JP4664540B2 - レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 - Google Patents
レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4664540B2 JP4664540B2 JP2001207320A JP2001207320A JP4664540B2 JP 4664540 B2 JP4664540 B2 JP 4664540B2 JP 2001207320 A JP2001207320 A JP 2001207320A JP 2001207320 A JP2001207320 A JP 2001207320A JP 4664540 B2 JP4664540 B2 JP 4664540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- drive mechanism
- laser
- element unit
- piezo element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ装置用波長制御装置及び制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、エキシマレーザ装置等から発振したレーザ光を狭帯域化し、その中心波長を所望の値に制御する波長制御技術が知られており、例えば特開平5−283785号公報に示されている。図6は、同公報に開示されたレーザ装置の構成図を表しており、以下図6に基づいて従来技術を説明する。
【0003】
図6において、エキシマレーザ装置11は、レーザ媒質であるレーザガスを封入し、両端部にパルスレーザ光21を透過するウィンドウ17,19を取着したレーザチャンバ12を備えている。レーザチャンバ12の内部では、図示しない放電電極間に高電圧が印加され、パルス放電によってレーザガスを励起し、パルスレーザ光21を発生させる。
発生したパルスレーザ光21は、狭帯域化ユニット30に入射し、プリズム32によって拡大され、波長選択ミラー34によって反射されて、狭帯域化光学素子であるグレーティング33に入射する。グレーティング33では、回折によって所定の中心波長λc近傍の波長を有するパルスレーザ光21のみが反射される。これを、狭帯域化と言う。
【0004】
このとき、波長選択ミラー34は、ステッピングモータユニット40によって回転自在の、可動ホルダ36に搭載されている。波長選択ミラー34を紙面と平行な平面内で回転させると、グレーティング33に対するパルスレーザ光21の入射角度が変わり、グレーティング33で回折されるパルスレーザ光21の中心波長λcが変化する。即ち、波長選択ミラー34を回転させることにより、発振するパルスレーザ光21の中心波長λcを、所望する目標波長λ0に制御することが可能である。
【0005】
また、エキシマレーザ装置11は、パルスレーザ光21の一部をビームスプリッタ22で取り出し、波長モニタ37によってパルスレーザ光21の中心波長λcをモニタリングしている。レーザコントローラ29は、モニタリングした中心波長λcに基づき、ステッピングモータユニット40に指令信号を出力して波長選択ミラー34を回転させ、パルスレーザ光21の中心波長λcを所望の目標波長λ0に制御している。これを、波長制御と言う。
狭帯域化されたパルスレーザ光21は、狭帯域化ユニット30内のグレーティング33と、パルスレーザ光21を部分反射するフロントミラー16との間で数回往復するうちに、レーザチャンバ12内で増幅される。そして、中心波長λcを有するパルスレーザ光21として、前方(図6中紙面の左方)へ出射し、図示しない露光機に入射する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来技術には、次に述べるような問題がある。
即ち、ステッピングモータユニット40の駆動指令に対する応答時間は長く、指令信号受信後、所望するストローク長さに達するまで、およそ数〜数十msecを必要とする。
そのため、レーザコントローラ29が指令を出してから、中心波長λcが目標波長λ0に達するまでに、例えば数kHzの高い繰り返し周波数で発振するようなパルスレーザ光21であれば、数パルス〜数十パルスのパルスレーザ光21が出射してしまう。
その結果、露光には不適切な、目標波長λ0から大きくずれた中心波長λcのパルスレーザ光21が露光機に入射し、露光の不良が生じる。これを避けるためには、例えばシャッタ等によってパルスレーザ光21を遮光しなければならないが、シャッタの開閉のための時間により、加工を開始するまでの待ち時間がさらに長くなって、露光機の稼働率が低下するという問題がある。
【0007】
また、ステッピングモータユニット40の上記応答時間が長いため、あるパルスレーザ光21の中心波長λcに基づいてステッピングモータユニット40に指令信号を出力しても、中心波長λcが変化するのは、数〜数十パルス後になってしまう。
そのため、1パルス発振ごとの中心波長λcに基づいて、ステッピングモータユニット40に指令信号を出力して波長制御を行なっても、出力に対する結果をフィードバックできずに、波長制御が発散してしまうことがある。
これを防ぐためには、例えば数パルス〜数十パルス分のパルスレーザ光21の中心波長λcの平均や、或いは、パルスを間引きしてサンプリングした一部のパルスレーザ光21の中心波長λc等に基づいて、波長制御を行なう必要がある。その結果、中心波長λcを目標波長λ0に合わせるまでに時間がかかったり、さらに中心波長λcと目標波長λ0との波長偏差Δλが大きくなって制御の精度が低下したりするという問題がある。
