JP2003174221A - グレーティング固定装置及び狭帯域化レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 グレーティングの回折面をレーザ光軸に対し
て強固に固定することが可能なグレーティング固定装置
及びこれを用いた狭帯域化レーザ装置を提供する。 【解決手段】 グレーティング(33)を固定するグレーテ
ィング固定装置において、入射光(21)の光軸(20)に対し
て固定された保持部材(31)と、前記保持部材(31)上に搭
載され、グレーティング(33)の回折面(33A)の光軸(20)
に対するあおり角度を調整するあおり機構(66)と、あお
り機構(66)の可動部を保持部材(31)又は保持部材(31)に
固定された部材に押しつけ、グレーティング(33)の振動
を抑制する圧接機構(67)とを備えたことを特徴とする、
グレーティング固定装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、グレーティングを
固定するグレーティング固定装置、及びこのグレーティ
ング固定装置を用いた狭帯域化レーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、グレーティングによってレー
ザ光の波長を狭帯域化したレーザ装置が知られており、
例えば特開２０００−１７１３０３号公報に示されてい
る。図９は、同公報に開示されたエキシマレーザ装置の
平面図を表しており、以下、図９に基づいて、従来技術
を説明する。

【０００３】図９において、エキシマレーザ装置１１
は、フッ素を含むレーザガスを封止したレーザチャンバ
１２を備えている。レーザチャンバ１２の内部には、一
対の主電極１４，１５が、図９中紙面と垂直方向に対向
して配置されている。エキシマレーザ装置１１は、図示
しない高圧電源から、主電極１４，１５間に高電圧を印
加し、レーザガスを励起してパルス状のレーザ光２１を
発生させる。レーザチャンバ１２の内部には、レーザガ
スを主電極１４，１５間に送り込む図示しない送風機
と、レーザガスを冷却する図示しない熱交換器とが設置
されている。

【０００４】レーザチャンバ１２の前後部には、レーザ
光２１を透過するフロントウィンドウ１７及びリアウィ
ンドウ１９が、それぞれ付設されている。レーザチャン
バ１２の内部で発生したレーザ光２１は、リアウィンド
ウ１９を透過し、レーザチャンバ１２後方（図９中左
方）に設けられた、レーザ光２１を狭帯域化する狭帯域
化ユニット３０の内部に入射する。

【０００５】狭帯域化ユニット３０は、狭帯域化ボック
ス３１によって囲繞されている。狭帯域化ユニット３０
は、レーザ光２１のビーム幅を広げる例えば２個のエキ
スパンダプリズム３２，３２と、レーザ光２１を回折す
るグレーティング３３とを備えている。グレーティング
３３の１面には、微細な溝が図９中紙面と垂直方向に多
数設けられており、レーザ光２１を回折してその波長に
応じた角度に反射する。このように、溝を設けた面を、
グレーティング３３の回折面３３Ａと言う。グレーティ
ング３３は、グレーティング固定装置３７上に搭載され
ている。

【０００６】グレーティング３３は、レーザ光２１の特
定の波長及びその近傍の波長のみを、入射方向と逆向き
に反射し、レーザチャンバ１２に戻す。従って、レーザ
光２１のうち上記特定の波長のみが、グレーティング３
３と、レーザ光２１を部分透過するフロントミラー１６
との間で反射され、増幅される。これにより、レーザ光
２１のスペクトル線幅が狭帯域化される。レーザ光２１
の一部は、フロントミラー１６を部分透過してエキシマ
レーザ装置１１の前方に出射し、ステッパなどの露光機
２５の露光用光として用いられる。

【０００７】波長を狭帯域化されたエキシマレーザ装置
１１においては、所定の波長のレーザ光２１のみを増幅
させるため、グレーティング３３の回折面３３Ａで反射
したレーザ光２１を、正確にレーザチャンバ１２の内部
に戻す必要がある。そのため、グレーティング固定装置
３７は、レーザ光軸２０に対して、回折面３３Ａの水平
面内（図９中紙面と平行な面内）における回転角度を合
わせるための、回転ステージ３８を備えている。これは
レーザ光２１の波長を所望の値に制御する役割も果たし
ている。またグレーティング固定装置３７は、グレーテ
ィング３３のあおり角度を精密に調整するための、あお
り機構６６を備えている。これはレーザ光軸２０を調整
して、レーザ光２１のパルスエネルギーを最大にするた
めに必要である。

