JP3837356B2 - 狭帯域レーザ装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は狭帯域レーザ装置に関し、特に、縮小投影露光装置用の光源として用いられる狭帯域エキシマレーザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置製造用の縮小投影露光装置(以下、ステッパという)の光源としてエキシマレーザの利用が注目されている。このエキシマレーザとしては線幅2pm以下の狭帯域化が要求され、しかも大きな出力パワーが要求される。エキシマレーザの狭帯域化の技術としては、比較的耐久性に優れたグレーティングを波長選択素子として採用し、このグレーティングの角度を変化させることにより、レーザ光の波長を狭帯域化するように構成したエキシマレーザが提案されている。
【0003】
プリズムとグレーティングを波長選択素子として採用したレーザ装置の構成を図12に示す。図において、レーザチヤンバ1の両端には、それぞれスリット2が形成されたスリット部材3が配設されている。また、レーザチヤンバ1の一方の側にはフロントミラー4が配置され、他方の側には3つのプリズム7からなるビームエキスパンダ5を介してグレーティング6が配設されている。レーザチャンバ1から出力されるレーザ光Lは、上記スリット部材3のスリット2によりX方向と同一方向のビーム拡がり角が規制される。すなわち、レーザチヤンバ1から出力されるレーザ光Lは、前記スリット2によってビーム拡がり角が規制され、フロントミラー4とグレーティング6間の同一光路を往復することにより、狭帯域化されてフロントミラー4から発振されるように構成されている。
【0004】
このようなレーザ装置においては、プリズム7及びグレーティング6をそれぞれ独立して固定し、グレーティング6の角度を変化させることにより発振波長を制御するようにしていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ステッパに使用されるような狭帯域エキシマレーザでは、前述したように波長線幅を単一段で2pm以下にする必要があり、また高速かつ高精度な波長安定化が要求される。したがって、使用されるグレーティング及びプリズムには大きなものが必要となり、必然的に重量も重いものとなる。しかし、グレーティングやプリズムを独立して固定すると、レーザの振動によってグレーティング及びプリズムも独立して振動するため、レーザの発振波長が大きく変化してしまうことになる。しかも、重量の重いグレーティングを制御し、その角度を高速かつ高精度に変化させて波長を安定して高精度に制御することは困難であった。
【0006】
この発明は、レーザ光の波長を高速かつ高精度に安定的に制御することができる狭帯域レーザ装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課造を解決するための手段】
この発明に係わる狭帯域レーザ装置においては、
プリズム及びグレーティングと、波長選択用ミラーをプレートで保持するミラーホルダとを具え、これらを狭帯域化素子の筐体に内包し、前記波長選択用ミラーの角度を変化させることにより波長選択を行う狭帯域レーザ装置において、
前記プレートは支点を介して前記狭帯域化素子の筐体の内壁に保持され、
前記プレートに接続される先端部およびこの先端部を移動させる駆動部を有し、前記駆動部の動作に応じて前記先端部を移動させて前記狭帯域化素子の筐体の内壁に対する前記プレートの角度を変化させることによって前記波長選択用ミラーの角度を変化させる角度制御手段を具え、
前記角度制御手段の駆動部を前記狭帯域化素子の筐体の外部に設けたこと
を特徴とする。
【0008】
【作用】
上記狭帯域レーザ装置によれば、ミラーホルダ26は図5におけるプレート31を底板に対して垂直に取り付け、このプレート31を狭帯域化素子の筐体77と一体化させている。
【0009】
これにより、波長選択用ミラー15の角度を調整するためのツマミ38、39やモータを筐体77の外部に設けることができ、ミラー15の角度を調整するために筐体77を開かずに済む。このため筐体77の密閉度を維持することができ外部からのダスト侵入等を阻止できる。
【0010】
【実施例】
以下、この発明に係わる狭帯域レーザ装置の一実施例を図面を示しながら詳細に説明する。
【0011】
図1は、第1の実施例におけるレーザ装置の構成図である。図において、両端にウィンドウ12、13が設けられたレーザチヤンバ11と2つのプリズムからなるビームエキスパンダ14の間に全反射ミラー(以下、ミラーという)15を配置した場合の例である。前記全反射ミラー15は、グレーティング16の線引き方向とビームエキスパンダ14のビームエキスパンド方向が略一致し、かつ前記グレーティング16の線引き方向と前記ビームエキスパンド方向を含む平面とミラーの入反射面が略一致するように配置されており、その面内で角度を変化させることによって発振波長を変化させることができる。なお、17はフロントミラーである。なお、以下の実施例において、同一部分を同一符号で表記する。
【0012】
