JP4553492B2 - 電子部品試験装置におけるソケットの電気特性相関取得方法、ハンドラ、ハンドラの制御方法および電子部品試験装置 - Google Patents
電子部品試験装置におけるソケットの電気特性相関取得方法、ハンドラ、ハンドラの制御方法および電子部品試験装置 Download PDFInfo
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【発明の属する技術分野】
本発明は、ICチップなどの電子部品を試験するための電子部品試験装置においてソケットの電気特性の相関を取得する方法、ならびに、そのようなソケットの電気特性の相関を取得することのできる、ハンドラ、ハンドラの制御方法、および電子部品試験装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ICチップなどの電子部品を試験するための試験装置の一種として、カスタマトレイに収納された複数のICチップをテストトレイに積み込んでテストヘッド上に搬送し、プッシャにより複数のICチップを一度にテストヘッドのソケットに押し付けて、各ICチップの接続端子をソケットの接続端子に電気的に接続させ、試験用メイン装置からテストヘッドに送った電気信号によりICチップの試験を行い、その試験結果に応じて、少なくとも良品チップと不良品チップとに分別する電子部品試験装置が知られている。
【0003】
従来より、このような電子部品試験装置においては、例えば、新しいテストヘッドやソケットを使い始めるときに、複数のソケットの電気特性を均一にするために、各ソケットの電気特性の相関を取得して、電気特性にバラツキがある場合には、その電気特性の調整を行っている。
【0004】
そのために、あらかじめデータが判明している評価用のICチップを上記のように試験に付すことが行われているが、ソケットを多数備えた電子部品試験装置においては、試験時間を短縮すべく、従来より、判明しているデータが同一である複数の評価用ICチップを同時に使用する方法が主流となっている。
【0005】
図16は、従来のソケット電気特性相関取得方法における電子部品試験装置の一連の処理動作を示すフローチャート図であり、図17は、従来のソケット電気特性相関取得方法におけるトレイの推移を示す模式図である。ここでは、一例として、4個の評価用ICチップa1〜a4、図17(a)に示すような10行×6列のカスタマトレイ、図17(b)〜(e)に示すような2行×16列のテストトレイ、および図17(f)に示すような2行×8列のソケット(T1〜T16)を用いるものとする。
【0006】
まず、オペレータが、図17(a)に示すように、全て同じデータを有する4個の評価用ICチップa1〜a4をカスタマトレイに収納し、そのカスタマトレイをハンドラのローダ部にセットして電子部品試験装置をスタートさせると、ローダ部のICチップ搬送装置は、図17(b)に示すように、評価用ICチップa1〜a4をカスタマトレイからテストトレイに積み込む(ステップS201)。このとき、評価用ICチップa1〜a4は、それぞれテストトレイの1行2列、1行4列、1行6列および1行8列に積み込まれる。
【0007】
評価用ICチップa1〜a4を積んだテストトレイは、テストトレイ搬送装置によってテストヘッドまで搬送する。そして、テストトレイに積まれた各評価用ICチップa1〜a4をプッシャによってテストヘッドのソケットに電気的に接続させ、電気特性の試験を行う(ステップS202)。このとき、評価用ICチップa1〜a4は、それぞれ1行1列目のソケットT1、1行2列目のソケットT2、1行3列目のソケットT3および1行4列目のソケットT4に装着される(図17(b),(f)参照)。
【0008】
このようにして1回目の試験を行った後、評価用ICチップa1〜a4を積んだテストトレイをテストトレイ搬送装置によってアンローダ部まで搬送すると(ステップS203)、アンローダ部のICチップ搬送装置が、評価用ICチップa1〜a4をテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS204)。
【0009】
評価用ICチップa1〜a4を積んだカスタマトレイは、エレベータによって、一旦ストッカに格納する(ステップS205)。電子部品試験装置の制御部は、全ての試験が終了したか否かを判断し(ステップS206)、Yesと判断した場合には処理動作を終了する。一方、Noと判断した場合には、一旦ストッカに格納したカスタマトレイ(評価用ICチップa1〜a4を積んでいる)を、トレイ移送装置によってローダ部に搬送し(ステップS207)、処理動作をステップS201に戻す。
【0010】
2回目の試験を行うにあたり、ローダ部のICチップ搬送装置は、図17(c)に示すように、評価用ICチップa1〜a4を、それぞれテストトレイの1行10列、1行12列、1行14列および1行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップa1〜a4は、ステップS202において、それぞれ1行5列目のソケットT5、1行6列目のソケットT6、1行7列目のソケットT7および1行8列目のソケットT8に装着され(図17(c),(f)参照)、2回目の試験が行われる。
【0011】
同様に、3回目の試験を行うにあたり、ローダ部のICチップ搬送装置は、図17(d)に示すように、評価用ICチップa1〜a4を、それぞれテストトレイの2行2列、2行4列、2行6列および2行8列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップa1〜a4は、ステップS202において、それぞれ2行1列目のソケットT9、2行2列目のソケットT10、2行3列目のソケットT11および2行4列目のソケットT12に装着され(図17(d),(f)参照)、3回目の試験が行われる。
【0012】
また、4回目の試験を行うにあたり、ローダ部のICチップ搬送装置は、図17(e)に示すように、評価用ICチップa1〜a4を、それぞれテストトレイの2行10列、2行12列、2行14列および2行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップa1〜a4は、ステップS202において、それぞれ2行5列目のソケットT13、2行6列目のソケットT14、2行7列目のソケットT15および2行8列目のソケットT16に装着され(図17(e),(f)参照)、4回目の試験が行われる。
【0013】
従来は、以上のようなシーケンスにより、全てのソケットT1〜T16に対して評価用ICチップa1〜a4のいずれかを装着して電気特性の試験を行い、各ソケットT1〜T16の電気特性の相関を取得していた。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来使用していた複数の評価用ICチップは、いずれも判明しているデータが同一のものであったため、各ソケットの電気特性の相関は、単一のデータに基づいてしか取得することができず、ハンドラを使用して取得した電気特性の相関データに基づいて、試験用メイン装置によって複数のソケット相互間の電気特性の均一化を図ることができるにすぎなかった。ところが、最近のICチップは極めて高周波で作動するものになっているため、複数のソケット相互間の電気特性の均一化を図るだけでは足りず、さらに、試験用メイン装置により各ソケットの電気特性を調整して、試験精度の向上を図る必要が生じている。
【0015】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、複数のソケットの電気特性が種々の電子部品に対して均一となり、かつ各ソケットが所望の電気特性を示すように、試験用メイン装置によりソケットの電気特性を微調整することができるよう、ソケットの電気特性の相関を取得、それも煩雑な作業を要することなく取得することのできる、ソケットの電気特性相関取得方法、ハンドラ、ハンドラの制御方法および電子部品試験装置を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る第1のソケット電気特性相関取得方法は、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、順次全てのソケットに装着して試験を行うことにより、各ソケットの電気特性の相関を取得することを特徴とし(請求項1)、本発明に係る第1のハンドラは、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、順次全てのソケットに装着させることのできるように設定されていることを特徴とし(請求項4)し、本発明に係る第1のハンドラ制御方法は、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、順次全てのソケットに装着させることのできるようにハンドラを制御することを特徴とし(請求項7)、本発明に係る第1の電子部品試験装置は、前記ハンドラ(請求項4)を備えたことを特徴とする(請求項10)。
【0017】
ここで、本発明でいう「電気特性相関取得」および「電気特性の相関を取得」は、複数のソケット相互間の電気特性の関係を取得することだけでなく、ソケット単体の電気特性のデータを取得することをも含むものとする。
【0018】
