JP2649392B2

JP2649392B2 - 狭帯域発振エキシマレーザ装置における光軸補正装置および補正方法

Info

Publication number: JP2649392B2
Application number: JP63263609A
Authority: JP
Inventors: 理若林; 諭樹夫小林; 雅彦小若
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1988-10-19
Filing date: 1988-10-19
Publication date: 1997-09-03
Anticipated expiration: 2012-09-03
Also published as: JPH02110985A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、縮小投影露光装置の光源等として使用され
る狭帯域発振エキシマレーザ装置における出力レーザ光
の光軸を補正する装置および方法に関する。

〔従来の技術〕

エキシマレーザは、たとえば集積回路等の回路パター
ンを半導体ウエハ上に露光する縮小投影露光装置の光源
に利用される。この場合、エキシマレーザの波長は、た
とえばKrFレーザの波長で約248.35nmと、他のレーザの
波長に較べて短いことから解像度の限界を0.5μｍ以下
に延ばせる点、同じ解像度なら従来用いていた水銀ラン
プのｇ線やｉ線に比較して焦点深度が深い点、レンズの
開口数（NA）が小さくてすみ、露光領域を大きくできる
点、大きなパワーが得られる点等々多くの優れた利点が
得られる。

ところがエキシマレーザはその波長が上記するように
248.35nmと短いため、この波長を透過する材料が石英、
CaF2およびMgF2等しかなく、しかも均一性および加工精
度等の点でレンズ素材として石英しか用いることができ
ない。そこで色収差補正をした縮小投影レンズの設計は
困難である。このため、エキシマレーザを縮小投影露光
装置の光源として用いるにはこの色収差が無視しうる程
度までの狭帯域化が必要となる。

そこで、本発明者等は、このエキシマレーザの狭帯域
化を具現するために、エキシマレーザ装置のリアミラー
とレーザチャンバとの間に複数の波長選択素子を配設
し、この複数の波長選択素子の選択中心波長を制御する
中心波長制御を行なうとともにこの複数の波長選択素子
の透過中心波長を重ね合せる重ね合せ制御を実行すると
いう発明を提案している。

この重ね合せ制御は、具体的には、出力レーザ光の中
心波長のパワーをモニタし、このモニタしたパワーが最
大となるように複数の波長選択素子の波長選択特性を制
御するものである。

このような狭帯域発振エキシマレーザ装置では周知の
広帯域発振エキシマレーザと比較すると、光共振器を形
成するフロントミラーおよびリアミラーの姿勢角をこれ
らミラーの面が出力光軸に対して垂直になるように極め
て高い精度で設定する必要があり、両者のミラーの姿勢
角がミラーの面が出力光軸に対して垂直になる状態から
少しでもずれると出力レーザ光のパワーが低下する。す
なわち、フロントミラーおよびリアミラーの面はレーザ
光の光軸に対して垂直になるように正確に保持せねばな
らない。

一方、フロントミラーから出射されるレーザ光を縮小
投影露光装置に導いて使用する場合、この出力レーザ光
の光路長は数メートルまでに及ぶので、このために出力
レーザ光の光軸が少しでもずれると、レーザ光の最終的
な露光位置が大きくずれることとなる。したがって、各
ミラーの姿勢角は出力レーザ光が所定の光路に沿うよう
な姿勢角に常に保持する必要がある。

このように狭帯域発振エキシマレーザ装置において
は、フロントミラーおよびリアミラーのレーザ光軸に対
する相対的な姿勢角を出力レーザ光のパワーが低下しな
いように保持することと、これら各ミラーを出力レーザ
光が所定の光路に沿うような姿勢角に保持することが必
要になる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、フロントミラーおよびリアミラーを装置本
体に配置する狭帯域発振エキシマレーザ装置にあって
は、両者のミラーの姿勢が装置本体の振動や、環境温度
の変動に起因して狂い、このため出力レーザ光のパワー
の低下および出力レーザ光の光軸ずれ（露光位置のず
れ）が多々生じる。この場合、両者のミラーの相対的な
姿勢角を調整すると同時に、出力レーザ光が所定の光路
に沿うように各ミラーの姿勢角を調整する必要がある。
が、このような調整は極めて煩雑である。すなわち、一
方のミラーの姿勢角を調整して、レーザ光のパワーが回
復したとしても、出力レーザ光の光軸は再現しない、つ
まり光軸ずれは補正されないということがある。

また、狭帯域発振エキシマレーザ装置ではレーザ媒質
ガスが封入されているレーザチャンバ内の放電ユニット
を定期的に交換せねばならず、この交換の後に上記出力
レーザ光のパワーの低下および出力レーザ光の光軸のず
れが発生することがある。この場合にも、上記と同様に
煩雑な調整をする必要があった。

また、従来において、出力レーザ光の光軸がずれて、
つまりレーザ光の最終的な露光位置がずれてしまった場
合には、ステッパ側（露光装置側）の光学系を再調整す
る試みもなされている。

しかし、この場合には、出力レーザ光のパワーを回復
するために、レーザ装置側でミラーの調整を、そして出
力レーザ光の光軸ずれの補正を露光装置側の光学系で別
個に行なう必要があり、やはりその調整は煩雑なものと
なる。しかも、上記露光装置側の再調整は該装置の稼働
時間を大幅に損なうことになる。

本発明はこうした実情に鑑みてなされたもので、レー
ザ装置側のミラーの調整だけで出力レーザ光のパワーの
回復と、出力レーザ光の光軸ずれの補正とを同時に、簡
単に、しかも高精度に、かつ短時間で自動的に行なうこ
とのできる狭帯域発振エキシマレーザ装置における光軸
補正装置および補正方法を提供することをその目的とし
ている。

