JP4657950B2 - 送風装置及び電子部品試験装置 - Google Patents
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Description
図4は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるICストッカを示す分解斜視図、図5は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるカスタマトレイを示す斜視図である。
図6は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置に用いられるテストトレイを示す分解斜視図である。
図7は本発明の実施形態に係る電子部品試験装置の第1及び第2の温度調節装置を示す断面図、図8A及び図8Bは本発明の実施形態における第2の温度調節装置のシャフト導出部を示す図であり、図8Aは斜視図、図8Bは断面図、並びに、図9A〜図9Cは本発明の実施形態に係るプロペラ付きディスクを示す図であり、図9Aは斜視図、図9Bは正面図及び図9Cは側面図である。
アンローダ部400にも、ローダ部300に設けられたXY搬送装置304と同一構造のXY搬送装置404が2台設けられており、このXY搬送装置404によって、アンローダ部400に運び出されたテストトレイTSTから試験済みのICデバイスが、試験結果に応じたカスタマトレイKSTに積み替えられる。
100…チャンバ部
110…ソークチャンバ
120…テストチャンバ
124…Z軸駆動装置
125…第1の温度調節装置
130…インナチャンバ
132…第2の温度調節装置
132c…ファン
132d…シャフト
132e…軸受け
132f…プロペラ付きディスク
132g…プロペラ部
132h…スリット
132i…回転モータ
S132k…光電センサ
140…アンソークチャンバ
200…格納部
300…ローダ部
400…アンローダ部
5…テストヘッド
Claims (4)
- 被試験電子部品の電気的特性の試験を行う電子部品試験装置のチャンバ内に設けられたファンの回転軸であり、前記チャンバの外部に設けられたモータの駆動軸と同軸状で連結されたシャフトにおいて、軸受けを介して前記チャンバの断熱壁を貫通して外部に導出している導出部分に向かって送風する送風装置であって、
前記シャフトの回転により前記シャフトの軸方向に沿って前記導出部分に向かって送風するように、前記シャフトにおいて前記導出部分より前記モータ側に位置する部分に回転可能に設けられたプロペラと、
前記プロペラを取り囲むように配置され、前記チャンバの外部で前記モータを支持する柱状の複数の支持部材と、を備え、
隣接する前記支持部材同士の間には、開口が形成され、
前記開口は、複数の前記支持部材に囲まれた第1の空間と、前記第1の空間の外側に位置する第2の空間と、を連通させ、 前記モータは、前記シャフトを介して前記プロペラを回転させ、
回転した前記プロペラは、前記開口を介して前記第2の空間から前記第1の空間に空気を導入し、前記空気を前記シャフトの前記導出部分に向かって送風する送風装置。 - 前記プロペラは、円盤状のプレート部材の主面に形成されており、
前記プレート部材の前記主面には、前記モータの回転数をセンサで検出するためのスリットが形成されている請求項1記載の送風装置。 - 被試験電子部品の電気的特性の試験を行う電子部品試験装置において、アクチュエータの駆動軸と同軸状で連結されたシャフトを支持する軸受けに向かって送風するための送風装置であって、
前記シャフトの回転により前記シャフトの軸方向に沿って前記軸受けに向かって送風するように、前記シャフトに回転可能に設けられたプロペラと、
前記プロペラを取り囲むように配置され、前記アクチュエータを支持する柱状の複数の支持部材と、を備え、
隣接する前記支持部材同士の間には、開口が形成され、
前記開口は、複数の前記支持部材に囲まれた第1の空間と、前記第1の空間の外側に位置する第2の空間と、を連通させ、
前記アクチュエータは、前記シャフトを介して前記プロペラを回転させ、
回転した前記プロペラは、前記開口を介して前記第2の空間から前記第1の空間に空気を導入し、前記空気を前記軸受けに向かって送風する送風装置。 - 被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて、前記被試験電子部品の電気的特性の試験を行う電子部品試験装置であって、
前記テストヘッドの上部にテストチャンバが設けられ、
前記チャンバは、請求項1〜3の何れかに記載の送風装置を有する電子部品試験装置。
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