上記発明(請求項1,4,7,10)によれば、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品を全てのソケットに装着させて試験することができるため、ソケットの電気特性の相関を複数のデータから多面的に取得し、それに基づいて、複数のソケットの電気特性が種々の電子部品に対して均一となるように、また各ソケットが所望の電気特性を示すように、試験用メイン装置により各ソケットの電気特性の微調整を行い、ソケットの測定精度を向上させることができる。
【0019】
本発明に係る第2のソケット電気特性相関取得方法は、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品をカスタマトレイからテストトレイに積み込み、前記テストトレイに積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着して試験を行った後、前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替える第1工程と、前記カスタマトレイに積み替えた評価用電子部品を、前記試験にて装着されたソケットとは異なるソケットに装着されるようにテストトレイに積み込み、前記テストトレイに積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着して試験を行った後、前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替える第2工程とを行うとともに、各評価用電子部品が全てのソケットに装着され試験されるように、前記第2工程を繰り返し行うことを特徴とし(請求項2)、本発明に係る第2のハンドラは、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品をカスタマトレイからテストトレイに積み込み、前記テストトレイに積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替える第1工程と、前記カスタマトレイに積み替えた評価用電子部品を、前記試験にて装着されたソケットとは異なるソケットに装着されるようにテストトレイに積み込み、前記テストトレイに積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替える第2工程とを行うとともに、各評価用電子部品が全てのソケットに装着され試験されるように、前記第2工程を繰り返し行うことを特徴とし(請求項5)、本発明に係る第2のハンドラ制御方法は、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品をカスタマトレイからテストトレイに積み込み、前記テストトレイに積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替える第1工程と、前記カスタマトレイに積み替えた評価用電子部品を、前記試験にて装着されたソケットとは異なるソケットに装着されるようにテストトレイに積み込み、前記テストトレイに積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替える第2工程とを行うとともに、前記第2工程を繰り返し行い、各評価用電子部品が全てのソケットに装着され試験されるように、ハンドラを制御することを特徴とし(請求項8)、本発明に係る第2の電子部品試験装置は、前記ハンドラ(請求項5)を備えたことを特徴とする(請求項10)。
【0020】
従来のソケット電気特性相関取得方法におけるシーケンスは、データが同一である複数の評価用ICチップを使用することを前提に設計されていたため、従来のシーケンスにおいてデータが異なる複数の評価用ICチップを使用すると、各評価用ICチップが一部のソケットにしか装着されないという問題が生ずる。前述した図17に示す例で説明すると、評価用ICチップa1は、ソケットT1,T5,T9,T13にしか装着されず、評価用ICチップa2は、ソケットT2,T6,T10,T14にしか装着されず、評価用ICチップa3は、ソケットT3,T7,T11,T15にしか装着されず、評価用ICチップa4は、ソケットT4,T8,T12,T16にしか装着されない。この問題を解決するためには、カスタマトレイに収納する評価用ICチップを何度も並べ替えながら従来のシーケンスを繰り返し行う必要があり、オペレータに極めて煩雑な作業を要求することとなる。
【0021】
しかしながら、上記発明(請求項2,5,8,10)によれば、判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、自動的に全てのソケットに装着して試験することができるため、オペレータは、最初に評価用ICチップをカスタマトレイに収納して電子部品試験装置にセットすれば、その後、評価用ICチップを何度も並べ替えるという作業を行う必要はない。
【0022】
本発明に係る第3のソケット電気特性相関取得方法は、前記ソケット電気特性相関取得方法(請求項2)において、前記評価用電子部品を、テストトレイの行の若い方、同じ行では列の若い方から順に、前記テストトレイからピックアップしてカスタマトレイに積み替えるようにし、前記第1工程において、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、前記第2工程において、前記評価用電子部品が、前記試験にて装着されたソケットの次列のソケット、または次列にソケットがない場合には、次行1列目のソケットに装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、各評価用電子部品が全てのソケットに装着され試験されるまで、前記第2工程を繰り返し行った後、再度、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着され得る状態になるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、そして、前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替えることを特徴とし(請求項3)、本発明に係る第3のハンドラは、前記ハンドラ(請求項5)において、前記評価用電子部品を、テストトレイの行の若い方、同じ行では列の若い方から順に、前記テストトレイからピックアップしてカスタマトレイに積み替えるように設定されており、前記第1工程では、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、前記第2工程では、前記評価用電子部品が、前記試験にて装着されたソケットの次列のソケット、または次列にソケットがない場合には、次行1列目のソケットに装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、各評価用電子部品が全てのソケットに装着され試験されるまで前記第2工程を繰り返し行った後は、再度、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着され得る状態になるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、そして、前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替えることを特徴とし(請求項6)、本発明に係る第3のハンドラ制御方法は、前記ハンドラ制御方法(請求項8)において、前記評価用電子部品を、テストトレイの行の若い方、同じ行では列の若い方から順に、前記テストトレイからピックアップしてカスタマトレイに積み替えるようにハンドラを制御するとともに、前記第1工程では、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、前記第2工程では、前記評価用電子部品が、前記試験にて装着されたソケットの次列のソケット、または次列にソケットがない場合には、次行1列目のソケットに装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、各評価用電子部品が全てのソケットに装着され試験されるまで前記第2工程を繰り返し行った後は、再度、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着され得る状態になるように、前記評価用電子部品をテストトレイに積み込み、そして、前記評価用電子部品を前記テストトレイからカスタマトレイに積み替えるように、ハンドラを制御することを特徴とし(請求項9)、本発明に係る第3の電子部品試験装置は、前記ハンドラ(請求項6)を備えたことを特徴とする(請求項10)。ここで、上記「次行」とは、原則として現在行に1を加えた行を意味するが、現在行が最後の行である場合は、第1行を次行とするものとする。
【0023】
上記発明(請求項3,6,9,10)においては、各評価用電子部品の全てのソケットへの装着・試験が完了した後の工程で、各評価用電子部品は、最初の第1工程と同じ状態でテストトレイに積まれ、その状態から、テストトレイの行の若い方、同じ行では列の若い方より順にピックアップされてカスタマトレイに積み替えられる。このとき、データが異なる各評価用電子部品は、最初にカスタマトレイに積んだときの順番と同じ順番でカスタマトレイに積むことができる。したがって、上記発明(請求項3,6,9,10)によれば、各評価用電子部品のカスタマトレイへの入れ替え作業を行うことなく、上記ソケット電気特性相関取得シーケンスを複数回繰り返し行うことができる。
【0024】
