JP4647504B2 - 溶液吐出装置及び溶液吐出方法 - Google Patents
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T. Onda他 Super-Water-Repellent Fractal Surfaces,Langmuir (米国 American Chemical Society 1996.5.1 12巻 9号 2125〜2127ページ) Y. Suzuki他 FRPの親水性技術表面技術 (日本 日立化成テクニカルレポート 2005.1 44巻 35〜40ページ)
本発明は、このような事情に鑑み、その目的は、吐出した溶液を乾燥させるにあたって、溶質が液滴の隅へ移動することを防いで、均一な厚みのドットを作製することにある。
すなわち、請求項1に係る溶液吐出装置は、基板上に溶液を液滴状に吐出する溶液吐出具を備えた溶液吐出装置であって、先端が基板上あるいは基板上近傍に位置された棒状の補助具を備え、前記補助具の先端は、前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液が乾燥するまでの間、その吐出された溶液と接触する接触位置を維持するように配置されていることを特徴とする。
請求項2に係る溶液吐出装置は、請求項1に記載の溶液吐出装置において、前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端が、水平方向及び鉛直方向に振動可能に構成されていることを特徴とする。
請求項3に係る溶液吐出装置は、請求項1または請求項2に記載の溶液吐出装置において、前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端の表面が、凹凸状に粗く形成されていることを特徴とする。
請求項4に係る溶液吐出装置は、請求項1または請求項2に記載の溶液吐出装置において、前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端の表面に、自己集合膜が被覆されていることを特徴とする。
請求項5に係る溶液吐出装置は、請求項1から請求項4の何れか一項に記載の溶液吐出装置において、前記補助具が、前記溶液吐出具を兼ねて構成されていることを特徴とする。
請求項6に係る溶液吐出装置は、請求項1から請求項5の何れか一項に記載の溶液吐出装置において、前記補助具の材質に、ガラスが選択されていることを特徴とする。
請求項8に係る溶液吐出方法は、請求項7に記載の溶液吐出方法において、前記溶液吐出具によって基板上に液滴状に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端が、その吐出された溶液が乾燥するまでの間、その溶液に接触させたままの状態で、水平方向及び鉛直方向に振動することを特徴とする。
請求項9に係る溶液吐出方法は、請求項7または請求項8に記載の溶液吐出方法が、基板上の同一箇所において、複数回に亘って繰り返し行われることを特徴とする。
請求項10に係る溶液吐出方法は、請求項7から請求項9のうち何れか一項に記載の溶液吐出方法において、前記溶液吐出具によって基板上に液滴状に吐出された溶液が、その基板上に設けられた電極上にめがけられたものであることを特徴とする。
また、吐出する溶媒としては、水、エタノール、メタノール、アセトン、トルエンなどの一般的な有機溶媒を選択することが可能であり、また、それらを適宜混合したものを選択することも可能である。さらに、溶液の粘度を変えるためにグリセロールや液体パラフィンなどを混合することも可能である。
電極上に吐出する場合には、電気化学的あるいは電気的に活性な化学物質を含む溶液を吐出することも意味がある。
次に、本発明に係る溶液吐出装置及び溶液吐出方法の第1の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下において説明する、本発明に係る均一な厚みのドットを作製するための溶液の吐出装置およびその方法は、棒状(先端加工が無い)の補助具を用いた例である。図1は溶液吐出装置の概念図、図2は補助具の先端箇所を拡大した図である。
次に、上述した第1の実施の形態とは異なる第2の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下において説明する、本発明に係る均一な厚みのドットを作製するための溶液の吐出装置およびその方法は、補助具の先端が第1の実施の形態とは異なる加工がなされた例である。また、上述の第1の実施の形態と同様に構成される箇所においては、同一の符号を付して、その説明を省略する。
10 溶液吐出具
20 補助具
20a 補助具の先端
50 溶液
K 基板
Claims (10)
- 基板上に溶液を液滴状に吐出する溶液吐出具を備えた溶液吐出装置であって、
先端が基板上あるいは基板上近傍に位置された棒状の補助具を備え、
前記補助具の先端は、前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液が乾燥するまでの間、その吐出された溶液と接触する接触位置を維持するように配置されていることを特徴とする溶液吐出装置。 - 請求項1に記載の溶液吐出装置において、
前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端が、水平方向及び鉛直方向に振動可能に構成されていることを特徴とする溶液吐出装置。 - 請求項1または請求項2に記載の溶液吐出装置において、
前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端の表面が、凹凸状に粗く形成されていることを特徴とする溶液吐出装置。 - 請求項1または請求項2に記載の溶液吐出装置において、
前記溶液吐出具から基板上に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端の表面に、自己集合膜が被覆されていることを特徴とする溶液吐出装置。 - 請求項1から請求項4の何れか一項に記載の溶液吐出装置において、
前記補助具が、前記溶液吐出具を兼ねて構成されていることを特徴とする溶液吐出装置。 - 請求項1から請求項5の何れか一項に記載の溶液吐出装置において、
前記補助具の材質に、ガラスが選択されていることを特徴とする溶液吐出装置。 - 基板上に溶液を液滴状に吐出する溶液吐出方法であって、
基板上に溶液を液滴状に吐出する溶液吐出具によって基板上に液滴状に溶液を吐出させ、
棒状の補助具の先端が、その吐出された溶液が乾燥するまでの間、その溶液に接触させることを特徴とする溶液吐出方法。 - 請求項7に記載の溶液吐出方法において、
前記溶液吐出具によって基板上に液滴状に吐出された溶液と接触する前記補助具の先端が、その吐出された溶液が乾燥するまでの間、その溶液に接触させたままの状態で、水平方向及び鉛直方向に振動することを特徴とする溶液吐出方法。 - 請求項7または請求項8に記載の溶液吐出方法が、基板上の同一箇所において、複数回に亘って繰り返し行われることを特徴とする溶液吐出方法。
- 請求項7から請求項9のうち何れか一項に記載の溶液吐出方法において、
前記溶液吐出具によって基板上に液滴状に吐出された溶液が、その基板上に設けられた電極上にめがけられたものであることを特徴とする溶液吐出方法。
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