図2は、図1の構成において、ビームエキスパンダ14をプリズム18と19、及び20を分割し、その間にミラー15を配置した場合の例である。この場合も、ミラー15はグレーティング16の線引き方向とビームエキスパンダ14のエキスパンド方向が略一致し、かつ前記グレーティング16の線引き方向と前記ビームエキスパンド方向とを含む平面とミラーの入反射面が略一致するように配置されている。
【0013】
図3は、第2の実施例におけるレーザ装置の構成図である。この例は、レーザの発振波長を検出する検出手段(ビームスプリッタ21、波長検出器22、波長コントローラ23)を具えるとともに、その検出波長に基づいて前記グレーティングの選択波長を変化させるようにミラーの角度を変化させる制御手段(ドライバ24、パルスモータ25、ミラーホルダ26)を具えたものである。その他の光学系の構成及び配置は図2と同じである。
【0014】
図3において、レーザチャンバ11から出力されたレーザ光の一部はビームスプリッタ21により取り出され、波長検出器22で出力レーザ光の波長が検出される。波長コントローラ23は、前波長検出器22で検出された出力レーザ光の波長に基づいてドライバ24に信号を送り、パルスモータ25を駆動する。このパルスモータ25の駆動により、ミラーの角度を変化させる制御手段であるミラーホルダ26に取り付けられたミラー15の角度が変化することになる。すなわち、レーザ光の一部をビームスプリッタ21によりサンプルすることにより、発振波長のフィードバック制御を行っている。
【0015】
図4は、前記ミラーホルダ26としてジンバル機構のついたものを用い、プリズム20のビームエキスパンド方向(又はグレーティング16の線引き方向)とほぼ同じ方向と、その方向に対して垂直な方向の2軸を調整できるようにしたものである。このようなジンバル機構によりミラーの角度を調整することにより、レーザの発振波長を調整することができる。また、前記ビームエキスパンド方向に対して垂直な方向を調整することによって、レーザの光軸を容易に調整することができる。
【0016】
図5は、ジンバル機構を具えたミラーホルダの具体例を示したものである。図5(a)は正面図、同(b)は右側面図、同(c)は左側面図、同(d)は矢視dから見た図である。図において、ミラー33はプレート32上の中央に設置され、その周囲4カ所に配置されたミラー押え34とボルト30により固定されている。プレート31とプレート32の間には、支点となるボール35とバネ36及び37が配設され、ボール35を支点としてバネ36及び37に引っ張られることによって保持されている。プレート31は図示せぬ装置内の板上に所定の固定手段により固定されている。また、プレート31にはツマミ38、39の雄ネジと同じタップが形成されている。(a)において、ツマミ38を回転させるとツマミ38の先端部が移動し、これによってプレート32が押され、ボール35を支点にしてミラーの角度が紙面の平面内で変化する。また、(d)のようにツマミ39を回転させるとツマミ39の先端部が移動し、これによってプレート32が押され、ボール35を支点にしてミラーの角度が紙面の平面内で変化する。このようなジンバル機構を用いることにより、ミラーの角度を水平方向と垂直方向に高精度に調整することができる。
【0017】
なお、この実施例ではミラー固定にミラー押えを使用したが、レーザ光によりアウトガスが発生しない接着剤があれば、プレートに接着してもよい。さらに、ミラーの角度を自動的に制御する場合は、パルスモータ又はDCモータ付きのマイクロメータを取り付けてもよいし、ツマミの先端にピェゾ素子を取り付けてもよい。
【0018】
図6は、第3の実施例におけるレーザ装置の構成図であり、各光学素子を板上に配設した場合の具体例を示している。ここでは、グレーティングの線引き方向、ビームエキスパンダのエキスパンド方向及びミラーの入反射面をほぼ一致させるために、ビームエキスパンダ(プリズム18〜20)、ミラーホルダ26及びグレーティング16をビームエキスパンダのビームエキスパンド方向とグレーティング16、の線引き方向を含む平面と平行な板40に所定の角度及び位置に固定した場合の例を示している。プリズム18〜20は、それぞれプリズム押え41〜43により固定され、グレーティング16はグレーティング押え44により固定されている。また、ジンバル機構の付いたミラーホルダ26はミラーホルダ固定ネジ45により板上に固定されている。このように、各光学素子を同一平面の板上に固定すると、各々の光学素子が独立的に振動しないため、レーザの振動による発振波長の変化幅が小さくなり、波長安定性を向上させることができる。
【0019】
図7及び図8は、プリズムを固定するためのプリズムホルダの構成例を示したものである。図7の固定例において(a)は平面図、同(b)は正面図である。
【0020】
プリズム18(又は19、20)は、プレート46上に止め金具47及び48によって位置決めされている。プリズム18の近傍には、棒49及び50が配設され、2つの棒の上部は上プレート51により固定されている。上プレート51にはツマミ52の雄ネジと同じタップが形成されていて、ツマミ52を回転させると先端部の押え板53が下方に移動し、プリズム18をプレート46上に固定する。
図8の固定例において(a)は平面図、同(b)は正面図である。この例では棒49及び50の表面にネジが形成され、ナット54及び55を回転させることにより、バネ56及び57を介して上プレート58を下方に移動させ、プリズム18をプレート46上に固定する。その他の構成は図7の固定例と同じである。
