JP3121980B2 - 磁気ヘッド用基板 - Google Patents
磁気ヘッド用基板Info
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Description
は反応性イオンエッチング法(Reactive IonEtching法
=RIE法)などのイオンの照射によって磁気記録面と
対向する面の一部にイオンの照射により加工された加工
部を有する磁気ヘッド用基板に関するもので、特に、A
l 2 O 3 −TiC系焼結体からなる磁気ヘッド用基板に
関する。
ヘッドは、所定の基板の表面にスパッタリングなどの薄
膜手法により磁気ヘッド回路を形成するもので、磁気ギ
ャップが小さく制御できるために高密度記録が可能であ
ることから開発がさかんに行われている。この薄膜磁気
ヘッドにおいて用いられる基板は、磁気記録媒体と対面
する表面がスライダー浮上面として機能することから、
その基板表面には溝やステップ部などの種々の加工が施
される。
機械加工で行われるために、基板としては、耐摩耗性が
優れる、鏡面加工性に優れる、スライシング加工時の耐
チッピング性および機械加工性に優れるなどの特性が要
求されている。
て、Al2 O3に対してTiCを含有するAl2 O3−T
iC系焼結体が多用されている。このAl2 O3−Ti
C系焼結体は、上記の特性を満足させるためにMgOや
Y2 O3 などの焼結助剤を添加し、完全に緻密焼結体と
することにより鏡面加工性を向上させたり、焼結体の結
晶粒をおよそ1.5〜3μm程度に粒成長させることに
よりスライシング時の耐チッピング性や機械加工性を向
上させていた。
い、磁気ヘッドの磁気記録面からの浮上量がさらに小さ
くなりつつあり、これに伴い、スライダー浮上面には平
面度、面粗さ、クラウン、キャンバー、ブレンディング
等の高い寸法精度が要求される加工が施され、その代表
的なものに、TPC(Transverse Pressurization Cont
our)またはMRスライダーがある。従来の機械加工では
これらの要求に対しては十分に満足すべき加工ができな
いためにAr、CF4 、CCl4 、BCl3 などのイオ
ンを加工鏡面に照射しながら加工を行う、いわゆるイオ
ンミリング法またはRIE法による加工が検討されてい
る。
のAl2 O3−TiC系焼結体は、結晶粒径が比較的大
きく、全体の平均粒径で1.5〜3μm程度であるため
に、加工速度(エッチング速度、またはミリング速度)
が遅く、また、Al2 O3とTiCとでは加工速度が異
なるために加工後の表面品位も満足できるものは得られ
ていないのが現状である。
製することを目的として焼結助剤を数%含むために、焼
結体中のAl2 O3やTiCの結晶粒界に焼結助剤や、
焼結助剤とAl2 O3との化合物相やガラス相が多く存
在する。そのため、前述したイオンミリングまたはRI
E加工を行うと、粒界に存在する化合物相やガラス相が
TiCやAl2 O3と比べエッチング速度が著しく大き
いため粒界相が優先的にエッチングされたり、化合物相
やガラス相の分散が悪い場合には大きなくぼみとなり、
加工後の表面品位が劣化するという問題があった。
またはRIE加工等により超精密加工が施されたTPC
またはMRスライダーなどに好適な表面品位に優れる磁
気ヘッド用基板を提供することを目的とするものであ
