JP2022187143A

JP2022187143A - 切削ブレード交換装置

Info

Publication number: JP2022187143A
Application number: JP2021094996A
Authority: JP
Inventors: 志博蘇; Zhibo Su; 俊中川; Takashi Nakagawa; 嘉木村; Yoshi Kimura
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-06-07
Filing date: 2021-06-07
Publication date: 2022-12-19
Also published as: KR20220165190A; TW202247948A; DE102022205369A1; US20220388194A1; CN115503134A

Abstract

【課題】スピンドルのボス部に形成された雄ネジにナットを螺合する際、ボス部の雄ネジとナットとの間にかじりが発生するのを防止することができると共に、ナットにかかる負荷を軽減することができる切削ブレード交換装置を提供する。【解決手段】切削装置１７０の切削手段１７４は、スピンドルの先端にフランジが配設され、フランジの中央から突出したボス部に切削ブレード３６の中央開口部を挿入し、ボス部の端部に形成された雄ネジにナットを螺合して切削ブレード３６を装着する構成となっている。切削ブレード交換装置２は、ナットを保持するナット保持部と、ナット保持部を回転させる駆動部とを備えたナット着脱ユニット６を含む。切削手段１７４のボス部の端部に形成された雄ネジにナットが螺合する際、ナットの螺合によってＹ軸方向に移動する速度に同期してナット着脱ユニット６または切削手段１７４の一方がＹ軸方向に移動し、ナット着脱ユニット６または切削手段１７４の他方がＹ軸方向にフリーになっている。【選択図】図１３

Description

本発明は、切削ブレードを着脱する切削ブレード交換装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、切削装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

切削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードをナットで支持した切削手段と、チャックテーブルをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に切削手段を割り出し送りするＹ軸送り手段と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のそれぞれに直交するＺ軸方向に切削手段を切り込み送りするＺ軸送り手段とを備え、チャックテーブルの保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定されていて、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割することができる。

切削手段は、スピンドルの先端にフランジが配設され、フランジの中央から突出したボス部に切削ブレードの中央開口部を挿入し、ボス部の端部に形成された雄ネジにナットを螺合して切削ブレードを装着する構成となっている。

本出願人は、このような切削装置の切削手段に装着された切削ブレードを自動的に交換できる自動交換装置を提案した（たとえば特許文献１参照）。

特開２００７－９８５３６号公報

しかし、ボス部の雄ネジにナットを螺合する際、ボス部の中心とナットの中心とがズレていると、雄ネジとナットとが適正に噛み合わず、雄ネジとナットとの間に「かじり」が発生するという問題がある。また、ナットに負荷がかかりナットが摩耗するという問題もある。

上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、ボス部の雄ネジにナットを螺合する際、ボス部の雄ネジとナットとの間にかじりが発生するのを防止することができると共に、ナットにかかる負荷を軽減することができる切削ブレード交換装置を提供することである。

本発明によれば、上記課題を解決する以下の切削ブレード交換装置が提供される。すなわち、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含む切削装置に装着され、該切削手段に切削ブレードを着脱する切削ブレード交換装置であって、該切削手段は、スピンドルの先端にフランジが配設され、該フランジの中央から突出したボス部に切削ブレードの中央開口部を挿入し、該ボス部の端部に形成された雄ネジにナットを螺合して切削ブレードを装着する構成となっており、該切削ブレード交換装置は、ナットを保持するナット保持部と、該ナット保持部を回転させる駆動部とを備えたナット着脱ユニットを含み、該ボス部の端部に形成された雄ネジにナットが螺合する際、ナットの螺合によってＹ軸方向に移動する速度に同期して該ナット着脱ユニットまたは該切削手段の一方がＹ軸方向に移動し、該ナット着脱ユニットまたは該切削手段の他方がＹ軸方向にフリーになっている切削ブレード交換装置が提供される。

好ましくは、ナットが螺合されなかった場合、警告を発する。

本発明の切削ブレード交換装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含む切削装置に装着され、該切削手段に切削ブレードを着脱する切削ブレード交換装置であって、該切削手段は、スピンドルの先端にフランジが配設され、該フランジの中央から突出したボス部に切削ブレードの中央開口部を挿入し、該ボス部の端部に形成された雄ネジにナットを螺合して切削ブレードを装着する構成となっており、該切削ブレード交換装置は、ナットを保持するナット保持部と、該ナット保持部を回転させる駆動部とを備えたナット着脱ユニットを含み、該ボス部の端部に形成された雄ネジにナットが螺合する際、ナットの螺合によってＹ軸方向に移動する速度に同期して該ナット着脱ユニットまたは該切削手段の一方がＹ軸方向に移動し、該ナット着脱ユニットまたは該切削手段の他方がＹ軸方向にフリーになっているので、ボス部の雄ネジにナットを螺合する際、ボス部の雄ネジとナットとの間にかじりが発生するのを防止することができると共に、ナットにかかる負荷を軽減することができる。

本発明に従って構成された切削ブレード交換装置の斜視図。図１に示す切削ブレード保管手段の分解斜視図。図２に示す支持軸の斜視図。図２に示す支持軸の断面図。図１に示すナット着脱ユニットの斜視図。図１に示す枠体、昇降テーブルおよびベース架台の分解斜視図。図１に示す枠体の分解斜視図。図１に示す切削ブレード交換装置が装着される切削装置の斜視図。図８に示すチャックテーブルの斜視図。図８に示す切削手段の斜視図。図１０に示すブレードカバーが開放された状態における切削手段の斜視図。図８に示す切削手段の分解斜視図。図１に示す切削ブレード交換装置が図８に示す切削装置に装着された状態を示す斜視図。図１に示す切削ブレード交換装置の切削ブレード保管手段とナット着脱ユニットとが対面している状態を示す斜視図。図１４に示す状態から枠体が切削ブレード保管手段に向かって前進した状態を示す斜視図。図１５に示す状態から枠体が後退すると共に、昇降テーブルが上昇した状態を示す斜視図。図１６に示す状態から第一の移動体が切削装置に向かって前進した状態を示す斜視図。図１７に示す状態から第二の移動体が切削装置に向かって前進した状態を示す斜視図。ナットを保持したナット保持部をスピンドルのボス部に対面させた状態を示す斜視図。ナット保持部で保持したナットをスピンドルのボス部に取り付けている状態を示す斜視図。スピンドルのボス部にナットを取り付けた状態を示す斜視図。

