JP4646548B2 - Al2O3系セラミックスの製造方法 - Google Patents
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Description
平均粒径0.3μmのAl2O3原料(純度99.9%以上)と、平均粒径1.0μmのTiC原料(純度99.5%以上)を使用し、これらをセラミックスの組成としてAl2O3、TiC、および焼結助剤がそれぞれ表1に示す割合となるように秤量し、溶媒にメタノールを使用して前記原料固形分に対して80質量%添加し、振動ミルを用いて120時間粉砕混合した。得られた原料スラリーの平均粒子径は0.4μmであった。
、△印、×印の3段階に区分し、順次機械加工性が低下することを表す。同様にして、限外ろ過を行わなかった試料の結果についても表1中に7・8・9として示す。
平均粒径0.3μmのAl2O3原料(純度99.9%以上)と、平均粒径1.2μmのTiN原料(純度99.5%以上)とを使用し、これらをセラミックスの組成としてAl2O3、TiN、および焼結助剤がそれぞれ表2に示す割合となるように秤量し、溶媒にメタノールを使用して前記原料固形分に対して80質量%添加し、振動ミルを用いて120時間粉砕混合した。得られた原料スラリーの平均粒子径は0.5μmであった。
平均粒径0.3μmのAl2O3原料(純度99.9%以上)と、平均粒径1.0μmのTiC原料(純度99.5%以上)、平均粒径1.2μmのTiN原料(純度99.5%以上)を使用し、これらをセラミックスの組成としてAl2O3、TiN、および焼結助剤がそれぞれ表3に示す割合となるように秤量し、溶媒にメタノールを使用して前記原料固形分に対して80質量%添加し、振動ミルを用いて120時間粉砕混合した。得られた原料スラリーの平均粒子径は0.5μmであった。
2:スライダ浮上面
3:レール
4:溝
5:ステップ部
10:磁気ヘッド用基板
11:ブロック
11a:測定面
11b:平行面
20:スラリー
21:攪拌タンク
22:攪拌機
23:送液ポンプ
24:限外ろ過膜装置
25:微粒子含有スラリー
Al2O3:Al2O3結晶
TiC:TiC結晶
Al:Al2O3結晶
Ti:TiC結晶
Claims (1)
- Al 2 O 3 粉末と、TiCおよびTiNから選ばれる少なくとも1種の粉末とを所定の比率で添加、混合した後、限外ろ過法を用いて作製したスラリーを乾燥させ成形し、焼成することによって、50〜95質量%のAl 2 O 3 と、TiCおよびTiNから選ばれる少なくとも1種を5〜50質量%含有するAl 2 O 3 系セラミックスであって、該セラミックス中の平均結晶粒径が0.5〜1.2μmで、かつ、最小結晶粒径が0.2μm以上であるAl 2 O 3 系セラミックスを得ることを特徴とするAl2O3系セラミックスの製造方法。
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