【0021】
なお、この実施例ではプリズムを機械的な方法で固定しているが、レーザ光によりアウトガスが発生しない接着剤があれば、プレートに接着して固定してもよい。さらに、図6の例では板40の上に直接プリズムやグレーティングを載せて固定しているが、図7又は図8のようなプリズムホルダを作製し、当該プリズムホルダを図6の板40に載せて固定してもよい。
【0022】
図9及び図10は、グレーティングを固定するためのグレーティングホルダの構成例を示したものである。図9の固定例において(a)は平面図、同(b)は正面図である。グレーティング16は、プレート60上に止め金具61及び62によって位置決めされている。棒63及び64の表面にはネジが形成され、ナット65及び66を回転させると、バネ67及び68を介して上プレート69が下方に移動し、グレーティング16をプレート60上に固定する。
【0023】
図10の固定例において(a)は平面図、同(b)は正面図、同(c)は(b)の右側面図である。プレート70上には止め金具71が固定ネジ72によって固定され、グレーティング16は、止め金具71の面とグレーティング16の背面を合わせることにより位置決めされている。止め金具71には、ツマミ73及び74の雄ネジと同じタップが形成されていて、ツマミ73及び74を回転させると先端部の押え板75及び76が下方に移動し、グレーティング16をプレート70上に固定する。
【0024】
なお、この実施例ではグレーティングを機械的な方法で固定しているが、レーザ光によりアウトガスが発生しない接着剤があれば、プレートに接着して固定してもよい。さらに、図6の例では板40の上に直接プリズムやグレーティングを載せて固定しているが、図9又は図10のようなグレーティングホルダを作製し、当該グレーティングホルダを図6の板40に載せて固定してもよい。
【0025】
図11は、ジンバル機構の付いたミラーホルダ26と各光学素子を載せる板を狭帯域化素子の筐体とした場合の構成図である。図11において、フロントミラー17と狭帯域化素子の筐体77は、レーザチヤンバ11を収めたインバーロッド78とプレート79及び80により固定されている。このような構成とすることで、レーザの熱及び振動によりレーザ光のアライメントが狂わないようにすることができる。プリズム18〜20及びグレーティング16は、プリズム押え41〜43及びグレーティング押え44により狭帯域化素子の筐体77の底板に固定されている。また、ミラーホルダ26は図5におけるプレート31を底板に対して垂直に取り付け、このプレート31を狭帯域化素子の筐体77と一体化させている。これにより、波長選択用ミラー15の角度を調整するためのツマミ38、39やモータを筐体77の外部に設けることができ、ミラー15の角度を調整するために筐体77を開かずに済む。このため筐体77の密閉度を維持することができ外部からのダスト侵入等を阻止できる。また、ネジ部を個体潤滑剤とすることにより、オイルフリー化が可能となる。この狭帯域素子の筐体77の蓋を閉め、クリーンなレーザ光に対して不活性なガス(例えば窒素ガス等)をパージすることにより、狭帯域化素子の寿命を飛躍的に延ばすことが可能となる。また、この例ではビームスプリッタ21により出力光の一部を波長検出器22に入力して出力レーザ光の波長を検出するとともに、その波長に基づいて波長コントローラ23からドライバ24に信号を送り、パルスモータ25を回転させることにより、ミラーの角度を変化させて波長のフィードバック制御を行っている。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係わる狭帯域レーザ装置においては、グレーティングとレーザ媒質の間にミラーを配置し、そのミラーの角度を調整することによってレーザ光の波長を制御するようにしたため、レーザ光の波長を高速かつ高精度に制御することができ、波長の安定性を向上させることができる。
【0027】
また、グレーティングなどの光学素子を同一平面の板上に所定の位置及び角度で固定するようにしたため、それら光学素子の独立的な振動を防止することができ、レーザの振動による発振波長の変化を最少限に止どめることができる。
【0028】
また、波長選択用ミラーの角度を調整するためのツマミやモータを筐体の外部に設けることができ、ミラーの角度を調整するために筐体を開かずに済む。このため筐体の密閉度を維持することができ外部からのダスト侵入等を阻止できる。筐体の密閉度を維持することができ外部からのダスト侵入等を阻止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例におけるレーザ装置の構成図。
【図2】図1の変形例を示すレーザ装置の構成図。
【図3】第2の実施例におけるレーザ装置の構成図。
【図4】ジンバル機構を具えたミラーホルダを使用した場合の構成図。
【図5】ジンバル機構を具えたミラーホルダの具体例を示す図。
【図6】各光学素子を枚上に配役した場合の具体例を示す図。
【図7】プリズムホルダの構成例を示す図。
【図8】プリズムホルダの構成例を示す図。
【図9】グレーティングホルダの構成例を示す図。
【図10】グレーティングホルダの構成例を示す図。
