。次いで、固定ナット２２２を取り外したときとは逆方向に固定ナット保持部５０のモータ６７を作動させて固定ナット２２２を回転させ、スピンドル２２０の雄ネジ２２８に固定ナット２２２を螺着（締結）させる。

これによって、切削手段１７４に装着すべき新たなハブブレード３６をスピンドル２２０の固定フランジ２２６の受け部２２６ｂと固定ナット２２２とで挟み込んでスピンドル２２０に固定することができる。

次いで、固定ナット保持部５０の吸引力を解除した後、切削手段１７４のブレードカバー２２４の第二のカバー部材２２４ｂを閉塞位置に位置づける。なお、上述したとおりの固定ナット２２２およびハブブレード３６の取り外し、取り付けについては、一対の切削手段１７４に対して同時に行ってもよく、別々に行ってもよい。

次いで、搬出入手段６を後退させるとともに、搬出入手段６のケーシング５２を６０°回転させ、取り外した一対のハブブレード３６の一方を切削ブレード保管手段４に対面させる。また、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、ハブブレード３６を支持していない空のブレード支持軸２４を所定位置（たとえば、ブレード支持軸２４の軌道における最下端の位置）に位置づける。

次いで、Ｘ軸移動手段１２およびＺ軸移動手段１０を作動させ、ブレード保持部４８で吸引保持している一方のハブブレード３６の中央開口部３８ａに上記所定位置のブレード支持軸２４の軸部３４を挿入することができるように、ブレード保持部４８のＸ軸方向位置およびＺ軸方向位置を調整する。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させ、ブレード保持部４８で吸引保持している一方のハブブレード３６の中央開口部３８ａに上記所定位置のブレード支持軸２４の軸部３４を挿入するとともに、一方のハブブレード３６の端面をブレード支持軸２４の基部３２の端面に接触させる。次いで、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、取り外した一対のハブブレード３６の一方をブレード支持軸２４に受け渡す。

また、Ｙ軸方向位置付け手段８によって搬出入手段６を切削ブレード保管手段４から離間させるとともに、搬出入手段６のケーシング５２を１８０°回転させ、取り外した一対のハブブレード３６の他方を吸引保持している反対側のブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させ、反対側のブレード保持部４８で吸引保持している他方のハブブレード３６の中央開口部３８ａに上記所定位置のブレード支持軸２４の軸部３４を挿入するとともに、他方のハブブレード３６の端面を、ブレード支持軸２４に支持されているハブブレード３６の端面に接触させる。次いで、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、取り外した一対のハブブレード３６の他方をブレード支持軸２４に受け渡す。

このように、図示の実施形態の補助装置２においては、ユーザーに既に納品した切削装置１７０に後から装着して、切削装置１７０の切削手段１７４に装着された切削ブレードを交換することができるようになっている。

（ワッシャーブレード４５の交換）
なお、上記の例ではハブブレード３６を交換する例について説明したが、図示の実施形態においては、ワッシャーブレード４５を交換することもできる。

ワッシャーブレード４５を交換する際には、交換用の新たなワッシャーブレード４５をブレード保持部４８によって吸引保持しない状態で、切削装置１７０の一対の切削手段１７４間に搬出入手段６を位置づける。次いで、固定ナット保持部５０を切削手段１７４に対面させ、固定ナット保持部５０によって切削手段１７４のスピンドル２２０から固定ナット２２２を取り外す。

次いで、ブレード保持部４８を切削手段１７４に対面させた後、ブレード保持部４８の第一の吸引孔６１に吸引力を生成し、ブレード保持部４８によって装着フランジ２２９を吸引保持し、スピンドル２２０から装着フランジ２２９を取り外すとともに、第二の吸引孔６３に吸引力を生成し、スピンドル２２０に装着されているワッシャーブレード４５をブレード保持部４８で保持する。

