JP2023543348A - ナノメートルレベルの分解能を有する圧電モーター - Google Patents

Abstract

本発明は、電圧を加えると長さが長くなる圧電素子（Ｐｉｅｚｏ ａｃｔｕａｔｏｒ）を用いて、ナノメートルレベルの非常に微細な分解能で動くことができる圧電モーターに関する。本発明による圧電モーターは、上面、下面、及び前記上面と前記下面を連結する側面を有する本体と、前記本体の上面に配置され長さ方向に延びる圧電体と、上面と下面を含み、長さ方向に延び、一端が前記圧電体の一端に連結されており、前記本体の上面に配置されるロッドと、前記ロッドを介在するように配置され、前記ロッドに所定の摩擦力を提供する支持部材と、を含み、前記支持部材は、前記圧電体の収縮または膨張に連動する前記ロッドによって駆動され、前記支持部材の下面と前記本体の上面とが少なくとも一部が当接して前記支持部材が前記本体の上面をスライディングして駆動されることを特徴とする。

Description

本発明は、電圧を加えると長さが長くなる圧電素子（Ｐｉｅｚｏ ａｃｔｕａｔｏｒ）を用いて、ナノメートルレベルの非常に微細な分解能で動くことができる圧電モーターに関する。

圧電体（ｐｉｅｚｏ ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｍａｔｅｒｉａｌ）は、圧力を加えると電圧を発生させ、電圧を加えると機械的に振動し変形する物質である。このような物理的特性に基づいて、圧電体は様々な技術分野に適用されており、圧電アクチュエーター（ｐｉｅｚｏ ｅｌｅｃｔｒｉｃ ａｃｔｕａｔｏｒ）とも呼ばれる圧電モーター（ｐｉｅｚｏ ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｍｏｔｏｒ）がその１つである。

このような圧電モーターは、電磁モーターとは異なり、磁石や巻線を必要とせず、動力を伝達するための複雑なギア構造も必要としない。したがって、圧電モーターは、電磁モーターに比べて騒音とノイズが少なく、小型化に適した利点を有する。

特に、試料とプローブとの間に作用する原子力、トンネリング電流、電磁力などの物理量を測定する走査プローブ顕微鏡で、試料とプローブとの間の距離をナノメートル（ｎｍ）からマイクロメートル（μｍ）まで精密にするための動きのために、上述の圧電モーターが主に使用される。

ナノメートル（ｎｍ）からマイクロメートル（μｍ）まで微細な動きを実現するための圧電モーターとして、下記の特許文献には、図１０に示すように、ベース板１と、ベース板１上で移動するキャリッジ２と、キャリッジ２をベース板１上でスライディング可能にするベアリング３と、圧電素子４と、圧電素子４に接続されるグラファイトロッド５と、を含み、圧電素子４の両側にスプリング１０を含むスクリュー９を介して垂直抗力を制御することにより、圧電素子４の変形によってナノメートル（ｎｍ）レベルの分解能で位置を制御できる圧電モーターが開示されている。

ところで、前記圧電モーターは、グラファイトロッド５に連動するキャリッジ２とベース板１との間の摩擦を低減するために、間隔をあけたりベアリングを挿入する構造を採用している。ところが、このような構造は複雑であるだけでなく、２つの部品間の間隔が平行でなければ傾いて動き、最終的に正確な線形運動をすることができなくなるという問題点がある。

また、下記の特許文献に開示された圧電モーター（ＸＹスキャナ用圧電モーター）の場合、グラファイトロッド５を支持する部分が全体パートに比べて片側に偏っており、ボルトとスプリングの固定力により図１１に示すように後方の部分が広がる（特に、グラファイトロッド５が一方向に移動すると、接する領域が減少し、一層そうである）。このようになると、グラファイトロッド５の動きに変化が発生し、精密な運動をしにくいだけでなく、モーターの移動可能な距離が短くなる。さらにはモーターが動かなくなる原因となる。

米国登録特許公報第５，９１２，５２７号

本発明は、上述した従来技術の問題点を解決するためのものであり、本発明の１つの目的は、ナノメートルレベルの極めて微細な分解能を実現できる範囲が数ｎｍ～数ｍｍの範囲に大きく拡張されるだけでなく、ベアリングを使用せず、構造的に製作が容易で精密な線形移動が可能な圧電モーターを提供することにある。