る。
に対して検討を重ねた結果、Al2 O3とTiCの焼結
体中における結晶粒径をTiCよりAl2 O3の粒径が
相対的に大きくなるように組織を制御し、さらに全体と
しての結晶粒径を小さく制御することにより、イオンミ
リングまたはRIE加工した場合の加工速度が大きく、
また加工後の表面品位を従来の焼結体に比較して大幅に
改善できることを知見し、本発明に至った。
2 O3を主成分とし、TiCを20〜40重量%の割合
で含有するAl2 O3焼結体から成り、該焼結体中のA
l2O3の平均結晶粒径が、TiCの平均結晶粒径より5
〜50%大きく、該基板の磁気記録面と対向する面の一
部にイオンの照射により加工された加工部を有すること
を特徴とするものであり、さらには焼結体全体の平均結
晶粒径が1μm以下、TiCの平均結晶粒径が0.9μ
m以下であり上記結晶粒の粒界相の含有量が1.0重量
%以下であることを特徴とするものである。
Al2 O3−TiC系焼結体は、Al2 O3を主成分とす
るものであり、TiCを20〜40重量%の割合で含有
するものである。TiC量を上記の範囲に限定したの
は、TiCが20重量%より少ないと耐チッピング性が
低下し、40重量%を越えると表面品位は向上するもの
のイオン照射による加工時の加工速度が遅くなり不経済
となるためである。なお、TiC量は特に25〜35重
量%、さらには27〜33重量%が望ましい。
2 O3結晶粒とTiC結晶粒および粒界相により構成さ
れるが、本発明によれば、Al2 O3結晶粒の平均結晶
粒径が、TiC結晶粒の平均結晶粒径よりも大きく、A
l2 O3平均結晶粒径が、TiCの平均結晶粒径より5
〜50%、特に20〜40%大きいことが重要である。
この相対的な粒径の相違は、焼結体のイオン照射により
加工性に対して大きな影響を及ぼし、Al2 O3結晶粒
の大きさがTiC結晶粒と同レベルかそれより小さい場
合、あるいはAl2 O3結晶粒がTiC結晶粒より大き
くても5%未満の粒径差である場合には、いずれもイオ
ンによる加工後の加工面の平滑性が低下したり、加工速
度が小さくなったりする。逆にAl2 O3 結晶粒がTi
C結晶粒より50%を越えて大きい場合には、TiCの
加工速度がAl2 O3より大きくなる結果、加工速度は
大きくなるものの平滑性が低下する。
結晶粒との全体的な平均結晶粒径は1.0μm以下、特
に0.76μm以下であることが望ましく、TiC結晶
粒の平均粒径は0.9μm以下、特に0.65μm以下
であることが望ましい。これは、結晶粒径が上記範囲よ
り大きいと加工速度が遅くなり加工に長時間要するとと
もに、表面品位も低下する。
は、その焼結性を高めるために、各種の金属酸化物を焼
結助剤として添加することが行われているが、添加され
る焼結助剤は、Al2 O3と焼結過程で反応しAl2 O3
結晶粒やTiC結晶粒とは別に化合物相が形成された
り、あるいはガラス相として粒界相を形成する。例え
ば、MgOを添加した場合にはAl2 O3とスピネルな
どの化合物を形成する。このような化合物相やガラス相
は加工速度が非常に速いために、加工後の表面品位が低
下する恐れがある。そのため、焼結助剤を添加する場合
には、これらの焼結助剤成分を添加することにより生じ
る化合物相またはガラス相の粒界相の総量が全量に対し
て1重量%以下、特に0.7重量%以下、さらには0.
3重量%以下であることが望ましい。焼結助剤として
は、MgO、Y2 O3 、CaO、Yb2 O3 、SiO2
などが用いられるが、これらの中でもMgOが最も悪い
影響を与える。
ば、Al2 O3粉末とTiC粉末を、さらには所定の焼
結助剤を前述したような所定の比率で添加した後、これ
をボールミルなどの任意の混合方法により成形した後、
その成形体を1500〜1650℃の温度範囲でホット
プレス法、熱間静水圧焼成法(HIP法)などにより焼
成すればよい。前述したようにAl2 O3結晶粒とTi
C結晶粒の粒径を前述したように制御するには、出発原
料としていずれも粒径の小さい原料を用い、特に原料の
Al2 O3粉末がTiC粉末より大きい原料を選択し、
また焼成温度をできるだけ低く設定することが望まし
い。
イオンミリングやRIE法などのイオンの照射により加
工するには、被加工品となる前記焼結体を例えば、スパ
ッタ装置内で10-5torr以下の真空中にて被加工品
を陰極として、Ar+ イオンなどの不活性ガスなどのイ
オンや、CF4 、CCl4 、BCl4 等の反応性ガスの
イオンを600〜1000Vのビーム電圧で加速して照
射することにより、イオンを衝突させて被加工品の表面
をエッチング処理されて加工を行うことができる。
ドにおける磁気記録面と対向する面となるスライダー浮
上面に対して超精密加工を施すことができる。例えば、
TPCスライダーの1種としては、図1に示すように、
基板1のスライダー浮上面2に一対のレール3と溝4を
有し、さらにレール3の外側にステップ部5を有するも
ので、ステップ部の深さは0.5〜1μm、特に0.7
〜0.9μmに調整される。
は、上記Al2 O3−TiC系焼結体からなる素基板の
表面に加工すべき箇所以外を樹脂などのレジストパター
ンでフォトマスクを施し、そこにイオンを照射すること
によりレジストを施さない箇所をエッチングにより加工
することができる。その後、そのレジストを除去するこ
とにより形成することができる。
は、上記のTPCスライダーのステップ部の加工の他、
精密治具、測定用具、各種精密部品などの加工にも有用
である。
を構成するAl2 O3結晶粒とTiC結晶粒では、イオ
ンの照射により加工(ミリングまたはエッチング)する
場合、その加工速度はAl2 O3結晶粒の方が速い。そ
のため、従来のようにAl2O3結晶粒とTiC結晶粒が
ほぼ同程度の粒子径である場合、Al2 O3結晶粒の方
が過剰にエッチングされ、結果として加工後の表面品位
は低下してしまう。
−TiC系焼結体は、Al2 O3結晶粒をTiC結晶粒
より5%〜50%大きくなるように制御することによ
り、Al2 O3結晶粒とTiC結晶粒との加工速度を整
合させることができる。従って、ミリング加工後の表面
において加工速度の相違による凹凸がなく、平滑性に優
れた加工面を形成することができる。
るAl2 O3やTiC以外の金属化合物量を低減するこ
とにより、粒界成分のエッチングによる加工表面の凹凸
の発生を抑制し高品位の表面を得ることができる。
を磁気ヘッド用基板として使用し、 磁気記録面と対向す
る面の一部にイオン照射により加工した本発明の磁気ヘ
ッド用基板は、加工後の表面品位を高めることができ、
磁気ヘッドとして信頼性を高めることができる。
(純度99.5%以上)を使用し、これらをAl2 O3
70重量%、TiC30重量%となるように秤量し、そ
の中にTiCに対して約10重量%のTiO2 を添加
後、Al2 O3ボールにて混合した。次いで、混合粉末
を成形し、1600℃、250kg/cm2の圧力で1
時間ホットプレス焼成した。なお、実験ではAl2 O3
原料粉末として平均粒径が0.4〜2.7μm、TiC
粉末として平均粒径が0.3〜3.0μmの種々の原料
を用い、最終的な焼結体中のAl2 O3結晶粒およびT
iC結晶粒が異なる数種の焼結体を作製した。
工後、各結晶の粒径、化合物相やガラス相からなる粒界
相量を測定した。TiC結晶粒の平均粒径はルーゼック
ス500により画像処理して円相当径を算出した。また
全体の平均結晶粒径は、ファイヤーエッチング後にコー
ド法により測定した。また、Al2 O3 の平均結晶粒径
は、TiCおよび全体の平均粒径とTiCおよびAl2
O3 の体積比より算出した。さらに、化合物相はX線回
折定量法により求め、ガラス相量は添加物の調合量と化
合物量より算出し、それらの合量を粒界相量として求め
た。その結果は、表1に示す通りであり、化合物相およ
びガラス相からなる粒界相量は、いずれの焼結体も0.
1重量%以下であった。
rrの真空中に保持し、焼結体の被加工面に800V、
200mAのアルゴンビームにより、1.5μmの深さ
までエッチング加工した。そして、加工後の表面に対し
て表面粗さ(Rmax)を測定した。なお、この時のエ
ッチング速度も加工時間から算出した。
ダイヤモンドホイル(レジン#325,110mmφ×
厚み1mm)を回転数5500rpm、送り40mm/
minに設定して焼結体を切断し、その切断面よりチッ
ピングの評価を得た。評価では、切断面における距離が
500μmの任意の2点をとり、その間でチッピング幅
の最も大きい5ポイントを選びそのチッピング幅の平均
をとり、その平均値が25μm未満を○、25〜30μ
mを△、30μmを越えるものを×として示した。
結晶粒に比較して、小さいか、同程度か、あるいはAl
2 O3結晶粒がTiC結晶粒に比較して5%未満大きい
試料No.1〜4では、いずれも表面粗さが大きく、表面
品位が低レベルであった。これに対して、Al2 O3結
晶粒がTiC結晶粒より5〜50%大きい試料No.5〜
11はいずれも加工後の表面粗さが0.3μm以下であ
り、表面品位の高いものであった。
が小さくなる傾向にあることがわかるが、TiCの結晶
粒径が0.9μm以下において、加工速度が130Å/
min以上となることがわかる。
%以上)と、平均粒径が0.65μmのTiC原料(純
度99.5%以上)を使用し、これらを表2の配合組成
で秤量混合した後、実施例1と同様な方法で焼結体を作
製した。
方法で、粒界相量、各平均結晶粒径、加工後の表面品
位、加工速度、耐チッピング性を測定した。その結果、
粒界相量はいずれも0.1重量%であった。なお、その
他の特性は表2に示した。
重量%を越えると、エッチング速度が低下した。また、
TiC量が20重量%より少ない試料No.18,19で
は、耐チッピング性が劣化した。これら以外の本発明品
はいずれも加工速度が135Å/min以上であった
が、これらの中でも特に25〜35重量%では耐チッピ
ング性も良好であった。
%以上)と、平均粒径が0.65μmのTiC原料(純
度99.5%以上)およびMgO(純度99.9%以
上)を使用し、これらを表3の配合組成で秤量混合した
後、実施例1と同様な方法で焼結体を作製した。
方法で、粒界相量、各平均粒径、加工後の表面品位、エ
ッチング速度、耐チッピング性を測定し、表3に示し
た。
面品位が低下する傾向にあり、粒界相量が1.0重量%
を越える試料No.20,21では、やや表面品位が低下
したが、1.0重量%以下の本発明品では、表面品位が
向上した。これらの中でも特に実施例1、2の結果も合
わせ、0.3重量%以下では表面粗さが0.25μm以
下の表面品位の優れたものであった。
磁気ヘッド用基板を構成するAl2 O3−TiC系焼結
体におけるAl2 O3結晶粒をTiC結晶粒より大きく
設定するとともに、該基板の磁気記録面と対向する面の
一部にイオンの照射により加工された加工部を有するこ
とから、イオンミリング加工やRIE加工などのイオン
の照射による加工において表面品位が優れ、また、加工
速度を高めることができる。これにより、薄膜磁気ヘッ
ドなどのスライダーにおける浮上面の超精密加工を優れ
た精度で行うことができ、磁気ヘッドの信頼性を高める
ことができる。
におけるTPCスライダーの1例を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】Al2 O3 を主成分とし、TiCを20〜
40重量%の割合で含有するAl2 O3−TiC系焼結
体から成る磁気ヘッド用基板であって、該焼結体中のA
l2 O3 結晶粒の平均結晶粒径が、TiC結晶粒の平均
結晶粒径より5〜50%大きく、該基板の磁気記録面と
対向する面の一部にイオンの照射により加工された加工
部を有することを特徴とする磁気ヘッド用基板。 - 【請求項2】前記結晶粒全体の平均結晶粒径が1μm以
下、前記TiC結晶粒の平均結晶粒径が0.9μm以下
である請求項1記載の磁気ヘッド用基板。 - 【請求項3】前記結晶粒の粒界相の含有量が1.0重量
%以下である請求項1または請求項2記載の磁気ヘッド
用基板。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06033512A JP3121980B2 (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | 磁気ヘッド用基板 |
US08/397,579 US5520716A (en) | 1994-03-03 | 1995-03-02 | Al2 O3 -TiC sintered product and substrate for magnetic heads |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06033512A JP3121980B2 (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | 磁気ヘッド用基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07242463A JPH07242463A (ja) | 1995-09-19 |
JP3121980B2 true JP3121980B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=12388608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06033512A Expired - Lifetime JP3121980B2 (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | 磁気ヘッド用基板 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5520716A (ja) |
JP (1) | JP3121980B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2500479B2 (ja) * | 1993-04-22 | 1996-05-29 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘッド装置用スライダ及び該スライダの製造方法 |
JP3039909B2 (ja) * | 1994-05-14 | 2000-05-08 | 住友特殊金属株式会社 | 磁気ヘッド用基板材料 |
JP3039908B2 (ja) * | 1994-05-14 | 2000-05-08 | 住友特殊金属株式会社 | 低浮上性を有する磁気ヘッド用基板材料 |
US6027660A (en) * | 1997-06-23 | 2000-02-22 | International Business Machines Corproation | Method of etching ceramics of alumina/TiC with high density plasma |
US6804878B1 (en) | 1999-12-21 | 2004-10-19 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Method of improving the reliability of magnetic head sensors by ion milling smoothing |
US6423240B1 (en) | 2000-01-07 | 2002-07-23 | International Business Machines Corporation | Process to tune the slider trailing edge profile |
JP4544951B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2010-09-15 | 京セラ株式会社 | 摺動装置およびこれを用いたモータ |
CN100432458C (zh) * | 2004-05-28 | 2008-11-12 | 京瓷株式会社 | 滑动部件、流体动压轴承及采用其的电机 |
JP4009292B2 (ja) * | 2005-01-06 | 2007-11-14 | Tdk株式会社 | 磁気ヘッドスライダ用材料、磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用材料の製造方法 |
JP4025791B2 (ja) * | 2005-06-27 | 2007-12-26 | Tdk株式会社 | 磁気ヘッドスライダ用材料、磁気ヘッドスライダ、及び磁気ヘッドスライダ用材料の製造方法 |
JP2007084352A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Tdk Corp | 混合粉末の製造方法、混合粉末、セラミックス焼結体の製造方法及びセラミックス焼結体 |
US20100143749A1 (en) * | 2006-09-29 | 2010-06-10 | Nippon Tungsten Co., Ltd. | Substrate material for magnetic head and method for manufacturing the same |
CN101689374B (zh) | 2007-06-27 | 2012-03-28 | 京瓷株式会社 | 磁头用基板、磁头以及记录介质驱动装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4582812A (en) * | 1981-01-09 | 1986-04-15 | Nippon Tungsten Co., Ltd. | Aluminum oxide substrate material for magnetic head and method for producing the same |
US4818608A (en) * | 1986-02-10 | 1989-04-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
US4902651A (en) * | 1986-06-20 | 1990-02-20 | Sumitomo Special Metals, Co. | Material for magnetic head substrate member |
US5246893A (en) * | 1988-02-29 | 1993-09-21 | Kyocera Corporation | Ceramic sintered body and process for preparation thereof |
SE465319B (sv) * | 1989-10-17 | 1991-08-26 | Sandvik Ab | A1203-baserat skaer foer spaanavskiljande bearbetning av staal |
US5188908A (en) * | 1990-02-23 | 1993-02-23 | Mitsubishi Materials Corporation | Al2 O3 Based ceramics |
JPH04130049A (ja) * | 1990-09-18 | 1992-05-01 | Mitsubishi Materials Corp | セラミックス複合材料及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-03-03 JP JP06033512A patent/JP3121980B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-03-02 US US08/397,579 patent/US5520716A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5520716A (en) | 1996-05-28 |
JPH07242463A (ja) | 1995-09-19 |
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