【０００８】図１０に、グレーティング固定装置３７の
構成例を、図９におけるＡ−Ａ断面図で示す。図１０に
おいて、グレーティング３３は、搭載台３９上に設置さ
れ、Ｌ字型の固定ブラケット４８から、図示しないネジ
によって押さえつけられて固定されている。搭載台３９
は、回転ステージ３８上に、あおり機構６６を介して装
着されている。

【０００９】あおり機構６６は、球状のボール４１，４
１、引きバネ４２，４２、及びあおりスクリュー４３を
備えている。搭載台３９は、引きバネ４２，４２の付勢
力によって下方に引かれ、回転ステージ３８にねじ込ま
れたあおりスクリュー４３によって、上方へ押されてい
る。あおりスクリュー４３のねじ込み度合いを調整する
ことにより、図１０中矢印４４に示したように、搭載台
３９の傾きが変わり、レーザ光軸２０に対するグレーテ
ィング３３のあおり角度を調整自在となっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来技術には、このようなあおり機構６６を介在させるこ
とにより、グレーティング３３が外部から伝わった力に
より、振動しやすくなってしまうという問題がある。

【００１１】例えば、同公報には開示されていないが、
エキシマレーザ装置１１には上記送風機を駆動するため
のモータが搭載されている。モータや送風機の回転によ
り、レーザチャンバ１２から狭帯域化ボックス３１に振
動が伝わり、グレーティング３３が引きバネ４２の付勢
力を振りきって振動する。その結果、レーザ光２１が正
確にレーザチャンバ１２に戻らずにレーザ光２１の出力
が変動したり、グレーティング３３の回折面３３Ａに対
するレーザ光軸２０の入射角が変化して、所望する波長
が得られなかったりするといった問題が生じる。

【００１２】本発明は、上記の問題に着目してなされた
ものであり、グレーティングの回折面をレーザ光軸に対
して強固に固定することが可能なグレーティング固定装
置及びこれを用いた狭帯域化レーザ装置を提供すること
を目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段、作用及び効果】上記の目
的を達成するために、本発明は、グレーティングを固定
するグレーティング固定装置において、入射光の光軸に
対して固定された保持部材と、前記保持部材上に搭載さ
れ、グレーティングの回折面の光軸に対するあおり角度
を調整するあおり機構と、あおり機構の可動部を保持部
材又は保持部材に固定された部材に押しつけ、グレーテ
ィングの振動を抑制する圧接機構とを備えている。これ
により、あおり機構が圧接機構によって固定されるの
で、グレーティングの振動が小さくなる。その結果、レ
ーザ光の波長や出力の変動が小さくなる。

【００１４】また本発明は、前記圧接機構が皿バネを備
え、その付勢力によってあおり機構の可動部を保持部材
又は保持部材に固定された部材に押しつけている。皿バ
ネは、少ない変位量でありながら、強い力で圧接するこ
とができるため、小型の装置に適している。また、圧接
する力を所定値に調整することが容易であるので、押さ
える力が強くなり過ぎてグレーティングが歪んだり、押
さえる力が不足するということが少ない。

【００１５】また本発明は、圧接機構が、保持部材又は
保持部材に固定された部材にねじ込まれた圧接スクリュ
ーを備えている。例えば、圧接スクリューの回転数やね
じ込み長さを調整することにより、容易に所望する力で
押さえつけることが可能である。

【００１６】また本発明は、前記圧接機構が、グレーテ
ィングの上方に配設された皿バネと、皿バネの上方に配
設された圧接スクリューとを備え、圧接スクリューによ
って皿バネをたわませることにより、グレーティングを
保持部材又は保持部材に固定された部材に押しつけてい
る。即ち、グレーティングを保持部材に押しつけている
ので、確実に保持でき、振動が抑制できる。

【００１７】また、狭帯域化レーザ装置が上記のような
グレーティング固定装置を備えることにより、レーザ光
の波長や出力の変動が防止される。

【００１８】さらに、送風機を備えた狭帯域化レーザ装
置においては、送風機やこれを駆動するモータによる振
動が、必然的に生じる。そのため、本発明を応用してグ
レーティングの振動を抑制することの、効果が大きい。

【００１９】特に、エキシマレーザ装置又はフッ素分子
レーザ装置のように、半導体露光用の光源として用いら
れるレーザ装置においては、波長のわずかな変動も露光
の不具合の原因となる。従って、本発明を応用してグレ
ーティングの振動を抑制することにより、波長の変動を
抑制する効果が大きい。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図を参照しながら、本発明
に係る実施形態を詳細に説明する。まず、第１実施形態
を説明する。図１は、本実施形態に係るエキシマレーザ
装置１１の平面図を示している。図１において、エキシ
マレーザ装置１１は、フッ素等のハロゲンガス、希ガ
ス、及び不活性ガスを含むレーザガスを封止したレーザ
チャンバ１２を備えている。

【００２１】レーザチャンバ１２の内部には、一対の主
電極１４，１５が、図１中紙面と垂直方向に対向して配
置されている。エキシマレーザ装置１１は、図示しない
高圧電源から、主電極１４，１５間にパルス状の高電圧
を印加し、レーザガスを励起してレーザ光２１を発生さ
せる。レーザチャンバ１２の内部には、レーザガスを主
電極１４，１５間に送り込む図示しない送風機と、レー
ザガスを冷却する図示しない熱交換器とが設置されてい
る。

【００２２】レーザチャンバ１２の前後両端部には、レ
ーザ光２１を透過するフロントウィンドウ１７及びリア
ウィンドウ１９がそれぞれ配設されている。レーザチャ
ンバ１２の内部で発生したレーザ光２１は、リアウィン
ドウ１９を透過し、レーザチャンバ１２後方（図１中左
方）に設けられた、レーザ光２１を狭帯域化する狭帯域
化ユニット３０の内部に入射する。

【００２３】図１に示すように狭帯域化ユニット３０
は、レーザ光２１のビーム幅を広げる例えば２個のエキ
スパンダプリズム３２，３２と、レーザ光２１を回折す
る例えば略直方体形状のグレーティング３３とを備えて
いる。グレーティング３３の１面には、微細な溝が図１
中紙面と垂直方向に多数設けられており、レーザ光２１
を回折してその波長に応じた角度に反射する。このよう
に、溝を設けた面を、グレーティング３３の回折面３３
Ａと言う。

【００２４】グレーティング３３は、レーザ光２１の特
定の波長のみを、入射方向と逆向きに反射し、レーザチ
ャンバ１２に戻す。従って、レーザ光２１のうち、特定
の波長及びその近傍の波長のみが、グレーティング３３
と、レーザ光２１を部分透過するフロントミラー１６と
の間で反射され、増幅される。これにより、レーザ光２
１のスペクトル線幅が狭帯域化される。レーザ光２１の
一部は、フロントミラー１６を部分透過してエキシマレ
ーザ装置１１の前方に出射し、ステッパなどの露光機２
５の露光用光として用いられる。

【００２５】狭帯域化ユニット３０は、狭帯域化ボック
ス３１によって囲繞されている。狭帯域化ボックス３１
には、清浄で反応性の低いパージガスを封止したパージ
ガスボンベ３６が接続されており、常にパージガスを内
部に充満させている。パージガスは、配管入口（ＩＮ）
から入り、帯域化ボックス３１に設けられた出口（ＯＵ
Ｔ）から外に出る。パージガスとしては、窒素が一般的
であるが、ヘリウムなどの不活性ガスでもよい。

【００２６】図２に、レーザチャンバ１２を外した状態
における、エキシマレーザ装置１１の共振器の斜視図を
示す。図２に示すように、エキシマレーザ装置１１のフ
レームベース６２上には、２本のレール５６，５６が、
図２中手前から奥方向に向けて固定されている。