また、本発明の他の目的は、圧電モーターの動きに影響を与えずにワークの位置に関する正確な情報を得ることができる位置センサーを備えた圧電モーターを提供することにある。

上記の１つの目的を達成するために、本発明の第１側面は、上面、下面、及び前記上面と前記下面を連結する側面を有する本体と、前記本体の上面に配置され長さ方向に延びる圧電体と、上面と下面を含み、長さ方向に延び、一端が前記圧電体の一端に連結されており、前記本体の上面に配置されるロッドと、前記ロッドを介在するように配置され、前記ロッドに所定の摩擦力を提供する支持部材と、を含み、前記支持部材は、前記圧電体の収縮または膨張に連動する前記ロッドによって駆動され、前記支持部材の下面と前記本体の上面とが少なくとも一部が当接して前記支持部材が前記本体の上面をスライディングして駆動される、圧電モーターを提供することである。

前記当接する部分は、６００グリット（ｇｒｉｔ）以上の研磨ペーパーで研磨加工されるか、または前記研磨ペーパーによって得ることができる表面粗さよりも低い表面粗さを有するように研磨加工することができる。

前記支持部材は、前記ロッドの上部に配置され、下面の少なくとも一部に前記ロッドの上面と対応する形状からなって前記ロッドの上面に接するように形成された上部支持部と、前記ロッドの下部に配置され、上面の少なくとも一部に前記ロッドの下面と対応する形状からなって前記ロッドの下面に接するように形成された下部支持部と、前記ロッドを挿入する挿入口が形成されており、前記上部支持部と前記下部支持部の側部に配置されて前記上部支持部と前記下部支持部との間の間隔を維持するように固定する側部支持部と、を含み、前記上部支持部の前記ロッドの上面に接するように形成された部分と前記下部支持部の前記ロッドの下面に接するように形成された部分には、前記ロッドに接する部分に加えられる摩擦力を調節する摩擦力調節手段が設けられていてもよい。

前記側部支持部は、前記ロッドが延びる方向の上部支持部と下部支持部の一側部に配置される第１側部支持部と、前記ロッドが延びる方向の上部支持部と下部支持部の一側部に対向する側部に配置される第２側部支持部と、前記第１側部支持部と前記第２側部支持部との間を固定する締結部材と、を含むことができる。

前記摩擦力調節手段は、前記上部支持部の前記ロッドの表面に接するように形成された部分または前記下部支持部の前記ロッドの下面に接するように形成された部分のうちいずれか一方に挿入されるボルトと、前記ボルトの外周部に挿入されるスプリングと、を含むことができる。

上記の他の目的を達成するための本発明の第２側面は、上面、下面、及び前記上面と前記下面を連結する側面を有する本体と、前記本体の上面に配置され長さ方向に延びる圧電体と、上面と下面を含み、長さ方向に延び、一端が前記圧電体の一端に固定されており、前記本体の上面に配置されるロッドと、前記ロッドを介在するように配置され、前記ロッドに所定の摩擦力を提供する支持部材と、前記支持部材の位置を検知する位置センサーと、を含み、前記支持部材は、前記圧電体の収縮または膨張に連動する前記ロッドとの摩擦力によって駆動され、前記位置センサーは、前記支持部材の駆動方向に平行な一側面に配置される導電帯と、この導電帯に接触する第１弾性体と、前記一側面に対向する前記支持部材の他側面に配置される抵抗帯と，この抵抗帯に接触する第２弾性体と、を含み、前記第１弾性体と前記第２弾性体が前記支持部材に加える弾性力が互いに相殺するように配置される、圧電モーターを提供することである。

本発明に係る圧電モーターは、機械的に動くステップモーターと比較すると、機械的に噛み合いながら発生し得る逆回転がないという点で位置制御に対する信頼性が高く、電圧を変えながらステップサイズを調節できるので所望の動きを得ることができ、精密な調節が可能である。