【0008】
本発明は、上記の問題に着目してなされたものであり、パルスレーザ光の中心波長を、迅速にかつ正確に目標波長に制御可能な波長制御装置を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、本発明は、
パルスレーザ光の中心波長を検出する波長モニタと、
微小に駆動する第1駆動機構、及び第1駆動機構よりも大きい距離を駆動する第2駆動機構を有し、これらの駆動機構によって光学部品を回転させてパルスレーザ光が狭帯域化光学素子に入射する入射角度を変更する光学部品回転手段と、
波長モニタの検出値に基づき、前記光学部品回転手段を駆動して前記入射角度を変更し、パルスレーザ光の中心波長を所定の目標波長に制御するレーザコントローラとを備えたレーザ装置用波長制御装置において、
前記レーザコントローラは、第1駆動機構に駆動指令を出力して光学部品を回転させ、
第1駆動機構の駆動距離が所定の閾値を越えた場合には、中心波長を目標波長に合わせたまま、第1駆動機構を初期位置に戻し、第1駆動機構を戻すことによる入射角度の角度変化を第2駆動機構によって相殺させている。
【0010】
かかる構成によれば、微小距離を駆動する第1駆動機構によって、中心波長を精度良く制御することが可能である。そして、第1駆動機構の駆動距離が、そのフルストローク近くに及んだ場合には、第1駆動機構を初期位置に戻し、より長い距離を駆動できる第2駆動機構によって第1駆動機構の駆動距離を相殺する。これにより、精度を保ちながら、広帯域にわたっての波長制御が可能となる。
【0011】
また、本発明は、
前記第1駆動機構が圧電素子ユニットであり、
前記第2駆動機構がステッピングモータユニットである。
圧電素子ユニットは駆動指令に対する反応が速く、光学部品を素早く駆動させることが可能であるため、中心波長が迅速に目標波長に到達する。そして、ストロークの長いステッピングモータユニットによって、圧電素子ユニットの駆動距離を相殺し、圧電素子ユニットを初期位置に戻している。これにより、さらにそこから圧電素子ユニットによって波長制御を行なうことができ、広帯域にわたって高精度な波長制御を行なうことが可能となっている。
【0012】
また、本発明は、
前記第1駆動機構の初期位置が、フルストロークの約2分の1の中立位置である。
圧電素子ユニットを中立位置に戻すことにより、中心波長がどちらの方向に変化した場合にも第1駆動機構を駆動自在である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照しながら、本発明に係る実施形態を詳細に説明する。
図1は、実施形態に係るエキシマレーザ装置11の構成図を示している。図1において、エキシマレーザ装置11は、レーザ媒質であるレーザガスを封入したレーザチャンバ12を備えている。レーザチャンバ12の両端部には、パルスレーザ光21を透過するフロントウィンドウ17及びリアウィンドウ19が、図示しないホルダによってそれぞれ取着されている。
【0014】
レーザチャンバ12の内部には、一対の放電電極14,15が、図1中紙面と垂直方向に対向して設置されている。高圧電源23より、放電電極14,15間に高電圧を印加し、パルス放電を起こしてレーザガスを励起し、例えば数〜十数kHzの周波数で、パルスレーザ光21を発生させる。
発生したパルスレーザ光21は、例えば後方(図1中左方)へ進行し、パルスレーザ光21を狭帯域化する狭帯域化ユニット30に入射する。狭帯域化ユニット30は、狭帯域化ボックス31によって囲繞されており、内部に光学部品として、プリズム32,32、波長選択ミラー34、及びグレーティング33等を備えている。狭帯域化ボックス31の壁には、パージガス給気口35が付設され、清浄で乾燥した希ガスや高純度窒素などの反応性の小さなパージガス45を、狭帯域化ボックス31内部に導入している。
【0015】
狭帯域化ユニット30に入射したパルスレーザ光21は、プリズム32,32によって拡大され、波長選択ミラー34によって反射され、狭帯域化光学素子であるグレーティング33に入射する。グレーティング33では、回折によって、入射角度φによって定まる中心波長λcのパルスレーザ光21のみが反射される。
このとき、波長選択ミラー34は、水平面内(図1中紙面と平行な平面内)で回動自在の、可動ホルダ36に搭載されている。可動ホルダ36を回転させて波長選択ミラー34を回転させることにより、グレーティング33に入射するパルスレーザ光21の入射角度φが変わる。これにより、グレーティング33で回折されるパルスレーザ光21の中心波長λcが変化する。尚、図1において、20はパルスレーザ光21のレーザ光軸を表している。
【0016】
狭帯域化されたパルスレーザ光21は、狭帯域化ユニット30内のグレーティング33と、パルスレーザ光21を部分反射するフロントミラー16との間で数回往復するうちに、放電電極14,15間の放電によって増幅される。そして、フロントミラー16を部分透過し、パルスレーザ光21として前方(図1中、右方)へ出射し、露光機25に入射する。出射したパルスレーザ光21の一部は、ビームスプリッタ22で図1中下方へ取り出され、波長モニタ37によってその中心波長λcをモニタリングされる。
【0017】
以下、本実施形態に係る可動ホルダ36の構造について、詳細に説明する。
図2に、可動ホルダ36の平面断面図、図3に狭帯域化ボックス31内部のグレーティング33側からミラー側を見た、可動ホルダ36の正面図を示す。
