JP4644757B2 - 有機el素子の製造方法 - Google Patents
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Description
有機EL素子100の陰極18は、通常、カルシウム、マグネシウム、マグネシウム銀合金のような低仕事関数の活性金属や酸化インジウムスズ、酸化インジウム亜鉛(IZO)などの透明な金属酸化物で形成される。有機機能層16の屈折率nの値が約1.7であることから、陰極18の上方にさらに屈折率nの高いキャップ層22を蒸着し、界面における全反射現象を低減して光取出し量を増加させることが必要となる。
従って、本発明の一つの目的は、透明陰極導電層の安定性を改善した有機EL素子の製造方法を提供することである。
本発明の他の一つの目的は、光取出し量を増加するとともに透明陰極導電層の安定性を改善した有機EL素子の製造方法を提供することである。
同時蒸着によって形成される金属のチタン酸化物は、その導電性により有機EL素子の陰極層として働くと共に、その透明で高屈折率の特性によりキャップ層として働くこともできる。
本発明の製造方法は、先ず基板を用意し、次いで基板上に陽極層を形成し、その後に陽極層上に有機機能層を蒸着し、次に有機機能層上に陰極層を形成する。
ステップ202では、基板30上に陽極層302を形成する。陽極層302の材料には、例えば酸化インジウムスズ(ITO)を採用することができ、または使用上適当なその他の金属を採用することもできる。
また、陽極層302上に正孔輸送層304を形成する前に、陽極層302上に図示しない正孔注入層(HIL)をさらに形成してもよい。それにより、印加電圧が低い時でも正孔を有機発光層310へ注入できるようになる。これに加えて、有機発光層310上に電子輸送層314を形成した後に、図示しない電子輸送層314上に電子注入層(EIL)をさらに形成してもよい。それにより、陰極からの電子の注入を促すことができる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12、302・・陽極層
310・・有機発光層
18・・陰極層
22・・キャップ層
100・・一般に知られた有機EL素子
300・・実施形態の有機EL素子
304・・正孔輸送層
16、306・・有機機能層
312・・同時蒸着層
313a・・金属層
313b・・MTiO3層
314・・電子輸送層
Claims (7)
- 有機EL素子の製造方法であって、
基板を用意する工程と、
前記基板上に陽極層を形成する工程と、
前記陽極層上に有機機能層を形成する工程と、
前記有機機能層上に陰極層を形成する工程と、を備え、
前記陰極層を形成する工程が、
元素周期表2A族に含まれる金属元素Mの蒸着を実施して、当該金属元素Mからなる金属層を前記有機機能層上に形成する工程と、
前記金属元素Mの蒸着を実施しつつ酸化チタンの蒸着を実施して、前記金属元素Mと酸化チタンとの同時蒸着により前記金属層上にMTiO 3 層を積層する工程と、を含む、有機EL素子の製造方法。 - 前記金属層を構成する金属元素Mが、カルシウム、マグネシウム、バリウム、およびストロンチウムのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記陰極層の屈折率nの値が、1.7よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記有機機能層を形成する工程が、前記陽極層上に有機発光層を形成する工程を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記有機機能層を形成する工程が、
前記有機発光層を形成する工程以前に実施する前記陽極層上に正孔輸送層を形成する工程と、
前記有機発光層を形成する工程以降に実施する前記有機発光層上に電子輸送層を形成する工程と、
をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の有機EL素子の製造方法。 - 前記正孔輸送層を形成する工程以前に実施する前記陽極層上に正孔注入層を形成する工程をさらに備えることを特徴とする請求項5に記載の有機EL素子の製造方法。
- 前記電子輸送層を形成する工程以降に実施する前記電子輸送層上に電子注入層を形成する工程をさらに備えることを特徴とする請求項5又は6に記載の有機EL素子の製造方法。
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