以下、本発明に従って構成された切削ブレード交換装置の好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。

図１を参照して説明すると、全体を符号２で示す切削ブレード交換装置は、複数の切削ブレードを保管する切削ブレード保管手段４と、切削ブレード保管手段４から切削ブレードを搬出および搬入するナット着脱ユニット６と、ナット着脱ユニット６を切削ブレード保管手段４に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置づけるＹ軸方向位置付け手段８と、ナット着脱ユニット６をＺ軸方向に移動するＺ軸移動手段１０と、ナット着脱ユニット６をＸ軸方向に移動して、切削装置の切削手段のスピンドルに装着された切削ブレードに作用するＸ軸移動手段１２と、を少なくとも備える。

なお、Ｘ軸方向は図１に矢印Ｘで示す方向であり、Ｙ軸方向は図１に矢印Ｙで示す方向であってＸ軸方向に直交する方向であり、Ｚ軸方向は図１に矢印Ｚで示す方向であってＸ軸方向およびＹ軸方向に直交する上下方向である。また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向が規定する平面は実質上水平である。

図２に示すとおり、切削ブレード保管手段４は、Ｙ軸方向に延びる回転軸１４を有する駆動歯車１６と、駆動歯車１６とＺ軸方向に離間しＹ軸方向に延びる回転軸１８を有する従動歯車２０と、駆動歯車１６と従動歯車２０とに巻き掛けられた無限軌道２２と、無限軌道２２に所定の間隔で配設され切削ブレードの中央開口部に挿入され切削ブレードを支持するＹ軸方向に延びる支持軸２４とを含む。

図１および図２を参照して説明すると、図示の実施形態の切削ブレード保管手段４は、ベース板２６（図１参照。）と、ベース板２６の上面から上方に延びる支持壁２８と、支持壁２８の片面に固定されたモータ３０とを含む。図２に示すとおり、モータ３０には、駆動歯車１６の回転軸１４が連結されており、モータ３０は、Ｙ軸方向を軸心として駆動歯車１６を回転させるようになっている。

図２に示すとおり、従動歯車２０は駆動歯車１６の上方に配置され、従動歯車２０の回転軸１８は、Ｙ軸方向を軸心として回転自在かつＺ軸方向に昇降自在に支持壁２８に支持されている。支持壁２８には、従動歯車２０をＺ軸方向に昇降させる昇降手段（図示していない。）が設けられている。昇降手段は、従動歯車２０の回転軸１８に連結されＺ軸方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータとを有する構成でよい。

無限軌道２２は、相互に連結された多数のリンク片（符号省略）から構成されており、駆動歯車１６と従動歯車２０とに巻き掛けられている。無限軌道２２は、モータ３０によって駆動歯車１６が回転するのに応じて回転するようになっている。

図示の実施形態の切削ブレード保管手段４においては、昇降手段で従動歯車２０のＺ軸方向の位置を変えることにより、駆動歯車１６と従動歯車２０とのＺ軸方向の間隔が調整できるようになっている。また、切削ブレード保管手段４においては、無限軌道２２のリンク片の数量を適宜増減することにより、無限軌道２２の長さも調整できるようになっている。

図２に示すとおり、支持軸２４は、所定の間隔をおいて無限軌道２２に複数配設されている。また、図２と共に図３を参照することによって理解されるとおり、支持軸２４は、無限軌道２２に連結された円柱状の基部３２と、基部３２の端面からＹ軸方向に延びる円柱状の軸部３４とを有する。軸部３４の直径は基部３２の直径よりも小さい。

図３には、支持軸２４に支持される切削ブレード３６も示されている。切削ブレード３６は、環状の基台３８と、基台３８の外周部に固定された環状の切り刃４０とを有する。基台３８は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台３８の中央部には、円形の中央開口部３８ａが設けられている。切り刃４０は、ダイヤモンド等の砥粒と、金属や樹脂等の結合材とから所定の厚み（たとえば１０～３０μｍ程度）に形成されており、基台３８の外周縁から径方向外側に突出している。

支持軸２４においては、切削ブレード３６の中央開口部３８ａに軸部３４が挿入され、複数（たとえば５個）の切削ブレード３６を軸部３４で支持するようになっている。図示の実施形態では、図２を参照することによって理解されるとおり、複数の支持軸２４のうち半数の支持軸２４に切削ブレード３６が支持されている。また、図３に示すとおり、軸部３４の先端側には、軸部３４で支持した切削ブレード３６の飛び出しを防止するための複数のボールプランジャー４２が周方向に間隔をおいて装着されている。

図４に示すとおり、支持軸２４の各基部３２の内部には流路３２ａが形成されており、各流路３２ａの一端部に連通する複数の流路２２ａが無限軌道２２に形成されている。各流路３２ａの他端部は、図３に示す如く、軸部３４よりも径方向外側の基部３２の端面において開口している。

また、図２に示すとおり、支持壁２８には、駆動歯車１６の下方においてＹ軸方向に突出するエアーノズル４４が設けられており、エアーノズル４４は、高圧エアー供給手段（図示していない。）に接続されている。図示の実施形態では、無限軌道２２の回転に伴う支持軸２４の軌道において最下端に位置する支持軸２４と、エアーノズル４４の先端とが対面している。

そして、軸部３４の先端側に位置する切削ブレード３６が搬出された場合に、エアーノズル４４から無限軌道２２の流路２２ａを介して、最下端に位置する支持軸２４の基部３２の流路３２ａに高圧エアーを供給することにより、軸部３４に残された切削ブレード３６を軸部３４の先端側に押し出すことができるようになっている。ただし、ボールプランジャー４２の作用によって切削ブレード３６が軸部３４から落下することはない。

図５を参照してナット着脱ユニット６について説明する。ナット着脱ユニット６は、Ｚ軸方向に延びるＺ回転軸４６と、Ｚ回転軸４６に放射状に連結され切削ブレード３６を吸引保持するブレード保持部４８と、ナットを保持するナット保持部５０と、ナット保持部５０を回転させる駆動部（図示していない。）とを少なくとも備える。

図５に示すとおり、図示の実施形態のナット着脱ユニット６は更にケーシング５２を備え、ケーシング５２は、正六角形状の天板５４と、天板５４の周縁から垂下する矩形板状の６個の側壁５６とを有する。天板５４の上面からは上記Ｚ回転軸４６が突出している。ケーシング５２の内部には、Ｚ回転軸４６に連結されたモータ（図示していない。）が収容されている。