なお、上記電子部品としては、特に限定されるものではないが、例えばメモリ素子などのICチップが最も一般的である。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図1〜図12は、本発明の第1の実施形態に関する図であり、図13〜図15は、本発明の第2の実施形態に関する図である。最初に、本発明の第1の実施形態について説明する。
【0026】
〔第1の実施形態〕
図1は本発明の第1の実施形態に係るIC試験装置の全体側面図、図2は図1に示すハンドラの斜視図、図3は被試験ICの取り廻し方法を示すトレイのフローチャート図、図4は同IC試験装置のICストッカの構造を示す斜視図、図5は同IC試験装置で用いられるカスタマトレイを示す斜視図、図6は同IC試験装置の試験チャンバ内の要部断面図、図7は同IC試験装置で用いられるテストトレイを示す一部分解斜視図、図8は同IC試験装置のテストヘッドにおけるソケット付近の構造を示す分解斜視図である。
【0027】
まず、本発明の第1の実施形態に係る電子部品試験装置としてのIC試験装置の全体構成について説明する。図1に示すように、本実施形態に係るIC試験装置10は、ハンドラ1と、テストヘッド5と、試験用メイン装置6とを有する。
ハンドラ1は、試験すべきICチップ(電子部品の一例)をテストヘッド5に設けたソケットに順次搬送し、試験が終了したICチップをテスト結果に従って分類して所定のトレイに格納する動作を実行する。
【0028】
テストヘッド5に設けたソケットは、ケーブル7を通じて試験用メイン装置6に電気的に接続してあり、ソケットに脱着可能に装着されたICチップを、ケーブル7を通じて試験用メイン装置6に接続し、試験用メイン装置6からの試験用電気信号によりICチップをテストする。
【0029】
ハンドラ1の下部には、主としてハンドラ1を制御する制御装置が内蔵してあるが、一部に空間部分8が設けてある。この空間部分8に、テストヘッド5が交換自在に配置してあり、ハンドラ1に形成した貫通孔を通してICチップをテストヘッド5上のソケットに装着することが可能になっている。
【0030】
このIC試験装置10は、試験すべき電子部品としてのICチップを、常温よりも高い温度状態(高温)または低い温度状態(低温)で試験するための装置であり、ハンドラ1は、図2および図3に示すように、恒温槽101とテストチャンバ102と除熱槽103とで構成されるチャンバ100を有する。図1に示すテストヘッド5の上部は、図6に示すようにテストチャンバ102の内部に挿入され、そこでICチップ2の試験が行われるようになっている。
【0031】
なお、図3は本実施形態のIC試験装置における試験用ICチップの取り廻し方法を理解するための図であって、実際には上下方向に並んで配置されている部材を平面的に示した部分もある。したがって、その機械的(三次元的)構造は、主として図2を参照して理解することができる。
【0032】
図2および図3に示すように、本実施形態のIC試験装置10のハンドラ1は、これから試験を行うICチップを格納し、また試験済のICチップを分類して格納するIC格納部200と、IC格納部200から送られる被試験ICチップをチャンバ部100に送り込むローダ部300と、テストヘッドを含むチャンバ部100と、チャンバ部100で試験が行われた試験済のICを取り出して分類するアンローダ部400とから構成されている。ハンドラ1の内部では、ICチップは、テストトレイに収納されて搬送される。
【0033】
ハンドラ1にセットされる前のICチップは、図5に示すカスタマトレイKST内に多数収納してあり、その状態で、図2および図3に示すハンドラ1のIC収納部200へ供給され、そして、カスタマトレイKSTから、ハンドラ1内で搬送されるテストトレイTST(図7参照)にICチップ2が載せ替えられる。
ハンドラ1の内部では、図3に示すように、ICチップは、テストトレイTSTに載せられた状態で移動し、高温または低温の温度ストレスが与えられ、適切に動作するかどうか試験(検査)され、当該試験結果に応じて分類される。以下、ハンドラ1の内部について、個別に詳細に説明する。
【0034】
第1に、IC格納部200に関連する部分について説明する。
図2に示すように、IC格納部200には、試験前のICチップを格納する試験前ICストッカ201と、試験の結果に応じて分類されたICチップを格納する試験済ICストッカ202とが設けてある。
【0035】
これらの試験前ICストッカ201および試験済ICストッカ202は、図4に示すように、枠状のトレイ支持枠203と、このトレイ支持枠203の下部から侵入して上部に向かって昇降可能とするエレベータ204とを具備している。
トレイ支持枠203には、カスタマトレイKSTが複数積み重ねられて支持され、この積み重ねられたカスタマトレイKSTのみがエレベータ204によって上下に移動される。なお、本実施形態におけるカスタマトレイKSTは、図5に示すように、10行×6列のICチップ収納部を有するものとなっている。
【0036】
図2に示す試験前ICストッカ201には、これから試験が行われるICチップが収納されたカスタマトレイKSTが積層されて保持してある。また、試験済ICストッカ202には、試験を終えて分類されたICチップが収納されたカスタマトレイKSTが積層されて保持してある。
【0037】
なお、これら試験前ICストッカ201と試験済ICストッカ202とは、略同じ構造にしてあるので、試験前ICストッカ201の部分を、試験済ICストッカ202として使用することや、その逆も可能である。したがって、試験前ICストッカ201の数と試験済ICストッカ202の数とは、必要に応じて容易に変更することができる。
【0038】
図2および図3に示すように、本実施形態では、試験前ストッカ201として、2個のストッカSTK−Bが設けてある。ストッカSTK−Bの隣には、試験済ICストッカ202として、アンローダ部400へ送られる空ストッカSTK−Eを2個設けてある。また、その隣には、試験済ICストッカ202として、8個のストッカSTK−1,STK−2,…,STK−8を設けてあり、試験結果に応じて最大8つの分類に仕分けして格納できるように構成してある。つまり、良品と不良品の別の外に、良品の中でも動作速度が高速のもの、中速のもの、低速のもの、あるいは不良の中でも再試験が必要なもの等に仕分けできるようになっている。
【0039】
第2に、ローダ部300に関連する部分について説明する。
図4に示す試験前ICストッカ201のトレイ支持枠203に格納してあるカスタマトレイKSTは、図2に示すように、IC格納部200と装置基板105との間に設けられたトレイ移送アーム205によってローダ部300の窓部306に装置基板105の下側から運ばれる。そして、このローダ部300において、カスタマトレイKSTに積み込まれた被試験ICチップを、X−Y搬送装置304によって一旦プリサイサ(preciser)305に移送し、ここで被試験ICチップの相互の位置を修正したのち、さらにこのプリサイサ305に移送された被試験ICチップを再びX−Y搬送装置304を用いて、ローダ部300に停止しているテストトレイTSTに積み替える。
【0040】
カスタマトレイKSTからテストトレイTSTへ被試験ICチップを積み替えるX−Y搬送装置304は、図2に示すように、装置基板105の上部に架設された2本のレール301と、この2本のレール301によってテストトレイTSTとカスタマトレイKSTとの間を往復する(この方向をY方向とする)ことができる可動アーム302と、この可動アーム302によって支持され、可動アーム302に沿ってX方向に移動できる可動ヘッド303とを備えている。
【0041】
このX−Y搬送装置304の可動ヘッド303には、吸着ヘッドが下向に装着されており、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動することで、カスタマトレイKSTから被試験ICチップを吸着し、その被試験ICチップをテストトレイTSTに積み替える。こうした吸着ヘッドは、可動ヘッド303に対して例えば8本程度装着されており、一度に8個の被試験ICチップをテストトレイTSTに積み替えることができる。
【0042】
第3に、チャンバ100に関連する部分について説明する。
上述したテストトレイTSTは、ローダ部300で被試験ICチップが積み込まれたのちチャンバ100に送り込まれ、当該テストトレイTSTに搭載された状態で各被試験ICチップがテストされる。
【0043】
図2および図3に示すように、チャンバ100は、テストトレイTSTに積み込まれた被試験ICチップに目的とする高温または低温の熱ストレスを与える恒温槽101と、この恒温槽101で熱ストレスが与えられた状態にある被試験ICチップがテストヘッド上のソケットに装着されるテストチャンバ102と、テストチャンバ102で試験された被試験ICチップから、与えられた熱ストレスを除去する除熱槽103とで構成されている。
【0044】
除熱槽103では、恒温槽101で高温を印加した場合は、被試験ICチップを送風により冷却して室温に戻し、また恒温槽101で低温を印加した場合は、被試験ICチップを温風またはヒータ等で加熱して結露が生じない程度の温度まで戻す。そして、この除熱された被試験ICチップをアンローダ部400に搬出する。
【0045】
図2に示すように、チャンバ100の恒温槽101および除熱槽103は、テストチャンバ102より上方に突出するように配置されている。また、恒温槽101には、図3に概念的に示すように、垂直搬送装置が設けられており、テストチャンバ102が空くまでの間、複数枚のテストトレイTSTがこの垂直搬送装置に支持されながら待機する。主として、この待機中において、被試験ICチップに高温または低温の熱ストレスが印加される。