〔課題を解決するための手段および作用〕

そこで本発明の第１発明では、フロントミラーおよび
リアミラーを有する光共振器内に波長選択素子を配設
し、この波長選択素子の選択波長を調整することによっ
てレーザ光のスペクトルおよび波長が安定化するように
波長制御を行なう狭帯域発振エキシマレーザ装置に適用
され、前記フロントミラーから出射されるレーザ光の光
軸を補正する狭帯域発振エキシマレーザ装置における光
軸補正装置において、前記フロントミラーおよびリアミ
ラーの姿勢角を変化させる姿勢角変化手段と、前記レー
ザ光のパワーを検出するパワー検出手段と、前記フロン
トミラーから出射されるレーザ光の光軸ずれを検出する
光軸ずれ検出手段と、前記光軸ずれ検出手段で検出され
た光軸ずれが許容範囲内にあるか否かを判定する光軸ず
れ判定手段と、前記パワー検出手段の検出値に基づい
て、該検出値が最大になるように前記フロントミラーお
よびリアミラーのうちいずれか一方のミラーの姿勢角を
変化させる第１の姿勢角変化手段制御手段と、前記光軸ずれ検出手段の検出値に基づいて、該検出値
が前記許容範囲内になるように前記フロントミラーおよ
びリアミラーのうち前記一方のミラーとは異なる他方の
ミラーの姿勢角を変化させる第２の姿勢角変化手段制御
手段と、前記光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが前記
許容範囲にないことが判定された際に、前記波長制御
と、前記第１の姿勢角変化手段制御手段による前記一方
のミラーの姿勢角制御とを交互に少なくとも１回ずつ行
なわせ、かつその後前記第２の姿勢角変化手段制御手段
による前記他方のミラーの姿勢角制御を行なわせること
を前記波長制御と前記一方のミラーの姿勢角制御とが行
なわれた際に前記光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが
前記許容範囲内にあることが判定されるまで、繰り返し
指示する手段とを具えるようにしている。

すなわち、かかる構成によれば、フロントミラーから
出射されたレーザ光の光軸ずれが許容範囲内にないこと
が判定されると、波長制御と、レーザ光のパワーが最大
になるようにフロントミラーおよびリアミラーのうち一
方のミラーの姿勢角の制御が交互に少なくとも１回ずつ
行なわれる。

この場合、レーザ光のスペクトルおよび波長が安定化
されるとともに、フロントミラーとリアミラーの姿勢角
は、レーザ光の光軸に対して垂直な姿勢角に変化され
て、レーザ光のパワーが最大になる。

しかし、この時点において、上記各ミラーの姿勢角
は、フロントミラーから出射されるレーザ光の光軸ずれ
が許容範囲内に収まる姿勢角にあるとは限らない。

そこで光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが許容範囲
内にあるか否かが判定される。光軸ずれが許容範囲内に
あると判定されれば、この時点でレーザ光のスペクトル
と波長が安定化されるとともに、レーザ光のパワーが最
大になり、かつ光軸ずれが補正されたことになる。

また、光軸ずれが許容範囲内にないと判定されたなら
ば、光軸ずれが許容範囲内になるように上記一方のミラ
ーとは異なる他方のミラーの姿勢角を変化させる。

以後、上記波長制御と、上記一方のミラーの姿勢角の
制御とを交互に少なくとも１回ずつ行なった後、この他
方のミラーの姿勢角の制御とが繰り返し実行される。

以後、上記波長制御と、上記一方のミラーの姿勢角の
制御とを交互に少なくとも１回ずつ行なった時点におい
て、光軸ずれ判定手段の判定結果が“許容範囲内”とな
れば全ての制御が終了する。この終了時点においては、
レーザ光のスペクトルおよび波長が安定化されるととも
に、レーザ光のパワーが最大になり、かつ光軸が補正さ
れたことになる。

また、本発明の第２発明では、フロントミラーおよび
リアミラーを有する光共振器内に波長選択素子を配設
し、この波長選択素子の選択波長を調整することによっ
てレーザ光のスペクトルおよび波長が安定化するように
波長制御を行なう狭帯域エキシマレーザ装置において、
前記フロントミラーから出射されるレーザ光の光軸を補
正する場合に適用される方法であって、前記フロントミ
ラーから出射されるレーザ光の光軸ずれを検出して、該
光軸ずれが許容範囲内にあるか否かを判定する行程を有
し、前記光軸ずれが前記許容範囲内にないことが判定さ
れた場合に、前記波長制御と、前記レーザ光のパワーが
最大になるように前記フロントミラーおよびリアミラー
のうちいずれか一方のミラーの姿勢角を変化させる該一
方のミラーの姿勢角の制御とを交互に少なくとも１回ず
つ行なう行程と、前記フロントミラーから出射されるレ
ーザ光の光軸ずれを検出して、該光軸ずれが前記許容範
囲内にあるか否かを判定する行程と、前記光軸ずれが前
記許容範囲内になるように前記フロントミラーおよびリ
アミラーのうち前記一方のミラーとは異なる他方のミラ
ーの姿勢角を変化させる行程とが、前記光軸ずれが前記
許容範囲内にあることが判定されるまで繰り返し実行さ
れる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、本発明に係る狭帯域発振エキシマレーザ装
置における光軸補正装置の一実施例または本発明に係る
狭帯域発振エキシマレーザ装置における光軸補正方法を
実施するための装置の一実施例を概念的に示すブロック
図である。

また、第２図（ａ），（ｂ）は、第１図に示す装置の
配設態様を示している。

第１図に示すようにレーザ媒質ガスが封入されたレー
ザヘッド１とリアミラー２との間にレーザ光の狭帯域化
を行なうエタロン（波長選択素子）3,4が配設されてい
る。

ここで、リアミラー２としては、例えばグレーティン
グを使用することができる。この場合、グレーティング
には、光を反射させる機能だけでなく、光の波長を選択
する機能もあるので、上記波長選択素子としてのエタロ
ンの配設は不要となる。

一方、フロントミラー５から出射されるレーザ光は、
ビームスプリッタ6,7を介して集光レンズ８に入射さ
れ、ここで集光されて、光ファイバ９の入射口に入射さ
れる。さらにレーザ光は、光ファイバ９を通過して波長
検出器10に導かれ、該検出器10にてレーザ光の発振中心
波長および中心波長パワーが検出される。

CPU11は、この波長検出器10の出力に基づいて波長選
択素子用ドライバ12を介してエタロン3,4の姿勢角、温
度および圧力等を変化させ、レーザ光の中心波長成分の
強度が最大にかつ発振波長を固定するように波長制御を
行なう。

以下、この波長制御について説明する。

一般に、レーザ共振器内に２個のエタロンを配設する
場合、これら２個のエタロンの重ね合せ状態が発振波長
の単一化や、レーザの高出力化に大きな影響をおよぼ
す。

即ち、２個のエタロンを透過したレーザ光は、これら
各エタロンのAND条件を満たした波長成分のものである
ため、第３図（ａ）に示すように、重ね合せに不具合が
発生すると、２個のエタロンのうちFSRの小なるエタロ
ンによる中心透過帯31と隣接透過帯32が、FSRの大なる
エタロンによる中心透過帯33と重なり、中心波長成分34
の他にサイドピークと呼ばれる隣接発振線35が現れた
り、同図（ｂ）に示すように中心波長成分の強度低下、
換言すれば、狭帯域化されたレーザ光パワーの低下をま
ねくことがある。