図示の実施形態では、ケーシング５２の６個の側壁５６のうち、４個の側壁５６にはブレード保持部４８が装着され、２個の側壁５６にはナット保持部５０が装着されており、２個のナット保持部５０は対向する一対の側壁５６に設けられている。このようにナット着脱ユニット６は、１個のナット保持部５０に対して２個のブレード保持部４８を備えている。

ブレード保持部４８は円筒状に形成されており、ブレード保持部４８の端面５８には、上記支持軸２４の軸部３４および切削装置のスピンドルのボス部を受け入れ可能な円形の中央開口部６０と、中央開口部６０の周囲に周方向に等間隔をおいて配置された複数個の吸引孔６２とが設けられている。各吸引孔６２は、吸引手段（図示していない。）に接続されている。

ブレード保持部４８においては、切削ブレード保管手段４に保管されている切削ブレード３６の基台３８にブレード保持部４８の端面５８が接触する位置に位置づけられた状態において、吸引手段によって各吸引孔６２に吸引力を生成することにより切削ブレード３６を吸引保持するようになっている。

図５を参照して説明を続けると、ナット保持部５０は、ケーシング５２の側壁５６に固定された円筒状のハウジング６４と、ハウジング６４の内部に回転自在に収容され上記駆動部によって回転される環状の回転体６６とを含む。

回転体６６には、切削装置のスピンドルのボス部を受け入れ可能な中央開口部６８が形成されている。回転体６６の端面６６ａには、複数個の吸引孔７０と、複数個のピン７２とが交互に周方向に間隔をおいて設けられている。各吸引孔７０は、吸引手段（図示していない。）に接続されている。ピン７２は、回転体６６に内蔵されたバネ（図示していない。）によって回転体６６の端面６６ａから突出する位置（図５に示す位置）に位置づけられていると共に、回転体６６の内部に向かって押されると、バネが収縮して回転体６６の内部に収容される。また、ピン７２は、ナットに形成されたピン孔の位置に対応して配置されている。

ナット着脱ユニット６においては、吸引手段で各吸引孔７０に吸引力を生成してナットをナット保持部５０で吸引保持すると共に、ナットに形成されたピン孔にピン７２を挿入した状態において、駆動部によって回転体６６を回転させることにより、切削装置のスピンドルに切削ブレード３６を固定するためのナットをスピンドルのボス部に形成された雄ネジに螺合および螺脱することができるようになっている。

なお、ナットをスピンドルのボス部から螺脱する（取り外す）際に、ナット保持部５０のピン７２の位置と、ナットのピン孔の位置とがズレている場合でも、スピンドルのボス部に装着されているナットの端面に回転体６６の端面６６ａを位置づけて、ピン７２を回転体６６の内部に収容した後に、駆動部によって回転体６６を回転させると、ピン７２の位置がピン孔の位置に整合したときにバネによってピン７２が押し出され、ピン孔にピン７２が挿入される。

上記のとおりに構成され得るナット着脱ユニット６は、図示の実施形態では図１に示すとおり、枠体７４の内部に配設されている。枠体７４は、昇降テーブル７６にＹ軸方向に移動自在に支持され、昇降テーブル７６は、ベース架台７８にＺ軸方向に昇降自在に支持されている。

図１と共に図６を参照して説明すると、枠体７４は、矩形板状の底部８０と、底部８０の上面四隅から上方に延びる４個の支柱８２と、各支柱８２の上端に固定された板状の天井部８４（図１参照。）とを含む。底部８０の下面には、Ｙ軸方向に延びる溝８６ａが形成された被ガイド部材８６がＸ軸方向に間隔をおいて一対設けられている。

昇降テーブル７６は、矩形状の天板８８と、天板８８の下面四隅から下方に延びる４個の円柱状の脚部９０とを含む。天板８８の上面には、Ｘ軸方向に間隔をおいてＹ軸方向に延びる一対のガイドレール９２が設けられており、一対のガイドレール９２は、枠体７４の一対の被ガイド部材８６の溝８６ａに摺動自在に篏合している。

また、昇降テーブル７６の天板８８の上面には、Ｙ軸方向位置付け手段８が設けられている。Ｙ軸方向位置付け手段８は、一対のガイドレール９２間においてＹ軸方向に延びるボールねじ９４と、ボールねじ９４を回転させるモータ９６とを有する。ボールねじ９４のナット部（図示していない。）は、枠体７４の底部８０の下面に固定されている。

Ｙ軸方向位置付け手段８においては、ボールねじ９４によりモータ９６の回転運動を直線運動に変換して枠体７４に伝達し、一対のガイドレール９２に沿って枠体７４をＹ軸方向に移動させる。このように、ナット着脱ユニット６が配設された枠体７４は、昇降テーブル７６に配設されたＹ軸方向に延びるガイドレール９２に摺動可能に支持され、Ｙ軸方向位置付け手段８によって切削ブレード保管手段４に対してＹ軸方向の作用位置と退避位置とに位置付けられるようになっている。

上記作用位置は、ナット着脱ユニット６のブレード保持部４８が切削ブレード保管手段４に接近した位置であって、切削ブレード保管手段４に支持されている切削ブレード３６をブレード保持部４８によって吸引保持可能な位置である。また、上記退避位置は、上記作用位置よりもナット着脱ユニット６のブレード保持部４８が切削ブレード保管手段４から離間した位置である。

また、図示の実施形態のＹ軸方向位置付け手段８においては、モータ９６が停止している時に、ナット着脱ユニット６に対して、Ｙ軸方向に所定値以上の押し付け力が作用すると、枠体７４と共にナット着脱ユニット６がＹ軸方向に移動するのを許容するようになっている。

図６に示すとおり、ベース架台７８は、フレーム９８と、フレーム９８の上部に固定された矩形状のベース板１００とを含む。ベース板１００の四隅には、昇降テーブル７６の脚部９０が摺動自在に挿入される４個の円形孔１０２が形成されている。また、ベース板１００の中央部には雌ネジ１０４が形成されている。

図６を参照して説明を続けると、昇降テーブル７６およびベース架台７８には、Ｚ軸移動手段１０が連結されている。Ｚ軸移動手段１０は、Ｚ軸方向に延びるボールねじ１０６と、ボールねじ１０６を回転させるモータ１０８と、モータ１０８の上端に固定された連結板１１０とを含む。ボールねじ１０６は、ベース板１００の雌ネジ１０４に螺合している。連結板１１０は、昇降テーブル７６の天板８８の下面にボルト（図示していない。）等の適宜の連結手段によって固定されている。

