JP4643875B2 - ガスセンサ機構 - Google Patents
ガスセンサ機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4643875B2 JP4643875B2 JP2001500843A JP2001500843A JP4643875B2 JP 4643875 B2 JP4643875 B2 JP 4643875B2 JP 2001500843 A JP2001500843 A JP 2001500843A JP 2001500843 A JP2001500843 A JP 2001500843A JP 4643875 B2 JP4643875 B2 JP 4643875B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation source
- gas
- measurement
- radiation
- gas sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 33
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 247
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 113
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 12
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 135
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/27—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
- G01N21/274—Calibration, base line adjustment, drift correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
- G01N2021/1704—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
(技術分野)
本発明は、主請求項の上位概念に基づくガスセンサ機構に関する。
【0002】
(背景技術)
多くのガスは、特に赤外線の波長領域で放射を吸収することが知られており、こうした吸収は、たとえばCO2については4.24μmという具合に、該当するガスについて特徴的な波長で起こる。したがって赤外線ガスセンサを使えば、ガス成分の存在ないしガス成分の濃度を確立することが可能である。
【0003】
公知の赤外線ガスセンサは、たとえば広帯域の放射源と、吸収区間ないし測定室と、波長選択素子、たとえば干渉フィルタと、ファブリー・ペロ・フィルタまたは格子と、放射検出器、たとえば焦電検出器、PbSe検出器、または熱親和性検出器を有している。放射検出器によって測定される放射強度が、所定の波長で吸収をするガスの濃度を表す目安になる。広帯域の放射源、および波長選択素子の代わりに、たとえばLEDやレーザなどの選択性の放射源と、波長選択性でない放射受信機とを組み合わせて利用することも公知である。
【0004】
光音響ガスセンサも公知である。光音響ガスセンサの機能原理は、ガス分子の加熱によって測定室内で起こる圧力変化を、たとえばマイクロフォンなどの音響検出器によって検出することを基礎としている。加熱は、検出されるべき測定ガス分子によって、放射源の放射エネルギーが吸収されることで引き起こされる。従来技術に対応する光音響センサの実施形態は、たとえばドイツ特許19525703に記載されている。
【0005】
このような種類の赤外線ガスセンサや光音響ガスセンサの長期安定性は、主に、放射源の消耗と、光学系全体の汚れとによって左右される。現在のところ汚れは、汚れた粒子を排除する適切なガス透過性フィルタによって防止されている。
【0006】
放射源の消耗を監視するため、1つないし複数のガスセンサが零点ドリフトおよび感度ドリフトに関して定期的に点検される。そのために、測定されるべきガス成分を含まないガスないし混合ガスをガスセンサに噴霧して、零点の位置を決定する。零点点検の後、測定されるべきガス成分の濃度がわかっている混合ガスをガスセンサに噴霧し、このとき得られた測定値を設定値と比較する。このような較正作業は、通例、訓練を受けた人員によって行われなくてはならず、したがって非常にコストが高くなる。
【0007】
赤外線ガスセンサの放射源の消耗を監視する別の方法は、測定ガスのどのガス成分もさほど吸収をしない波長で、光学フィルタを備える第2の放射検出器を、放射強度の検出のために利用することである(US5341214参照)。得られた2つの信号の比率を求めることで、すなわち測定信号と参照信号の比率を求めることで、放射源の消耗が補正される。検出器はガスセンサの主なコスト要因であることや、2倍の信号処理が必要となることから、このようなガスセンサは比較的高価である。そのうえ、温度変化があると検出器の異なるドリフトが生じてしまう可能性がある。
【0008】
さらに、2つの放射源を備える赤外線ガスセンサもあり、この場合、一方の放射源の光路はガス測定室を通過せず、それによって光学系の汚れや他方の放射源の消耗を調べようとするものである。しかしこれは原理的に、測定されるべきガス成分を含まない参照ガスを使わなければ不可能である。
【0009】
同様に、ガス室内にある2つの光源が、放射検出器から異なる間隔をおいて配置される機構が公知である。両方の放射源は異なる周波数で変調され、検出器信号が復調される。異なる周波数の出力信号が入り乱れて配分されるので、両方の放射源のあいだの間隔から有効光路が得られる。しかしこれらの放射源は均等に消耗するのではないため(図10参照)、放射源の消耗によってセンサのドリフトが強まるという結果になりかねない。
【0010】
(発明の開示)
本発明の課題は、独立請求項の上位概念に基づくガスセンサ機構をさらに改良して、構成部品に大きな追加のコストをかけたり較正用ガスを必要とすることなく、放射源の消耗を高い信頼性で監視できるようにすることである。
【0011】
この課題は本発明によれば、上位概念の構成要件と関連する、独立請求項の特徴部に記載の構成要件によって解決される。
【0012】
追加の放射源、すなわち時間的な間隔をおいてスイッチ投入される参照放射源によって、参照放射源を作動させたときの検出器の出力信号と、測定放射源を作動させたときの検出器の出力信号とを比較することで、測定放射源の消耗を発見することができる。このとき参照放射源は通常の測定の役目をするのではなく、測定放射源の消耗を調べるために大きな監視間隔をあけて作動させられる。参照放射源は測定放射源よりはるかに稀にしか作動させられず、すなわち大きな時間間隔をあけて作動させられ、そのためセンサの耐用期間中にさして消耗しないので、参照放射源の消耗は無視することができる。本発明の実施形態により、較正用ガスを用いることなく、測定放射源の消耗の低コストかつ確実な発見が可能である。
【0013】
従属請求項に記載の方策によって、有利な発展と改良が可能である。
【0014】
好適には、各放射源と検出器の間の有効光路は等しい長さである。この条件のもとでは、参照源と測定源についてのセンサ較正曲線は等しい。
【0015】
2つ以上の放射源を備えるガスセンサの別の利点は故障に対する安全性が高いことであり、すなわち、測定源が故障したときには、追加源でセンサを引き続き作動させる。この場合に有利な実施形態は、測定源と、参照源と、追加測定源ないし追加参照源という3つの放射源を備えるガスセンサである。それによって、このセンサの耐用寿命を何倍にも伸ばすことができる。それに加えて参照放射源の最低限の消耗を、1つまたは複数の別の放射源によって補正することができる。
【0016】
参照測定の回数、およびこれに伴う参照放射源の消耗は、追加のローコスト放射検出器(たとえばSiフォトダイオード)を単に組み込むことによって、所要の最低限度まで抑えることができる。このとき追加の放射検出器によって、1つのスペクトル領域(たとえば850nm)における測定放射源の消耗が監視され、参照放射源は、ローコスト検出器で測定したときの測定源の放射強度が一定の値だけ変化した場合にのみ使用される。
【0017】
(発明を実施するための最良の形態)
本発明の実施例が図面に示されており、以下において詳しく説明する。
図1に示すガスセンサ機構は赤外線ガスセンサ機構として構成されており、評価・制御装置14とたとえばプラグ機構によって接続された、通常は1つのユニットとして構成される赤外線ガスセンサ1を有している。
【0018】
図1に示す赤外線ガスセンサ1の概略構造図では、符号7で測定放射源、符号8で参照放射源がそれぞれ示されている。放射源7,8は好適には各々のパラメータの点で同一であり、広帯域の放射スペクトルで放射を行う。ガスセンサの作動時には、測定ガス濃度を測定するために測定放射源7が使用され、そのために測定放射源を連続的に、またはパルス動作で作動させることができる。それに対して参照放射源8は、測定放射源7の消耗を調べるために大きな時間間隔でしかスイッチ投入されない。放射源7,8は、検出されるべきガスまたは複数のガス成分が混ざった混合ガスが測定室11を通して、赤外線放射を送る。ガスセンサは流動式のセンサ機構として、すなわち流動測定セルとして、または拡散に依拠するセンサとして構成されていてよい。前者の場合、ガスは測定室11を通って流れるのに対し、後者の場合にはガスがダイヤフラムを介して、他の部位は閉じられている測定室11に拡散していく。
【0019】
放射源7,8と間隔をおいて、測定室11を通過した後に放射が検出器13に当たるように、放射検出器13が配置されている。干渉フィルタ12がガス測定室11と検出器13の間に介在しており、好適には、測定されるべきガスの吸収波長に相当する放射だけを透過させる。干渉フィルタ12は放射検出器ハウジングに直接内蔵されていてもよい。異なるガスについての吸収波長は、たとえばCO2については4.24μm、CH4については3.46μm、COについては4.64μm、NOについては5.3μm、フレオンについては10.9μmである。当然ながら、干渉フィルタの代わりに別の光学帯域通過フィルタや波長選択素子を用いることもできる。
【0020】
放射検出器13と放射源7および8は、放射検出器13からの出力信号を処理し、放射源7,8を発動させ、測定放射源7の消耗に関するデータを検出して考慮し、測定ガスの濃度に関する情報を供給する評価・制御装置14と接続されている。放射源7,8は、それぞれ放射検出器までの光路9,10の異なる光路長を有している。
【0021】
図2には別の実施例が図示されており、ここでは放射源7,8は好適には互いに密着して、かつ放射検出器13に対して左右対称に配置されて、各々の放射がほぼ等しい強度で放射検出器13に当たるとともに、測定室13を通る各々の光路9および10の有効長が等しくなるようになっている。この場合、両方の放射源は同一のハウジングの中に格納されていてもよい(たとえば1つのガラス球の中の2つまたはそれ以上の渦巻フィラメント)。
【0022】
一方では、赤外線ガスセンサ1は、放射検出器13が干渉フィルタ12とともに放射源7,8に直接対向するように配置され、放射源7,8によって直接放射されるように構成されていてよい。他方では、放射源7,8から送出された光が光路9,10に沿って、測定室11の内部でも外部でも1つまたは複数の反射表面によって導かれ、放射検出器13に転送されてもよい。
【0023】
測定放射源7ないし参照放射源8から送出される光は、測定室11と光学フィルタ12を通過して、最終的に放射検出器13に当たる。検出されるべきガスが測定室11の中に存在していれば、測定室を通って放射された光の一部が、測定ガスの吸収領域に相当する波長領域で測定ガス分子によって吸収される。それによって引き起こされる、放射検出器13に記録される光強度の低下は、次のランバート・ベールの法則に従う。
aは、光学フィルタ12の透過領域における、測定されるべきガスの吸収率である。
Cは、測定室11における、測定されるべきガスの濃度である。
Lは、光路9ないし10の有効長である。
I0は、測定ガス分子による減少がないときの、放射検出器13に当たる放射の強度である。
ICは、測定室11の中に検出されるべきガスが存在するときの、放射検出器13に当たる放射の強度である。
【0024】
本来の測定をする前にセンサを較正し、このときにはパラメータ、たとえばガスの種類と濃度、温度等は既知であり、すなわち、放射検出器13の出力信号と測定室11の中の測定ガス濃度とを結びつける少なくとも1つのセンサ特性曲線が作成される。
【0025】
測定で生成される放射検出器13の出力信号は、センサ較正中に求めたセンサ特性曲線を用いて測定ガスの濃度を算出する評価・制御装置14に供給される。測定中のガスセンサ温度を検出して、測定ガス濃度の算出時にこれを考慮することもできる。
【0026】
放射検出器13に対する放射源7,8のこうした配置に基づいて、測定室11の中の測定ガス濃度に関わりなく、次の条件が成立する:
このとき、
UMは、測定放射源7を作動させたときの放射検出器13の出力信号であり、
URは、参照放射源8を作動させたときの放射検出器13の出力信号であり、
Fは、比率係数であり、このとき好適には放射源7および8ができるだけ等しく選択され、それによって、センサが新しい場合には値F=1という結果につなげることが可能である。
【0027】
測定が経過するにつれて測定放射源7の作動時間は参照放射源8の作動時間よりはるかに長くなるので、時間とともに両方の放射源の消耗状態が異なるために比率係数Fの値は変化する。
【0028】
放射源7,8を任意に配置した場合(図1参照)における消耗の修正は、次のようにして数学的に構想される。
【0029】
時点t=0で製造されたときの初期較正の際に、両方の放射源7,8についての較正関数が記憶される。
このとき、
Cは、測定室の中の測定されるべきガスの濃度であり、
C*は、修正プロセス中における測定室の中の測定されるべきガスの濃度であり、
LMは、測定放射源から検出器までの放射の有効光路であり、
LRは、参照放射源から検出器までの放射の有効光路である。
【0030】
UQuelle(時間、濃度):
UM(0,0),UR(0,0)は、測定室の中に検出されるべきガスが存在しない場合に、時点t=0で測定源ないし参照源を作動させたときの検出器の出力信号であり、
UM(0,C),UR(0,C)は、測定室の中に検出されるべきガスが存在している場合に、時点t=0で測定源ないし参照源を作動させたときの検出器の出力信号である。
【0031】
2つの放射源についての各信号の比率係数Fは濃度依存的である:
【0032】
作動している時間tの後、測定源の較正関数は次のように変化する:
【0033】
次に修正プロセスを実行する。この時点で、測定されるべきガスの濃度はC*に等しい。そこで次式が得られる。
【0034】
UR(t,0)=UR(0,0)なので(参照源8はほとんど消耗しない)、方程式(6)は式(2)と等価であり、参照源8の記憶されている較正関数を、測定t,C*の時点における測定されるべきガスの濃度を算定するのに利用することができる。
【0035】
このC*と式(1)を用いて、消耗していない測定源の信号値を算出する。続いて、消耗していない測定源の算出された信号と(測定源については較正関数が決定されている)、測定源の実際の信号との比率を、修正係数Kとして算出する。
【0036】
(4),(5),および(8)から、測定源の修正された較正関数について次式が得られる。
【0037】
そして較正関数(9)を、次回の修正プロセスまで利用することができる。修正は、たとえば一次または二次の較正関数の場合と同じようにして可能である。
【0038】
放射源7,8を左右対称に配置した場合(図2参照)の消耗の修正は、次のようになる:
検出器に対して左右対称に配置された2つの放射源を使用する場合、時点t=0では、濃度に対する次のような信号依存性が成立する:
【0039】
時点t=0のとき、両方の放射源の間の比率係数F(0,C)は次のように求められる。
【0040】
2つの放射源についての各信号の比率は、2つの光路Lが等しい長さなので、濃度に依存しない。
【0041】
したがって次式が成り立つ:
【0042】
先ほど採用した較正関数(式1’)によって、次式が成立する。
【0043】
作動している時間tの後、測定源の較正関数は変化する。測定されるべきガスの濃度が任意のとき、時間tにおいて次式が成り立つ:
【0044】
これより、濃度に依存しない比率係数F(t)が得られる。
【0045】
UR(t,0)=UR(0,0)なので(参照源8はほとんど消耗しない)、次式が成り立つ。
【0046】
測定放射源の放射強度の時間的変化は、比率係数F(t)を求めることで補正される。すると式(6’)および式(9’)とともに、較正関数について次式が成り立つ:
【0047】
比率係数F(t)は次回の参照作業まで利用することができる。
【0048】
2つの放射源の配置が左右対称でないときは、たとえば使用開始前に試験ガスで較正を行う。センサが作動しているときに、一定の時点で参照放射源のスイッチを投入する。
【0049】
時点t1における測定源の消耗を修正するための上に説明したようなアルゴリズムは、図式的に言えば次のように進行する:
1.まず最初に、測定源を作動させて検出器信号UM(t1)を決定する。
2.次いで、参照源を作動させて検出器信号UR(t2)を測定する。
3.参照源は滅多に作動することがなく、したがって安定性を保っているので、参照源について記憶されている較正関数を用いて、測定されるべきガスの目下の周囲濃度C(t2)を算定するために値UR(t2)を利用する。
4.値C(t2)を出発点として、測定源についての逆較正関数を用いて、消耗していない測定源の検出器信号に相当しているはずの検出器信号UM(0)を算出する。
5.次いで、UM(t1)とUM(0)のそれぞれの値を比較することで修正係数Kを求める。たとえば次のようになる:K(t1)=UM(0)/UM(t1)
6.引き続いて測定源による測定を繰り返して行い、検出器信号UM(t3)と、修正プロセスの開始時における値UM(t1)とを比較する。許容される以上に大きな差異が存在していれば(その基準は事前に決めておく)、測定を繰り返さなくてはならない。時間間隔(t2−t1)および(t3−t1)は、拡散に起因して生じるガスセンサの反応時間よりもはるかに短いのが好ましい。それにより、修正プロセスのあいだ、測定されるべきガスの濃度がほぼ一定であることが保証される。
7.そして、上に説明したようにして算出した修正係数K(t1)を、消耗に起因して生じる測定源の較正関数のずれを補正するのに利用する。たとえば本例では、これから測定する検出器信号の値と、修正係数Kとを乗算するのがよい:UM korr=UM gemessenxK(t1)。次いで値UM korrと、測定源について記憶されている較正関数とを用いて、測定されるべきガスの濃度の正しい値Cを算出する。
8.修正係数K(t1)の値は、次回の修正プロセスが実行されるまで利用される。
9.続いて、記憶されている較正関数で濃度計算を実行する。これは、求められる精度ないし求められる測定範囲に応じて、たとえば一次関数、二次関数、もしくは指数関数で行うことができる。
【0050】
左右対称な構造の場合の比率係数Fを求めるには、同じく一定の時間でセンサの作動中に参照放射源をスイッチ投入する。2つの有効光路が等しい長さであるかどうかを制御するため、たとえば使用開始前に測定されるべきガスの既知のガス濃度をセンサに供給して、測定放射源ないし参照放射源の濃度依存性をチェックする。依存性が同じであれば、たとえば参照源で濃度較正を1回だけ実施する。
【0051】
時点t1における測定源の消耗を修正するためのアルゴリズムは、図式的に言えば次のように進行する:
1.まず最初に、測定源を作動させて検出器信号UM(t1)を測定する。
2.次いで、参照源を作動させて検出器信号UR(t2)を測定する。
3.比率係数Fの算定は、UM(t1)とUR(t2)のそれぞれの値を比較することで行う。たとえば次のようになる:F(t1)=UR(t2)/UM(t1)
4.引き続いて測定源による測定を繰り返して行い、検出器信号UM(t3)と、修正プロセスの開始時における値UM(t1)とを比較する。許容される以上に大きな差異が存在していれば(その基準は事前に決めておく)、測定を繰り返さなくてはならない。時間間隔(t2−t1)および(t3−t1)は、拡散に起因して生じるガスセンサの反応時間よりもはるかに短いのが好ましい。それにより、修正プロセスのあいだ、測定されるべきガスの濃度がほぼ一定であることが保証される。
5.そして、上に説明したようにして算出した比率係数F(t1)を、消耗に起因して生じる測定源の較正関数のずれを補正するのに利用する。たとえば本例では、これから測定する検出器信号の値と、F係数とを乗算するのがよい:UM k orr=UM gemessenxF(t1)。次いで値UM korrと、参照源について記憶されている較正関数とを用いて、測定されるべきガスの濃度の正しい値Cを算出する。
6.値F(t1)は、次回の修正プロセスが実行されるまで利用される。
7.続いて、参照源について記憶されている較正関数で濃度計算を実行する。これは、求められる精度ないし求められる測定範囲に応じて、たとえば一次関数、二次関数、もしくは指数関数で行うことができる。
【0052】
測定放射源の消耗の修正は、次のような方策によって行うことができる。
【0053】
一つの可能性は、測定放射源7が作動しているときの検出器出力信号を、参照放射源8が作動しているときの値に合わせて標準化することにある。この場合、ガスセンサの特性曲線は、参照放射源8を作動させたときの検出器出力信号を対象とすることになる。センサの通常の作動中、検出器13の出力信号を常に比率係数Fと乗算してから、濃度の適合化をするための特性曲線を測定値に適用する。したがって、時間に伴う比率係数Fの変化が自動的に考慮される。
【0054】
別の実施例では放射検出器13に可変増幅器が後置され、この可変増幅器の増幅度は、最新の比率係数Fないし修正係数Kの関数として評価・制御装置14で再調整されて、測定放射源7で作動させたときと参照放射源8で作動させたときの増幅器の出力信号が等しくなるようになっている。この実施例では、従属制御される増幅度が、越えてはならない限界値としての最大値に達することによって、測定放射源7ないしガスセンサの耐用寿命の終わりを早期に発見することが可能である。
【0055】
さらに別の実施例では測定放射源7が調節可能に構成され、すなわち、測定放射源7の放射強度が評価・制御ユニット14によって再調整されて、比率係数の特定の値、たとえばF=1、ないしは修正係数の特定の値が、ガスセンサの作動中に常に維持されるようになっている。時点tで測定された比率係数F(t)ないし修正係数K(t)と、各々の初期値F(0)ないしK(0)との差異が所定の限界値を越えない限り、消耗の補正は上に説明した方策によって行われる。
【0056】
しかしこの差異が大きくなりすぎて所定の限界値を越えると、たとえば評価・制御装置14によって信号が生成されて、測定放射源7の耐用寿命の終わりが表示され、通常であればこれに伴ってガスセンサ自体の耐用寿命の終わりが表示される。
【0057】
ガスセンサ1の利点は故障に対する安全性が高くなることである。測定放射源7が全面的に故障した場合、障害が取り除かれるまでのあいだ、通常、測定放射源7の代わりに測定放射源8で赤外線センサ1を作動させることができる。別の実施例では2つを超える放射源が使用され、それによってセンサの耐用寿命が延びるとともに、上に述べたようなやり方で、たとえば参照放射源の消耗の追加的な補正を行うことができる。
【0058】
図3は赤外線ガスセンサ2を示しており、ここでは赤外線センサ1(図1,図2)とは異なり、干渉フィルタ12が放射源7,8とガス測定室11との間に介在している。
【0059】
図4は、複数のガス成分を同時に測定するための赤外線ガスセンサ3を示している。この赤外線ガスセンサ3は、一列になって放射源7,8に対向するように配置された複数の放射検出器15,16,17を含んでいる。その間に測定室11が介在する。放射源7,8は、放射検出器15,16,17に対して左右対称に配置されているので、2つの放射源とそれぞれの放射検出器との間隔は等しくなっており、2つの放射源はそれぞれの放射検出器をほぼ等しく照射する。放射源は、たとえば放射源が配置されている揃え線が、放射検出器15,16,17が配置されている揃え線に対して垂直に延びるように、互いに密着して配置することができる。この赤外線ガスセンサ3は、たとえば測定されるべき3種類のガスないしガス成分用として構成されており、干渉フィルタ18,19,20が内蔵された放射検出器15,16,17は、測定されるべきガスに合わせて異なる波長に調整されている。2種類のガスないしガス成分だけを測定することもでき、第3の検出器は参照用としての役目をし、そのために第3の検出器は、有利にはどのガスも放射吸収をしない(たとえばe,0μm)波長用として設計された干渉フィルタを有している。さらに、すべての検出器を1つの検出器ハウジングに組み込むことも同じく可能である(直方体検出器)。
【0060】
図5は、評価・制御装置14と接続された赤外線ガスセンサ4のさらに別の実施形態を示している。ここでの符号21は、測定放射源7ないし参照放射源8から出てくる放射を測定室11に反射するアルミニウム製のリフレクタを表している。この場合、放射源7および8は同一型式の小型グロー放電管として構成されている。放射源7,8の放射は、内側から研磨された特殊鋼管22によって、波長選択的な放射検出器13へと案内される。管22はガス測定室11を局限している。
【0061】
さらに、放射検出器13ないしガスセンサ4全体の温度を記録する温度センサ23が設けられている。ここで説明した構成部材はすべて、機械的な安定性と電気的な接触を得るために、1枚の配線板25の上に配置されている。
【0062】
プラグ24を介して接続された評価・制御装置14は、放射検出器13および温度センサ23からの出力信号を処理し、放射源7,8を制御し、測定放射源7の消耗に関するデータを記録し、測定ガスの濃度に関する情報を供給する。
【0063】
図6は、機械的に安定していて再現性のある赤外線ガスセンサ5の構造を得るための、さらに別の実施形態を模式的に示している。このような再現性のある構造を保証するために、金属ブロック28が使用される。穴は、前置された、または検出器ハウジングに直接組み込まれた光学帯域通過フィルタとともに、放射検出器13を位置決めする役目を果たす。放射検出器13に対向するように、検出器13のところで合流する2本の光路が8°の角度で穿設されている。2つの光路の角度は任意の大きさであってよいが、好ましくは、所与の光路でセンサの寸法ができるだけ小さく保たれるように選択する。測定室11を構成するこれらの光路に、2つの放射源7および8が、検出器から等しい距離をおくように取り付けられている。光路に対して垂直な3つの穴26は、拡散して入ってくる検査されるべきガスの流入部としての役目をする。これらの穴は、埃その他の粒子を防ぐためにガス透過性フィルタ27によって被覆されている。金属ブロック28全体は、放射源7および8や検出器13を電気接触させるために配線板25の上に取り付けられている。検出器の後に組み付けられた温度センサ23は、温度を記録する役目をする。評価・制御装置への電気接続は、配線板25に組み込まれているプラグ24で行われる。
【0064】
図7は、測定セル31と、測定放射源7と、参照放射源8と、光学帯域通過フィルタ12と、音響検出器ないしマイクロフォン30と、ガス透過性ダイヤフラム29と、評価・制御装置14とを備える光音響ガスセンサ6の模式的な構造を断面図で示している。放射源7,8は、有利には互いに密着して配置され、それによって帯域通過フィルタ12をできるだけ等しく照射するようになっている。それぞれの放射源に独自の帯域通過フィルタが付属している別の実施形態も考えられる。各放射源による測定セル31の照射具合は、図7ではそれぞれ異なっている。
【0065】
図8では放射源7,8が、図7とは異なり、測定セル31の少なくとも1本の対称軸に対して測定セル31に関して左右対称に配置され、かつ/または実質的に等しい立体角で放射を行う。
【0066】
放射源7,8はパルス式の動作をするが、それ以外の代替動作も可能である。帯域通過フィルタ12のところでのフィルタリングの後、放射源7,8から送出された光は測定セル31に入る。光学帯域通過フィルタ12の透過領域は、好ましくは測定されるべきガス分子によって吸収される放射だけが透過されるように調整されている。測定されるべきガスがガスセンサ6の周囲にあると、このガスはガス透過性ダイヤフラム29を通って測定セル31に侵入し、そこで光を吸収して発熱する。この発熱によってガスは膨張して圧力変調を生成し、この圧力変調がマイクロフォン30によって電気信号に変換される。測定放射源7は、ガスセンサ6を作動させるために使用される。参照放射源8は、所定の時間間隔で定期的に稀にしか使用されず、それによって測定放射源7の消耗を調べて、測定ガス濃度を算出するときにこれを考慮する。場合によっては参照放射源8を、マイクロフォン30の機能の監視にも、また測定放射源7が故障したときにセンサを作動させるためにも利用することができる。
【0067】
マイクロフォンからの出力信号の評価、および消耗の補正は、前述した各実施例と同様にして行われる。
【0068】
参照測定の回数、およびこれに伴う参照源8の消耗は、図9に示すように、測定放射源に付属する追加の「ローコストな」つまり安価な放射検出器32(たとえばSiフォトダイオード)を単に組み込むことによって、必要最低限に抑えることができる。この場合、追加の放射検出器32によって測定放射源7の消耗をたとえば850nmの波長で監視し、参照放射源8は、検出器32で測定される測定源7の放射強度が特定の値だけ変化した場合にのみ使用される。
【0069】
図10は、サブミニアチュアランプの典型的な消耗の様子を、VCH社の型式番号T1 5V 60mAを例にとって示す図である。このテストのため、20秒ごとに約200msのあいだランプをオンにした。図から明らかにわかるように、信号変化の方向や大きさについて、放射源の消耗に関する一般的な説明をすることはできない。図示しているドリフトは図5に示す左右対称に構成されたガスセンサを対象としたものであり、光路長は25mmとし、干渉フィルタを内蔵するPerkin Elmer Optoelectronics社の型式番号LHi807 TC G2の焦電放射検出器を用いている。
【0070】
図11は、図10のうちもっともドリフトしやすい2つの放射源と、それに伴って行われるドリフト補正の結果を示している。図から明らかなように、ここでは約40000パルスの予備消耗の後、測定放射源の消耗をおよそ±40ppmCO2の誤差範囲で補正することができる。
【0071】
参照源は、パルス比率(参照源/測定源)が1:4000の場合、センサの作動時間全体(たとえば10年)で合計わずか1日分しか作動しないので(A’−A)、参照源のドリフトはきわめて小さく抑えることができる。
【0072】
図12には、干渉フィルタを内蔵するPerkin Elmer Optoelectronics社の型式番号LHi807 TC G2の放射検出器と、型式番号VCH T1 5V 115MAの放射源とを用いた、図5に示す左右対称に構成されたガスセンサについて、ガス測定室の中の測定ガス濃度に対する修正係数Fの依存性がCO2について示されている。図から明らかなように、このセンサの修正係数Fの依存性による表示誤差は最大でCO215ppmである。
【0073】
図13は、干渉フィルタを内蔵するPerkin Elmer Optoelectronics社の型式番号LHi807 TC G5の放射検出器と、型式番号VCH T1 5V 115mAの放射源とを用いた、図5に示す左右対称に構成されたガスセンサの測定結果をCH4について示している。ここでは測定源を1時間ごとに標準化している。
【0074】
赤外線ガスセンサの長期不安定性のさらに別の原因は、放射源を作動させるために利用される電圧が時間的に変化する可能性があることである。この電圧の実際の値と、較正の際に設定された値とが違っていると、放射源の放射強度の変化につながり、したがってセンサ信号の時間的な変化につながる。
【0075】
放射源の放射強度は励起電圧に依存しており、励起電圧は、使用するコンポーネントの種類によっては時間とともにドリフトする可能性があるので、こうしたドリフトに対する補正も必要になる場合がある。本発明によれば、必要なドリフト補正を具体化するために多くの方法を適用することができる。
【0076】
こうした補正を可能にするため、センサ作動中に、適用している測定記録に応じて放射源に印加される電圧を、放射源のスイッチ投入の前、途中、および後で測定し、較正のときに求めた電圧の初期値と比較する。そうすれば、こうして求めた放射源電圧の変化を、それによって引き起こされるセンサ信号の変化を補正ないし補償するために明確に利用することができる。そのために次のような技術的解決法を採用することができる:
1.センサの製造時に、放射源電圧の変化に対する検出器出力信号の較正を、センサで使用される各々の放射源について求めて記憶しておく(U較正)。後でセンサの作動時に、このデータを利用して、時間とともに発生する放射源電圧のドリフトを補正する。放射源電圧が初期値からわずかにしか変化していない場合、別の可能性もあり得るが、印加される放射源電圧値に対する検出器信号の依存性はたとえば線形である。必要なU較正は、センサの温度較正および濃度較正とともに実施する。そのために、ゼロ空気(測定されるべきガスがゼロである)の中で印加される放射源電圧の複数の(有利には2つの)値で、および場合により測定されるべきガスの少なくとも1つの既知の濃度で、それぞれ検出器信号を求め、そこから得られる関数を記憶しておく。たとえば放射源電圧の初期値での測定と、若干異なる電圧値での2回目の測定とを行う。こうしたU較正をどのように実施するかは、技術的に次のようなさまざまな形で解決することができる:a)相応に適合化されたセンサ回路で、直接的にさまざまな放射源電圧を生成することができ、これはセンサ独自のマイクロコントローラによって制御される;b)他方、工場でのU較正のときに、所要の可変の電圧値を較正台でセンサに外部から印加し、次いで較正データ(U較正)を記憶することができる。
2.センサ製造時に特定の型式の放射源を使用するときは、同一ロットまたは同一型式の種々の放射源についてシリアル検査をすることで、放射源電圧に対する検出器出力信号の統計的な平均依存性を求めることができる。そしてこの関数によってセンサ作動中に、当該型式ないし当該ロットのランプを備えるすべてのセンサについて、放射源電圧のドリフトを補償する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、参照放射源ないし測定放射源と検出器との間の光路長が任意である、本発明に基づくガスセンサ機構の第1実施例の構造を示す模式図である。
【図2】 図2は、左右対称の構造をもつ、本発明に基づくガスセンサ機構の別の実施例の構造を示す模式図である。
【図3】 図3は、本発明のさらに別の実施例に基づくガスセンサ機構を示す模式図である。
【図4】 図4は、複数のガス成分を検出するための本発明による赤外線ガスセンサを示す模式図である。
【図5】 図5は、本発明に基づく赤外線センサ機構の設計例である。
【図6】 図6は、本発明に基づくガスセンサ機構の別の実施例である。
【図7】 図7は、光音響ガスセンサ機構として構成された本発明の実施例を示す模式的な構造図であり、この場合、各放射源による測定室の照明はそれぞれ異なっていてよい。
【図8】 図8は、光音響ガスセンサ機構として構成された本発明の実施例を示す模式的な構造図であり、この場合、測定室の均等な照明が行われる。
【図9】 図9は、追加の検出器を備える本発明のさらに別の実施例である。
【図10】 図10は、さまざまな光における消耗曲線の一例である。
【図11】 図11は、測定源の消耗曲線とその補正である。
【図12】 図12は、測定ガス濃度に対する比率係数の依存性を示す図である。
【図13】 図13は、図5に示すセンサの測定結果を時間軸に沿って示す図である。
Claims (15)
- ガスセンサ機構であって、放射を放出する放射装置と、ガス測定室と、検出装置と、評価装置からなり、
評価装置はガス成分および/またはその濃度を検出装置の出力信号に依存して決定し、
放射装置は少なくとも一つの測定放射源と少なくとも一つの参照放射源を有しており、
評価装置は、測定放射源が作動している間は参照放射源が通常非活性状態であり、測定放射源の消耗状態をチェックするために時間間隔をおいて参照放射源のスイッチが投入されるよう、参照放射源を制御するようになっており、その結果、測定放射源よりも参照放射源の消耗が少なく、
評価装置は、参照放射源のスイッチが投入されておりかつ測定放射源のスイッチが投入されている場合に、検出装置からの、測定放射源に基づく出力信号と参照放射源に基づく出力信号との差異に基づき、測定放射源の消耗を判定することを特徴とするガスセンサ機構。 - 検出装置(13)が、ガス測定室を通過するときの強度の変化を記録する少なくとも1つの放射検出器を含んでおり、または、ガス測定室の中に入った放射の吸収による測定ガスの圧力変化を記録するマイクロフォンを含んでいることを特徴とする、請求項1記載のガスセンサ機構。
- 測定放射源(7)と参照放射源(8)が、各々の光路(9,10)が検出装置(13)からの等しい有効光路長を有するように配置されており、またはガス測定室の対称軸に対して左右対称に位置していることを特徴とする、請求項1または2記載のガスセンサ機構。
- ガス測定室が少なくとも1つの対称軸を有しており、検出装置はこれらの対称軸のうちの1つの上に位置しており、測定放射源(7)と参照放射源(8)はこの対称軸に対して左右対称に、検出装置から等しい距離をおいて配置されていることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- ガス測定室が少なくとも1つの対称軸と、これらの対称軸のうちの1つに対して左右対称に配置された、帯域通過フィルタである光入射窓とを有しており、測定放射源(7)と参照放射源(8)はこの対称軸に対して左右対称に、光入射窓から等しい距離をおいて配置されていることを特徴とする、請求項1から3までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 評価回路(14)が、参照放射源(8)がスイッチ投入されているときと測定放射源(7)がスイッチ投入されているときの検出装置の各出力信号の比率の変化に基づいて消耗を判定することを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 少なくとも1つの波長選択素子(12)が設けられており、その波長領域は測定ガスに合わせて調整されるとともに、各放射源とガス測定室との間および/または検出装置の少なくとも1つの放射検出器に付属していることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 異なるガス成分および/またはその濃度を測定するために、異なる波長選択素子をもつ複数の放射検出器(15から17)が設けられていることを特徴とする、請求項7記載のガスセンサ機構。
- 波長選択素子が、検出装置に組み込まれた、または検出装置に前置された干渉フィルタとして構成されていることを特徴とする、請求項7または8記載のガスセンサ機構。
- 消耗を補正するために測定放射源(7)がその放射強度に関して制御可能であることを特徴とする、請求項1から9までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 測定放射源(7)の消耗を補正するために、増幅度を制御可能な増幅器がそれぞれの検出器に後置されていることを特徴とする、請求項1から10までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 評価装置(14)が、差異に依存する計算によって、濃度を決定するときに測定放射源(7)の消耗を考慮することを特徴とする、請求項1から10までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 消耗によって発生する測定放射源の変化を、測定されるべきガスの吸収帯域とは異なるスペクトル領域で測定する放射検出器が測定放射源(7)に付属しており、その変化が所定の値を上回ったときに参照放射源が作動することを特徴とする、請求項1から12までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 放射装置は3つの放射源からなり、3つの放射源は、一つの測定放射源と二つの参照放射源、または二つの測定放射源と一つの参照放射源からなることを特徴とする、請求項1から13までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
- 測定放射源及び参照放射源の動作電圧を監視するための監視ユニットと、差異がある場合に電圧を再調整および/または補正するための制御ユニット/調節ユニットとが設けられていることを特徴とする、請求項1から15までのいずれか1項記載のガスセンサ機構。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19925196A DE19925196C2 (de) | 1999-05-26 | 1999-05-26 | Gassensoranordnung |
DE19925196.7 | 1999-05-26 | ||
PCT/EP2000/004838 WO2000073768A2 (de) | 1999-05-26 | 2000-05-26 | Gassensoranordnung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003501622A JP2003501622A (ja) | 2003-01-14 |
JP4643875B2 true JP4643875B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=7909961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001500843A Expired - Fee Related JP4643875B2 (ja) | 1999-05-26 | 2000-05-26 | ガスセンサ機構 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6843102B1 (ja) |
EP (1) | EP1183520B1 (ja) |
JP (1) | JP4643875B2 (ja) |
DE (1) | DE19925196C2 (ja) |