図2、図3に示すように、可動ホルダ36は、波長選択ミラー34を固定した四角形のミラーホルダ38を備えている。ミラーホルダ38は、図示しない引きバネ及び板バネ49の付勢力によって、狭帯域化ボックス31に引きつけられている。
【0018】
また、ミラーホルダ38の第1〜第4隅部38A〜38Dのうち、第2隅部38B及び第1隅部38Aは、それぞれ支持部材39及び図2には図示しない手動マイクロメータ50によって、狭帯域化ボックス31から押圧されている。支持部材39は、例えばスクリュー47を所定長さだけ狭帯域化ボックス31から突き出させ、ナット46で固定している。また、手動マイクロメータ50は、手動で狭帯域化ボックス31からの突き出し量を変更自在である。
ミラーホルダ38の第3隅部38Cには、後述するようにピエゾ素子ユニット41が取着されている。ピエゾ素子ユニット41の先端部41Bは、図示しない引きバネ及び板バネ49の付勢力によってボールネジユニット43と接し、ステッピングモータユニット40を押圧している。
【0019】
図1に示すように、ステッピングモータユニット40及びピエゾ素子ユニット41は、いずれもレーザコントローラ29に電気的に接続されている。ステッピングモータユニット40は、レーザコントローラ29から受信したパルス信号のパルス数に応じて、モータ軸48(図2参照)を所定量だけ回転させる。モータ軸48の先端部48Aには、カップリング42を介して、ネジ山が精密加工されたボールネジユニット43の後端部43Bが取着されている。ボールネジユニット43は、ガイド51によって、回転しながら前後方向にスムーズに直進運動を行なう。
ボールネジユニット43の先端部43Aは、その長手方向に垂直な平面に精密加工され、この平面に、球面に精密加工されたピエゾ素子ユニット41の先端部41Bが当接している。従って、ボールネジユニットが回転しながら前後動したとき、ピエゾ素子ユニット41は回転せずに前後動する。ピエゾ素子ユニット41の後端部41Aは、ミラーホルダ38に固定された紫外線カバー44に固定されている。
【0020】
ピエゾ素子ユニット41の配線52は、紫外線カバー44の内側を通って、図示しない導入孔を介して狭帯域化ボックス31の外部に達しており、レーザコントローラ29に接続されている。ピエゾ素子ユニット41は、配線52を介して印加された、電圧Vの大きさに応じた長さだけ、前後方向に伸縮する。
ピエゾ素子ユニット41を、フルストロークの約1/2の位置(以下、中立位置と言う)まで伸長させる電圧Vを、中立電圧V0と言う。レーザコントローラ29は、中立電圧V0を、ピエゾ素子ユニット41に常時印加している。これにより、ピエゾ素子ユニット41は、初期位置として、中立位置に保たれている。
【0021】
レーザコントローラ29は、可動ホルダ36に信号を出力してステッピングモータユニット40又はピエゾ素子ユニット41を伸縮させることにより、紫外線カバー44を介してミラーホルダ38の第3隅部38Cを押し引きする。これにより、波長選択ミラー34が回動し、前記入射角度φが変更されて、パルスレーザ光21の中心波長λcが変化する。
このときレーザコントローラ29は、波長モニタ37によってモニタリングした中心波長λcに基づき、中心波長λcと目標波長λ0との差である波長偏差Δλが所定の許容範囲よりも小さくなるように、波長制御を行なっている。以下の説明では、波長偏差Δλを所定の許容範囲よりも小さくなるように波長制御することを、中心波長λcを目標波長λ0に合わせると言う。
【0022】
また、レーザコントローラ29は、高圧電源23に指令を出力することにより、パルスレーザ光21のパルス出力の制御(これをパワーロック制御と言う)も行なっている。
さらにレーザコントローラ29は、露光機25と互いに通信を行なっており、露光機25から発振指令信号に基づいてレーザ発振を行なう。また、レーザコントローラ29は、自己の判断に基づいて発振指令信号を出力し、レーザ発振を行なう場合もある。
【0023】
次に、レーザコントローラ29が、パルスレーザ光21の中心波長λcを所望の目標波長λ0に合わせる際の、具体的な制御手順について説明する。
まず、第1の制御手順として、パルスレーザ光21を、連続的に発振させる場合について説明する。
図4は、上方から、波長制御を行なわない場合の中心波長λcの変動、露光機25からの発振指令(ON/OFF)信号、波長制御を行なった場合の、中心波長λcと目標波長λ0との差を示す波長偏差Δλ、波長制御を行なった場合の、ピエゾ素子ユニット41に出力される指令電圧V、及び波長制御を行なった場合の、ステッピングモータユニット40の駆動距離Pをそれぞれ示すタイミングチャートである。
【0024】
図4において、発振指令信号が、時刻t10からONになると、パルスレーザ光21が発振を開始する。このとき、もし仮に波長制御を行なわなかった場合には、図4に示すように、中心波長λcは1方向にドリフトしていく。これは、レーザチャンバ12や狭帯域化ユニット30の温度上昇によるものである。ここでは、中心波長λcが、長波長側へドリフトするものとして説明する。
レーザコントローラ29は、このドリフトを補正して、波長偏差Δλを許容範囲内に収めるために必要な、波長選択ミラー34の回転量を演算する。そして、この回転量に基づいて、ピエゾ素子ユニット41に、波長選択ミラー34を所望の角度まで回転させるのに必要な指令電圧Vを印加する。
ここでは、指令電圧Vを中立電圧V0から減少させてピエゾ素子ユニット41を短縮させることにより、中心波長λcのドリフトを抑えるものとして、説明する。但し、実際にはピエゾ素子ユニット41を伸長させる必要がある場合もある。
【0025】