Ｚ軸移動手段１０においては、ボールねじ１０６によりモータ１０８の回転運動を直線運動に変換し、ベース架台７８に対して昇降テーブル７６を昇降させることによって、ナット着脱ユニット６が配設された枠体７４をＺ軸方向に移動させる。

図７を参照して説明すると、ナット着脱ユニット６は、枠体７４の内部に配設された第一の移動体１１２に配設され、第一の移動体１１２は第二の移動体１１４の下部に配設されたＸ軸方向に延びる第一のガイドレール１１６に吊り下げられた状態で摺動可能に支持され、第二の移動体１１４は枠体７４の天井部８４に配設されたＸ軸方向に延びる第二のガイドレール１１８に吊り下げられた状態で摺動可能に支持されている。

第一の移動体１１２は、矩形板状の本体１２０を有する。本体１２０の中央部には、円形孔１２２が形成されている。円形孔１２２には、ナット着脱ユニット６のＺ回転軸４６が挿入され、Ｚ回転軸４６は本体１２０に回転不能に固定される。Ｚ回転軸４６に連結されているナット着脱ユニット６のモータが駆動すると、第一の移動体１１２に対してナット着脱ユニット６のケーシング５２が回転し、ブレード保持部４８およびナット保持部５０が任意の向きに位置づけられる。

第一の移動体１１２の本体１２０の上面には、Ｘ軸方向に延びる溝１２４ａが形成された被ガイド部材１２４がＹ軸方向に間隔をおいて一対設けられている共に、Ｘ軸方向に延びる貫通孔１２６ａが形成されたブロック１２６が固定されている。

第二の移動体１１４は、矩形板状の本体１２８を有し、第一のガイドレール１１６は、本体１２８の下面にＹ軸方向に間隔をおいて一対設けられている。第一のガイドレール１１６は、第一の移動体１１２の一対の被ガイド部材１２４の溝１２４ａに摺動自在に篏合しており、第一の移動体１１２は、第二の移動体１１４に配設された第一のガイドレール１１６に吊り下げられた状態で摺動可能に支持されている。

第二の移動体１１４の本体１２８の下方には、第二の移動体１１４に対して第一の移動体１１２をＸ軸方向に移動させる第一のＸ軸移動手段が設けられている。図示の実施形態の第一のＸ軸移動手段は、エアシリンダ１３０から構成されている。エアシリンダ１３０のシリンダチューブ１３０ａは、本体１２８の下面に固定され、一対の第一のガイドレール１１６間においてＸ軸方向に延びている。エアシリンダ１３０のピストンロッド１３０ｂの先端は、第一の移動体１１２のブロック１２６の貫通孔１２６ａに篏合して連結されている。

第一のＸ軸移動手段としてのエアシリンダ１３０は、ピストンロッド１３０ｂを進退させることによって、第二の移動体１１４に対して第一の移動体１１２を第一のガイドレール１１６に沿ってＸ軸方向に移動させる。

第二の移動体１１４の本体１２８の上面には、Ｘ軸方向に延びる溝１３２ａが形成された被ガイド部材１３２がＹ軸方向に間隔をおいて一対設けられている共に、Ｘ軸方向に延びる雌ネジ１３４ａが形成されたブロック１３４が固定されている。

第二のガイドレール１１８は、枠体７４の天井部８４の下面にＹ軸方向に間隔をおいて一対設けられている。第二のガイドレール１１８は、第二の移動体１１４の一対の被ガイド部材１３２の溝１３２ａに摺動自在に篏合しており、第二の移動体１１４は、第二の移動体１１４に配設された第一のガイドレール１１６に吊り下げられた状態で摺動可能に支持されている。

枠体７４の天井部８４の下方には、天井部８４に対して第二の移動体１１４をＸ軸方向に移動させる第二のＸ軸移動手段１３６が設けられている。図示の実施形態の第二のＸ軸移動手段１３６は、一対の第二のガイドレール１１８間においてＸ軸方向に延びるボールねじ１３８と、ボールねじ１３８を回転させるモータ１４０とを有する。ボールねじ１３８は、第二の移動体１１４のブロック１３４の雌ネジ１３４ａに螺合しており、モータ１４０は天井部８４の下面に固定されている。

第二のＸ軸移動手段１３６は、ボールねじ１３８によりモータ１４０の回転運動を直線運動に変換して第二の移動体１１４に伝達し、天井部８４に対して第二の移動体１１４を第二のガイドレール１１８に沿ってＸ軸方向に移動させる。

図示の実施形態のＸ軸移動手段１２は、第一のＸ軸移動手段としてのエアシリンダ１３０と、ボールねじ１３８およびモータ１４０を有する第二のＸ軸移動手段１３６と、を含む。図示の実施形態においては、第一のＸ軸移動手段としてのエアシリンダ１３０で第一の移動体１１２を移動させることにより、ナット着脱ユニット６を素早くＸ軸方向に前進させることができると共に、第二のＸ軸移動手段１３６で第二の移動体１１４を移動させることにより、ナット着脱ユニット６のＸ軸方向位置を容易に微調整することができるようになっている。このように、ナット着脱ユニット６は、第一の移動体１１２および第二の移動体１１４によってＸ軸方向に進出自在に構成されている。

次に、図８ないし図１３を参照して、上述した切削ブレード交換装置２が装着される切削装置１７０について説明する。

図８に示すとおり、切削装置１７０は、被加工物を保持するチャックテーブル１７２と、チャックテーブル１７２に保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段１７４と、チャックテーブル１７２と切削手段１７４とをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段１７６と、チャックテーブル１７２と切削手段１７４とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段１７８と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のそれぞれに直交するＺ軸方向に切削手段１７４を切り込み送りするＺ軸送り手段１８０とを備える。

図８および図９を参照して説明すると、切削装置１７０は、基台１８２（図８参照。）の上面にＸ軸方向に移動自在に設けられたＸ軸可動板１８４と、Ｘ軸可動板１８４の上面に固定された支柱１８６と、支柱１８６の上端に固定されたカバー板１８８とを備える。カバー板１８８には、円形開口１８８ａが形成されている。チャックテーブル１７２は、支柱１８６の上端に回転自在に搭載され、カバー板１８８の円形開口１８８ａを通って上方に延びている。チャックテーブル１７２は、支柱１８６に内蔵されたモータ（図示していない。）によってＺ軸方向を軸心として回転される。