【００２７】レール５６には、キャビティロッド孔５
５，５５が図２中手前と奥にそれぞれ設けられ、光学部
品を支持するキャビティロッド５４，５４が貫通してい
る。キャビティロッド孔５５の内径は、キャビティロッ
ド５４の外径よりもわずかに大きく、キャビティロッド
５４はその長手方向に摺動自在となっている。

【００２８】キャビティロッド５４，５４の両端部に
は、前後のキャビティ板５３Ａ，５３Ｂが、それぞれ図
示しないネジ等で固定されている。キャビティ板５３
Ａ，５３Ｂの上部には、さらに１本のキャビティロッド
５４が、レーザ光２１の光軸と直交する面内において、
他のキャビティロッド５４，５４とそれぞれ三角形の頂
点に位置するように配置されて固定されている。

【００２９】レーザチャンバ１２は、その下部に車輪６
１を備えており、この車輪６１をレール５６上に滑らせ
て、奥へ押し込む。そして、レール５６上に固定された
ブラケット５７，５７の固定孔５９，５９と、レーザチ
ャンバ１２に固定されたブラケット５８，５８の固定孔
６０，６０とを、図示しないボルト等で締結して固定す
る。

【００３０】キャビティロッド５４は、インバー等の熱
膨張率が非常に低い材質からなっており、上述したよう
にレール５６に対して摺動自在となっている。従って、
レーザチャンバ１２がパルス放電によって熱膨張を起こ
しても、キャビティ板５３Ａ，５３Ｂは動くことがな
く、キャビティ板５３Ａ，５３Ｂ同士の相対的な位置関
係が保たれるようになっている。

【００３１】レーザチャンバ１２前方（図２中右方）の
キャビティ板５３Ａには、フロントミラー１６が固定さ
れている。また、レーザチャンバ１２後方のキャビティ
板５３Ｂには、内部にグレーティング３３及びエキスパ
ンダプリズム３２，３２を配置した狭帯域化ボックス３
１が、固定されている。

【００３２】図３に、狭帯域化ボックス３１の内部に設
置された、グレーティング３３を固定するためのグレー
ティング固定装置３７の斜視図を示す。また、図４及び
図５に、グレーティング固定装置３７の正面図及び側面
図をそれぞれ示す。尚、グレーティング３３において、
溝が形成された回折面３３Ａの側をグレーティング３３
の表側、他側をグレーティング３３の裏側と言う。

【００３３】図３〜図５において、グレーティング固定
装置３７は、狭帯域化ボックス３１の底板４７に対して
回転自在の回転ステージ３８を備えている。回転ステー
ジ３８は、図示しないボルトにより、底板４７に対して
固定できるようになっている。回転ステージ３８の上方
には、グレーティング３３を搭載する搭載台３９が設け
られている。

【００３４】また、グレーティング固定装置３７は、グ
レーティング３３の裏側面を押圧する波面調整スクリュ
ー４０を備えている。この波面調整スクリュー４０で、
グレーティング３３の裏側面を押圧し、溝が刻まれた回
折面３３Ａの形状を変化させることにより、レーザ光２
１の波面を調整して最適化する。

【００３５】回転ステージ３８と搭載台３９との間に
は、球状のボール４１，４１、引きバネ４２，４２、及
びあおりスクリュー４３を備えたあおり機構６６が介在
している。搭載台３９は、引きバネ４２，４２の付勢力
によって回転ステージ３８へ引かれ、回転ステージ３８
にねじ込まれたあおりスクリュー４３によって、上方へ
押されている。あおりスクリュー４３のねじ込み度合い
を調整することにより、図５中矢印４４に示したよう
に、搭載台３９の傾き角度が変わり、レーザ光軸２０に
対するグレーティング３３のあおり角度を調整自在とな
っている。

【００３６】狭帯域化ボックス３１の底板４７には、あ
おりスクリュー４３を回転させてレーザ光軸２０に対す
るグレーティング３３のあおり角度を調整するための、
開口部４５が設けられている。調整を行なわない時は、
この開口部４５は、図示しないネジによってネジ止めさ
れた蓋４６によって封止されている。