この重ね合せの不具合を是正するために、同図（ｃ）
に示すように中心波長成分の強度が最大となるようにエ
タロンの透過波長を調整をする重ね合せ制御が実施され
る。

この重ね合せ制御では、現在の重ね合せ状態が最良が
否かの判断をするために、一方のエタロンの透過波長を
中心波長が変化しない程度に故意に変化させ、それに伴
う中心波長成分の光強度の変化をモニタし、重ね合せ状
態を把握している。この重ね合せ制御と中心波長制御と
を組合せることにより波長制御を行っている。

以上が波長制御の概要である。

一方、エキシマレーザに用いるレーザ媒質ガスは時間
経過と共にそのレーザ媒質としての性能が徐々に劣化
し、レーザパワーが低下する。そこで、レーザ媒質の励
起強度すなわち放電電圧を制御およびガス交換を制御す
ることによってレーザ出力を一定に保つ出力制御がおこ
なわれる。すなわち、フロントミラー５から出力された
レーザ光の一部は、ビームスプリッタ6,7によってパワ
ーモニタ13に入射され、該パワーモニタ13によってレー
ザパワーの変化がモニタされる。CPU11は、このパワー
モニタ13のモニタ結果に基づいてレーザ電源14を介し
て、レーザ媒質の励起強度を変化させたり、あるいはガ
スコントローラ15に指令を与えてレーザ媒質ガスの部分
的交換を実施するなどして、レーザ出力を一定に保つ出
力制御を行なう。

さらに、フロントミラー５から出射されるレーザ光
は、ビームスプリッタ６を介して、光軸ずれ検出部16に
入射される。

この光軸ずれ検出部16では、レーザ光がビームスプリ
ッタ17、集光レンズ18を介して、PSD（ポジションセン
サデバイス）19に導かれる。なお、この集光レンズ18の
代わりにピンホールを使用して上記検出部16を構成して
もよい。

PSD19では、レーザ光の光軸の２次元位置つまり、該P
SD19上におけるレーザ光の照射位置が検出され、該２次
元位置を示す信号がCPU11に入力される。

CPU11は、上記光軸の２次元位置を示す信号に基づい
てアライメント用ドライバ20および図示していないパル
スモータを介してフロントミラー５およびリアミラー２
の姿勢角をそれぞれ後述するように図面の水平方向およ
び鉛直方向に所要に変化させる。なお、フロントミラー
５およびリアミラー２の姿勢角をこれら各方向に変化さ
せる機構は、公知の技術にて容易に具現可能である。

一方、上記フロントミラー５から出射されるレーザ光
はビームスプリッタ17、シャッタ24を介して、第２図
（ａ）に示す露光装置21に導かれ、該露光装置21におい
てレーザ光は、縮小投影用の光源として使用される。

同２図（ａ）に示すように、上記レーザヘッド１、フ
ロントミラー５、リアミラー２、エタロン3,4は、レー
ザヘッド用定盤22に、また上記光軸ずれ検出部16は露光
装置21にそれぞれ独立して固定配設されている。

以下、第５図から第12図に示すフローチャートを参照
してCPU11で行なわれる処理手順について説明する。な
お、これらフローチャートは、本発明に係る方法の一実
施例を示している。

第５図に示すように、まずステップ101では光軸ずれ
検出サブルーチンが実行される。

このサブルーチンでは、第６図に示すように、まずPS
D19によってレーザ光のパルス発振のタイミングでレー
ザ光の光軸の２次元位置X,Yが所定のパルス数分検出さ
れる（ステップ201）。

つぎに、上記ステップ201で検出された光軸位置X,…,
Y,…，をそれぞれ平均して平均値，が演算される
（ステップ202）。

つぎに、上記ステップ202で演算された平均値，
の工学単位変換等の所要の処理がなされ、PSD19上にお
けるレーザ光の照射位置，が求められる。

ここに、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）は、フロント
ミラー５から出射されるレーザ光の光軸23（以下、単に
光軸23という）と、フロントミラー５と、集光レンズ18
とPSD19との幾何学的関係を示す第１図の矢視Ａ方向お
よび矢視Ｂ方向および第１図の紙面に垂直な矢視Ｃ方向
をそれぞれ示す図である。

同図（ａ）に示すように、本来の光軸23′、つまりフ
ロントミラー５から適正な方向に出射され、光軸ずれが
なく、したがって露光装置21において露光位置ずれがな
い場合の光軸23′のPSD19上における位置をx₀として、
この位置x₀に対する光軸23の前記求められた位置の位
置ずれΔｘが演算、 Δｘ＝−x₀ （１）によって求められる。ｙ軸方向についても同様に本来の
光軸23′のPSD19上における位置をy₀として、この位置y
₀に対する光軸23の前記求められたの位置ずれΔｙが
演算、 Δｙ＝−y₀ …（２）によって求められる（ステップ203）。

こうして（１），（２）式で得られた位置ずれΔx,Δ
ｙに基づいて光軸23の光軸23′に対する角度ずれ（以
下、光軸ずれという）Δθx,Δθｙが、それぞれ演算、によって求められる。ここに上記ｆは集光レンズ18と、
PSD19との距離である（第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）
参照）。

上記光軸ずれΔθx,Δθｙは、同図（ａ），（ｃ）に
それぞれ示すように、フロントミラー５の姿勢角が本来
の姿勢角からそれぞれΔθx,Δθｙだけずれていること
を意味する。

したがって、同図に例示した場合においては、ｘ軸＋
方向の光軸ずれΔθｘを零にして、光軸を補正するため
には、フロントミラー５の姿勢角を矢印Ｄ方向に、つま
りレーザ光の出射方向に関し水平左方向に光軸ずれ量｜
Δθx|だけ変化させればよいことがわかる。

また、同様にΔθｘの符号の極性がこれと異なる場合
（ｘ軸一方向）には、フロントミラー５の姿勢角を矢印
Ｅ方向、つまり水平右方向に光軸ずれ量｜Δθx|だけ変
化させればよいことがわかる（第４図（ａ），（ｂ）参
照）。

一方、同様にｙ軸＋方向の光軸ずれΔθｙを零にして
光軸を補正するためには、フロントミラー５の姿勢角を
矢印Ｇ方向に、つまり鉛直下方向に光軸ずれ量｜Δθy|
だけ変化させればよい（第４図（ｃ）参照、ステップ20
4）。