次いで、搬出入手段６を切削ブレード保管手段４に移動させるとともに、装着フランジ２２９およびワッシャーブレード４５を吸引保持しているブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させて第二の吸引孔６３の吸引力を解除してワッシャーブレード４５を切削ブレード保管手段４に保管する。次いで、装着フランジ２２９を吸引保持しているブレード保持部４８の第二の吸引孔６３に吸引力を生成し、交換用の新たなワッシャーブレード４５をブレード保持部４８で吸引保持する。すなわち、同一のブレード保持部４８によって、装着フランジ２２９とともに、交換用の新たなワッシャーブレード４５を吸引保持する。

次いで、装着フランジ２２９および新たなワッシャーブレード４５を保持しているブレード保持部４８を切削手段１７４に対面させ、装着フランジ２２９および新たなワッシャーブレード４５をスピンドル２２０に受け渡す。そして、固定ナット保持部５０を切削手段１７４に対面させた後、固定ナット２２２をスピンドル２２０の雄ネジ２２８に螺着する。このように、補助装置２においては、ユーザーに既に納品した切削装置１７０に後から装着して、切削装置１７０のワッシャーブレード４５を交換可能である。

（切り刃検出センサー２３０の洗浄）
切り刃検出センサー２３０を洗浄する際は、まず、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、第一の洗浄ユニット１２４を支持しているブレード支持軸２４を所定位置に位置づける。

次いで、搬出入手段６を移動させ、第一の洗浄ユニット１２４をブレード保持部４８によって保持可能な作用位置に搬出入手段６を位置づける。すなわち、ブレード支持軸２４の軸部３４をブレード保持部４８の中央開口部６０に挿入するとともに、第一の洗浄ユニット１２４の基台１３２の端面にブレード保持部４８の端面５８を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の第一の吸引孔６１に吸引力を生成し、第一の洗浄ユニット１２４をブレード保持部４８で吸引保持する。

次いで、搬出入手段６を移動させ、切削装置１７０の一対の切削手段１７４間に搬出入手段６を位置づける。次いで、固定ナット保持部５０を切削手段１７４に対面させ、固定ナット保持部５０によってスピンドル２２０から固定ナット２２２を取り外し、取り外した固定ナット２２２を固定ナット保持部５０で吸引保持する。

次いで、第一の洗浄ユニット１２４を吸引保持していない空のブレード保持部４８を切削手段１７４に対面させ、ブレード保持部４８によって切削ブレードを吸引保持し、スピンドル２２０から切削ブレードを取り外す。なお、切削ブレードがワッシャーブレード４５の場合には、ワッシャーブレード４５および装着フランジ２２９をブレード保持部４８によって吸引保持してスピンドル２２０から取り外す。

次いで、第一の洗浄ユニット１２４を吸引保持しているブレード保持部４８をスピンドル２２０に対面させた後、第一の洗浄ユニット１２４の中央開口部１３２ａをスピンドル２２０に嵌め合わせる。そして、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、ブレード保持部４８からスピンドル２２０に第一の洗浄ユニット１２４を受け渡す。

次いで、取り外した固定ナット２２２を吸引保持している固定ナット保持部５０を切削手段１７４のスピンドル２２０に対面させる。次いで、固定ナット保持部５０で吸引保持した固定ナット２２２をスピンドル２２０の先端部に嵌合し、スピンドル２２０の雄ネジ２２８に固定ナット２２２を螺着する。このように、搬出入手段６を用いて、第一の洗浄ユニット１２４をスピンドル２２０の固定フランジ２２６に固定する。

第一の洗浄ユニット１２４を固定フランジ２２６に固定したら、図２５に示すとおり、切り刃検出センサー２３０を下降させ、発光部２３２と受光部２３４との間に第一の洗浄ユニット１２４の洗浄部材１３４を位置づける。そして、スピンドル２２０を回転させることにより、切り刃検出センサー２３０の発光部２３２および受光部２３４を第一の洗浄ユニット１２４の洗浄部材１３４で洗浄することができる。洗浄後は、スピンドル２２０から第一の洗浄ユニット１２４を取り外し、スピンドル２２０に切削ブレードを装着するとともに、第一の洗浄ユニット１２４を切削ブレード保管手段４に戻す。