また、ワークである支持部材の下面が本体の上面に直接接しながらスライディングする方式で駆動されるため、従来技術のベアリングや間隔を置いて動作する構造に比べて構造的安定性に優れ、線形動作が容易で圧電体とロッドが力を受けて傾く問題を解決した。

また、本発明の一実施形態による圧電モーターは、側部支持部固定手段が形成されており支持部材を構成する上、下支持部の広がりを防ぐことができ、従来技術の圧電モーターで支持部材の広がりにより発生する圧電モーターの動きが遅くなる問題点を解決した。

これにより、本発明による圧電モーターは、ナノメートルレベルの極めて微細な分解能を実現できる範囲を数ｎｍ～数ｍｍの範囲に大きく拡張することができる。

また、本発明の他の実施形態による圧電モーターは、光学式位置センサーに比べて精密に位置を取得できる接触式位置センサーを含み、前記位置センサーは導電帯と抵抗帯を分離して支持部材の相互対向する側面に設け、抵抗を測定するための２つのフィンガースプリングが相互対向するように配置することにより、互いの弾性支持力が相殺されるようにして、フィンガースプリングの弾性支持力によって圧電モーターが損傷したり、圧電モーターの動作が影響され、線形運動の精密度が低下する問題を除去した。

本発明の実施例１による圧電モーターの平断面図である。 本発明の実施例１による圧電モーターを構成する本体を除いた部分の斜視図である。 図２の透視図である。 図２の分解斜視図である。 図２のＡ－Ａ断面図である。 実施例１による圧電モーターを駆動するために使用した鋸歯状電圧波形の例示である。 本発明の実施例１により製造された圧電モーターの駆動試験結果を示すグラフ（ａ）と、側部支持部を備えない従来構造の圧電モーターの駆動試験結果を示すグラフ（ｂ）である。 本発明の実施例２による圧電モーターの平断面図である。 本発明の実施例２による圧電モーターを構成する位置センサーに対する概略図である。 従来技術による圧電モーターの斜視図である。 従来技術による圧電モーターの構造において圧電体と接合されたロッドを支持する支持部材の支持状態を概略的に示す図である。

以下、本発明の実施例について添付の図面を参照してその構成及び作用を説明する。

本発明の説明において、関連する公知の機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要にぼやけることができると判断される場合には、その詳細な説明を省略する。また、ある部分がある構成要素を「含む」と言う場合、これは、特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに含み得ることを意味する。

［実施例１］
図１は本発明の実施例１による圧電モーターの平断面図であり、図２は本発明の実施例１による圧電モーターを構成する本体を除いた部分の斜視図であり、図３は図２の透視図であり、図４は図２の分解斜視図であり、図５は図２のＡ－Ａ断面図である。

図１を参照すると、本発明の実施例１による圧電モーター１００は、大体に本体１１０と、前記本体１１０上に配置される圧電体１２０と、前記圧電体１２０と連結されるロッド１３０と、前記ロッド１３０を介在するように形成された支持部材１４０と、を含んで構成される。

前記本体１１０は、上面、下面、及び前記表面と前記下面を連結する側面を有するように形成され、本発明の実施例１では、上から見て略四角形に形成されている。本発明の実施例１では、本体１１０の形状を上から見ると四角形に形成したが、前記本体１１０に配置される各構成を円滑に動作させることができれば、四角形に特に限定されない。

前記本体１１０は、低温で変形が少なくて磁場に影響されないようにする場合、チタンまたはチタン合金で製造されることが好ましいが、必ずしもこれに限定されず、適用される用途に合わせてアルミニウム、ステンレス鋼など他の素材で製造されてもよい。

前記圧電体１２０は、電圧を印加すると膨張／収縮が起こる圧電素子を１つまたは２つ以上積層し長さ方向に延びる略四角柱状に形成されている。また、前記圧電体１２０の一端部は前記本体１１０に固定される。

前記圧電素子を１つとするのか、複数の積層構造とするのか、または圧電素子の物質をどんなものとするのかについては、ワーク（支持部材）の大きさ、圧電モーターに要求されるスキャン範囲のような性能に合わせて多様に調節することができる。