【0046】
図6に示すように、テストチャンバ102には、その中央下部にテストヘッド5が配置され、テストヘッド5の上にテストトレイTSTが運ばれる。そこでは、図7に示すテストトレイTSTにより保持された全てのICチップ2を順次テストヘッド5に電気的に接触させ、テストトレイTST内の全てのICチップ2について試験を行う。一方、試験が終了したテストトレイTSTは、除熱槽103で除熱され、ICチップ2の温度を室温に戻したのち、図2および図3に示すアンローダ部400に排出される。
【0047】
また、図2に示すように、恒温槽101と除熱槽103の上部には、装置基板105からテストトレイTSTを送り込むための入口用開口部と、装置基板105へテストトレイTSTを送り出すための出口用開口部とがそれぞれ形成してある。装置基板105には、これら開口部からテストトレイTSTを出し入れするためのテストトレイ搬送装置108が装着してある。これら搬送装置108は、例えば回転ローラなどで構成してある。この装置基板105上に設けられたテストトレイ搬送装置108によって、除熱槽103から排出されたテストトレイTSTは、アンローダ部400に搬送される。
【0048】
図7は本実施形態で用いられるテストトレイTSTの構造を示す分解斜視図である。このテストトレイTSTは、矩形フレーム12を有し、そのフレーム12に複数の桟(さん)13が平行かつ等間隔に設けてある。これら桟13の両側と、これら桟13と平行なフレーム12の辺12aの内側とには、それぞれ複数の取付け片14が長手方向に等間隔に突出して形成してある。これら桟13の間、および桟13と辺12aとの間に設けられた複数の取付け片14の内の向かい合う2つの取付け片14によって、各インサート収納部15が構成されている。
【0049】
各インサート収納部15には、それぞれ1個のインサート16が収納されるようになっており、このインサート16はファスナ17を用いて2つの取付け片14にフローティング状態で取り付けられている。本実施形態において、インサート16は、1つのテストトレイTSTに16×2個取り付けられるようになっている。すなわち、本実施形態におけるテストトレイTSTは、2行×16列のICチップ収納部を有するものとなっている。このインサート16に被試験ICチップ2を収納することで、テストトレイTSTに被試験ICチップ2が積み込まれることになる。
【0050】
本実施形態のインサート16においては、図7および図8に示すように、被試験ICチップ2を収納する矩形凹状のIC収納部19が中央部に形成されている。また、インサート16の両端中央部には、プッシャ30のガイドピン32が挿入されるガイド孔20が形成されており、インサート16の両端角部には、テストトレイTSTの取付け片14への取付け用孔21が形成されている。
【0051】
図8に示すように、テストヘッド5の上にはソケットボード50が配置してあり、ソケットボード50にはソケット40が固定してある。ソケット40には、ICチップ2の接続端子2aが接続される接続端子43が設けられておりソケット40の両端部には、プッシャ30のガイドピン32が挿入されるガイドホール41が設けられている。
【0052】
本実施形態におけるソケット40は、図12(j)に示すように2行×8列で構成されており、図7に示すテストトレイTSTに2行×16列で保持された被試験ICチップ2が、1列おきに装着される構成となっている。このような構成においては、先に偶数列(または奇数列)のICチップ2がソケット40に装着されて試験され、次いで奇数列(または偶数列)のICチップ2がソケット40に装着されて試験されることとなる。
【0053】
図6および図8に示すように、テストヘッド5の上側には、ソケット40の数に対応してプッシャ30が設けてある。プッシャ30には、図8に示すように、被試験ICチップ2のリード2aをソケット40の接続端子43に押し付けるための押圧子31が下方に向かって設けられている。
【0054】
図6に示すように、各プッシャ30は、アダプタ62の下端に固定してあり、各アダプタ62は、マッチプレート60に弾性保持してある。マッチプレート60は、テストヘッド5の上部に位置するように、かつプッシャ30とソケット40との間にテストトレイTSTが挿入可能となるように装着してある。このマッチプレート60に保持されたプッシャ30は、テストヘッド5またはZ軸駆動装置70の駆動プレート(駆動体)72に対して、Z軸方向に移動自在である。なお、テストトレイTSTは、図6において紙面に垂直方向(X軸)から、プッシャ30とソケット40との間に搬送されてくる。チャンバ100内部でのテストトレイTSTの搬送手段としては、搬送用ローラなどが用いられる。テストトレイTSTの搬送移動に際しては、Z軸駆動装置70の駆動プレートは、Z軸方向に沿って上昇しており、プッシャ30とソケット40との間には、テストトレイTSTが挿入される十分な隙間が形成してある。
【0055】
図6に示すように、テストチャンバ102の内部に配置された駆動プレート72の下面には、押圧部74が固定してあり、マッチプレート60に保持してあるアダプタ62の上面を押圧可能にしてある。駆動プレート72には駆動軸78が固定してあり、駆動軸78にはモータ等の駆動源(図示せず)が連結してあり、駆動軸78をZ軸方向に沿って上下移動させ、アダプタ62を押圧可能となっている。
【0056】
なお、マッチプレート60は、試験すべきICチップ2の形状や、テストヘッド5のソケット数(同時に測定するICチップ2の数)などに合わせて、アダプタ62およびプッシャ30と共に、交換自在な構造になっている。このようにマッチプレート60を交換自在にしておくことにより、Z軸駆動装置70を汎用のものとすることができる。本実施形態では、押圧部74とアダプタ62とが2対1で対応しているが、例えば、後述する第2の実施形態のように、テストヘッド5のソケット40の行数が2行から4行に変更されたときには、マッチプレート60を交換することにより、押圧部74とアダプタ62とを1対1で対応させることも可能である。
【0057】
本実施形態では、上述したように構成されたチャンバ100において、図6に示すように、テストチャンバ102を構成する密閉されたケーシング80の内部に、温調用送風装置90が装着してある。温調用送風装置90は、ファン92と、熱交換部94とを有し、ファン92によりケーシング内部の空気を吸い込み、熱交換部94を通してケーシング80の内部に吐き出して循環させることで、ケーシング80の内部を、所定の温度条件(高温または低温)にする。
【0058】
第4に、アンローダ部400に関連する部分について説明する。
図2および図3に示すアンローダ部400にも、ローダ部300に設けられたX−Y搬送装置304と同一構造のX−Y搬送装置404,404が設けられ、このX−Y搬送装置404,404によって、アンローダ部400に運び出されたテストトレイTSTから試験済のICチップがカスタマトレイKSTに積み替えられる。
【0059】
図2に示すように、アンローダ部400の装置基板105には、当該アンローダ部400へ運ばれたカスタマトレイKSTが装置基板105の上面に臨むように配置される一対の窓部406,406が二対開設してある。
【0060】
それぞれの窓部406の下側には、カスタマトレイKSTを昇降させるためのエレベータ204が設けられており(図4参照)、ここでは試験済の被試験ICチップが積み替えられて満杯になったカスタマトレイKSTを載せて下降し、この満杯トレイをトレイ移送アーム205に受け渡す。
【0061】
次に、以上説明したIC試験装置10において、テストヘッド5に設けられた各ソケット40の電気特性の相関を取得するためのシーケンスについて説明する。図9および図10は、本実施形態に係るIC試験装置のソケット電気特性相関取得に関する一連の処理動作を示すフローチャート図、図11および図12は、同IC試験装置のソケット電気特性相関取得におけるトレイの推移を示す模式図である。
【0062】
前述したように、本実施形態では、図5および図11(a)に示すような10行×6列のカスタマトレイ、図7および図11(b)〜図12(i)に示すような2行×16列のテストトレイ、ならびに図12(j)に示すような2行×8列のソケット(T1〜T16)を用いるものとする。また、本実施形態では、一例として、判明しているデータが異なる4個の評価用ICチップA,B,C,Dを使用してソケット40の電気特性相関取得を行うが、これに限定されることなく、2個以上の任意の数の評価用ICチップを使用することができる。
【0063】
なお、本実施形態におけるハンドラ1のアンローダ部400のX−Y搬送装置404は、ICチップをテストトレイからカスタマトレイに積み替えるときに、テストトレイの行の若い方(図11,図12中下方が若い行)、同じ行では列の若い方(図11,図12中左方が若い列)から順にICチップをピックアップして、カスタマトレイの行の若い方(図11中下方が若い行)、同じ行では列の若い方(図11中左方が若い列)から順に積むように設定されている。
【0064】
まず、オペレータは、ハンドラ1の処理動作を、図2に示すようなインターフェイス部110にて設定するとともに、図11(a)に示すように、判明しているデータが異なる4個の評価用ICチップA〜Dを、それぞれカスタマトレイの1行1列〜4列に収納し、そのカスタマトレイを試験前ICストッカ201にセットする。