図4に示すように、温度上昇によるドリフトによって中心波長λcは長波長側へ動き続ける。従って、レーザコントローラ29は、ドリフトを補正するための指令電圧Vを減少させ続け、ピエゾ素子ユニット41は短縮し続ける。
また、このようなドリフト以外にも、中心波長λcは様々な原因によって変動する。そのため、レーザコントローラ29は、指令電圧Vを単純に減少させるのではなく、波長偏差Δλを許容範囲内に収めるための微妙な増減を行なっている。
時刻t11において、ピエゾ素子ユニット41への指令電圧Vが所定の閾値V1に達すると、レーザコントローラ29は、ステッピングモータユニット40にパルス信号を出力して、ステッピングモータユニット40を初期長さP0から長さP1まで短縮させる。このときの短縮量は、ピエゾ素子ユニット41が、時刻t10から時刻t11まで(中立電圧V0から閾値V1まで)に短縮した短縮量と略同じであるようにする。
【0026】
これと同時にレーザコントローラ29は、ピエゾ素子ユニット41に印加した指令電圧Vを閾値V1から増加させ、時刻t12で中立電圧V0に戻るようにしている。これにより、ピエゾ素子ユニット41は、時刻t12において中立位置まで伸長する。このとき、ピエゾ素子ユニット41の伸長量は、ステッピングモータユニット40の短縮量に相殺されるため、波長選択ミラー34の位置は保持され、入射角度φは変化しない。
但しこの間も、中心波長λcのドリフトは続いている。また、上述したような中心波長λcの変動も、起こることがある。従ってレーザコントローラ29は、ピエゾ素子ユニット41を中立位置まで戻す時刻t11〜t12の間にも、時刻t10〜t11の場合と同様に、ピエゾ素子ユニット41に印加する指令電圧Vを微妙に増減させ、波長偏差Δλを許容範囲内に保っている。
【0027】
時刻t12において、レーザコントローラ29は、ステッピングモータ40の短縮及びピエゾ素子ユニット41の伸長を停止する。そして、時刻t12からは、時刻t10において波長制御を開始したと同様に、ピエゾ素子ユニット41のみを用いて、波長偏差Δλが許容範囲内に保たれるように波長制御を行なう。
これにより、時刻t12〜t14において、時刻t10〜t12と同様の制御が繰り返される。以降も同様であり、このような制御は、レーザチャンバ12や狭帯域化ユニット30内部の温度が飽和して一定になり、温度変化によるドリフトが殆んどなくなるまで続けられる。
【0028】
さらに、温度が一定になっても、レーザコントローラ29は、波長モニタ37の出力信号に基づき、ピエゾ素子ユニット41に指令電圧Vを出力する。
その結果として指令電圧Vが閾値V1に達した場合には、時刻t11〜t12と同様に、ステッピングモータユニット40で駆動距離を相殺しながら、ピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻すようにする。これは、指令電圧Vが中立電圧V0よりも増大して、所定の閾値に達した場合も同様である。
【0029】
以上説明したように本実施形態によれば、波長選択ミラー34を回動させる可動ホルダ36が、微小距離を精度良く駆動が可能なピエゾ素子ユニット41と、長い距離を駆動可能なステッピングモータユニット40とを備えている。
ピエゾ素子ユニット41は、短時間で微少距離を伸縮させることが可能であるが、伸縮可能なストロークは短い。これに対し、ステッピングモータユニット40は伸縮に時間がかかるものの、ストロークが長い。従って、波長制御をピエゾ素子ユニット41によって行なうことにより、波長選択ミラー34を応答性良く、かつ、正確に回転させ、目標の入射角度φを得ることが可能である。従って、パルスレーザ光21の中心波長λcを、素早く正確に目標波長λ0とすることができ、精度の良い波長制御が可能である。
【0030】
即ち、ピエゾ素子ユニット41は、およそ数〜数十μsecで所望の長さまで伸縮する。パルスレーザ光21が、例えば10kHzの繰り返し周波数でパルス発振するとすると、パルス発振から次のパルス発振までの間の所要時間は、100μsecとなる。
従って、1パルスの発振が行なわれるごとに、波長モニタ37からモニタリングしたパルスレーザ光21の中心波長λcに基づいて、次のパルス発振までにピエゾ素子ユニット41を駆動して、入射角度φを所望の値にすることが可能である。
その結果、レーザコントローラ29は、例えば1パルス発振ごとに中心波長λcを所望の目標波長λ0により近づけるべく、PID制御することが可能となる。従って、結果が即座にフィードバックされるので、従来技術のように複数パルスの中心波長λcの平均値や、サンプリングした中心波長λc等に基づいて中心波長λcを制御するのに比較して、波長制御の精度が向上する。
【0031】
また、本実施形態によれば、ピエゾ素子ユニット41が所定距離以上伸縮した場合には、ステッピングモータユニット40を逆方向に動かしてピエゾ素子ユニット41の動きを相殺しながら、ピエゾ素子ユニット41を中立位置まで戻している。
ピエゾ素子ユニット41は、短時間で伸縮させることが可能であるが、伸縮可能なストロークは短いため、波長選択ミラー34の可動範囲が限定される。その結果、例えば温度上昇などによる中心波長λcのドリフト量が大きな場合には、ピエゾ素子ユニット41のフルストロークまで伸縮して、波長制御ができなくなってしまうことがある。
これを防止するため、ピエゾ素子ユニット41を中立位置から所定距離以上伸縮させた場合には、ピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻している。これにより、中立位置から波長制御を再開できるので、常にピエゾ素子ユニット41を用いた制御が可能となり、制御の応答性が向上する。