図１～図４に示すように、前記圧電体１２０は前記ロッド１３０の形状に合わせて四角柱状に形成されているが、圧電体の形状はロッド１３０の形状に合わせて円形のように四角形でない他の形状に形成されてもよく、ロッド１３０の形状とは異なる形状に形成されてもよい。

前記ロッド１３０は、前記圧電体１２０の収縮／膨張動作に連動して動作しながら慣性（ｉｎｅｒｔｉａ）動きを与えるためのものである。前記ロッド１３０は、長さ方向に延びる四角柱として形成され、一端が前記圧電体１２０の本体１１０に固定されていない端部に連結される。ここで、ロッド１３０が圧電体１２０に連結されていることは、物理的に接着された状態、または単に接触している状態を含む。

前記ロッド１３０は、グラファイト（ｇｒａｐｈｉｔｅ）で製造されることが好ましく、ロッド１３０として機能できるものであれば、その物質が必ずしもグラファイトに限定されない。

また、前記グラファイトロッド１３０は、表面の摩擦係数を減らすために、６００グリット（ｇｒｉｔ）以上の研磨ペーパーを用いて研磨加工することが好ましく、８００グリット（ｇｒｉｔ）以上のＳｉＣ基板の研磨ペーパーを用いることがより好ましい。

前記支持部材１４０は、図４に示すように大きく、上部支持部１４１と、下部支持部１４２と、第１側部支持部１４３と、第２側部支持部１４４と、摩擦力制御手段１４５と、側部支持部固定手段１４６と、を含んで構成される。

前記支持部材１４０の下面を構成する部材１４２、１４３、１４４のすべての下面、または下部支持部１４２の下面の少なくとも一部は、前記本体１１０の上面と直接接するように配置される。これにより、前記支持部材１４０は前記本体１１０の上面をスライディングする形態で駆動される。

このために、前記支持部材１４０がスライディングする本体１１０の上面と前記支持部材１４０の下面も６００グリット（ｇｒｉｔ）以上の研磨ペーパーを用いて研磨加工されることが好ましい。すなわち、表面粗さを低くすることによって支持部材１４０のスライディング駆動が可能となる。本発明の実施例１では研磨ペーパーを用いて研磨したが、表面粗さを前記研磨ペーパーの研磨加工に比べてより低く維持できる研磨方法であれば、制限なく用いることができる。

本発明の実施例１では、本体１１０と支持部材１４０の相互間に接する面の表面粗さを低くし、支持部材１４０と本体１１０が直接接触してスライディングする方式を用いるため、従来に支持部材と本体との間にベアリングを配置したり間隔を置く方式に比べ、構造的にも安定して従来の圧電モーターで本体と支持部材との間に形成される間隔により傾いたり、あるいは圧電体とロッドが力を受けて傾く問題を解消できるようになる。

前記上部支持部１４１は、前記ロッド１３０の上部に配置され、下面の中央の一部には、前記ロッド１３０の四角断面に対応するようにＶ字型の溝１４１ａが形成されており、Ｖ字型の溝に延びて略半円形の溝１４１ｂが形成されており、下面の両側には、前記側部支持部固定手段１４６を挿入するための略四角形の溝１４１ｃが形成されている。前記Ｖ字型の溝１４１ａの両側には、前記摩擦力制御手段１４５を締結するための締結孔１４１ｄが形成されている。

前記下部支持部１４２は、前記上部支持部１４１とともに前記ロッド１３０を介在することができるように、前記ロッド１３０の下部に配置され、上面の中央の一部には、前記ロッド１３０の四角断面に対応するようにＶ字型の溝１４２ａが形成されており、Ｖ字型の溝１４２ａに延びて略半円形の溝１４２ｂが形成されており、上面の両側には、前記側部支持部固定手段１４６を挿入するための略四角形の溝１４２ｃが形成されている。前記Ｖ字型の溝１４２ａの両側には、前記摩擦力制御手段１４５を締結するための締結孔１４２ｄが形成されている。前記締結孔１４２ｄの内側の少なくとも一部には螺旋部（図示せず）が形成されている。