【0065】
そしてIC試験装置10をスタートさせると、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図11(b)に示すように、評価用ICチップA〜Dをカスタマトレイからテストトレイに積み込む(ステップS101)。このとき、評価用ICチップA〜Dは、それぞれテストトレイの1行2列、1行4列、1行6列および1行8列に積み込まれる。
【0066】
評価用ICチップA〜Dを積んだテストトレイは、テストトレイ搬送装置108によってチャンバ100内に送り込んだ後、チャンバ100内のテストトレイ搬送装置によってテストヘッド5まで搬送する。そして、テストトレイに積まれた各評価用ICチップA〜Dをプッシャによってテストヘッド5のソケット40に電気的に接続させ、電気特性の試験を行う(ステップS102)。このとき、評価用ICチップA〜Dは、それぞれ1行1列目のソケットT1、1行2列目のソケットT2、1行3列目のソケットT3および1行4列目のソケットT4に装着される(図11(b),図12(j)参照)。
【0067】
このようにして1回目の試験を行った後、評価用ICチップA〜Dを積んだテストトレイをテストトレイ搬送装置108によってアンローダ部400まで搬送すると(ステップS103)、アンローダ部400のX−Y搬送装置404が、評価用ICチップA〜Dをテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS104)。
【0068】
評価用ICチップA〜Dを積んだカスタマトレイは、エレベータ204によって、一旦試験済ICストッカ202に格納する(ステップS105)。ハンドラ1の制御部は、全ての試験が終了したか否かを判断し(ステップS106)、Noと判断した場合には、一旦試験済ICストッカ202に格納したカスタマトレイ(評価用ICチップA〜Dを積んでいる)を、トレイ移送アーム205によってローダ部300に搬送し(ステップS107)、処理動作をステップS101に戻す。
【0069】
2回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図11(c)に示すように、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの1行4列、1行6列、1行8列および1行10列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ1行2列目のソケットT2、1行3列目のソケットT3、1行4列目のソケットT4および1行5列目のソケットT5に装着され(図11(c),図12(j)参照)、2回目の試験が行われる。
【0070】
3回目の試験および4回目の試験においても同様にして、評価用ICチップA〜Dが前回の試験で装着されたソケットの次列のソケットに装着されるように、当該評価用ICチップA〜Dを取り扱う。
【0071】
5回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図11(d)に示すように、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの1行10列、1行12列、1行14列および1行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ1行5列目のソケットT5、1行列目のソケットT6、1行7列目のソケットT7および1行8列目のソケットT8に装着され(図11(d),図12(j)参照)、5回目の試験が行われる。
【0072】
6回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図11(e)に示すように、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの1行12列、1行14列、1行16列および2行2列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ1行6列目のソケットT6、1行7列目のソケットT7、1行8列目のソケットT8および2行1列目のソケットT9に装着され(図11(e),図12(j)参照)、6回目の試験が行われる。
【0073】
7回目の試験〜12回目の試験においても同様にして、評価用ICチップA〜Dが、前回の試験で装着されたソケットの次列のソケットに装着されるように、または次列にソケットがない場合には、次行(2行)1列目のソケットに装着されるように、当該評価用ICチップA〜Dを取り扱う。
【0074】
13回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図12(f)に示すように、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの2行10列、2行12列、2行14列および2行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ2行5列目のソケットT13、2行6列目のソケットT14、2行7列目のソケットT15および2行8列目のソケットT16に装着され(図12(f),(j)参照)、13回目の試験が行われる。
【0075】
14回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図12(g)に示すように、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの2行12列、2行14列、2行16列および1行2列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ2行6列目のソケットT14、2行7列目のソケットT15、2行8列目のソケットT16および1行1列目のソケットT1に装着され(図12(g),(j)参照)、14回目の試験が行われる。
【0076】
15回目の試験においても同様にして、評価用ICチップA〜Dが、前回の試験で装着されたソケットの次列のソケットに装着されるように、または次列にソケットがない場合には、次行(1行)1列目のソケットに装着されるように、当該評価用ICチップA〜Dを取り扱う。
【0077】
16回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図12(h)に示すように、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの2行16列、1行2列、1行4列および1行6列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ2行8列目のソケットT16、1行1列目のソケットT1、1行2列目のソケットT2および1行3列目のソケットT3に装着され(図12(h),(j)参照)、16回目の試験が行われる。
【0078】
このようにして16回目の試験を行った後、評価用ICチップA〜Dを積んだテストトレイをテストトレイ搬送装置108によってアンローダ部400まで搬送すると(ステップS103)、アンローダ部400のX−Y搬送装置404が、評価用ICチップA〜Dをテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS104)。
【0079】
評価用ICチップA〜Dを積んだカスタマトレイは、エレベータ204によって、一旦試験済ICストッカ202に格納する(ステップS105)。ハンドラ1の制御部は、全ての試験が終了したか否かを判断し(ステップS106)、Yesと判断した場合には、一旦試験済ICストッカ202に格納したカスタマトレイ(評価用ICチップA〜Dを積んでいる)を、トレイ移送アーム205によってローダ部300に搬送する(ステップS108)。
【0080】
次いで、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図12(i)に示すように、評価用ICチップA〜Dをカスタマトレイからテストトレイに積み込む(ステップS109)。このとき、評価用ICチップA〜Dは、それぞれテストトレイの1行2列、1行4列、1行6列および1行8列に積み込まれる。
【0081】
評価用ICチップA〜Dを積んだテストトレイは、テストトレイ搬送装置108によってチャンバ100内に送り込んだ後、チャンバ100内のテストトレイ搬送装置によってテストヘッド5まで搬送する。そして、試験を行うことなく、評価用ICチップA〜Dを積んだテストトレイを、テストトレイ搬送装置108によってアンローダ部400まで搬送する(ステップS110)。
【0082】
アンローダ部400まで搬送した評価用ICチップA〜Dは、アンローダ部400のX−Y搬送装置404によってテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS111)。このとき、アンローダ部400のX−Y搬送装置404は、評価用ICチップA〜DをテストトレイからA,B,C,Dの順にピックアップし、その順でカスタマトレイの1行1列〜4列に積むため、評価用ICチップA〜Dは、図11(a)に示すような配置でカスタマトレイに積み替えられることとなる。
【0083】
このようにして評価用ICチップA〜Dを積んだカスタマトレイは、エレベータ204によって、試験済ICストッカ202に格納する(ステップS112)。
【0084】