図９に示すとおり、チャックテーブル１７２の上端部分には、吸引手段（図示していない。）に接続された多孔質の円形状の吸着チャック１９０が配置されている。チャックテーブル１７２においては、吸引手段で吸着チャック１９０の上面に吸引力を生成することにより、吸着チャック１９０の上面に載せられた被加工物を吸引保持するようになっている。このようにチャックテーブル１７２においては、吸着チャック１９０の上面が被加工物を保持する保持面となっており、保持面はＸ軸方向およびＹ軸方向で規定されるＸＹ平面上に位置づけられている。また、チャックテーブル１７２の周縁には、周方向に間隔をおいて複数のクランプ１９２が配置されている。

図９に示すとおり、Ｘ軸送り手段１７６は、Ｘ軸可動板１８４に連結されＸ軸方向に延びるボールねじ１９８と、ボールねじ１９８を回転させるモータ２００とを有する。Ｘ軸送り手段１７６は、ボールねじ１９８によりモータ２００の回転運動を直線運動に変換してＸ軸可動板１８４に伝達し、基台１８２の案内レール１８２ａに沿ってＸ軸可動板１８４を移動させると共に、チャックテーブル１７２をＸ軸方向に加工送りする。

図８に示すとおり、切削装置１７０は、チャックテーブル１７２を跨って配置された門型のフレーム２０２を含む。フレーム２０２は、Ｙ軸方向に間隔をおいて基台１８２の上面から上方に延びる一対の支柱２０４と、一対の支柱２０４の上端間に架け渡されＹ軸方向に延びる梁２０６とを有する。

切削手段１７４は、梁２０６の片側の側面（図８において背面側の側面）にＹ軸方向に間隔をおいて一対設けられている。図示の実施形態の切削装置１７０においては、切削ブレード３６が対面するように一対の切削手段１７４が設けられており、チャックテーブル１７２に保持された被加工物を一対の切削ブレード３６によって同時に切削加工を施すことができるようになっている。なお、切削手段１７４は１個であってもよい。

図１０に示すとおり、各切削手段１７４は、Ｙ軸方向に移動自在に梁２０６の片側の側面に支持される矩形状のＹ軸可動部材２０８と、Ｙ軸可動部材２０８にＺ軸方向に昇降自在に支持された断面Ｌ字状のＺ軸可動部材２１０と、Ｚ軸可動部材２１０の下端に固定されたスピンドルハウジング２１２とを備える。

Ｙ軸可動部材２０８の片側の側面（図１０において手前側の側面）には、Ｚ軸方向に間隔をおいてＹ軸方向に延びる一対の被案内溝２０８ａが形成され、被案内溝２０８ａは、梁２０６の片側の側面において上下方向に間隔をおいてＹ軸方向に延びる一対の案内レール（図示していない。）に摺動自在に連結される。

Ｙ軸送り手段１７８は、梁２０６の片側の側面においてＹ軸方向に延びるボールねじ２１４と、ボールねじ２１４を回転させるモータ２１６とを有する。ボールねじ２１４はＹ軸可動部材２０８に連結されている。Ｙ軸送り手段１７８は、ボールねじ２１４によりモータ２１６の回転運動を直線運動に変換してＹ軸可動部材２０８に伝達し、梁２０６の片側の側面に付設された案内レールに沿ってＹ軸可動部材２０８をＹ軸方向に割り出し送りする。

また、図示の実施形態のＹ軸送り手段１７８においては、モータ２１６が停止している時に、スピンドルハウジング２１２に対して、Ｙ軸方向に所定値以上の押し付け力が作用すると、Ｙ軸可動部材２０８と共にスピンドルハウジング２１２がＹ軸方向に移動するのを許容するようになっている。

Ｙ軸可動部材２０８の他側の側面（図１０において背面側の側面）には、Ｙ軸方向に間隔をおいてＺ軸方向に延びる一対の案内レール（図示していない。）が形成されており、Ｚ軸可動部材２１０は、Ｙ軸可動部材２０８の一対の案内レールに摺動自在に連結される一対の被案内溝（図示していない。）を有する。

Ｚ軸送り手段１８０は、Ｚ軸可動部材２１０に連結されＺ軸方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじを回転させるモータ２１８とを有する。Ｚ軸送り手段１８０は、ボールねじによりモータ２１８の回転運動を直線運動に変換してＺ軸可動部材２１０に伝達し、Ｙ軸可動部材２０８の案内レールに沿ってＺ軸可動部材２１０をＺ軸方向に切り込み送りする。

図１１を参照して説明すると、スピンドルハウジング２１２には、Ｙ軸方向を軸心として回転自在に円柱状のスピンドル２２０が支持されていると共に、スピンドル２２０を回転させるモータ（図示していない。）が収容されている。スピンドル２２０の先端には、被加工物を切削する切削ブレード３６がナット２２２により着脱自在に固定されている。

スピンドルハウジング２１２の先端には、切削ブレード３６を覆うブレードカバー２２４が装着されている。ブレードカバー２２４は、スピンドルハウジング２１２の先端に固定された第一のカバー部材２２４ａと、第一のカバー部材２２４ａの先端に移動自在に装着された第二のカバー部材２２４ｂとを有する。第二のカバー部材２２４ｂは、エアシリンダ等の適宜のアクチュエータ（図示していない。）によってＸ軸方向に移動されるようになっており、切削ブレード３６の交換時には図１１に示す開放位置に位置づけられ、切削加工時には図１０に示す閉塞位置に位置づけられる。

図１２に示すとおり、スピンドル２２０の先端側外周面には、径方向外側に突出する環状のフランジ２２６が設けられている。フランジ２２６の先端面の径方向内側部分には環状の凹所２２６ａが形成されており、フランジ２２６の先端面の外周側部分は、軸方向に突出した環状の受け部２２６ｂとなっている。また、フランジ２２６よりも更に先端側には、フランジ２２６の中央から突出するボス部２２８が設けられている。ボス部２２８の先端部外周面には、雄ネジ２２８ａが形成されている。

そして、切削ブレード３６の中央開口部３８ａにボス部２２８を挿入し、ボス部２２８の雄ネジ２２８ａとナット２２２とが螺合される（嵌め合わされる）ことにより、フランジ２２６の受け部２２６ｂとナット２２２とに切削ブレード３６が挟み込まれてボス部２２８に着脱自在に固定される。また、ナット２２２の側面には、ナット着脱ユニット６のナット保持部５０のピン７２が挿入される複数個のピン孔２２２ａが周方向に等間隔をおいて形成されている。