以上が、光軸ずれ検出サブルーチンで行なわれる処理
の内容である。

上記（４），（５）式の条件が両方とも満たされたと
判断された場合（ステップ102の判断結果YES）には、手
順はステップ105に移行されて、CRT、液晶等を中心とし
て構成される表示装置に光軸が23が正常であること、つ
まり露光位置にずれが発生していないことを示す内容を
表示し得るようにする。なお、上記表示装置の替わりに
または、該装置とともに警報ランプにて同様の表示をし
てもよい。要はオペレータの視覚に訴える表示であれば
如何なる手段であってもよい（ステップ105）。

一方、ステップ102の判断結果がNOである場合、つま
り上記（４），（５）式の条件のいずれかまたは両方共
に満たされていないと判断された場合には、上記表示装
置等にて光軸23が異常であること、つまり露光位置にず
れが発生していることを示す内容が表示される。なお、
この場合には、警報ブザー等、聴覚に訴える手段を用い
てもよい（ステップ103）。

また、光軸ずれ23が異常である場合には、その旨を露
光装置等の外部の装置に対して、直接通知するようにし
てもよい。

そしてつぎに手順は、第７図に示す自動光軸補正サブ
ルーチンに移行される（ステップ104）。

このサブルーチンではまず、シャッタ24を閉じて、レ
ーザ光の露光を中断する処理が実行される（ステップ30
1）。

づきにレーザ電源14を介してレーザ媒質ガスを所定の
励起強度で励起して発振を行わせるとともに発振レーザ
光を所定の周波数に設定する処理が実行される（ステッ
プ302,303）。

そして、つぎに手順は、第８図に示すパワー検出サブ
ルーチンに移行される（ステップ304）。

このサブルーチンでは、まず波長検出器10を介してレ
ーザ光の出力パワーが読み込まれる。ここでは、発振さ
れたレーザパルスを所定数サンプリングし、平均化して
出力パワーを算出する（ステップ401,402）。このよ
うな処理を実行する理由は、エキシマレーザがパルスガ
スレーザであり、パルス毎に出力レーザ光パワーのバラ
ツキがあるためである。

そして、つぎに今回サンプリングした出力パワーの
前回サンプリングした出力パワー_-1との差ΔＰが算出
される（ステップ403）。

以上が、パワー検出サブルーチンで行なわれる処理の
内容である。

上記サブルーチンの処理が全て終了すると、手順はス
テップ305（第７図）に移行され、上記ステップ402で算
出されたレーザ光の出力パワーが所定のパワーに達し
ているか否かが判断される。

ここに、出力パワーが所定のパワーに達していればリ
アミラー２およびフロントミラー５の出力レーザ光の光
軸に対する垂直精度が大旨良好であるといえる。また、
出力パワーが所定のパワーに達していなければリアミラ
ー２およびフロントミラー５の出力レーザ光の光軸に対
する垂直精度が悪化しているといえる。上記所定のパワ
ーは、こうした垂直精度の良否を判断するためのしきい
値である。（ステップ305）。

上記ステップ305の判断結果がNO、つまり出力パワー
が所定のパワーに達していないと判断された場合には、
手順は、第９図に示すリアミラー調整サブルーチンに移
行される（ステップ316）。

このサブルーチンでは、まず前記したパワー検出サブ
ルーチンが実行され、レーザ光の出力パワーが検出され
る（ステップ501）。

つぎに、後述するリアミラー鉛直方向調整サブルーチ
ンを実行することによりリアミラー２の鉛直方向の姿勢
角を調整し、レーザ光の出力パワーが最大となるように
リアミラー２の鉛直方向の姿勢角を設定する。

ここで、出力パワーが最大となったときにはリアミラ
ー２およびフロントミラー５が鉛直方向についてレーザ
光の光軸に対し垂直になったこととなる（ステップ50
2）。

つぎに、出力パワーが最大になったか否かが、前記パ
ワー検出サブルーチン（ステップ501）で演算されるΔ
Ｐ（ステップ403）の符号の極性が変化したか否かによ
って判断される（ステップ503）。ステップ503の判断結
果がNOである場合、つまり出力パワーが最大値に達して
いない場合には、上記ステップ501〜503の処理が、今回
演算されたΔＰの符号の極性が前回演算されたΔP_-1の
符号の極性と異なる（つまり＋符号から−符号に変化す
る）まで繰り返し実行される。この処理内容について
は、後述のリアミラー鉛直方向調整サブルーチンの説明
で詳述する。

こうしてステップ503の判断結果がYESになると、以下
のステップ504〜506では、上記ステップ501〜503と同様
の処理が、リアミラー２の水平方向について実行され
る。すなわち、上記パワー検出サブルーチンが再び実行
され、レーザ光の出力パワーが検出される（ステップ50
4）。

つぎに、後述するリアミラー水平方向調整サブルーチ
ンを実行することによりリアミラー２の水平方向の姿勢
角を調整し、レーザ光の出力パワーが最大となるように
リアミラー２の水平方向の姿勢角を設定する。ここで、
出力パワーが最大となったときにはリアミラー２および
フロントミラー５が水平方向についてレーザ光に対し垂
直になったこととにる（ステップ505）。

つぎに、出力パワーが最大になったか否かが、前記パ
ワー検出サブルーチン（ステップ504）で演算されるΔ
Ｐ（ステップ403）の符号の極性が変化したか否かによ
って判断される（ステップ506）。ステップ506の判断結
果がNOである場合、つまり出力パワーが最大値に達して
いない場合には、上記ステップ504〜506の処理が、今回
演算されたΔＰの符号の極性が前回演算されたΔＰ−１
の符号の極性と異なる（つまり＋符号から−符号に変化
する）まで繰り返し実行される。この処理については、
後述の水平方向調整サブルーチンの説明にて詳述する。

このようにこのリアミラー調整サブルーチンではリア
ミラー２およびフロントミラー５を鉛直方向および水平
方向のそれぞれについてレーザ光に対し垂直になるよう
に制御しており、これによりリアミラー２およびフロン
トミラー５の両者の面がレーザ光に対し垂直になるよう
にしている。