以上のようなシーケンスにより、全てのソケットT1〜T16に対して評価用ICチップA〜Dの全てを装着して電気特性の試験を行い、各ソケットT1〜T16の電気特性の相関を取得する。評価用ICチップA〜Dは、それぞれ異なるデータを有するため、ソケット40の電気特性の相関を複数のデータから多面的に取得し、それに基づいて、複数のソケット40の電気特性が種々のICチップ2に対して均一となるように、また各ソケット40が所望の電気特性を示すように、試験用メイン装置により各ソケットの電気特性の微調整を行うことができる。このような作業によって、ソケット40の測定精度を向上させ、ソケット40の電気特性不良、各ソケット40相互間の電気特性のバラツキに起因する不正確な試験結果を排除し、IC試験装置10の信頼性を確保することができる。
【0085】
なお、一連のシーケンスが終了した段階で、評価用ICチップA〜Dは、最初にカスタマトレイに積まれた配置と同じ配置でカスタマトレイに積まれるため、評価用ICチップA〜Dのカスタマトレイへの入れ替え作業を要することなく、上記シーケンスを複数回繰り返し行うことができる。
【0086】
〔第2の実施形態〕
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図13は本発明の第2の実施形態に係るIC試験装置で用いられるテストトレイを示す一部分解斜視図、図14および図15は、同IC試験装置のソケット電気特性相関取得におけるトレイの推移を示す模式図である。なお、実施形態の異同にかかわらず、図中、同一の名称で表現される部材等には、同一の番号を付すものとする。
【0087】
前述した第1の実施形態に係るIC試験装置は、図12(j)に示すようにテストヘッド上に2行×8列のソケット(T1〜T16)を有し、図7および図11(b)〜図12(i)に示すように2行×16列のテストトレイTSTを使用するものであったが、第2の実施形態に係るIC試験装置は、図15(h)に示すようにテストヘッド上に4行×16列のソケット(T1〜T64)を有し、図13および図14(b)〜図15(g)に示すように4行×16列のテストトレイTSTを使用するものであり、それ以外は、第1の実施形態に係るIC試験装置と同様の構成を有する。このように、第2の実施形態に係るIC試験装置は、テストトレイTSTに保持してある全てのICチップを同時にテストできるタイプのものである。
【0088】
以下、第2の実施形態に係るIC試験装置において、各ソケットの電気特性の相関を取得するためのシーケンスについて説明する。なお、ソケット電気特性相関取得に関する一連の処理動作は、第1の実施形態に係るIC試験装置と同様に、図9および図10のフローチャート図によって示される。
【0089】
ここで、本実施形態では、図5および図14(a)に示すような10行×6列のカスタマトレイを用いるものとする。また、本実施形態では、一例として、判明しているデータが異なる4個の評価用ICチップA,B,C,Dおよび60個のダミーのICチップ1〜60を使用してソケットの電気特性相関取得を行う。
このようにダミーのICチップ1〜60を使用してテストトレイのICチップ収納部を全て埋めることにより、実際にICチップの試験を行うときと同様の条件(例えば、ICチップとソケットとの接触圧等の条件)で試験を行うことができる。
【0090】
まず、オペレータは、ハンドラ1の処理動作を、図2に示すようなインターフェイス部110にて設定するとともに、図14(a)に示すように、判明しているデータが異なる4個の評価用ICチップA〜Dを、それぞれ第1のカスタマトレイの1行1列〜4列に収納し、ダミーのICチップ1〜56を、それぞれ第1のカスタマトレイの1行5列〜10行6列に収納し、ダミーのICチップ57〜60を、それぞれ第2のカスタマトレイの1行1列〜1行4列に収納し、それらカスタマトレイを試験前ICストッカ201にセットする。
【0091】
そしてIC試験装置10をスタートさせると、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図14(b)に示すように、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を順次カスタマトレイからテストトレイに積み込む(ステップS101)。このとき、評価用ICチップA〜Dは、それぞれテストトレイの1行1列〜4列に積み込まれ、ダミーのICチップ1〜60は、それぞれテストトレイの1行5列〜4行16列に積み込まれる。
【0092】
評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだテストトレイは、テストトレイ搬送装置108によってチャンバ100内に送り込んだ後、チャンバ100内のテストトレイ搬送装置によってテストヘッド5まで搬送する。そして、テストトレイに積まれた各評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60をプッシャによってテストヘッド5のソケット40に電気的に接続させ、電気特性の試験を行う(ステップS102)。このとき、評価用ICチップA〜Dは、それぞれ1行1列目のソケットT1〜1行4列目のソケットT4に装着され、ダミーのICチップ1〜60は、それぞれ1行5列目のソケットT5〜4行16列目のソケットT64に装着される(図14(b),図15(h)参照)。
【0093】
このようにして1回目の試験を行った後、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだテストトレイをテストトレイ搬送装置108によってアンローダ部400まで搬送すると(ステップS103)、アンローダ部400のX−Y搬送装置404が、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60をテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS104)。
【0094】
評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだカスタマトレイは、エレベータ204によって、一旦試験済ICストッカ202に格納する(ステップS105)。ハンドラ1の制御部は、全ての試験が終了したか否かを判断し(ステップS106)、Noと判断した場合には、一旦試験済ICストッカ202に格納したカスタマトレイ(評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んでいる)を、トレイ移送アーム205によってローダ部300に搬送し(ステップS107)、処理動作をステップS101に戻す。
【0095】
2回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図14(c)に示すように、ダミーのICチップ60をテストトレイの1行1列に積み込み、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの1行2列〜5列に積み込み、ダミーのICチップ1〜59を、それぞれテストトレイの1行6列〜4行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ1行2列目のソケットT2〜1行5列目のソケットT5に装着され、ダミーのICチップ1〜59は、それぞれ1行6列目のソケットT6〜4行16列目のソケットT64に装着され、ダミーのICチップ60は、1行1列目のソケットT1に装着され(図14(c),図15(h)参照)、2回目の試験が行われる。
【0096】
3回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図14(d)に示すように、ダミーのICチップ59〜60を、それぞれテストトレイの1行1列〜2列に積み込み、評価用ICチップA〜Dを、それぞれテストトレイの1行3列〜6列に積み込み、ダミーのICチップ1〜58を、それぞれテストトレイの1行7列〜4行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Dは、ステップS102において、それぞれ1行3列目のソケットT3〜1行6列目のソケットT6に装着され、ダミーのICチップ1〜58は、それぞれ1行7列目のソケットT7〜4行16列目のソケットT64に装着され、ダミーのICチップ59〜60は、それぞれ1行1列目のソケットT1〜1行2列目のソケットT2に装着され(図14(d),図15(h)参照)、3回目の試験が行われる。
【0097】
4回目の試験〜62回目の試験においても同様にして、各ICチップ(評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60)が、それぞれ前回の試験で装着されたソケットの次列のソケットに装着されるように、または次列にソケットがない場合には、次行(4行の次は1行)1列目のソケットに装着されるように、当該評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を取り扱う。
【0098】