図８に示すとおり、フレーム２０２の梁２０６の他側の側面（図８において手前側の側面）には、チャックテーブル１７２に保持された被加工物を撮像する一対の撮像手段２３０がＹ軸方向に移動自在に装着されていると共に、撮像手段２３０をＹ軸方向に移動させる一対の移動手段２３２が装着されている。

移動手段２３２は、梁２０６の他側の側面においてＹ軸方向に延びるボールねじ２３４と、ボールねじ２３４を回転させるモータ２３６とを有する。ボールねじ２３４は撮像手段２３０に連結されている。そして、移動手段２３２は、モータ２３６の回転運動を直線運動に変換して撮像手段２３０に伝達し、梁２０６の他側の側面に付設された案内レール２０６ａに沿って撮像手段２３０をＹ軸方向に移動させる。なお、撮像手段２３０は１個であってもよい。

切削装置１７０を用いて、ウエーハ等の被加工物に対して切削加工を施す際は、まず、チャックテーブル１７２に被加工物を吸着させる。次いで、Ｘ軸送り手段１７６でチャックテーブル１７２を撮像手段２３０の下方に移動させると共に、移動手段２３２で撮像手段２３０のＹ軸方向位置を調整する。次いで、撮像手段２３０で上方から被加工物を撮像して被加工物の切削領域を検出する。

次いで、撮像手段２３０で検出した被加工物の切削領域に基づいて、チャックテーブル１７２を回転させ、切削手段１７４の切削ブレード３６に対する被加工物の切削領域の向きを調整する。次いで、Ｘ軸送り手段１７６でチャックテーブル１７２をＸ軸方向に移動させると共に、Ｙ軸送り手段１７８でスピンドルハウジング２１２をＹ軸方向に移動させ、被加工物の切削領域の上方に一対の切削ブレード３６を位置づける。

次いで、Ｚ軸送り手段１８０でスピンドルハウジング２１２を下降させ、高速回転させた切削ブレード３６の切り刃４０を被加工物の切削領域に切り込ませると共に、切削ブレード３６の切り刃４０を切り込ませた部分に切削水を供給しながら、チャックテーブル１７２をＸ軸方向に加工送りすることによって、被加工物の切削領域に所定の切削加工を施す。Ｙ軸送り手段１７８でスピンドルハウジング２１２をＹ軸方向に割り出し送りしながら、上記切削加工を適宜繰り返し、被加工物の切削領域のすべてに切削加工を施す。切削工程が終了した切削加工済みの被加工物は次工程に搬送される。

切削工程を繰り返し実施すると切削ブレード３６は摩耗し、切削ブレード３６の磨耗が所定量に達すると切削精度が維持されなくなるため、スピンドル２２０のボス部２２８に装着されている切削ブレード３６を新たな切削ブレード３６に交換する必要がある。また、スピンドル２２０のボス部２２８に装着されている切削ブレード３６の摩耗が所定量に達していない場合でも、前に切削加工を施した被加工物の素材と異なる素材の被加工物に切削加工を施すときは、被加工物の素材に応じた切削ブレード３６に交換する必要が生じることもある。

図示の実施形態では図１３に示すとおり、切削装置１７０の切削ブレード３６を自動的に交換できる切削ブレード交換装置２が切削装置１７０に装着されており、以下、切削ブレード交換装置２を用いて切削ブレード３６を交換する方法について説明する。

図１３に示すとおり、切削ブレード交換装置２は、切削装置１７０のＸ軸方向奥側に配置されており、ユーザーに既に納品した切削装置１７０に後から装着することができるようになっている。切削ブレード交換装置２を用いて、切削装置１７０に装着されている切削ブレード３６を交換する際は、まず、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、切削装置１７０に搬入すべき新たな切削ブレード３６を支持している支持軸２４を所定位置（たとえば、支持軸２４の軌道における最下端の位置）に位置づける。

次いで、図１４に示すとおり、ナット着脱ユニット６のＺ回転軸４６に連結されているモータによりケーシング５２を回転させることにより、ブレード保持部４８が装着されているケーシング５２の側壁５６をＸ軸方向に沿わせ、ブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。また、Ｘ軸移動手段１２およびＺ軸移動手段１０を作動させ、上記所定位置の支持軸２４の軸部３４をブレード保持部４８の中央開口部６０（図５参照。）に挿入することができるように、ブレード保持部４８のＸ軸方向位置およびＺ軸方向位置を調整する。

次いで、図１５に示すとおり、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させ、支持軸２４に支持されている切削ブレード３６をブレード保持部４８によって保持可能な作用位置にナット着脱ユニット６を位置づける。これによって、上記所定位置の支持軸２４の軸部３４をブレード保持部４８の中央開口部６０に挿入すると共に、軸部３４の先端側に位置する切削ブレード３６の端面にブレード保持部４８の端面５８を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の各吸引孔６２に吸引力を生成し、軸部３４の先端側に位置する切削ブレード３６をブレード保持部４８で吸引保持する。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８を作動させ、ナット着脱ユニット６を切削ブレード保管手段４からＹ軸方向に離間させて退避位置に位置づける。次いで、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を１８０°回転させ、切削ブレード３６を吸引保持したブレード保持部４８の反対側のブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８を作動させ、反対側のブレード保持部４８によって支持軸２４の切削ブレード３６を保持可能な作用位置にナット着脱ユニット６を位置づける。次いで、反対側のブレード保持部４８の各吸引孔６２に吸引力を生成し、軸部３４の先端側に位置する切削ブレード３６をブレード保持部４８によって吸引保持する。これによって、４個のブレード保持部４８のうち対向する一対のブレード保持部４８で、新たな切削ブレード３６を吸引保持した状態となる。

次いで、図１６に示すとおり、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させると共に、Ｚ軸移動手段１０で昇降テーブル７６をＺ軸方向に移動させる。これによって、切削ブレード保管手段４からナット着脱ユニット６を離間させて退避位置に位置づけると共に、切削装置１７０に対するナット着脱ユニット６のＹ軸方向位置およびＺ軸方向位置を調整する。位置調整後のナット着脱ユニット６のＹ軸方向位置は、切削装置１７０の一対の切削手段１７４の間であり、位置調整後のナット着脱ユニット６のＺ軸方向位置は、チャックテーブル１７２の保持面よりも上方である。