つぎに上記ステップ502で実行されるリアミラー鉛直
方向調整サブルーチンについて第10図に示すフローチャ
ートを参照して説明する。

まず、第９図に示したステップ501で算出されたΔＰ
（ステップ403）が正であるか否かを判断する（ステッ
プ601）。ここで、ΔＰが正であれば、第９図に示した
ステップ501で今回サンプリングされた出力パワーは
前回サンプリングされた出力パワー_-1よりも大きく増
加したこととなる。この場合、リアミラー２が上を向く
ように前回制御したか否かを判断する（ステップ60
2）。例えばリアミラー２が上を向くように前回制御し
たとすると、ドライバ120を介してリアミラー２が所定
量だけさらに上を向くように制御する（ステップ60
3）。

したがって、ΔＰが正でありかつリアミラー２が上を
向くように前回制御している限り、第９図に示したステ
ップ501,502および503が繰り返されることにより、リア
ミラー２は所定量ずつ徐々に上を向いていくこととな
る。

そして、リアミラー２およびフロントミラー５が鉛直
方向についてレーザ光に対し垂直になると、出力パワー
が最大となり、この後リアミラー２が所定量だけさらに
上を向くと、出力パワーが低下する。

このとき、今回サンプリングした出力パワーは前回
サンプリングした出力パワー−１よりも小さくなるの
で、ΔＰが正数でないと判断する（ステップ601）。そ
して、リアミラー２が上を向くように前回制御したと判
断し（ステップ604）、この判断をなすとドライバ20を
介してリアミラー２が所定量だけ下を向くように制御す
る（ステップ605）。

したがって、リアミラー２は鉛直方向についてレーザ
光に対し垂直な姿勢角から所定量だけ上を向けられた
後、所定量だけ下を向けられ、もって鉛直方向について
レーザ光に対し垂直な姿勢角に再びなる。これに伴い、
出力パワーは最大値から一旦低下して、再び最大とな
る。ここで、第９図に示したステップ503で出力パワー
が最大になったと（ΔＰの正から負への変化を捕えて）
判断し、ステップ501,502および503の処理を終了する。

また、前記ステップ601でΔＰが正であると判断さ
れ、前記ステップ602でリアミラー２が下を向くように
前回制御したと判断された場合、ドライバ12を介してリ
アミラー２が所定量だけさらに下を向くように制御する
（ステップ606）。

したがって、ΔＰが正数でありかつリアミラー２が下
を向くように前回制御している限り、第９図に示したス
テップ501,502および503が繰り返されることにより、リ
アミラー２は所定量ずつ徐々に下を向いていくこととな
る。

そして、リアミラー２およびフロントミラー５が鉛直
方向についてレーザ光に対し垂直になると、出力パワー
が最大となり、この後リアミラー２が所定量だけさらに
下に向くと、出力パワーが低下する。

このとき、ΔＰが正でないと判断する（ステップ60
1）。そして、リアミラー２が下を向くように前回制御
したと判断し（ステップ604）、この判断をなすとリア
ミラー２が所定量だけ上を向くように制御する（ステッ
プ607）。

したがって、リアミラー２は鉛直方向についてレーザ
光に対し垂直な姿勢角から所定量だけ下を向けられた
後、所定量だけ上を向けられ、もって鉛直方向について
レーザ光に対し垂直な姿勢角に再びなる。これに伴い、
出力パワーは最大値から一旦低下して、再び最大とな
る。ここで、第９図に示したステップ503で出力パワー
が最大になったと（ΔＰが正が負への変化を捕えて）判
断し、ステップ501,502および503の処理を終了する。

次に、第９図に示したフローチャートにおけるステッ
プ505のリアミラー水平方向調整サブルーチンを第11図
のフローチャートに従って述べる。

まず、第９図に示したステップ504で算出されたΔＰ
（ステップ403）が正数であるか否かを判断する（ステ
ップ701）。ここで、ΔＰが正数であれば、出力パワー
が前回のサンプリング時よりも増加したこととなる。こ
の場合、リアミラー２が右に向くように前回制御したか
否かを判断する（ステップ702）。例えばリアミラー２
が右を向くように前回制御したとすると、リアミラー２
が所定量だけ右を向くように制御する（ステップ70
3）。

したがって、ΔＰが正でありかつリアミラー２が右に
向くように前回制御している限り、第９図に示したステ
ップ504,505および506が繰り返されることにより、リア
ミラー２は所定量ずつ徐々に右を向いていくこととな
る。

そして、リアミラー２およびフロントミラー５が水平
方向についてレーザ光に対し垂直になると、出力パワー
が最大となり、この後リアミラー２が所定量だけさらに
右に向くと、出力パワーが低下する。

このとき、出力パワーは前回のサンプリング時よりも
小さくなるので、ΔＰが正でないと判断する（ステップ
701）。そして、リアミラー２が右に向くように前回制
御したと判断し（ステップ704）、この判断をなすとリ
アミラー２が所定量だけ左に向くように制御する（ステ
ップ705）。

したがって、リアミラー２は水平方向についてレーザ
光に対し垂直な姿勢角から所定量だけ右に向けられた
後、所定量だけ左に向けられ、もって水平方向について
レーザ光に対し垂直な姿勢角に再びなる。これに伴い、
出力パワーは最大値から一旦低下して、再び最大とな
る。ここで、第９図に示したステップ506で出力パワー
が最大となった（ΔＰの正から負へ変化を捕えて）判断
し、ステップ504,505および506の処理を終了する。

また、前記ステップ701でΔＰが正であると判断さ
れ、前記ステップ702でリアミラー２が左を向くように
前回制御したと判断された場合、リアミラー２が所定量
だけさらに左を向くように制御する（ステップ606）。

したがって、ΔＰが正でありかつリアミラー２が左を
向くように前回制御している限り、第９図に示したステ
ップ504,505および506が繰り返されることにより、リア
ミラー２は所定量ずつ徐々に右を向いていくこととな
る。

そして、リアミラー２およびフロントミラー５が水平
方向についてレーザ光に対し垂直になると、出力パワー
が最大となり、この後リアミラー２が所定量だけさらに
左に向くと、出力パワーが低下する。

このとき、ΔＰが正でないと判断する（ステップ70
1）。そして、リアミラー２が左を向くように前回制御
したと判断し（ステップ704）、この判断をなすとリア
ミラー２が所定量だけ右を向くように制御する（ステッ
プ707）。

したがって、リアミラー２は水平方向についてレーザ
光に対し垂直な姿勢から所定量だけ左を向けられた後、
所定量だけ右を向けられ、もって水平方向についてレー
ザ光に対し垂直角な姿勢角に再びなる。これに伴い、出
力パワーは最大値から一旦低下して、再び最大となる。
ここで、第９図に示したステップ506で出力パワーが最
大となったと（ΔＰの正から負へ変化を捕えて）判断
し、ステップ504,505および506の処理を終了する。

以上説明した各サブルーチンが、第７図のリアミラー
調整サブルーチン（ステップ316）で実行されることに
なる。

一方、ステップ305の判断結果からYESの場合、つまり
出力パワーが所定のパワーに達していると判断された場
合には、上記ステップ316のリアミラー調整サブルーチ
ンを省略して手順はステップ306に移行される。

次に、ステップ307に移ると、ドライバ12を介してエ
タロン3,4の角度等を変えることにより波長制御を行
い、これにより中心波長成分の強度が最大かつ所定の波
長となるようにする（ステップ307）。

この後、前記ステップ316と同様のリアミラー調整サ
ブルーチンが再び行なわれる（ステップ308）。

つぎにステップ309では、前記光軸ずれ検出サブルー
チン（第６図）が再び実行される（ステップ309）。

こうして、波長制御（ステップ306）とレーザ光のパ
ワーが最大になるようにリアミラー２の姿勢角を変化さ
せる制御（ステップ316、ステップ308）が少なくとも１
回ずつ行なわれた時点において、上記ステップ309の処
理結果に基づき、光軸23の光軸ずれΔθx,Δθｙが許容
範囲内であるか否かが、前記条件式（４），（５）を共
に満しているか否かによって判定されることになる（ス
テップ310）。

上記ステップ310の判断結果がNO、つまり光軸ずれΔ
θx,Δθｙのいずれか一方または両方共が許容範囲外で
ある場合には、手順は第12図（ａ）に示すフロントミラ
ー調整サブルーチンに移行される。

このサブルーチンでは、同図（ａ）に示すごとく上記
ステップ309で検出された光軸ずれΔθx,Δθｙに基づ
いて、フロントミラー５の姿勢角をずれ量｜Δθx|,|Δ
θy|分だけ、水平方向および鉛直方向に上記光軸ずれΔ
θx,Δθｙの符号の極性方向に対応する方向にそれぞれ
変化させる制御が実行される。

すなわち、第４図（ｂ）に示すように、光軸ずれΔθ
ｘの符号の極性が＋であれば、上記ステップモータを駆
動させてフロントミラー５の姿勢角を矢印Ｄ方向（水平
左方向）に、光軸ずれ量｜Δθx|分だけ変化させるよう
にする。この結果、光軸ずれΔθｘが零となり、光軸23
が本来の光軸23′に一致して水平方向についての光軸ず
れが補正される。

一方、同図（ｃ）に示すように光軸ずれΔθｙの符号
の極性が＋であれば、上記ステップモータを駆動させて
フロントミラー５の姿勢角を矢印Ｇ方向（鉛直下方向）
に変化させるようにする。この結果、光軸ずれΔθｙが
零となり、光軸23が本来の光軸23′に一致して鉛直方向
についての光軸ずれが補正される（ステップ801）。

こうして、フロントミラー５の姿勢角を、光軸ずれが
零になるように変化させる処理が終了すると、手順は第
７図のフローチャートに移行される。

以後、第７図のステップ305〜310、ステップ316,317
の処理が、ステップ310において光軸ずれΔθx,Δθｙ
が共に許容範囲内であると判断される（判断結果YES）
まで繰り返し実行される）。

このように、第12図（ａ）に示すサブルーチンでは、
光軸23のずれが零になるまで補正されて、再び第７図の
フローチャートにリターンすることになるが、光軸ずれ
が大きい場合には、上記のごとく１回のサブルーチン処
理で光軸を零になるまで補正することなく、１回のサブ
ルーチン処理でフロントミラー５の姿勢角を所定量だけ
光軸ずれが小さくなる方向に変化させるようにしてもよ
い。こうした１回のサブルーチン処理で光軸ずれを所定
量だけ小さくさせるフロントミラー調整サブルーチンを
示す。

同図（ｂ）に示すようにこのサブルーチンでは、まず
水平方向の光軸ずれ量｜Δθx|が、前記条件式（４）を
満しているか否かが判断される（ステップ901）。判断
結果がYESである場合、つまり水平方向に関する光軸ず
れが許容範囲内であることが判断された場合には、手順
はステップ905に移行されて、以下、鉛直方向に関する
処理が実行されるが、判断結果がNOである場合、つまり
光軸ずれΔθｘが許容範囲外であると判断された場合に
は、光軸ずれΔθｘが正であるか否かが判断される（ス
テップ902）。

ステップ902の判断結果がYES、つまり光軸ずれΔθｘ
の符号の極性が＋であると判断された場合には、フロン
トミラー５の姿勢角を矢印Ｄ方向（水平左方向）に所定
量だけ変化させる処理が実行される（第４図（ａ）参
照、ステップ903）。一方、ステップ902の判断結果がNO
である場合には、フロントミラー５の姿勢角をＤ方向と
は正反対のＥ方向（水平右方向）に所定量だけ変化させ
る処理が実行される（第４図（ａ）参照、ステップ90
4）。

つぎのステップ905では、鉛直方向の光軸ずれ量｜Δ
θy|が前記条件式（５）を満しているか否かが判断され
る（ステップ905）。判断結果がYESである場合、つまり
鉛直方向に関する光軸ずれが許容範囲内であると判断さ
れた場合には、手順は第７図のフローチャートにリター
ンされるが、判断結果がNOである場合、つまり光軸ずれ
Δθｙが許容範囲外であると判断された場合には、光軸
ずれΔθｘが正であるか否かが判断される（ステップ90
6）。

ステップ906の判断結果がYESである場合、つまり光軸
ずれΔθｙの符号の極性が＋であると判断された場合に
は、フロントミラー５の姿勢角を矢印Ｇ方向（鉛直下方
向）に所定量だけ変化させる処理が実行される（第４図
（ｂ）参照、ステップ907）。

一方、ステップ906の判断結果がNOである場合には、
フロントミラー５の姿勢角をＧ方向とは正反対のＦ方向
（鉛直上方向）に所定量だけ変化させる処理が実行され
る（ステップ908）。

こうして、フロントミラー５の姿勢角を所定量だけ光
軸ずれが小さくなる方向に変化させる処理が終了する
と、手順は第７図のフローチャートに移行される。

以後、第７図のステップ305〜310、ステップ316,317
の処理が、ステップ310において光軸ずれΔθx,Δθｙ
が共に許容範囲内であると判断される（判断結果YES）
まで繰り返し実行される。