前記第１側部支持部１４３は、前記ロッド１３０を介して上下に配置された上部支持部１４１及び下部支持部１４２の一側に配置され、図４に示すように、中央には略半円形の溝１４３ａからなり、両側には前記側部支持部固定手段１４６を挿入するための締結孔１４３ｂが形成されている。

前記第２側部支持部１４４は、前記ロッド１３０を介して上下に配置された上部支持部１４１及び下部支持部１４２の他方側に配置され、中央には前記第１側部支持部１４３と反対方向に向かって略半円形の溝１４４ａが形成されており、両側には前記側部支持部固定手段１４６を挿入するための締結孔１４４ｂが形成されている。

前記摩擦力制御手段１４５は、前記ロッド１３０と支持部材１４０との間の摩擦力を制御するための手段である。

前記摩擦力制御手段１４５は、図４及び図５に示すように、２つのボルト１４５ａと、前記２つのボルト１４５ａにそれぞれ挿入される２つのスプリング１４５ｂと、を含んで構成され、前記スプリング１４５ｂを挿入した状態で、前記ボルト１４５ａを前記上部支持部１４１の締結孔１４１ｄに挿入して、前記下部支持部１４２の締結孔１４２ｄの締結孔に形成された螺旋部と螺旋結合させる。

前記ボルト１４５ａとスプリング１４５ｂの長さを調節すると、前記ロッド１３０と前記ロッド１３０に接する上部支持部１４１及び下部支持部１４２の面との間の垂直抗力を調節することができ、これにより、前記ロッド１３０に加えられる摩擦力を調節することができる。

前記側部支持部固定手段１４６は、２つのボルトを含んで構成される。前記ボルトは、前記第１側部支持部１４３に形成された締結孔１４３ｂに挿入され、前記上部支持部１４１及び下部支持部１４２にそれぞれ形成された四角形の溝１４１ｃ、１４２ｃを貫通して、前記第２側部支持部１４４に形成された締結孔１４４ｂに挿入され、締結孔１４４ｂに形成された螺旋部と螺旋結合される。このような側部支持部固定手段１４６により、前記ロッド１３０のうち摩擦力制御手段１４５により支持される以外の部分において上部支持部１４１及び下部支持部１４２の間隔が広がったり狭くなったりすることなく一定の間隔を維持することができ、ロッド１３０がより精密に線形動作をすることができる。

次に、本発明の実施例１による圧電モーター１００の動作過程について説明する。

本発明の実施例１による圧電モーター１００は、鋸歯状波形の電圧を用いてスティックスリップ動作で駆動することができる。

支持部材１４０を図２の矢印方向に駆動するために、図６に示すような鋸歯状波形の電圧を印加する。電圧が徐々に増加する部分では圧電体１２０の長さが徐々に増加するが、このとき、圧電体１２０の一側は本体１１０に固定されているため、本体１１０に固定されていない矢印方向に増加することになり、これに連動してロッド１３０が矢印方向に移動し、ロッド１３０に所定の摩擦力で支持されている支持部材１４０も矢印方向に移動する。

一方、電圧が急激に減少する部分で圧電体１２０の長さは瞬時に短くなって元の位置に戻り、これに連動してロッド１３０が矢印反対方向に急激に移動するとき、支持部材１４０は慣性によって滑り、その場を維持することになる。

このようなスティック／スリップ動作により、鋸歯状波形の電圧が印加されると、矢印方向に支持部材１４０が駆動される。逆の動作が必要な場合、収縮動作が行われる鋸歯状波形を印加すればよい。

このとき、支持部材１４０の下面は本体１１０の上面に直接接しながらスライディングするので、構造的にも安定しており、従来の圧電モーターに形成された間隔により傾いたり、あるいは圧電体とロッドが力を受けて傾いたりする問題が解決される。

さらに、本発明の実施例１では、前記側部支持部固定手段１４６を介して、従来技術の支持部材４と同様に片側で広がる問題（図１１参照）を解決することによって、ロッドが一方向に進むにつれ、前記摩擦力制御手段１４５がロッド１３０と接触する面積が減少し、圧電モーターの動きが遅くなり線形運動が難しくなる問題点を解決した。これにより、さらに精密な線形運動が可能になる。