63回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図15(e)に示すように、評価用ICチップC〜Dを、それぞれテストトレイの1行1列〜2列に積み込み、ダミーのICチップ1〜60を、それぞれテストトレイの1行3列〜4行14列に積み込み、評価用ICチップA〜Bを、それぞれテストトレイの4行15列〜4行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップA〜Bは、ステップS102において、それぞれ4行15列目のソケットT63〜4行16列目のソケットT64に装着され、評価用ICチップC〜Dは、それぞれ1行1列目のソケットT1〜1行2列目のソケットT2に装着され、ダミーのICチップ1〜60は、それぞれ1行3列目のソケットT3〜4行14列目のソケットT62に装着され(図15(e),(h)参照)、63回目の試験が行われる。
【0099】
64回目の試験を行うにあたり、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図15(f)に示すように、評価用ICチップB〜Dを、それぞれテストトレイの1行1列〜3列に積み込み、ダミーのICチップ1〜60を、それぞれテストトレイの1行4列〜4行15列に積み込み、評価用ICチップAをテストトレイの4行16列に積み込む。このようにテストトレイに積み込まれた評価用ICチップAは、ステップS102において、4行16列目のソケットT64に装着され、評価用ICチップB〜Dは、それぞれ1行1列目のソケットT1〜1行3列目のソケットT3に装着され、ダミーのICチップ1〜60は、それぞれ1行4列目のソケットT4〜4行15列目のソケットT63に装着され(図15(f),(h)参照)、64回目の試験が行われる。
【0100】
このようにして64回目の試験を行った後、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだテストトレイをテストトレイ搬送装置108によってアンローダ部400まで搬送すると(ステップS103)、アンローダ部400のX−Y搬送装置404が、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60をテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS104)。
【0101】
評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだカスタマトレイは、エレベータ204によって、一旦試験済ICストッカ202に格納する(ステップS105)。ハンドラ1の制御部は、全ての試験が終了したか否かを判断し(ステップS106)、Yesと判断した場合には、一旦試験済ICストッカ202に格納したカスタマトレイ(評価用ICチップA〜Dを積んでいる)を、トレイ移送アーム205によってローダ部300に搬送する(ステップS108)。
【0102】
次いで、ローダ部300のX−Y搬送装置304は、図15(g)に示すように、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60をカスタマトレイからテストトレイに積み込む(ステップS109)。このとき、評価用ICチップA〜Dは、それぞれテストトレイの1行1列〜4列に積み込まれ、ダミーのICチップ1〜60は、それぞれテストトレイの1行5列〜4行16列に積み込まれる。
【0103】
評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだテストトレイは、テストトレイ搬送装置108によってチャンバ100内に送り込んだ後、チャンバ100内のテストトレイ搬送装置によってテストヘッド5まで搬送する。そして、試験を行うことなく、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだテストトレイを、テストトレイ搬送装置108によってアンローダ部400まで搬送する(ステップS110)。
【0104】
アンローダ部400まで搬送した評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60は、アンローダ部400のX−Y搬送装置404によってテストトレイからカスタマトレイに積み替える(ステップS111)。このとき、アンローダ部400のX−Y搬送装置404は、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60をテストトレイから評価用ICチップA〜D、ダミーのICチップ1〜60の順にピックアップし、その順でカスタマトレイの1行1列〜4行16列に積むため、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60は、図14(a)に示すような配置でカスタマトレイに積み替えられることとなる。
【0105】
このようにして評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60を積んだカスタマトレイは、エレベータ204によって、試験済ICストッカ202に格納する(ステップS112)。
【0106】
以上のようなシーケンスにより、全てのソケットT1〜T64に対して評価用ICチップA〜Dの全てを装着して電気特性の試験を行い、各ソケットT1〜T64の電気特性の相関を取得する。評価用ICチップA〜Dは、それぞれ異なるデータを有するため、ソケット40の電気特性の相関を複数のデータから多面的に取得し、それに基づいて、複数のソケット40の電気特性が種々のICチップ2に対して均一となるように、また各ソケット40が所望の電気特性を示すように、試験用メイン装置により各ソケットの電気特性の微調整を行うことができる。このような作業によって、ソケット40の測定精度を向上させ、ソケット40の電気特性不良、各ソケット40相互間の電気特性のバラツキに起因する不正確な試験結果を排除し、IC試験装置の信頼性を確保することができる。
【0107】
なお、一連のシーケンスが終了した段階で、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60は、最初にカスタマトレイに積まれた配置と同じ配置でカスタマトレイに積まれるため、評価用ICチップA〜DおよびダミーのICチップ1〜60のカスタマトレイへの入れ替え作業を要することなく、上記シーケンスを複数回繰り返し行うことができる。
【0108】
〔その他の実施形態〕
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【0109】
例えば、上記実施形態のソケット電気特性相関取得シーケンスにおける最後の工程(第1の実施形態では17回目,第2の実施形態では65回目)では試験を行わなかったが、本発明はこれに限定されることなく、各ICチップをソケットに装着して試験を行うようにしてもよい。また、評価用ICチップを、ソケットに装着して試験を行う最後の工程(第1の実施形態では16回目,第2の実施形態では64回目)終了時に、あるいは、各工程終了時に、最初にカスタマトレイに積まれた配置と同じ配置でカスタマトレイに積むようにすれば、上記実施形態のソケット電気特性相関取得シーケンスにおける最後の工程(第1の実施形態では17回目,第2の実施形態では65回目)は、なくてもよい。さらに、上記実施形態に係るIC試験装置は、チャンバタイプのものに限定されることなく、チャンバレスタイプのものであってもよい。
【0110】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のソケットの電気特性相関取得方法、ハンドラ、ハンドラの制御方法または電子部品試験装置によれば、複数のソケットの電気特性が種々の電子部品に対して均一となり、かつ各ソケットが所望の電気特性を示すように、試験用メイン装置により各ソケットの電気特性を微調整することができるよう、ソケットの電気特性の相関を取得することができ、それも煩雑な作業を要することなく取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係るIC試験装置の全体側面図である。
【図2】図1に示すハンドラの斜視図である。
【図3】被試験ICの取り廻し方法を示すトレイのフローチャート図である。
【図4】同IC試験装置のICストッカの構造を示す斜視図である。
【図5】同IC試験装置で用いられるカスタマトレイを示す斜視図である。
【図6】同IC試験装置の試験チャンバ内の要部断面図である。
【図7】同IC試験装置で用いられるテストトレイを示す一部分解斜視図である。
【図8】同IC試験装置のテストヘッドにおけるソケット付近の構造を示す分解斜視図である。
【図9】同IC試験装置のソケット電気特性相関取得に関する一連の処理動作を示すフローチャート図である。
【図10】同IC試験装置のソケット電気特性相関取得に関する一連の処理動作を示すフローチャート図である。
【図11】同IC試験装置のソケット電気特性相関取得におけるトレイの推移を示す模式図である。
【図12】同IC試験装置のソケット電気特性相関取得におけるトレイの推移を示す模式図である。
【図13】第2の実施形態に係るIC試験装置で用いられるテストトレイを示す一部分解斜視図である。
【図14】同IC試験装置のソケット電気特性相関取得におけるトレイの推移を示す模式図である。
【図15】同IC試験装置のソケット電気特性相関取得におけるトレイの推移を示す模式図である。
【図16】従来のソケット電気特性相関取得方法における電子部品試験装置の一連の処理動作を示すフローチャート図である。
【図17】従来のソケット電気特性相関取得方法におけるトレイの推移を示す模式図である。
【符号の説明】
1…ハンドラ
2…ICチップ(電子部品)
5…テストヘッド
10…IC試験装置(電子部品試験装置)
40…ソケット
Claims (10)
- 判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、テストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに順次装着し、前記評価用電子部品が装着されていない全てのソケットには常にダミーの電子部品を装着して試験を行うことにより、各ソケットの電気特性の相関を取得することを特徴とする、電子部品試験装置におけるソケットの電気特性相関取得方法。
- 判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品をカスタマトレイからテストトレイの収納部に積み込み、前記テストトレイの収納部に積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着して試験を行った後、前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替える第1工程と、
前記カスタマトレイに積み替えた評価用電子部品を、前記試験にて装着されたソケットとは異なるソケットに装着されるようにテストトレイの収納部に積み込み、前記テストトレイの収納部に積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着して試験を行った後、前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替える第2工程とを行い、
各評価用電子部品がテストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに装着され試験されるように、前記第2工程を繰り返し行うとともに、
前記試験において、前記評価用電子部品が装着されていない全てのソケットに常にダミーの電子部品が装着されるように、前記テストトレイの、前記評価用電子部品が積み込まれた収納部以外の収納部に、前記ダミーの電子部品を積み込むことを特徴とする、電子部品試験装置におけるソケットの電気特性相関取得方法。 - 前記評価用電子部品を、テストトレイの収納部の行の若い方、同じ行では列の若い方から順に、前記テストトレイの収納部からピックアップしてカスタマトレイに積み替えるようにし、
前記第1工程において、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、
前記第2工程において、前記評価用電子部品が、前記試験にて装着されたソケットの次列のソケット、または次列にソケットがない場合には、次行1列目のソケットに装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、
各評価用電子部品がテストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに装着され試験されるまで、前記第2工程を繰り返し行った後、再度、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着され得る状態になるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、そして、前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替えることを特徴とする請求項2に記載の電気特性相関取得方法。 - 判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、テストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに順次装着させ、前記評価用電子部品が装着されていない全てのソケットには常にダミーの電子部品を装着させることのできるように設定されていることを特徴とするハンドラ。
- 判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品をカスタマトレイからテストトレイの収納部に積み込み、前記テストトレイの収納部に積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替える第1工程と、
前記カスタマトレイに積み替えた評価用電子部品を、前記試験にて装着されたソケットとは異なるソケットに装着されるようにテストトレイの収納部に積み込み、前記テストトレイの収納部に積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替える第2工程とを行い、
各評価用電子部品がテストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに装着され試験されるように、前記第2工程を繰り返し行うとともに、
前記試験において、前記評価用電子部品が装着されていない全てのソケットに常にダミーの電子部品が装着されるように、前記テストトレイの、前記評価用電子部品が積み込まれた収納部以外の収納部に、前記ダミーの電子部品を積み込むことを特徴とするハンドラ。 - 前記評価用電子部品を、テストトレイの収納部の行の若い方、同じ行では列の若い方から順に、前記テストトレイの収納部からピックアップしてカスタマトレイに積み替えるように設定されており、
前記第1工程では、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、
前記第2工程では、前記評価用電子部品が、前記試験にて装着されたソケットの次列のソケット、または次列にソケットがない場合には、次行1列目のソケットに装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、
各評価用電子部品がテストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに装着され試験されるまで前記第2工程を繰り返し行った後に、再度、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着され得る状態になるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、そして、前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替えることを特徴とする請求項5に記載のハンドラ。 - 判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品のそれぞれを、テストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに順次装着させ、前記評価用電子部品が装着されていない全てのソケットには常にダミーの電子部品を装着させることのできるようにハンドラを制御することを特徴とするハンドラの制御方法。
- 判明しているデータが異なる複数の評価用電子部品をカスタマトレイからテストトレイの収納部に積み込み、前記テストトレイの収納部に積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替える第1工程と、
前記カスタマトレイに積み替えた評価用電子部品を、前記試験にて装着されたソケットとは異なるソケットに装着されるようにテストトレイの収納部に積み込み、前記テストトレイの収納部に積み込んだ各評価用電子部品をソケットに装着し、試験が行われた後に前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替える第2工程とを行い、
前記第2工程を繰り返し行い、各評価用電子部品がテストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに装着され試験されるとともに、
前記試験において、前記評価用電子部品が装着されていない全てのソケットに常にダミーの電子部品が装着されるように、前記テストトレイの、前記評価用電子部品が積み込まれた収納部以外の収納部に、前記ダミーの電子部品を積み込むように、ハンドラを制御することを特徴とするハンドラの制御方法。 - 前記評価用電子部品を、テストトレイの収納部の行の若い方、同じ行では列の若い方から順に、前記テストトレイの収納部からピックアップしてカスタマトレイに積み替えるようにハンドラを制御するとともに、
前記第1工程では、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、
前記第2工程では、前記評価用電子部品が、前記試験にて装着されたソケットの次列のソケット、または次列にソケットがない場合には、次行1列目のソケットに装着されるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、
各評価用電子部品がテストヘッドに設けられた複数のソケットにおける全てのソケットに装着され試験されるまで前記第2工程を繰り返し行った後に、再度、前記評価用電子部品が前記ソケットの行の若い方、同じ行では列の若い方から装着され得る状態になるように、前記評価用電子部品をテストトレイの収納部に積み込み、そして、前記評価用電子部品を前記テストトレイの収納部からカスタマトレイに積み替えるように、ハンドラを制御することを特徴とする請求項8に記載のハンドラの制御方法。 - 請求項4〜6のいずれかに記載のハンドラを備えたことを特徴とする電子部品試験装置。
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