また、ピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻す際に、ステッピングモータユニット40でその動きを相殺している。これにより、波長選択ミラー34の位置が保持されるので、波長選択ミラー34が動かず、波長偏差Δλが許容範囲内に保たれる。
【0032】
また、ピエゾ素子ユニット41は、伸縮時のバックラッシュが殆んど生じない。そのため、波長選択ミラー34を回転させた際に、波長選択ミラー34が振動せず、中心波長λcがぶれるようなことがない。
【0033】
さらに、温度上昇による中心波長λcのドリフトを補正する際に、ピエゾ素子ユニット41を中立位置から次第に短縮させて補正を行なうようにしている。ピエゾ素子ユニットは、印加される指令電圧Vを低くすることにより、そのストロークが短縮する。また、印加される指令電圧の累積が低いほど、その寿命が長くなる。
即ち、レーザ装置の発振開始時に必ず生じる温度上昇による中心波長のドリフトを、短縮方向に動かして補正することによって、ピエゾ素子ユニット41は常に中立位置から、ストロークが短縮する方向へ動く。従って、ピエゾ素子ユニット41に対する印加電圧の累積が低くなり、その寿命が長くなる。
【0034】
次に第2の制御手順として、露光時について説明する。
露光時には、エキシマレーザ装置11は、レーザ発振と停止とを所定のインターバルで交互に繰り返す、バーストモードと呼ばれる間欠的な発振を行なうことがある。
図5は、上方から、露光機25からの発振指令(ON/OFF)信号、波長制御を行なう場合の、ピエゾ素子ユニット41に出力される指令電圧V、及び波長制御を行なう場合の、ステッピングモータユニット40に出力されるパルス信号の駆動距離Pをそれぞれ示すタイミングチャートである。
【0035】
図5に示すように、発振指令信号は、所定の間隔でON/OFFを繰り返す。時刻t20において、発振指令信号がONとなり、レーザ発振が開始される。レーザコントローラ29は、ピエゾ素子ユニット41に指令電圧Vを出力して、波長偏差Δλが許容範囲内に収まるように、波長制御を行なう。
尚、図5では、一例として指令電圧Vを中立電圧V0から減少させてピエゾ素子ユニット41を短縮させ続けるような場合を取り上げているが、これに限られるものではない。即ち、ピエゾ素子ユニット41を伸長させる必要がある場合もある。
【0036】
時刻t21において、発振指令信号がOFFとなると、レーザ発振が停止する。これに伴い、レーザコントローラ29は、ステッピングモータユニット40にパルス信号を出力し、初期長さP0から長さP2までステッピングモータユニット40を短縮させる。このときの短縮量は、ピエゾ素子ユニット41が、時刻t20から時刻t21まで(中立電圧V0から指令電圧V2まで)に短縮した短縮量と略同じであるようにする。
これと同時にレーザコントローラ29は、ピエゾ素子ユニット41に印加した指令電圧Vを指令電圧V2から増加させ、時刻t22で中立電圧V0に戻るようにする。これにより、ピエゾ素子ユニット41は時刻t22において、波長選択ミラー34の位置を保持したまま、略中立位置に戻る。
【0037】
そして、時刻t23に、発振指令信号がONになると、レーザ発振が再開される。これに伴い、レーザコントローラ29は、時刻t20における波長制御の開始と同様に、ピエゾ素子ユニット41に印加する指令電圧Vを減少させ、波長偏差Δλが許容範囲内に保たれるように波長制御を行なう。
t23〜t26においても、t20〜t23と同様の制御が繰り返される。
【0038】
また、レーザ発振の途中で中心波長λcが大きく変動し、指令電圧Vが閾値V1を越えるような場合には、第1の制御手順と同様に、ステッピングモータユニット40を駆動し、ピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻すようにする。
即ち、t27で指令電圧Vが閾値V1に達すると、レーザコントローラ29はステッピングモータユニット40にパルス信号を出力し、長さP3からP4までステッピングモータユニット40を短縮させる。このときの短縮量は、ピエゾ素子ユニット41が、時刻t26から時刻t27まで(中立電圧V0から閾値V1まで)に短縮した短縮量と略同じであるようにする。
これと同時にレーザコントローラ29は、ピエゾ素子ユニット41に印加した指令電圧Vを、閾値V1から増加させ、時刻t28で中立電圧V0に戻るようにする。但し、この間レーザコントローラ29は、第1の制御手順と同様に、波長偏差Δλが許容範囲内に保たれるように、ピエゾ素子ユニット41に印加する指令電圧Vを制御している。これによりピエゾ素子ユニット41は、時刻t28において、中立位置まで戻る。
【0039】
そして時刻t28からは、レーザコントローラ29はピエゾ素子ユニット41のみを用いて、波長偏差Δλが許容範囲内に保たれるように波長制御を行なう。
時刻t29において、レーザ発振が停止すると、レーザコントローラ29は、長さP4からP5までステッピングモータユニット40を短縮させる。このときの短縮量は、ピエゾ素子ユニット41が、時刻t28から時刻t29までに短縮した短縮量と略同じであるようにする。
これと同時にレーザコントローラ29は、ピエゾ素子ユニット41に印加した指令電圧Vを、中立電圧V0に戻す。これによりピエゾ素子ユニット41は、ミラー34の位置を保持したまま、時刻t30において略中立位置に戻る。そして、時刻t31において発振が再開されると、ピエゾ素子ユニット41に指令電圧Vを出力して波長制御を再開する。
【0040】