次いで、図１７に示すとおり、第一のＸ軸移動手段としてのエアシリンダ１３０によって第一の移動体１１２をＸ軸方向に移動させ、ナット着脱ユニット６を切削装置１７０の一対の切削手段１７４の間に向かって前進させる。次いで、図１８に示すとおり、第二のＸ軸移動手段１３６によって第二の移動体１１４をＸ軸方向に移動させ、一対の切削手段１７４に対するナット着脱ユニット６のＸ軸方向位置を調整する。

具体的には、ナット着脱ユニット６の一対のブレード保持部４８で吸引保持している新たな一対の切削ブレード３６の中心のＸ軸方向位置と、一対の切削手段１７４に装着されている一対の切削ブレード３６の中心のＸ軸方向位置とを整合させる。また、切削ブレード交換装置２のＺ軸移動手段１０または切削装置１７０のＺ軸送り手段１８０を作動させ、ブレード保持部４８の切削ブレード３６の中心のＺ軸方向位置と、切削手段１７４の切削ブレード３６の中心のＺ軸方向位置とを整合させる。

次いで、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を６０°回転させ、一対のナット保持部５０を一対の切削手段１７４の切削ブレード３６に対面させる。なお、第一・第二の移動体１１２、１１４を前進させる前に、ケーシング５２を６０°回転させておいてもよい。

次いで、一対の切削手段１７４のそれぞれのブレードカバー２２４の第二のカバー部材２２４ｂを開放位置（図１１参照。）に位置づける。次いで、切削装置１７０のＹ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をＹ軸方向に移動させ、スピンドル２２０のボス部２２８に切削ブレード３６を固定しているナット２２２をナット保持部５０の回転体６６の端面６６ａに接触させる。そうすると、ナット保持部５０のピン７２がナット２２２に押されて回転体６６の内部に収容されると共に、スピンドル２２０のボス部２２８が回転体６６の中央開口部６８に収容される。

次いで、ナット着脱ユニット６の駆動部でナット保持部５０の回転体６６を回転させると、各ピン７２がナット２２２のピン孔２２２ａと合致したときに、各ピン７２がピン孔２２２ａに嵌合し、回転体６６の回転運動が各ピン７２を介してナット２２２に伝達され、ナット２２２が緩む。これによって、切削手段１７４のボス部２２８の雄ネジ２２８ａからナット２２２を螺脱する（取り外す）ことができる。また、ナット保持部５０の各吸引孔７０に吸引力を生成し、取り外したナット２２２をナット保持部５０で吸引保持する。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をナット着脱ユニット６から離間させると共に、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を６０°回転させ、切削ブレード３６を吸引保持していない空のブレード保持部４８を切削手段１７４の切削ブレード３６に対面させる。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をナット着脱ユニット６に接近させ、切削手段１７４のスピンドル２２０のボス部２２８をブレード保持部４８の中央開口部６０に挿入すると共に、切削手段１７４の切削ブレード３６の端面に、空のブレード保持部４８の端面５８を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の各吸引孔６２に吸引力を生成し、切削手段１７４の切削ブレード３６をブレード保持部４８で吸引保持する。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をナット着脱ユニット６から離間させると共に、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を６０°回転させ、新たな切削ブレード３６を吸引保持しているブレード保持部４８を切削手段１７４のスピンドル２２０のボス部２２８に対面させる。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をナット着脱ユニット６に接近させ、スピンドル２２０のボス部２２８を新たな切削ブレード３６の中央開口部３８ａに挿入して、スピンドル２２０のフランジ２２６の受け部２２６ｂに切削ブレード３６の端面を接触させる。次いで、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、ブレード保持部４８からスピンドル２２０のボス部２２８に新たな切削ブレード３６を受け渡す。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をナット着脱ユニット６から離間させると共に、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を６０°回転させ、図１９に示すとおり、取り外したナット２２２を吸引保持しているナット保持部５０を切削手段１７４のスピンドル２２０のボス部２２８に対面させる。

次いで、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をナット着脱ユニット６に接近させ、ナット保持部５０で吸引保持したナット２２２をスピンドル２２０のボス部２２８に篏合させる。次いで、ナット２２２を取り外したときとは逆方向にナット着脱ユニット６の駆動部を作動させてナット２２２を回転させ、ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２を螺合する。

ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２を螺合する際は、雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合することによりナット２２２に対してボス部２２８がＹ軸方向に移動する速度に同期して、図２０に示すとおり、切削装置１７０のＹ軸送り手段１７８によって、ボス部２２８を有する切削手段１７４をＹ軸方向に移動させる。この場合の切削手段１７４の移動速度は、（ナット２２２のピッチ）×（ナット２２２の回転速度）である。

あるいは、上記とは反対に、雄ネジ２２８ａにナット２２２を螺合する際、雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合することによりボス部２２８に対してナット２２２がＹ軸方向に移動する速度に同期して、切削ブレード交換装置２のＹ軸方向位置づけ手段８によって、ナット２２２を保持しているナット着脱ユニット６をＹ軸方向に移動させてもよい。この場合のナット着脱ユニット６の移動速度は、上記の切削手段１７４と同様に、（ナット２２２のピッチ）×（ナット２２２の回転速度）である。

これによって、切削手段１７４に装着すべき新たな切削ブレード３６をスピンドル２２０のフランジ２２６の受け部２２６ｂとナット２２２とで挟み込んで、スピンドル２２０のボス部２２８に切削ブレード３６を固定することができる。

ここで、ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２を螺合する際に、ボス部２２８の中心とナット２２２の中心とがズレている場合について説明する。

ボス部２２８の中心とナット２２２の中心とがズレている場合において、Ｙ軸送り手段１７８によって切削手段１７４をＹ軸方向に移動させて、雄ネジ２２８ａにナット２２２を強引に螺合しようとすると、雄ネジ２２８ａにナット２２２が適正に噛み合わないため、ナット着脱ユニット６およびスピンドルハウジング２１２に対してＹ軸方向に所定値以上の押し付け力が作用することになる。

上述したとおり、切削ブレード交換装置２のＹ軸方向位置付け手段８は、モータ９６が停止している時に、ナット着脱ユニット６に対して、Ｙ軸方向に所定値以上の押し付け力が作用すると、枠体７４と共にナット着脱ユニット６がＹ軸方向に移動するのを許容するようになっている。

このため、ボス部２２８の中心とナット２２２の中心とがズレている場合に、ナット２２２を回転させつつ、ボス部２２８を有する切削手段１７４をＹ軸方向に移動させることにより、雄ネジ２２８ａにナット２２２を強引に螺合しようとしても、ナット着脱ユニット６が押し付け力によって移動して切削手段１７４から逃げてしまうから、雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合することがない。

また、切削装置１７０のＹ軸送り手段１７８は、先述のとおり、モータ２１６が停止している時に、スピンドルハウジング２１２に対して、Ｙ軸方向に所定値以上の押し付け力が作用すると、Ｙ軸可動部材２０８と共にスピンドルハウジング２１２がＹ軸方向に移動するのを許容するようになっている。

このため、ボス部２２８の中心とナット２２２の中心とがズレている場合に、ナット２２２を回転させつつ、上記とは反対に、ナット２２２を保持しているナット着脱ユニット６をＹ軸方向に移動させることにより、雄ネジ２２８ａにナット２２２を強引に螺合させようとしても、切削手段１７４のスピンドルハウジング２１２が押し付け力によって移動してナット着脱ユニット６から逃げてしまうから、雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合することがない。

したがって、図示の実施形態によれば、ボス部２２８の中心とナット２２２の中心とがズレている場合には、ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合しないので、雄ネジ２２８ａとナット２２２との間にかじりが発生するのを防止することができると共に、ナット２２２にかかる負荷を軽減することができる。

また、雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合しなかった場合には、オペレータに対して警告を発するようになっているのが好ましい。警告については、たとえば、切削ブレード交換装置２または切削装置１７０に付設されたモニターに警告画面を表示することによって遂行してもよく、あるいは、切削ブレード交換装置２または切削装置１７０に付設されたスピーカーから警告音を発することにより遂行してもよい。なお、ナット保持部５０の回転体６６の回転が所定時間以上継続している場合に、雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合しなかったと判定することができる。

切削ブレード３６の交換方法についての説明に戻る。ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２を螺合した後は、ナット保持部５０の吸引力を解除する。次いで、切削手段１７４のブレードカバー２２４の第二のカバー部材２２４ｂを閉塞位置に位置づける。なお、上述したとおりのナット２２２および切削ブレード３６の取り外し、取り付けについては、一対の切削手段１７４に対して同時に行ってもよく、別々に行ってもよい。

次いで、第一・第二の移動体１１２、１１４を後退させると共に、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を６０°回転させ、取り外した一対の切削ブレード３６の一方を切削ブレード保管手段４に対面させる。また、切削ブレード保管手段４の無限軌道２２を回転させ、切削ブレード３６を支持していない空の支持軸２４を所定位置（たとえば、支持軸２４の軌道における最下端の位置）に位置づける。

次いで、Ｘ軸移動手段１２およびＺ軸移動手段１０を作動させ、ブレード保持部４８で吸引保持している一方の切削ブレード３６の中央開口部３８ａに上記所定位置の支持軸２４の軸部３４を挿入することができるように、ブレード保持部４８のＸ軸方向位置およびＺ軸方向位置を調整する。

次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させ、ブレード保持部４８で吸引保持している一方の切削ブレード３６の中央開口部３８ａに上記所定位置の支持軸２４の軸部３４を挿入すると共に、一方の切削ブレード３６の端面を支持軸２４の基部３２の端面に接触させる。次いで、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、取り外した一対の切削ブレード３６の一方を支持軸２４に受け渡す。

また、Ｙ軸方向位置付け手段８によってナット着脱ユニット６を切削ブレード保管手段４から離間させると共に、ナット着脱ユニット６のケーシング５２を１８０°回転させ、取り外した一対の切削ブレード３６の他方を吸引保持している反対側のブレード保持部４８を切削ブレード保管手段４に対面させる。次いで、Ｙ軸方向位置付け手段８によって枠体７４をＹ軸方向に移動させ、反対側のブレード保持部４８で吸引保持している他方の切削ブレード３６の中央開口部３８ａに上記所定位置の支持軸２４の軸部３４を挿入すると共に、他方の切削ブレード３６の端面を、支持軸２４に支持されている切削ブレード３６の端面に接触させる。次いで、ブレード保持部４８の吸引力を解除し、取り外した一対の切削ブレード３６の他方を支持軸２４に受け渡す。このようにして、切削ブレード交換装置２を用いて、切削装置１７０の切削ブレード３６を交換することができる。

以上のとおりであり、図示の実施形態においては、ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合する際、ナット２２２の螺合によってＹ軸方向に移動する速度に同期してナット着脱ユニット６または切削手段１７４のスピンドルハウジング２１２の一方がＹ軸方向に移動し、ナット着脱ユニット６または切削手段１７４のスピンドルハウジング２１２の他方がＹ軸方向にフリー（移動可能）になっているから、ボス部２２８の中心とナット２２２の中心とがズレている場合には、ボス部２２８の雄ネジ２２８ａにナット２２２が螺合せず、雄ネジ２２８ａとナット２２２との間にかじりが発生するのを防止することができると共に、ナット２２２にかかる負荷を軽減することができる。

２：切削ブレード交換装置
６：ナット着脱ユニット
３６：切削ブレード
３８ａ：中央開口部
５０：ナット保持部
１７０：切削装置
１７２：チャックテーブル
１７４：切削手段
１７６：Ｘ軸送り手段
１７８：Ｙ軸送り手段
２２０：スピンドル
２２２：ナット
２２６：フランジ
２２８：ボス部
２２８ａ：雄ネジ

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをＸ軸方向に加工送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とをＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含む切削装置に装着され、該切削手段に切削ブレードを着脱する切削ブレード交換装置であって、
該切削手段は、スピンドルの先端にフランジが配設され、該フランジの中央から突出したボス部に切削ブレードの中央開口部を挿入し、該ボス部の端部に形成された雄ネジにナットを螺合して切削ブレードを装着する構成となっており、
該切削ブレード交換装置は、ナットを保持するナット保持部と、該ナット保持部を回転させる駆動部とを備えたナット着脱ユニットを含み、
該ボス部の端部に形成された雄ネジにナットが螺合する際、ナットの螺合によってＹ軸方向に移動する速度に同期して該ナット着脱ユニットまたは該切削手段の一方がＹ軸方向に移動し、該ナット着脱ユニットまたは該切削手段の他方がＹ軸方向にフリーになっている切削ブレード交換装置。
ナットが螺合されなかった場合、警告を発する請求項１記載の切削ブレード交換装置。