【図11】ジンバル機構の付いたミラーホルダと各光学素子を載せる板を狭帯域化素子の筐体とした場合の構成図。
【図12】プリズムとグレーティングを波長選択素子として採用したレーザ装置の構成を示す図。
【符号の説明】
11.レーザチャンバ、 12,13.ウィンドウ、 15.ミラー、
16.グレーティング、 17.フロントミラー、18〜20.プリズム、
21.ビームスプリッタ、22.波長検出器、 23.波長コントローラ
24.ドライバ、 25.パルスモータ、26.ミラーホルダ、
Claims (1)
- プリズム及びグレーティングと、波長選択用ミラーをプレートで保持するミラーホルダとを具え、これらを狭帯域化素子の筐体に内包し、前記波長選択用ミラーの角度を変化させることにより波長選択を行う狭帯域レーザ装置において、
前記プレートは支点を介して前記狭帯域化素子の筐体の内壁に保持され、
前記プレートに接続される先端部およびこの先端部を移動させる駆動部を有し、前記駆動部の動作に応じて前記先端部を移動させて前記狭帯域化素子の筐体の内壁に対する前記プレートの角度を変化させることによって前記波長選択用ミラーの角度を変化させる角度制御手段を具え、
前記角度制御手段の駆動部を前記狭帯域化素子の筐体の外部に設けたこと
を特徴とする狭帯域レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002099355A JP3837356B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 狭帯域レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002099355A JP3837356B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 狭帯域レーザ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08089892A Division JP3397337B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 狭帯域レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002374025A JP2002374025A (ja) | 2002-12-26 |
JP3837356B2 true JP3837356B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=19193658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002099355A Expired - Lifetime JP3837356B2 (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 狭帯域レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3837356B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4426913B2 (ja) * | 2004-07-06 | 2010-03-03 | 株式会社小松製作所 | レーザ装置の調整方法 |
JP4527479B2 (ja) * | 2004-09-10 | 2010-08-18 | サンテック株式会社 | 波長走査型ファイバレーザ光源 |
KR100656797B1 (ko) | 2005-07-22 | 2006-12-13 | 광주과학기술원 | 레이저의 선폭 축소 장치 |
JP5611016B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2014-10-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
-
2002
- 2002-04-01 JP JP2002099355A patent/JP3837356B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002374025A (ja) | 2002-12-26 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040614 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060626 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060731 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100804 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110804 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
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