以上説明したように、第2の制御手順によれば、バーストモードでレーザ発振を行なう場合においても、ピエゾ素子ユニット41に印加する指令電圧Vを制御して波長選択ミラー34を回転させている。
従って、レーザコントローラ29は、例えば1パルス発振ごとに中心波長λcをPID制御することが可能となる。これにより、すべてのパルスにおいて、中心波長λcが所望の目標波長λ0に、より近づき、正確な制御が可能である。
【0041】
また、バーストモードにおいては、間欠的に放電が停止するため、レーザガスの状態が変化し、発振再開直後の中心波長λcが変動してしまうことがある。しかしながら、第2の制御手順によれば1パルス発振ごとに波長制御が可能であるので、変動した中心波長λcを、迅速に目標波長λ0に近づけることができ、波長偏差Δλが許容範囲外となるパルスレーザ光21が少ない。
【0042】
さらに、第1の制御手順と同様に、ピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻す際に、ステッピングモータユニット40を逆方向に駆動して相殺し、波長選択ミラー34の位置を保っている。これにより、ピエゾ素子ユニット41が常に中立位置から伸縮を開始するので、ストロークが短いというピエゾ素子ユニット41の短所を補っている。さらに、波長選択ミラー34の位置がずれないので、発振再開時に中心波長λcがずれない。
特にバースト発振の場合には、発振停止中にピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻すことができる。従って、指令電圧Vが閾値V1を越えない限り、波長制御を行ないながらピエゾ素子ユニット41を中立位置に戻すという煩雑な制御をする必要がない。
【0043】
尚、以上の説明において、ピエゾ素子ユニット41の初期位置を中立位置とし、所定の伸縮距離を越えたら、この中立位置に戻すように説明したが、これに限られるものではない。例えば、中心波長λcが必ず1方向にのみ動くような場合、ピエゾ素子ユニット41の初期位置を、最短ストローク位置近傍とし、所定の伸縮距離を越えたら、最短ストローク位置に戻すようにしてもよい。
このようにすれば、ピエゾ素子ユニット41に印加される指令電圧Vが小さくなり、ピエゾ素子ユニット41の寿命が長くなる。さらに、ピエゾ素子ユニット41の駆動可能なストロークが長くなるので、初期位置まで戻すという操作を行なう回数が減少し、波長制御が単純化される。
【0044】
また、ピエゾ素子ユニット41及びステッピングモータユニット40により、波長選択ミラー34を回転させて中心波長λcを制御するように説明したが、これに限られるものではない。例えば、グレーティング33やプリズム32を回転させるようにしてもよい。
また、ステッピングモータユニット40で波長選択ミラー34を、ピエゾ素子ユニット41でプリズム32を、それぞれ回転させるようにしてもよい。
【0045】
しかしながら、上記実施形態で説明したように、ステッピングモータユニット40及びピエゾ素子ユニット41を直列に配し、グレーティング33、プリズム32、及び波長選択ミラー34等の光学部品のうち、いずれか1つのみを回転させる方式が、最も制御が容易である。即ち、ステッピングモータユニット40を駆動する際に、ピエゾ素子ユニット41の伸縮量と略同一量を略同一速度で伸縮させることで、波長選択ミラー34の位置を変えることなく、ピエゾ素子ユニット41の伸縮量を相殺でき、制御が容易である。
これに対し、ステッピングモータユニット40とピエゾ素子ユニット41とを異なる場所に配置するならば、中心波長λcを変えないようにする必要があり、ピエゾ素子ユニット41とステッピングモータユニット40との伸縮量が異なるため、制御が困難になる。
【0046】
また、本発明は、エキシマレーザ装置のみならず、狭帯域化を行なうレーザ装置一般に応用が可能であり、特にフッ素レーザ装置に関しては、エキシマレーザ装置と同様に応用が可能である。
また、ピエゾ素子ユニットとして説明したが、圧電型の素子であればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係るエキシマレーザ装置の構成図。
【図2】可動ホルダの平面断面図。
【図3】可動ホルダの正面図。
【図4】第1制御手順を説明するタイミングチャート。
【図5】第2制御手順を説明するタイミングチャート。
【図6】従来技術に係るエキシマレーザ装置の構成図。
【符号の説明】
11:エキシマレーザ装置、12:レーザチャンバ、15:放電電極、16:フロントミラー、17:フロントウィンドウ、19:リアウィンドウ、20:レーザ光軸、21:レーザ光、22:ビームスプリッタ、25:露光機、29:レーザコントローラ、30:狭帯域化ユニット、31:狭帯域化ボックス、32:プリズム、33:グレーティング、34:波長選択ミラー、35:パージガス給気口、36:可動ホルダ、37:波長モニタ、38:ミラーホルダ、39:支持部材、40:ステッピングモータユニット、41:ピエゾ素子ユニット、42:カップリング、43:ボールネジユニット、44:紫外線カバー、45:パージガス、46:ナット、47:スクリュー、48:モータ軸、49:板バネ、50:手動マイクロメータ、51:ガイド、52:配線。
Claims (5)
- パルスレーザ光(21)の中心波長(λc)を検出する波長モニタ(37)と、
微小角度を駆動する第1駆動機構(41)、及び第1駆動機構(41)よりも大きな角度を駆動する第2駆動機構(40)を有し、これらの駆動機構(40,41)によって光学部品を回転させてパルスレーザ光(21)が狭帯域化光学素子(33)に入射する入射角度を変更する光学部品回転手段と、