（位置検出センサー１９４の洗浄）
位置検出センサー１９４を洗浄する際は、第一の洗浄ユニット１２４をスピンドル２２０の固定フランジ２２６に固定したときと同様に、第二の洗浄ユニット１２６をスピンドル２２０の固定フランジ２２６に固定する。次いで、図２６に示すように、切削手段１７４を移動させ、位置検出センサー１９４の発光部１９６と受光部１９７との間に洗浄部材１３８を位置づける。そして、スピンドル２２０を回転させることにより、位置検出センサー１９４の発光部１９６および受光部１９７を第二の洗浄ユニット１２６の洗浄部材１３８で洗浄することができる。

（固定フランジ２２６の洗浄）
固定フランジ２２６を洗浄する際は、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、第三の洗浄ユニット１２８を支持しているブレード支持軸２４を所定位置に位置づける。

次いで、搬出入手段６を移動させ、第三の洗浄ユニット１２８をブレード保持部４８によって保持可能な作用位置に搬出入手段６を位置づける。すなわち、ブレード支持軸２４の軸部３４をブレード保持部４８の中央開口部６０に挿入するとともに、第三の洗浄ユニット１２８の基台１４０の環状突出部１４０ａの端面にブレード保持部４８の端面５８を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の第一の吸引孔６１に吸引力を生成し、第三の洗浄ユニット１２８をブレード保持部４８で吸引保持する。

次いで、搬出入手段６を移動させ、切削装置１７０の一対の切削手段１７４間に搬出入手段６を位置づけた後、固定ナット保持部５０によってスピンドル２２０から固定ナット２２２を取り外し、取り外した固定ナット２２２を固定ナット保持部５０で吸引保持する。

次いで、第三の洗浄ユニット１２８を吸引保持していない空のブレード保持部４８を切削手段１７４に対面させ、ブレード保持部４８によって切削ブレードを吸引保持し、スピンドル２２０から切削ブレードを取り外す。なお、切削ブレードがワッシャーブレード４５の場合には、ワッシャーブレード４５および装着フランジ２２９をブレード保持部４８によって吸引保持してスピンドル２２０から取り外す。

スピンドル２２０から切削ブレードを取り外したら、図２７に示すとおり、第三の洗浄ユニット１２８を吸引保持しているブレード保持部４８をスピンドル２２０に対面させる。そして、第三の洗浄ユニット１２８の洗浄部材１４２を切削手段１７４の固定フランジ２２６の受け部２２６ｂに押し当てるとともに、第三の洗浄ユニット１２８と固定フランジ２２６とを相対的に回転させる。これによって、固定フランジ２２６の受け部２２６ｂを第三の洗浄ユニット１２８の洗浄部材１４２で洗浄することができる。

固定フランジ２２６を洗浄する際は、第三の洗浄ユニット１２８を保持しているブレード保持部４８をモータ５７で回転させてもよく、あるいは、スピンドル２２０用のモータでスピンドル２２０とともに固定フランジ２２６を回転させてもよい。

（装着フランジ２２９の洗浄）
装着フランジ２２９を洗浄する際は、搬出入手段６を移動させ、切削装置１７０の一対の切削手段１７４間に搬出入手段６を位置づける。次いで、固定ナット保持部５０を切削手段１７４に対面させ、固定ナット保持部５０によってスピンドル２２０から固定ナット２２２を取り外し、取り外した固定ナット２２２を固定ナット保持部５０で吸引保持する。

次いで、ブレード保持部４８を切削手段１７４に対面させ、第一の吸引孔６１に吸引力を生成して装着フランジ２２９を吸引保持するとともに、第二の吸引孔６３に吸引力を生成してワッシャーブレード４５を吸引保持し、ワッシャーブレード４５および装着フランジ２２９を吸引保持してスピンドル２２０から取り外す。

次いで、搬出入手段６を移動させ、ワッシャーブレード４５および装着フランジ２２９を吸引保持しているブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。また、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、ワッシャーブレード４５を支持可能なブレード支持軸２４を所定位置に位置づける。

そして、ワッシャーブレード４５をブレード支持軸２４の軸部３４に嵌め合わせるとともに、第二の吸引孔６３の吸引力を解除して、ワッシャーブレード４５をブレード支持軸２４に受け渡す。この際、第一の吸引孔６１の吸引力は解除せず、ブレード保持部４８による装着フランジ２２９の吸引保持は継続する。

次いで、ブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４から遠ざける。また、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させることにより、図２８に示すように、ブレード保持部４８が吸引保持している装着フランジ２２９に、第四の洗浄ユニット１３０の洗浄部材１４８を対面させる。そして、装着フランジ２２９の挟持面２２９ａを第四の洗浄ユニット１３０の洗浄部材１４８に押し当てるとともに、装着フランジ２２９を保持しているブレード保持部４８をモータ５７で回転させる。これによって、装着フランジ２２９の挟持面２２９ａを洗浄部材１４８で洗浄することができる。

（ブレード保持部４８の洗浄）
なお、装着フランジ２２９等を保持していないブレード保持部４８を第四の洗浄ユニット１３０の洗浄部材１４８に押し当てるとともに、ブレード保持部４８をモータ５７で回転させることによって、ブレード保持部４８を洗浄部材１４８で洗浄することも可能である。

以上のとおりであり、図示の実施形態の補助装置２においては、ユーザーに既に納品した切削装置１７０に後から装着して、切削装置１７０の切削手段１７４に装着された切削ブレードを交換することができるとともに、切り刃検出センサー２３０等を洗浄可能である。

２：補助装置
４：切削ブレード保管手段
６：搬出入手段
８：Ｙ軸方向位置付け手段
１０：Ｚ軸移動手段
１２：Ｘ軸移動手段
１３：洗浄機構
３６：ハブブレード（切削ブレード）
４５：ワッシャーブレード（切削ブレード）
１２４：第一の洗浄ユニット
１２６：第二の洗浄ユニット
１２８：第三の洗浄ユニット
１３０：第四の洗浄ユニット
１７０：切削装置
１７２：チャックテーブル
１７４：切削手段
１７６：Ｘ軸送り手段
１７８：Ｙ軸送り手段
１８０：Ｚ軸送り手段
１９４：位置検出センサー
２２２：固定ナット
２２６：固定フランジ
２２９：装着フランジ
２２９ａ：挟持面
２３０：切り刃検出センサー

Claims (9)

1. 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを固定フランジに装着し固定ナットで固定した切削手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該切削手段をＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向に該切削手段を切り込み送りするＺ軸送り手段とを備え、該保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定された切削装置に連結される補助装置であって、
   複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段と、該切削ブレード保管手段から切削ブレードを搬出および搬入する搬出入手段と、該搬出入手段を該切削ブレード保管手段に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段と、該搬出入手段をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段と、該搬出入手段をＸ軸方向に移動して該切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段と、洗浄機構と、を少なくとも備える補助装置。
2. 該洗浄機構は、該切削手段に配設され切削ブレードの切り刃の状態を検出する切り刃検出センサーを洗浄する第一の洗浄ユニットを備え、
   該搬出入手段は該第一の洗浄ユニットを該固定フランジに装着させる請求項１記載の補助装置。
3. 該第一の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されている請求項２記載の補助装置。
4. 該洗浄機構は、該チャックテーブルに隣接して配設され、該切削手段に装着された切削ブレードの切り刃の位置を検出する位置検出センサーを洗浄する第二の洗浄ユニットを備え、
   該搬出入手段は該第二の洗浄ユニットを該固定フランジに装着させる請求項１記載の補助装置。
5. 該第二の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されている請求項４記載の補助装置。
6. 該洗浄機構は、該固定フランジを洗浄する第三の洗浄ユニットを備え、
   該搬出入手段は、該第三の洗浄ユニットを保持して該固定フランジに押し当てる請求項１記載の補助装置。
7. 該第三の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されている請求項６記載の補助装置。
8. 該洗浄機構は、切削ブレードとしてのワッシャーブレードを該固定フランジとで挟持する装着フランジの挟持面を洗浄する第四の洗浄ユニットを備え、
   該搬出入手段は、該装着フランジを保持して回転させながら該第四の洗浄ユニットに押し当てる請求項１記載の補助装置。
9. 該第四の洗浄ユニットは該切削ブレード保管手段に保管されている請求項８記載の補助装置。

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