図７（ａ）は、本発明の実施例１による圧電モーターに１０Ｖで４，０００個の鋸歯状波を加えたときに圧電モーターが移動した距離を示すグラフである。図７（ａ）で確認されるように、約２ｍｍ程度移動し、１個の鋸歯状波に対して５００ｎｍで移動したことが分かる。すなわち、本発明の実施例１による圧電モーターで、ナノメートルレベルの極めて微細な分解能を実現できる範囲が数ｎｍ～数ｍｍの範囲に大きく拡張されたことが分かる。

これに対して、図７（ｂ）に示すように、側部支持部を備えない従来の圧電モーターの場合、位置を読み込みながら部分的に跳ねる値が見られるので、本発明の実施例による圧電モーターの安定性が非常に優れていることが分かる。

［実施例２］
本発明の実施例２による圧電モーター２００は、実施例１による圧電モーター１００に加えて、ワーク（すなわち、支持部材１４０）の移動に伴う位置を測定するための位置センサー２１０をさらに含むことを特徴とする。その他の構成は実施例１と同様であるので説明を省略し、実施例１で説明した構成については同一の図面番号を用いて説明する。

図８は本発明の実施例２による圧電モーターの平断面図であり、図９は本発明の実施例２による圧電モーターを構成する位置センサーに対する概略図である。

図８及び図９を参照すると、前記位置センサー２１０は、導電帯２１１とこの導電帯２１１に接触する第１弾性体２１２と、抵抗帯２１３とこの抵抗帯２１３に電気的に接触する第２弾性体２１４と、前記第１弾性体２１２と第２弾性体２１４とを電気的に接続する配線（図示せず）と、を含んで構成される。

前記導電帯２１１は、図８に示すように、支持部材１４０の移動方向に平行な本体１１０の一側面に形成され、図９に示すように点線状に形成されている。

前記導電帯２１１は、支持部材１４０の一側面に配置されたフィンガースプリングからなる第１弾性体２１２を介して電気的に接触している。

前記抵抗帯２１３は、図８に示すように、支持部材１４０の移動方向に平行な本体１１０の他方の側面に形成され、図９に示すように斜線状に形成されている。

前記抵抗帯２１３は、支持部材１４０の他方の側面に配置されたフィンガースプリング（ｆｉｎｇｅｒ ｓｐｒｉｎｇ）からなる第２弾性体２１４を介して電気的に接触している。

一方、フィンガースプリングに直接電線接続をして抵抗を読み取ると、圧電モーターの動きにより電線が切れる危険があり、電線がフィンガースプリングの動きを妨げる可能性もある。本発明の実施例２では、抵抗に接触しているフィンガースプリングと導電帯に接触しているフィンガースプリングとの間を電気的に接続することによってこのような問題を解決した。

このような構造により、全体抵抗と抵抗の一端とフィンガースプリングとの間の抵抗を得ることができ，この抵抗の大きさを位置に変換できるので、ワーク（すなわち、支持部材１４０）の位置を正確に知ることができる。具体的に、図９に示すように、全体抵抗Ｒと抵抗の一端とフィンガースプリングとの間の抵抗Ｒ１３またはＲ２３）を得ることができ、Ｒ１３／Ｒ１２あるいはＲ２３／Ｒ１２を介して抵抗の大きさを位置に変換することができる。

一方、位置センサーを構成する際には、フィンガースプリングを支持部材１４０の片側のみに配置して位置情報を取得することもできる。しかし、この場合、フィンガースプリングによる弾性支持力が圧電体１２０、ロッド１３０及び支持部材１４０の一方にのみ加えられ、この力によって積層されている圧電体の層が分離されたり、または圧電モーターの動き自体に影響を与える可能性がある。

本発明の実施例２による圧電モーター２００において、位置センサー２１０は、導電帯２１１と抵抗帯２１３を分離して支持部材１４０の対向する側面に設け、２つのフィンガースプリング２１２、２１４を互いに対向するように配置することによって、互いの弾性支持力を相殺させ、これにより、フィンガースプリングの弾性支持力によって圧電モーターが損傷したり、圧電モーターの動作が影響されて線形運動の精密度が低下したりする問題を除去した。

このような構造により、支持部材１４０の精密な線形動作が可能であり、同時に支持部材１４０の位置を精密に測定することができる。

１００、２００：圧電モーター
１１０：本体
１２０：圧電体
１３０：ロッド
１４０：支持部材
１４１：上部支持部
１４２：下部支持部
１４３：第１側部支持部
１４４：第２側部支持部
１４５：摩擦力制御手段
１４６：側部支持部固定手段
２１０：位置センサー
２１１：導電帯
２１２：第１弾性体
２１３：抵抗帯
２１４：第２弾性体

Claims (6)

1. 上面、下面、及び前記上面と前記下面を連結する側面を有する本体と、
   前記本体の上面に配置され長さ方向に延びる圧電体と、
   上面と下面を含み、長さ方向に延び、一端が前記圧電体の一端に連結されており、前記本体の上面に配置されるロッドと、
   前記ロッドを介在するように配置され、前記ロッドに所定の摩擦力を提供する支持部材と、を含み、
   前記支持部材は、前記圧電体の収縮または膨張に連動する前記ロッドによって駆動され、
   前記支持部材の下面と前記本体の上面とが少なくとも一部が当接して前記支持部材が前記本体の上面をスライディングして駆動される、圧電モーター。
2. 前記当接する部分は、６００グリット（ｇｒｉｔ）以上の研磨ペーパーで研磨加工されるか、または前記研磨ペーパーによって得ることができる表面粗さよりも低い表面粗さを有するように研磨加工される、請求項１に記載の圧電モーター。
3. 前記支持部材は、
   前記ロッドの上部に配置され、下面の少なくとも一部に前記ロッドの上面と対応する形状からなって前記ロッドの上面に接するように形成された上部支持部と、
   前記ロッドの下部に配置され、上面の少なくとも一部に前記ロッドの下面と対応する形状からなって前記ロッドの下面に接するように形成された下部支持部と、
   前記ロッドを挿入する挿入口が形成されており、前記上部支持部と前記下部支持部の側部に配置されて前記上部支持部と前記下部支持部との間の間隔を維持するように固定する側部支持部と、を含み、
   前記上部支持部の前記ロッドの上面に接するように形成された部分と前記下部支持部の前記ロッドの下面に接するように形成された部分には、前記ロッドに接する部分に加えられる摩擦力を調節する摩擦力調節手段が設けられている、請求項１に記載の圧電モーター。
4. 前記側部支持部は、
   前記ロッドが延びる方向の上部支持部と下部支持部の一側部に配置される第１側部支持部と、
   前記ロッドが延びる方向の上部支持部と下部支持部の一側部に対向する側部に配置される第２側部支持部と、
   前記第１側部支持部と前記第２側部支持部を固定する締結部材と、を含む、請求項３に記載の圧電モーター。
5. 前記摩擦力調節手段は、
   前記上部支持部の前記ロッドの表面に接するように形成された部分または前記下部支持部の前記ロッドの下面に接するように形成された部分のうちいずれか一方に挿入されるボルトと、前記ボルトの外周部に挿入されるスプリングと、前記ボルトの端部近傍に形成されて前記ボルトの端部を固定する螺旋部と、を含む、請求項３に記載の圧電モーター。
6. 上面、下面、及び前記上面と前記下面を連結する側面を有する本体と、
   前記本体の上面に配置され長さ方向に延びる圧電体と、
   上面と下面を含み、長さ方向に延び、一端が前記圧電体の一端に固定されており、前記本体の上面に配置されるロッドと、
   前記ロッドを介在するように配置され、前記ロッドに所定の摩擦力を提供する支持部材と、前記支持部材の位置を検知する位置センサーと、を含み、
   前記支持部材は、前記圧電体の収縮または膨張に連動する前記ロッドとの摩擦力によって駆動され、
   前記位置センサーは、前記支持部材の駆動方向に平行な一側面に配置される導電帯と、この導電帯に接触する第１弾性体と、前記一側面に対向する前記支持部材の他側面に配置される抵抗帯と，この抵抗帯に接触する第２弾性体と、を含み、前記第１弾性体と前記第２弾性体が前記支持部材に加える弾性力が互いに相殺するように配置される、圧電モーター。