【００３７】グレーティング３３を搭載台３９に固定す
る固定ブラケット４８は、Ｌ字型の形状を有しており、
グレーティング３３の裏側で、搭載台３９にその一端部
４８Ａが固着されている。固定ブラケット４８の他端部
４８Ｂは、グレーティング３３の左右両側端部に上方か
らかぶさるようになっており、固定ネジ６８によって弱
めの力（例えば約１kg）でグレーティング３３を下方へ
押さえつけて固定している。

【００３８】そしてグレーティング固定装置３７は、グ
レーティング３３及び搭載台３９を回転ステージ３８に
対して強固に固定する、圧接機構６７を備えている。圧
接機構６７は、Ｌ字型の形状をした圧接ブラケット４９
を備えている。圧接ブラケット４９の一端部４９Ａは、
グレーティング３３の裏側で、回転ステージ３８に図示
しないネジなどで固定されている。圧接ブラケット４９
の他端部４９Ｂは、固定ブラケット４８の間の、グレー
ティング３３の略中央部に、上方からかぶさるようにな
っている。

【００３９】グレーティング３３の上面には、緩衝プレ
ート５０が敷設されている。圧接ブラケット４９と緩衝
プレート５０との間には、皿バネ５２が介挿されてい
る。皿バネ５２は、圧接ブラケット４９にねじ込まれた
圧接スクリュー５１によって上方から押され、そのたわ
みによって、グレーティング３３を回転ステージ３８に
対して強固に押さえつける。この実施形態では、例えば
３個の皿バネ５２を備えており、それぞれが約６０kgの
力でグレーティング３３を押さえつけているため、押さ
えつける力の総計は約１８０kgとなっている。

【００４０】グレーティング３３を押さえつける力とし
ては、１８０kgに限られるものではなく、次の２つの条
件を、共に満足するように定められる。即ち、１）あお
り機構６６の可動部を強固に押さえつけ、グレーティン
グ３３の振動を許容値よりも小さくするだけの、充分な
大きさの力であること。２）グレーティング３３の回折
面３３Ａを歪ませてレーザ光２１の波面に影響を与える
ほど、大きくない力であること。

【００４１】次に、このグレーティング固定装置３７を
用いて、グレーティング３３をレーザ光軸２０に対して
位置合わせを行ない、グレーティング３３を強固に固定
する手順について、図６に示したフローチャートに基づ
いて説明する。尚、グレーティング３３は、すでに固定
ブラケット４８により、回転ステージ３８に固定されて
いるものとする。

【００４２】まず、回転ステージ３８により、グレーテ
ィング３３の水平面内（図１中紙面と平行な面内）にお
ける、レーザ光軸２０に対する回転角度を合わせる（ス
テップＳ１１）。次に、あおりスクリュー４３を回転さ
せて、グレーティング３３のレーザ光軸２０に対するあ
おり角度を概略調整する（ステップＳ１２）。

【００４３】そして、波面調整スクリュー４０を回転さ
せ、グレーティング３３の回折面３３Ａの形状を歪めて
レーザ光２１の波面が最適となるように、波面調整を行
なう（ステップＳ１３）。その後、圧接スクリュー５１
をねじ込み、グレーティング３３を強固に固定する（ス
テップＳ１４）。

【００４４】皿バネ５２は、ＪＩＳ等に、例えばその高
さを２分の１までたわめると、どれだけの力がかかるか
が規定されている。従って、グレーティング３３を押さ
えつける作業時には、まず弱い力で、圧接スクリュー５
１を皿バネ５２に当たるまでねじ込む。そして、そこか
ら何回転させるかを予め定めておくことにより、グレー
ティング３３を押さえつける力を、常に一定の力とする
ことが可能である。

【００４５】そして、グレーティング３３を強固に固定
した後、再度あおりスクリュー４３を微動させて、あお
り角度を微調整する（ステップＳ１５）。皿バネ５２に
よってグレーティング３３を強固に固定しても、あおり
スクリュー４３を１回転の何分の１か程度は動かすこと
ができる。

【００４６】これにより、グレーティング３３のあおり
角度、回転角度、及び波面調整をすべて合わせた状態
で、グレーティング３３が、狭帯域化ボックス３１に対
して強固に固定される。狭帯域化ボックス３１は、キャ
ビティ板５３Ｂに固定されており、送風機などの振動に
よって、グレーティング３３が振動することが非常に少
なくなる。その結果、グレーティング３３とレーザ光軸
２０との位置関係がずれることが少なくなり、レーザ光
２１の中心波長やパルスエネルギーの変動が小さくな
る。

【００４７】次に、第２実施形態について、説明する。
図７に、第２実施形態に係るグレーティング固定装置３
７の正面図を示す。図７において、圧接スクリュー５１
は狭帯域化ボックス３１の天板６４にねじ込まれてお
り、その先端は、第２緩衝プレート６３に当接してい
る。圧接スクリュー５１の外側は、着脱自在の蓋６５に
よって、封止されている。

【００４８】第２緩衝プレート６３と緩衝プレート５０
との間には、皿バネ５２が介装されている。圧接スクリ
ュー５１を、さらに天板６４にねじ込むことにより、第
１実施形態と同様に皿バネ５２がたわんで、グレーティ
ング３３を搭載台３９に強固に押しつけて固定する。

【００４９】第２実施形態に係る圧接機構６７によれ
ば、このように天板６４からグレーティング３３を押さ
えつけているので、第１実施形態のように複雑な形状の
圧接ブラケット４９が不要である。また、第１実施形態
の圧接ブラケット４９が、片持ちでグレーティング３３
を押さえつけているのに比較して、より強固な固定が可
能である。

【００５０】次に、第３実施形態について説明する。図
８に、第３実施形態に係るグレーティング固定装置３７
の側面図を示す。図８において、Ｌ字型の圧接ブラケッ
ト４９は、その一端部４９Ａが回転ステージ３８に固定
され、他端部４９Ｂが、搭載台３９の例えば他端部４９
Ｂにかぶさるように構成されている。そして、圧接ブラ
ケット４９の４隅には、圧接スクリュー５１がねじ込ま
れ、皿バネ５２を介して搭載台３９を回転ステージ３８
に対して強固に押さえつけている。

【００５１】第３実施形態に係る圧接機構６７によれ
ば、グレーティング３３を押さえつけるのではなく、搭
載台３９を押さえつけるようにしている。これにより、
押さえつけによってグレーティング３３が歪むことがな
く、上記の条件２）によって定められるよりも、強い力
で搭載台３９を押さえつけることができるので、振動を
より効果的に防止できる。また、第１実施形態に比較し
て、圧接ブラケット４９の高さが低いので、圧接ブラケ
ット４９の強度が上がり、より強い力で搭載台３９を押
さえつけることができる。

【００５２】尚、図８において、裏側の圧接ブラケット
４９は、搭載台３９の隅のみを押さえるのではなく、複
数の圧接スクリュー５１を備えて、搭載台３９の長手方
向全域にわたって押さえるようにしてもよい。また、第
３実施形態と、第１又は第２実施形態とを併用し、搭載
台３９を押さえ、かつグレーティング３３をも押さえる
ようにしてもよい。

【００５３】尚、上記の説明は、エキシマレーザ装置を
例にとって行なったが、フッ素分子レーザ装置等の、グ
レーティングを用いてレーザ光を狭帯域化するレーザ装
置であれば、同様に応用が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態に係るエキシマレーザ装置の側面
図。

【図２】レーザチャンバを外した状態の共振器の斜視図

【図３】第１実施形態に係るグレーティング固定装置の
斜視図。

【図４】第１実施形態に係るグレーティング固定装置の
正面図。

【図５】第１実施形態に係るグレーティング固定装置の
側面図。

【図６】第１実施形態に係る、グレーティングを強固に
固定する手順を示すフローチャート。

【図７】第２実施形態に係るグレーティング固定装置の
正面図。

【図８】第３実施形態に係るグレーティング固定装置の
側面図。

【図９】従来技術に係るエキシマレーザ装置の平面図。

【図１０】図９のＡ−Ａ断面図。

【符号の説明】

１１：エキシマレーザ装置、１２：レーザチャンバ、１
４：主電極、１５：主電極、１６：フロントミラー、１
７：フロントウィンドウ、１９：リアウィンドウ、２
０：レーザ光軸、２１：レーザ光、２５：露光機、３
０：狭帯域化ユニット、３１：狭帯域化ボックス、３
２：エキスパンダプリズム、３３：グレーティング、３
６：パージガスボンベ、３７：グレーティング固定装
置、３８：回転ステージ、３９：搭載台、４０：波面調
整スクリュー、４１：ボール、４２：引きバネ、４３：
あおりスクリュー、４５：開口部、４６：蓋、４７：底
板、４８：固定ブラケット、４９：圧接ブラケット、５
０：緩衝プレート、５１：圧接スクリュー、５２：皿バ
ネ、５３：キャビティ板、５４：キャビティロッド、５
５：キャビティロッド孔、５６：レール、５７：ブラケ
ット、５８：ブラケット、５９：固定孔、６０：固定
孔、６１：車輪、６２：ベース、６３：第２緩衝プレー
ト、６４：天板、６５：蓋、６６：あおり機構、６７：
圧接機構、６８：固定ネジ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H049 AA07 AA13 AA50 AA55 AA68 5F071 AA06 AA07 DD05 DD07 DD08 EE00 EE08 GG05 JJ01 JJ05 5F072 AA06 AA07 JJ13 KK01 KK07 KK18 KK24 MM08 MM11 MM18 SS06 TT05 TT22 YY09

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 グレーティング(33)を固定するグレーテ
   ィング固定装置において、 入射光(21)の光軸(20)に対して固定された保持部材(31)
   と、 前記保持部材(31)上に搭載され、グレーティング(33)の
   回折面(33A)の光軸(20)に対するあおり角度を調整する
   あおり機構(66)と、 あおり機構(66)の可動部を保持部材(31)又は保持部材(3
   1)に固定された部材に押しつけ、グレーティング(33)の
   振動を抑制する圧接機構(67)とを備えたことを特徴とす
   る、グレーティング固定装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のグレーティング固定装置
   において、 前記圧接機構(67)が皿バネ(52)を備え、 その付勢力によってあおり機構(66)の可動部を保持部材
   (31)又は保持部材(31)に固定された部材に押しつけるこ
   とを特徴とするグレーティング固定装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載のグレーティング固定装置
   において、 前記圧接機構(67)が、保持部材(31)又は保持部材(31)に
   固定された部材にねじ込まれた圧接スクリュー(51)を備
   えたことを特徴とするグレーティング固定装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載のグレーティング固定装置
   において、 前記圧接機構(67)が、グレーティング(33)の上方に配設
   された皿バネ(52)と、 皿バネ(52)の上方に配設された圧接スクリュー(51)とを
   備え、 圧接スクリュー(51)によって皿バネ(52)をたわませるこ
   とにより、グレーティング(33)を保持部材(31)又は保持
   部材(31)に固定された部材に押しつけることを特徴とす
   るグレーティング固定装置。
5. 【請求項５】 グレーティング(33)によって波長を狭帯
   域化された狭帯域化レーザ装置において、 請求項１〜４のいずれかに記載のグレーティング固定装
   置(37)を備えたことを特徴とする狭帯域化レーザ装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載の狭帯域化レーザ装置にお
   いて、 前記狭帯域化レーザ装置(11)が、主電極(14,15)間の放
   電によってレーザガスを励起するガスレーザ装置であ
   り、 レーザガスを主電極(14,15)間に送り込む送風機を備え
   たことを特徴とする狭帯域化レーザ装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の狭帯域化レーザ装置にお
   いて、 前記狭帯域化レーザ装置(11)が、エキシマレーザ装置又
   はフッ素分子レーザ装置であることを特徴とする狭帯域
   化レーザ装置。