波長モニタ(37)の検出値に基づき、前記光学部品回転手段を駆動して前記入射角度(φ)を変更し、パルスレーザ光(21)の中心波長(λc)を所定の目標波長(λ0)に制御するレーザコントローラ(29)とを備えたレーザ装置用波長制御装置において、
前記レーザコントローラ(29)は、第1駆動機構(41)に駆動指令を出力して光学部品を回転させ、
第1駆動機構(41)の駆動量が所定の閾値を越えた場合には、中心波長(λc)を目標波長(λ0)に合わせたまま、第1駆動機構(41)を初期位置に戻し、第1駆動機構(41)を戻すことによる入射角度(φ)の角度変化を第2駆動機構(40)によって相殺させることを特徴とするレーザ装置用波長制御装置。 - 請求項1記載のレーザ装置用波長制御装置において、
前記第1駆動機構(41)が圧電素子ユニットであり、
前記第2駆動機構(40)がステッピングモータユニットであることを特徴とするレーザ装置用波長制御装置。 - 請求項2記載のレーザ装置用波長制御装置において、
前記第1駆動機構(41)の初期位置が、フルストロークの約2分の1の中立位置であることを特徴とするレーザ装置用波長制御装置。 - パルスレーザ光(21)の中心波長(λc)を検出し、
検出値に基づいて、微小角度を駆動する第1駆動機構(41)、及び第1駆動機構(41)よりも多きな角度を駆動する第2駆動機構(40)により、光学部品をレーザ光軸(20)に対して回転させてパルスレーザ光(21)の狭帯域化光学素子(33)への入射角度(φ)を変更し、
パルスレーザ光(21)の中心波長(λc)を所定の目標波長(λ0)に制御するレーザ装置の波長制御方法において、
前記レーザコントローラ(29)は、波長モニタ(37)の検出値に基づいて第1駆動機構(41)に駆動指令を出力して光学部品を回転させ、
第1駆動機構(41)の駆動量が所定の閾値を越えた場合には、中心波長(λc)を目標波長に合わせたまま、第1駆動機構(41)を初期位置に戻し、第1駆動機構(41)を戻すことによる入射角度(φ)の角度変化を、第2駆動機構(40)によって相殺させることを特徴とするレーザ装置の波長制御方法。 - 請求項4記載のレーザ装置の波長制御方法において、
前記第1駆動機構(41)が圧電素子ユニットであり、
前記第2駆動機構(40)がステッピングモータユニットであることを特徴とするレーザ装置の波長制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001207320A JP4664540B2 (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001207320A JP4664540B2 (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003023198A JP2003023198A (ja) | 2003-01-24 |
JP4664540B2 true JP4664540B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=19043325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001207320A Expired - Lifetime JP4664540B2 (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4664540B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4191808A1 (en) | 2016-12-09 | 2023-06-07 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Swept light source and drive data generation method and optical deflector for swept light source |
CN116034522A (zh) * | 2020-10-21 | 2023-04-28 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置和电子器件的制造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03176705A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-07-31 | Sony Corp | アクチュエータの駆動回路 |
JPH04141707A (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-15 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 複合移動動作の制御方法及びこの制御方法を応用した各種の方法、並びに粗微動複合移動装置の制御方法及び制御装置 |
JPH04320903A (ja) * | 1991-04-22 | 1992-11-11 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型トンネル顕微鏡、およびその探針移動機構の制御方法 |
JP2001168440A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-06-22 | Cymer Inc | 精密な波長制御を備えた狭帯域レーザ |
-
2001
- 2001-07-09 JP JP2001207320A patent/JP4664540B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03176705A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-07-31 | Sony Corp | アクチュエータの駆動回路 |
JPH04141707A (ja) * | 1990-10-03 | 1992-05-15 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 複合移動動作の制御方法及びこの制御方法を応用した各種の方法、並びに粗微動複合移動装置の制御方法及び制御装置 |
JPH04320903A (ja) * | 1991-04-22 | 1992-11-11 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型トンネル顕微鏡、およびその探針移動機構の制御方法 |
JP2001168440A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-06-22 | Cymer Inc | 精密な波長制御を備えた狭帯域レーザ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003023198A (ja) | 2003-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5114767B2 (ja) | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 | |
US6529531B1 (en) | Fast wavelength correction technique for a laser | |
US7599407B2 (en) | Laser control method, laser apparatus, laser treatment method used for the same, laser treatment apparatus | |
WO2006006499A1 (ja) | 狭帯域化レーザ装置 | |
JP2003008119A (ja) | 注入同期式又はmopa方式のレーザ装置 | |
WO2015118687A1 (ja) | レーザ装置及び極端紫外光生成システム | |
WO1997007926A1 (fr) | Machine d'usinage par faisceau laser, et laser | |
US10050408B2 (en) | Laser system | |
JP4683784B2 (ja) | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 | |
JP4683778B2 (ja) | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 | |
JP4664540B2 (ja) | レーザ装置用波長制御装置及び制御方法 | |
US6813287B2 (en) | Wavelength control device for laser device | |
US20230229088A1 (en) | Laser apparatus and method for manufacturing electronic devices | |
JP5755068B2 (ja) | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 | |
WO2022244237A1 (ja) | レーザ装置及び電子デバイスの製造方法 | |
JP2001196679A (ja) | 狭帯域化レーザ装置及びその波長制御装置 | |
JP3822116B2 (ja) | 半導体露光光源用狭帯域エキシマレーザ装置 | |
JP3839736B2 (ja) | 半導体露光光源用狭帯域エキシマレーザ装置 | |
JP2649392B2 (ja) | 狭帯域発振エキシマレーザ装置における光軸補正装置および補正方法 | |
JP5599277B2 (ja) | レーザ装置およびレーザ加工装置 | |
JP3837356B2 (ja) | 狭帯域レーザ装置 | |
JP2006073883A (ja) | レーザ装置の高精度波長制御方法 | |
JP5832581B2 (ja) | 狭帯域化レーザのスペクトル幅調整装置 | |
US20240128706A1 (en) | Control method of discharge-excitation type laser device, discharge-excitation type laser device, and electronic device manufacturing method | |
JP3765044B2 (ja) | エキシマレーザ装置のエネルギー制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080523 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100903 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4664540 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |