JP4630768B2 - 位置決めステージ及び回転ステージ - Google Patents
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Description
110 本体部
120 基台
121 雌ネジ(ネジ)
130 弾性体
140 板状台
140a 上面
140b 側面
141 雄ネジ(ネジ)
160,160’ アクチュエータ
161 積層型圧電素子
163,164 錘
210 移動体
211 傾斜面
220 ステージ本体
221 接触面
230 ステージ保持体
250 枠体
Claims (11)
- ネジを備えた基台と、該基台のネジと螺合するネジを一方の面の中央近傍に立設し、両ネジが螺合して回転することで基台との距離が変更可能な板状台と、該板状台の前記ネジの両側に衝撃力を付与して板状台に前記ネジを中心とした回転を与える複数のアクチュエータと、前記板状台と前記基台とを相互に接近方向又は離反方向に付勢する弾性体と、を有することを特徴とする位置決めステージ。
- 前記弾性体が、前記基台と一体に形成され、前記板状台を基台に向けて押圧することを特徴とする請求項1に記載の位置決めステージ。
- 前記弾性体が、前記基台側に前記板状台の回動中心を点接触で押圧する押圧子を有し、前記基台と反対側にステージ本体を有することを特徴とする請求項2に記載の位置決めステージ。
- 傾斜面を有する移動体と、該移動体を前記傾斜面の傾斜方向に沿って進退させる駆動手段と、前記移動体の傾斜面と平行な接触面を備えたステージ本体と、該ステージ本体の接触面を前記移動体の傾斜面に圧接させる弾性体と、前記ステージ本体を前記傾斜面と交差する方向に進退可能に保持するステージ保持体と、を有し、前記駆動手段が積層型圧電素子又は磁歪素子を有し、該積層型圧電素子又は磁歪素子の急峻な変形によって生ずる衝撃力を前記移動体に付与することを特徴とする位置決めステージ。
- 前記駆動手段が、前記移動体を傾斜面を傾斜方向に沿って進退させる複数のアクチュエータであることを特徴とする請求項4記載の位置決めステージ。
- 前記駆動手段が、前記移動体をその傾斜方向の両側から挟んで回動することによって該移動体を前記傾斜面の傾斜方向に沿って進退させる枠体と、該枠体を回動するために枠体の回動軸の両側に衝撃力を付与して枠体に回転を与える複数のアクチュエータとを有することを特徴とする請求項4記載の位置決めステージ。
- 前記アクチュエータが、積層型圧電素子又は磁歪素子を有し、該積層型圧電素子又は磁歪素子の急峻な変形によって生ずる衝撃力を前記板状台、移動体又は枠体に付与することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の位置決めステージ。
- 前記積層型圧電素子又は磁歪素子の変位方向の前及び/又は後に錘を設け、前記積層型圧電素子又は磁歪素子の衝撃力の慣性力を増加して前記板状台に加えることを特徴とする請求項7記載の位置決めステージ。
- 基台と、該基台に回動自在に支持される板状台と、該板状台の回動軸の両側に衝撃力を付与して板状台に回転を与える複数のアクチュエータと、前記板状台と前記基台とを接近方向又は離反方向に向けて付勢する弾性体と、を有することを特徴とする回転ステージ。
- 前記アクチュエータが、積層型圧電素子又は磁歪素子を有し、該積層型圧電素子又は磁歪素子の急峻な変形によって生ずる衝撃力を前記板状台に付与することを特徴とする請求項9記載の回転ステージ。
- 前記積層型圧電素子又は磁歪素子の変位方向の前及び/又は後に錘を設け、前記積層型圧電素子又は磁歪素子の衝撃力の慣性力を増加して前記板状台に加えることを特徴とする請求項10記載の回転ステージ。
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