WO (1) | WO2000073768A2 (ja) |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10221708B4 (de) * | 2002-05-16 | 2004-09-30 | Infratec Gmbh Infrarotsensorik Und Messtechnik | Verfahren zur Bestimmung der Konzentration von Gasen und Dämpfen und nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zur Durchführung des Verfahrens |
DE20301081U1 (de) | 2002-05-24 | 2003-04-10 | Dräger Safety AG & Co. KGaA, 23560 Lübeck | Optischer Gassensor |
ES2305159T3 (es) * | 2002-08-01 | 2008-11-01 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Maquina de mecanizado por laser. |
DE102004006677A1 (de) * | 2004-02-11 | 2005-09-15 | Kendro Laboratory Products Gmbh | Infrarot-Gassensor und Verfahren zur Gaskonzentrationsmessung mit diesem Sensor |
DE102004007946A1 (de) * | 2004-02-18 | 2005-09-15 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Gassensoranordnung in integrierter Bauweise |
DE102004028077A1 (de) * | 2004-06-09 | 2005-12-29 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Gassensoranordnung mit verkürzter Einschwingzeit |
DE102004030855A1 (de) | 2004-06-25 | 2006-01-12 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Verfahren zur Reduzierung von Kondenswasser bei Gassensoranordnungen |
DE102005020864B4 (de) | 2005-05-04 | 2007-11-15 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Gassensoranordnung mit verbesserter Langzeitstabilität und Messverfahren |
DE102005022288B4 (de) * | 2005-05-13 | 2007-08-16 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Gassensoranordnung und Messverfahren zur Verbesserung der Langzeitstabilität |
DE102005031857B8 (de) * | 2005-06-23 | 2006-11-16 | GfG Ges. für Gerätebau mbH | Optisches Analysegerät |
DE102005032722B3 (de) * | 2005-07-13 | 2006-10-05 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Gassensoranordung und Messverfahren mit Frühwarnung |
DE102005049522B3 (de) * | 2005-10-17 | 2007-06-06 | Gasbeetle Gmbh | Gassensoranordnung |
JP4733543B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2011-07-27 | 理研計器株式会社 | 赤外線式ガス検知器 |
DE102006019705B3 (de) * | 2006-04-27 | 2007-06-14 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Dynamisches Messwertfilter für eine Gassensoranordnung |
US20070267568A1 (en) * | 2006-05-16 | 2007-11-22 | Ir-Tec International Ltd. | Method for extending usage life span of infrared light sources for non-dispersive infrared (NDIR) gas sensing technology |
DE102006038365B3 (de) * | 2006-08-16 | 2007-12-20 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Messvorrichtung |
JP4356724B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2009-11-04 | 株式会社デンソー | 赤外線式ガス検知装置およびそのガス検知方法 |
DE102006054165B3 (de) * | 2006-11-16 | 2008-04-17 | Tyco Electronics Raychem Gmbh | Langzeitstabile optische Sensoranordnung, insbesondere Wasserstoffsensor, und kombinierte Gassensoranordnung |
US8117897B2 (en) * | 2006-11-27 | 2012-02-21 | Applied Nanotech Holdings, Inc. | Elliptical photo-acoustic sensor |
WO2008067282A2 (en) * | 2006-11-27 | 2008-06-05 | Nano-Proprietary, Inc. | Sono-photonic gas sensor |
DE102007014516B4 (de) | 2007-03-27 | 2008-12-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Messung des photoakustischen Signals mit rechnergestützter Auswertung |
DE102007024198A1 (de) * | 2007-05-24 | 2008-11-27 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse |
DE102008009100B4 (de) * | 2008-02-14 | 2010-05-12 | GFG Gesellschaft für Gerätebau mbH | Optisches Analysegerät |
CN103180698B (zh) * | 2010-10-28 | 2015-07-29 | 英派尔科技开发有限公司 | 光声传感器 |
US9228989B2 (en) * | 2011-01-25 | 2016-01-05 | Koninklijke Philips N.V. | System and method for performing heater-less lead selenide-based capnometry and/or capnography |
JP5698996B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2015-04-08 | 能美防災株式会社 | 光電式分離型感知器 |
FR2974413B1 (fr) * | 2011-04-21 | 2014-06-13 | Commissariat Energie Atomique | Detecteur de gaz photoacoustique a cellule de helmholtz |
US9086364B2 (en) * | 2011-04-28 | 2015-07-21 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with baseline and span correction |