やがて、ステップ310の判断結果がYESとなった場合に
は、中心波長成分の強度を最大に、かつ発振レーザ光の
波長を所定の波長にする波長制御を再び行うとともに、
パワーモニタ13を介してモニタしたレーザ光のパワーが
所望のパワーとなるようにレーザ電源14を介してレーザ
媒質ガスの励起強度を制御する（ステップ311,312）さ
らに、ステップ311,312が終了すると、上記表示装置等
にて“レーザ光の光軸正常”の表示をする処理が実行し
て（ステップ313）、露光準備完了信号を例えば縮小投
影露光装置21に出力して露光開始を通知し（ステップ31
4）、シャッタ24を開いてレーザ光を露光装置21に導く
ようにする（ステップ315）。

このような自動光軸補正サブルーチンでは、ステップ
305で出力パワーが所定のパワーに達していれば、リア
ミラー２およびフロントミラー５の垂直精度が大旨良好
でありかつ波長制御が可能であるため、ステップ316の
リアミラー調整サブルーチンを省略して、ステップ306
で波長制御を行うようにしている。したがって、フロン
トミラー調整サブルーチンがステップ308の１回だけで
済まされるので、処理時間の短縮を図れるという利点が
ある。

以上説明したように実施例によれば、光軸23のずれを
検出する光軸ずれ検出部16は、レーザ装置本体と独立し
て、露光装置21に固定配設されているので、レーザ装置
本体における振動および該装置から発生する熱量に起因
する環境温度変化等の外乱に影響されることなく、常に
安定した光軸の２次元位置X,Yを検出することができ
る。したがって、これに基づく光軸23の補正が精度良く
行われ、露光を良好に行なうことができるという効果が
得られる。

また、実施例によれば、第５図から第12図に示す処理
がCPU11にて高速に行なわれる。したがって、放電ユニ
ット等の定期的な交換の後、光軸ずれが発生したとして
も光軸補正を素早く行なうことができる。しかも、こう
した光軸補正は、従来のように露光装置21の光学系の再
調整なしでつまりレーザ装置のフロントミラー５および
リアミラー２の姿勢角を制御するだけで行われるので露
光装置21のダウンタイムを大幅に短縮することができ
る。

また、実施例によれば、各ミラー2,5のレーザ光軸に
対する相対的な姿勢角の調整と光軸23の補正とを光軸ず
れが許容範囲外である場合に自動的に行なうことができ
るので、レーザ光の出力低下の防止と良好な露光とを同
時にかつ常に安定して行なうことができるという効果が
得られる。

なお、実施例では、第７図に示す自動光軸補正サブル
ーチンのステップ316,308においてレーザ光のパワーが
最大になるようにリアミラー２の姿勢角を制御し、ステ
ップ317において光軸ずれが零になるようにフロントミ
ラー５の姿勢角を制御するようにしているが、本発明と
してはこれに限定されることなく、ステップ316,308に
おいてレーザ光のパワーが最大になるようにフロントミ
ラー５の姿勢角を制御し、ステップ317において光軸ず
れが零になるようにリアミラー２の姿勢角を制御する実
施も当然可能である。

この場合には、フロントミラー５については第９図に
示すリアミラー調整サブルーチンと同内容の処理が、ま
たリアミラー２については第12図（ａ）または（ｂ）に
示すフロントミラー調整サブルーチンと同内容の処理が
それぞれ実行されることになる。

また、実施例では、第７図に示す自動光軸補正サブル
ーチンのステップ306,307および308において波長制御と
リアミラー調整サブルーチンとを１回ずつ実行するか、
ステップ316,306,307および308において同制御を１回、
同サブルーチンを２回交互に実行するようにしているが
本発明としてはこれに限定されることなく、同ステップ
区間においてこれら波長制御とリアミラー調整サブルー
チンと交互に少なくとも１回ずつ以上実行すればよくそ
の実行回数は任意に設定可能である。

なおまた、実施例では、光軸ずれ検出部16を露光装置
21に固定配設しているが、これに限定されることなく、
レーザ装置本体からレーザ光を導き、該レーザ光を使用
する装置であれば、任意の該装置に光軸ずれ検出部16を
固定配設する実施も当然可能である。

また、光軸ずれ検出部16を第２図（ｂ）に示すごとく
レーザ装置本体を固定配設する定盤22と独立した定盤23
に固定配設する実施も当然可能である。要は光軸ずれ検
出部16を配設する場所としては、レーザ装置本体から独
立した場所であれば任意であり、この場合には、光軸ず
れ検出部16としてはレーザ装置本体の振動等の外乱の影
響を受けずに済むという利点が得られる。さらに、レー
ザ装置本体の振動等の外乱の小さい場所に光軸ずれ検出
部16を配設する実施もまた可能である。

なお実施例では、光軸23の２次元位置X,YをPSD19で検
出するようにしているが、CCD等同様の機能を有するセ
ンサを使用するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれは、フロントミラー
およびリアミラーのレーザ光に対する相対的な姿勢の調
整と、フロントミラーから出射されるレーザ光の光軸の
補正とを、光軸ずれが許容範囲外である場合に自動的に
かつ高精度にかつ短時間で行なうことができる。

したがってレーザ光のパワーの低下防止と同時にレー
ザ光の照射位置ずれ防止とが常に安定して行なわれる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る狭帯域発振エキシマレーザ装置
における光軸補正装置の一実施例または本発明に係る狭
帯域エキシマレーザ装置における光軸補正方法の実施に
使用される装置の一例を概念的に示すブロック図、第２
図（ａ），（ｂ）は、第１図に示す装置の配設態様を例
示した側面図、第３図（ａ），（ｂ），（ｃ）は、エタ
ロンの重ね合わせ状態によるレーザパワーを説明するた
めに用いるグラフ、第４図（ａ），（ｂ），（ｃ）は、
それぞれ第１図の矢視Ａ図および矢視Ｂ図および矢視Ｃ
図を示し、第１図に示すフロントミラーから出射されレ
ーザ光の光軸ずれの幾何学的関係を示す図、第５図は、
第１図に示すCPUで行なわれる処理手順を示すフローチ
ャート、第６図および第７図は、それぞれ第５図に示す
フローチャートのサブルーチンである光軸検出サブルー
チン、自動光軸補正サブルーチンを示すフローチャー
ト、第８図から第12図（ａ），（ｂ）は、それぞれ第７
図に示すフローチャートのサブルーチンであるパワー検
出サブルーチン、リアミラー調整サブルーチン、リアミ
ラー鉛直方向調整サブルーチン、リアミラー水平方向調
整サブルーチンおよびフロントミラー調整サブルーチン
を示すフローチャート。１……レーザヘッド、２……リアミラー、3,4……エタ
ロン、５……フロントミラー、6,7,17……ビームスプリ
ッタ、８……焦光レンズ、９……光ファイバ、10……波
長検出器、11……CPU、12……波長選択素子用ドライ
バ、13……パワーモニタ、14……レーザ電源、15……ガ
スコントローラ、16……光軸検出部、19……PSD、21,22
……定盤、22,23′……光軸、24……シャッタ。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フロントミラーおよびリアミラーを有する
光共振器内に波長選択素子を配設し、この波長選択素子
の選択波長を調整することによってレーザ光のスペクト
ルおよび波長が安定化するように波長制御を行なう狭帯
域発振エキシマレーザ装置に適用され、前記フロントミ
ラーから出射されるレーザ光の光軸を補正する狭帯域発
振エキシマレーザ装置における光軸補正装置において、前記フロントミラーおよびリアミラーの姿勢角を変化さ
せる姿勢角変化手段と、前記レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と、前記フロントミラーから出射されるレーザ光の光軸ずれ
を検出する光軸ずれ検出手段と、前記光軸ずれ検出手段で検出された光軸ずれが許容範囲
内にあるか否かを判定する光軸ずれ判定手段と、前記パワー検出手段の検出値に基づいて、該検出値が最
大になるように前記フロントミラーおよびリアミラーの
うちいずれか一方のミラーの姿勢角を変化させる第１の
姿勢角変化手段制御手段と、前記光軸ずれ検出手段の検出値に基づいて、該検出値が
前記許容範囲内になるように前記フロントミラーおよび
リアミラーのうち前記一方のミラーとは異なる他方のミ
ラーの姿勢角を変化させる第２の姿勢角変化手段制御手
段と、前記光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが前記許容範囲
にないことが判定された際に、前記波長制御と、前記第
１の姿勢角変化手段制御手段による前記一方のミラーの
姿勢角制御とを交互に少なくとも１回ずつ行なわせ、か
つその後前記第２の姿勢角変化手段制御手段による前記
他方のミラーの姿勢角制御を行なわせることを前記波長
制御と前記一方のミラーの姿勢角制御とが行なわれた際
に前記光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが前記許容範
囲内にあることが判定されるまで、繰り返し指示する手
段とを具えたことを特徴とする狭帯域発振エキシマレーザ装
置における光軸補正装置。
【請求項２】前記リアミラーとして、グレーティングが
使用される請求項（１）記載の狭帯域発振エキシマレー
ザ装置における光軸補正装置。
【請求項３】前記光軸ずれ検出手段は、前記狭帯域発振
エキシマレーザ装置本体から独立して固定されたもので
ある請求項（１）記載の狭帯域発振エキシマレーザ装置
における光軸補正装置。
【請求項４】前記光軸ずれ検出手段は、前記フロントミ
ラーから出射されるレーザ光を導いて該レーザ光を使用
する装置に固定配設されたものである請求項（２）記載
の狭帯域発振エキシマレーザ装置における光軸補正装
置。
【請求項５】フロントミラーおよびリアミラーを有する
光共振器内に波長選択素子を配設し、この波長選択素子
の選択波長を調整することによってレーザ光のスペクト
ルおよび波長が安定化するように波長制御を行なう狭帯
域エキシマレーザ装置において、前記フロントミラーか
ら出射されるレーザ光の光軸を補正する場合に適用する
場合に適用される方法であって、前記フロントミラーから出射されるレーザ光の光軸ずれ
を検出して、該光軸ずれが許容範囲内にあるか否かを判
定する行程を有し、前記光軸ずれが前記許容範囲内にないことが判定された
場合に、前記波長制御と、前記レーザ光のパワーが最大になるよ
うに前記フロントミラーおよびリアミラーのうちいずれ
か一方のミラーの姿勢角を変化させる該一方のミラーの
姿勢角の制御とを交互に少なくとも１回ずつ行なう行程
と、前記フロントミラーから出射されるレーザ光の光軸ずれ
を検出して、該光軸ずれが前記許容範囲内にあるか否か
を判定する行程と、前記光軸ずれが前記許容範囲内になるように前記フロン
トミラーおよびリアミラーのうち前記一方のミラーとは
異なる他方のミラーの姿勢角を変化させる行程とを前記光軸ずれが前記許容範囲内にあることが判定され
るまで繰り返し実行させるようにしたことを特徴とする
狭帯域発振エキシマレーザ装置における光軸補正方法。
【請求項６】前記リアミラーとして、グレーティングが
使用される請求項（５）記載の狭帯域発振エキシマレー
ザ装置における光軸補正方法。
【請求項７】光共振器と波長選択素子とを配設し、前記
光共振器から出射されるレーザ光の光軸を補正する狭帯
域発振エキシマレーザ装置における光軸補正装置におい
て、前記光共振器から出射されるレーザ光の光軸ずれを検出
する光軸ずれ検出手段と、前記光軸ずれ検出手段で検出された光軸ずれが許容範囲
内にあるか否かを判定する光軸ずれ判定手段と、前記光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが前記許容範囲
内にないと判定された場合に、光軸ずれが前記許容範囲
内にない旨を外部の装置に通知する手段とを具えたことを特徴とする狭帯域発振エキシマレーザ装
置における光軸補正装置。
【請求項８】光共振器と波長選択素子とを配設し、前記
光共振器から出射されるレーザ光の光軸を補正する狭帯
域発振エキシマレーザ装置において光軸補正装置におい
て、前記光共振器から出射されるレーザ光の光軸ずれを検出
する光軸ずれ検出手段と、前記光軸ずれ検出手段で検出された光軸ずれが許容範囲
内にあるか否かを判定する光軸ずれ判定手段と、前記光軸ずれ判定手段によって光軸ずれが前記許容範囲
内にないと判定された場合に、前記光軸ずれ検出手段の
検出値に基づき、光軸ずれが前記許容範囲内に入るよう
に前記光共振器から出射されるレーザ光の光軸の方向を
変化させる制御手段とを具えたことを特徴とする狭帯域発振エキシマレーザ装
置における光軸補正装置。