US8939006B2 (en) * | 2011-05-04 | 2015-01-27 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic detector with long term drift compensation |
DE102012007030C5 (de) * | 2012-04-05 | 2019-01-10 | Drägerwerk AG & Co. KGaA | Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Aufnahme eines Absorptionsspektrums eines Fluids |
US20140107943A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-17 | Milton Roy Company | Gas intensity calibration method and system |
DE102014111093A1 (de) * | 2014-08-05 | 2016-02-11 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer Konzentration eines Fluids, Fahrerassistenzsystem, Kraftfahrzeug sowie Verfahren |
US10724945B2 (en) | 2016-04-19 | 2020-07-28 | Cascade Technologies Holdings Limited | Laser detection system and method |
US10180393B2 (en) | 2016-04-20 | 2019-01-15 | Cascade Technologies Holdings Limited | Sample cell |
GB201700905D0 (en) | 2017-01-19 | 2017-03-08 | Cascade Tech Holdings Ltd | Close-Coupled Analyser |
FR3077640B1 (fr) * | 2018-02-05 | 2023-06-30 | Elichens | Procede d'analyse d'un gaz par une double illumination |
JP6791214B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2020-11-25 | 横河電機株式会社 | 分光分析装置 |
DE102018215587A1 (de) * | 2018-09-13 | 2020-03-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Strahlleitende kavitätsstrukur, gassensor und verfahren zum herstellen der derselben |
CN109507140B (zh) * | 2018-10-16 | 2020-04-10 | 四方光电股份有限公司 | 一种高精度红外气体传感器及气体分析方法 |
FR3099828B1 (fr) * | 2019-08-06 | 2024-04-26 | Elichens | Procédé d'analyse d'un gaz par un capteur optique |
DE102020101218A1 (de) * | 2020-01-20 | 2021-07-22 | UMS - Umwelt-, Membran- und Sensortechnik GmbH & Co. KG | Gassensor mit sporadisch betriebener Referenzlichtquelle |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63184041A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 減光式煙感知器 |
US5247187A (en) * | 1991-09-20 | 1993-09-21 | AVL Gesellschaft fuer Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH, Prof. Dr.Dr.h.c. Hans List | Measuring instrument and measuring method for identifying properties of a specimen with matched dual source calibration |
JPH0623958Y2 (ja) * | 1989-05-27 | 1994-06-22 | 株式会社堀場製作所 | 赤外線分析計 |
JPH072962U (ja) * | 1993-06-14 | 1995-01-17 | 株式会社堀場製作所 | 赤外線ガス分析計 |
JPH0763682A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-03-10 | Koyo Seiko Co Ltd | 赤外線ガス分析計 |
JPH10185816A (ja) * | 1996-12-21 | 1998-07-14 | Horiba Ltd | 赤外線分析計 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3745349A (en) * | 1971-11-18 | 1973-07-10 | M Liston | Single path,dual source radiant energy analyzer |
DE3544015A1 (de) * | 1985-12-13 | 1987-06-19 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Gasanalysevorrichtung |
DK247786D0 (da) * | 1986-05-27 | 1986-05-27 | Brueel & Kjaer As | Fotoakustisk gasanalysator |
US5341214A (en) * | 1989-09-06 | 1994-08-23 | Gaztech International Corporation | NDIR gas analysis using spectral ratioing technique |
DE4307190A1 (de) * | 1993-03-08 | 1994-11-10 | Merkel Wolfgang | Infrarot-Gasanalysator RR |
DE4320861A1 (de) * | 1993-06-23 | 1995-01-05 | Hekatron Gmbh | Schaltungsanordnung für einen optischen Melder zur Umweltüberwachung und Anzeige eines Störmediums |
DE9420231U1 (de) * | 1994-12-21 | 1995-02-09 | Hekatron GmbH, 79295 Sulzburg | Vorrichtung zum Detektieren eines Gases |
DE19520488C1 (de) * | 1995-06-03 | 1996-09-05 | Draegerwerk Ag | Meßvorrichtung zur Infrarotabsorption |
DE19525703A1 (de) * | 1995-07-14 | 1997-01-16 | Gerhard Dr Wiegleb | Gasanalysator |
EP0762107A1 (en) * | 1995-09-11 | 1997-03-12 | FISHER & PAYKEL LIMITED | An infrared gas analyser and humidity sensor |
DE29602282U1 (de) * | 1996-02-10 | 1996-06-20 | Wiegleb, Gerhard, Prof. Dr., 58849 Herscheid | Infrarot-Gassensor |
DE29615100U1 (de) * | 1996-08-30 | 1998-01-02 | Bosch Gmbh Robert | Meßvorrichtung zur Analyse der Abgaszusammensetzung von Ottomotoren |
US6097034A (en) * | 1998-02-12 | 2000-08-01 | Instrumentarium Oy | Radiation source assembly and transducer for analyzing gases or other substances |
-
1999
- 1999-05-26 DE DE19925196A patent/DE19925196C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-05-26 WO PCT/EP2000/004838 patent/WO2000073768A2/de active Application Filing
- 2000-05-26 US US09/979,858 patent/US6843102B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-26 JP JP2001500843A patent/JP4643875B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-26 EP EP00929563.5A patent/EP1183520B1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63184041A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Matsushita Electric Works Ltd | 減光式煙感知器 |
JPH0623958Y2 (ja) * | 1989-05-27 | 1994-06-22 | 株式会社堀場製作所 | 赤外線分析計 |
US5247187A (en) * | 1991-09-20 | 1993-09-21 | AVL Gesellschaft fuer Verbrennungskraftmaschinen und Messtechnik mbH, Prof. Dr.Dr.h.c. Hans List | Measuring instrument and measuring method for identifying properties of a specimen with matched dual source calibration |
JPH072962U (ja) * | 1993-06-14 | 1995-01-17 | 株式会社堀場製作所 | 赤外線ガス分析計 |
JPH0763682A (ja) * | 1993-08-24 | 1995-03-10 | Koyo Seiko Co Ltd | 赤外線ガス分析計 |
JPH10185816A (ja) * | 1996-12-21 | 1998-07-14 | Horiba Ltd | 赤外線分析計 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19925196C2 (de) | 2001-12-13 |
US6843102B1 (en) | 2005-01-18 |
WO2000073768A2 (de) | 2000-12-07 |
DE19925196A1 (de) | 2000-12-21 |
EP1183520A2 (de) | 2002-03-06 |
JP2003501622A (ja) | 2003-01-14 |
WO2000073768A3 (de) | 2001-04-19 |
EP1183520B1 (de) | 2016-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4643875B2 (ja) | ガスセンサ機構 | |
KR100778197B1 (ko) | 기체 검출 방법 및 기체 검출기 장치 | |
US6791689B1 (en) | Sensor assembly and method for measuring nitrogen dioxide | |
KR100395460B1 (ko) | Ndir 계기 | |
US5261415A (en) | CO2 mainstream capnography sensor | |
EP1605251B1 (en) | Gas sensor arrangement with reduced settling time | |
CN103975231B (zh) | 气体传感器 | |
JP2001507798A (ja) | 光音響装置及び複数ガス感知方法 | |
JPH09510550A (ja) | 呼吸ガス分析器 | |
US20030205673A1 (en) | Respiratory gas analyzer | |
US11555780B2 (en) | Photoacoustic sensor with replacement gas and detection process using such a sensor | |
US7626168B2 (en) | Method for reducing condensation water in gas sensor arrangements | |
US7244940B2 (en) | Gas sensor arrangement and measuring method for improving long-term stability | |
US7332719B2 (en) | Gas sensor arrangement with improved long term stability and measuring method | |
KR101346439B1 (ko) | 방출체의 온도를 측정하기 위해 대역통과 필터를 이용하는 가스 센서 | |
EP2702391B1 (en) | Apparatus and method for controlling radiation source variability for optical gas measurement systems | |
US7166843B2 (en) | Technique for detecting ethylene oxide in air | |
EP1800109A1 (en) | Method and sensor for infrared measurement of gas | |
JP3245144U (ja) | ガス濃度測定装置 | |
JP4176535B2 (ja) | 赤外線分析装置 | |
JP4906477B2 (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 | |
WO2001084096A1 (en) | Co2 gas measurement system for a laboratory incubator | |
JPS6329240Y2 (ja) | ||
Dussault et al. | CO 2 mainstream capnography sensor | |
JPS63237592A (ja) | 色素レ−ザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040408 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040408 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041013 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100305 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100312 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100406 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100608 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101006 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4643875 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |