JPH05128459A

JPH05128459A - ヘツドアクチユエータ

Info

Publication number: JPH05128459A
Application number: JP3288325A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Nishikura; 孝弘西倉; Katsu Takeda; 克武田; Masanori Sumihara; 正則住原; Osamu Kawasaki; 修川崎
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1991-11-05
Filing date: 1991-11-05
Publication date: 1993-05-25
Anticipated expiration: 2014-03-17
Also published as: JP2871237B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】棒状の弾性体と圧電体とからなる振動体に弾
性波を励振することにより振動体に加圧接触した移動体
を駆動するヘッドアクチュエータにおいて、振れ角が大
きく制御周波数の高い小型で軽量なヘッドアクチュエー
タを提供する。【構成】第１と第２の圧電体を貼り合わせた断面形状
が多角形（四角形）の弾性体１の稜線部に移動体６を加
圧バネ８を通して加圧接触させる構成とする。【効果】振動体３の平面精度や移動体６との平行度な
どの精度を緩和でき、ガイド軸７に沿って移動体６を駆
動することにより、ヘッド１０とテープとのスペシング
角をほぼゼロとし、振れ角が大きく、高速応答性が可
能。また第１と第２の圧電体とを切り替えて交流電圧を
印加すれば移動体６の移動方向を変化でき、高効率駆動
で簡単な回路構成のヘッドアクチュエータが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＶＴＲ機器等に用いられ
る、圧電体の弾性振動を用いて駆動力を発生する小型の
ヘッドアクチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＶＴＲ機器において、記録再生画
像の高品質化や特殊再生機能の高度化、さらには磁性材
料の進歩による高記録密度化にともないビデオトラック
幅が狭まるため、高精度でトラック追尾のできるヘッド
アクチュエータが嘱望されている。以下に従来の複合
バイモルフと平行バネ型バイモルフの圧電型ヘッドアク
チュエータについて説明する。

【０００３】図１４は、アンペックス社が開発した複合
バイモルフ構造のヘッドアクチュエータの斜視図であ
る。図１５はその動作原理を示す図である。２９、３
０、３１、３２はアクチュエータ電極、３３はセンサ電
極、３４は支持台、３５はヘッドである。

【０００４】この様に構成されたヘッドアクチュエータ
は、アクチュエータ電極２９と３１および３０と３２が
接続され、アクチュエータ電極２９と３０で一方向に曲
げを生じた時、反対方向に接続されたアクチュエータ電
極３１と３２で圧電体２８の先端は反対方向の曲げを生
じるために全体としてＳ字形に近い形に変形する。

【０００５】これにより、このアクチュエータの先端に
設けられたヘッド３５はテープ３６に対してのスペーシ
ング角θを単一バイモルフ構造のヘッドアクチュエータ
に比べて大幅に小さくできるものである。また、センサ
電極３３は圧電体２８の曲げによる歪から発生する電荷
を検出することによりヘッド３５の位置を制御するため
に用いられる。

【０００６】図１６は平行バネ型バイモルフ構造のヘッ
ドアクチュエータの斜視図である。図１７はその動作原
理を示す図である。同図から、バイモルフ構造の圧電素
子３７、３８を平行に２枚配置し、その先端に曲がり方
向に柔軟性を持ったフレキシブルヘッドホルダー３９を
設け、その先端にヘッド３５を貼付けた構成となってい
る。第１７図から、圧電素子３７、３８に直流電圧を印
加すると（数１）式に従って先端が変位する。

【０００７】

【数１】

【０００８】ここで、ｄ₃₁は圧電定数、ｌは圧電素子の
長さ、ｔは圧電素子の厚み、Ｖは印加電圧である。

【０００９】また、圧電素子３７、３８の機械的共振周
波数ｆは（数２）に従う。

【００１０】

【数２】

【００１１】ここで、ρは密度、ｓ₁₁は弾性定数であ
る。上記関係により圧電素子３７、３８が変位した時、
フレキシブルヘッドホルダー３９はテープ３６に対して
平行になるように変形する。このため図１４の複合バイ
モルフ構造に比べて、曲げに寄与する圧電素子長が実効
的に長くとれる、またフレキシブルヘッドホルダー３９
によりヘッド３４が平行移動するため、スペーシング角
θをほとんどゼロにできるものである。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、複合バイモルフ構造や平行バネ型バイモル
フ構造のヘッドアクチュエータは何れも、形状が大きく
なってしまうと言う問題点がある。

【００１３】（数１）と（数２）の関係にしたがえば、
変位量ξは圧電素子の長さと厚みの比（ｌ／ｔ）の平方
に比例する。一方、共振周波数ｆは圧電体の厚みと長さ
の平方（ｔ／ｌ²）に比例する。

【００１４】例えば、圧電素子の長さｌ＝２０ｍｍ、厚
み１ｍｍ、ｄ₃₁≒−１０^-10（ｍ／ｖ）、ヤング率ｓ₁₁
≒１０¹¹（Ｎ／ｍ²）、密度ρ＝７.８×１０³（ｋｇ／
ｍ³）の時、電圧Ｖ＝１Ｋｖで変位量ξ≒３００μm、共
振周波数ｆ≒１４００Ｈｚ程度を得ることができる。

【００１５】この様に多数のヘッド構成の場合、ヘッド
シリンダの径はφ５０ｍｍ以上で、かつ高ＤＣ電圧が必
要となっている。反面、寸法を縮小すれば圧電素子の機
械的強度の低下と共振周波数ｆの低下をまねいてしま
い、共振周波数の約半分程度の制御周波数でしか制御で
きない現状のものを、さらに制御周波数を下げて用いな
ければならないという大きな問題がある。

【００１６】本発明は上記問題点を解決したヘッドアク
チュエータを提供することを目的とするものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のヘッドアクチュエータは、少なくとも１組
の交差する平面には圧電体が設けられた断面形状が正方
形の棒状振動体と、正方形の稜線部にガイド軸や板バネ
に設けられた移動体を圧接する加圧機構部と、移動体の
位置を知る光学式や歪検出素子等の位置検出部から構成
される。

【００１８】また、第１と第２の圧電体により励振され
る合成振動による駆動方法や、片側の圧電体に交流電圧
を印加することにより、移動体をある一方向に移動さ
せ、他方の圧電体に交流電圧を切り替えることにより移
動体を逆方向に移動させることが可能である。

【００１９】

【作用】上記の構成によって、移動体と振動体との加圧
が面でなく点あるいは線状となるため移動体と振動体の
平面精度や平行度に対する制約は皆無となり、量産性や
低コストが容易にはかれる。また、従来のバイモルフ構
造のように機械的共振周波数によって制御周波数が制限
されることがなくなる。また、振動体の圧電素子の共振
現象を用いて、移動体に摩擦力を駆動力として伝達する
ため、駆動電圧の低減や移動体の高速駆動が可能であ
る。

【００２０】さらにガイド軸上を移動するためヘッドの
振れ幅が構造により制限されることがなく、振動体の稜
線部を移動体が移動するためヘッドのスペーシング角を
ほぼゼロとできるものである。

【００２１】また、この駆動方法として、Ｘ、Ｙ方向の
振動変位に対してある角度を持つ振動体の稜線部に移動
体が加圧されるため、振動の変位量の余弦成分で移動体
を駆動でき、Ｘ、Ｙ方向の片側の圧電体の振動だけで移
動体を一方向に駆動するとともに、他方の圧電体に振動
を励振するように交流電圧を切り替えるだけで移動方向
を反転させることができるものである。

【００２２】さらに別の駆動方法としては、Ｘ、Ｙ方向
の圧電体に位相の異なる交流電圧を同時に印加すること
により振動体の稜線部に楕円軌跡の振動を励振し、位相
を変えることにより移動体の移動方向を容易に変えるこ
とも可能である。

【００２３】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明のヘッドアクチュエータの第
１の実施例について、図１を参照しながら説明する。

【００２４】図１は、本実施例のヘッドアクチュエータ
の斜視図である。同図において、１は断面形状が四角形
の弾性体、２ａは図示していないが第１の圧電体、２ｂ
は第２の圧電体で、弾性体１に第１と第２の圧電体２
ａ、２ｂを貼り合わせて振動体３が構成されている。ま
た、４は支持穴、５は支持部材、６は移動体、７はガイ
ド軸、８は加圧バネ、９は光学式の位置検出器、１０は
信号検出用のヘッドである。

【００２５】図２は、棒の１次の自由振動の変位分布を
示す図で、１１は支持穴４の位置に対応するノード
（節）であり、この場合振動体３の両端から０.２２４
ｌ（ｌ：振動体長）の位置となる。図１から、移動体６
は振動体３の稜線部１aで振動体３の中央部の振動変位
量の最大位置で加圧接触している。また、振動体３はプ
ラスチックピンなどの支持部材５で低ヤング率を持つも
のや音速の小さい材料等からなり、支持穴４で支持固定
されている。この時、支持穴４はＸ、Ｙ方向の振動体３
の剛性を等しくするために対称に設ける方が好ましい
が、支持穴４の影響が無視できる場合はこの限りではな
い。

【００２６】次に、図３と図４（ａ）、（ｂ）の動作説
明図を用いてその駆動原理を説明する。図３は、第１と
第２の圧電体２ａ、２ｂの合成振動を用いた時の駆動原
理図であり、図４は第１と第２の圧電体２ａ、２ｂを単
独振動を用いた時の駆動原理図である。

【００２７】いま第１の圧電体２ａに（数３）で表され
る交流電圧ｖ₁を印加してＸ方向に振動を励振し、また
第２の圧電体２ｂに（数４）で表されるπ／２位相の異
なる交流電圧ｖ₂を印加してＹ方向にも振動を励振す
る。

【００２８】

【数３】

【００２９】

【数４】

【００３０】ここで、V₀は交流電圧の瞬時値、ωは角周
波数、tは時間である。これにより、振動体３の全周に
おいて（数５）で表せる楕円軌跡の曲げ振動が励振され
る。一例として、図３中の矢印で楕円軌跡の様子を示
す。

【００３１】

【数５】

【００３２】ここで、ξは曲げ振動の振幅値、ξ₀は曲
げ振動の瞬時値である。この楕円軌跡の振動により、加
圧機構部の加圧バネ８で振動体３の稜線部が移動体６に
圧接され、摩擦力により楕円軌跡の運動方向に駆動され
る。また、（数４）に示すように±π／２と位相を変え
ることにより、移動体６の移動方向を反転することがで
きるものである。

【００３３】また別の駆動方法を図４を用いて説明す
る。図４（ａ）は第１の圧電体２ａにより、Ｘ方向の振
動が励振された場合の振動体３の稜線部の振動の様子を
示している。稜線部において、振動変位量ξ_xはξ_x1と
ξ_x2方向の成分に分解することができる。よって、稜線
部に加圧接触された移動体６は第１の圧電体２ａにより
励振された振動変位ξ_xのξ_x2成分によりξ_x2方向に移
動することになる。

【００３４】同様に図４（ｂ）には第２の圧電体２ｂに
より、Ｙ方向の振動が励振された場合の振動体３の稜線
部の振動の様子を示している。稜線部において、振動変
位量ξ_yはξ_y1とξ_y2方向の成分に分解することができ
る。よって、稜線部に加圧接触された移動体６は第２の
圧電体２ｂにより励振された振動変位ξ_yのξ_y2成分に
よりξ_y2方向に移動することになる。

【００３５】以上説明したように、第１と第２の圧電体
２ａ、２ｂにより単独に励振される振動の余弦方向成分
ξ_x2、ξ_y2は互いに反対方向の成分であるため、どちら
か一方の圧電体を駆動することにより移動体６の移動方
向を制御することができ、１つの交流電圧を各圧電体に
対して切り替えて入力することにより移動方向の反転が
可能となる。

【００３６】そして、上記どちらかの駆動方法により、
図１に示すガイド軸７に沿って移動する移動体６上にヘ
ッド１０を設け、例えばフレキシブルＰ板等で記録信号
を取り出すものである。

【００３７】この時、ビデオ信号を記録したトラックに
ヘッド１０を正確にトラッキングさせるために、位置検
出器９から移動体６の位置情報をフィードバックさせる
ことにより高精度のヘッドアクチュエータを得ることが
できるものである。

【００３８】図５に位置検出器９の一例として示すよう
に、ビームスプリッター等の偏光素子１３上に半導体レ
ーザ１４とフォトダイオード等の光検知素子１５と反射
鏡１６を各面に図のように配置し、移動体６にアルミ膜
などからなる反射膜１７を設ける。

【００３９】検出原理は、半導体レーザ１４から出たレ
ーザ光が偏光素子１３で２つに分岐され、一方のレーザ
光１８は反射鏡１６で反射され光検出素子１５に入射
し、もう一方のレーザ光１９は移動体６上の反射膜１６
により反射して、再度偏光素子１３で反射されて光検出
素子１５に入射する。この時レーザ光１８と１９の光検
出素子１５までの光路長差による光強度の変化により、
その位置を決定するものである。

【００４０】なお、位置検出器９は、光てこの原理を用
いたものや光エンコーダなど小型で移動体６と非接触の
検出素子であれば何でもよい。

【００４１】以上のように本実施例によれば、移動体６
はガイド軸７にそって移動するため、原理的に振れ幅は
制限されず、テープとヘッド１０とのスペーシング角は
ゼロとなり、理想的なヘッドアクチュエータを得ること
ができる。

【００４２】さらに、従来のような機械的共振周波数で
制御周波数が制限されることがないため高速応答を達成
できる。また、移動体の駆動原理が基本的に摩擦駆動で
あるためダンピング性能がよくリンギングのないヘッド
アクチュエータとすることができる。

【００４３】そして、振動体３の稜線部に移動体６を加
圧接触させる構成により、移動体と振動体との平行度や
平面精度に対する制約が皆無となり、安価で量産性に優
れ、信頼性の高いヘッドアクチュエータを得ることがで
きる。

【００４４】また、特に片側の圧電体で振動体を駆動す
る場合において、移動体の移動方向に対応した圧電体に
交流電圧を印加するだけでできるため、駆動回路や制御
回路を非常に簡単な構成とすることができる。さらに、
１つの圧電体の駆動でも、Ｘ、Ｙ方向の合成振動時と同
程度の振動変位量が得られるため、入力電力を少なくで
き駆動効率を大幅に向上させることができる。

【００４５】同様に、駆動が片側だけであるから弾性体
１の形状変化や寸法精度などにより、ＸとＹ方向の共振
周波数が異なっても制御が可能で厳密な形状精度等が必
要でない。よって、非常に簡単な構成と駆動回路で特性
の安定したヘッドアクチュエータを得ることができる。

【００４６】なお、第１と第２の圧電体２ａ、２ｂは図
１に示したように交差する２つの平面のみに限定される
ものではなく、図６に示すように相対する平面に図中の
矢印で示すような分極方向の配置となるように圧電体２
ａ’、２ｂ’を設け、圧電体２ａ、２ａ’および圧電体
２ｂ、２ｂ’の組で駆動することにより、低共振インピ
ーダンス化と高い結合係数が得られ、低電圧駆動や負荷
変動に対する駆動周波数変化に追従する制御回路を簡略
化することができるなどの利点が付与されるものであ
る。

【００４７】（実施例２）次に、本発明の第２の実施例
について、図７を参照しながら説明する。

【００４８】図７は、本発明の第２の実施例のヘッドア
クチュエータの平面図である。同図は、上記第１の実施
例の光学的な位置検出器９を除き、移動体６に歪ゲージ
等の位置検出器２０を設けた板バネ２１を付与したもの
である。それにより、移動体６の移動により板バネ２１
が変形し、その変形量が位置検出器２０の抵抗値などを
変化させることで移動体６の位置を制御するものであ
る。他の構成は上記第１の実施例と同じである。

【００４９】以上のように本実施例によれば、第１の実
施例と同様な効果が得られる一方、第１の実施例では、
高価な光学式位置検出器９を用いたり、ヘッド１０から
の記録信号の読み出しが困難であったが、本実施例では
安価な抵抗変化を利用した歪ゲージ等の位置検出器２０
で位置制御ができるとともに、板バネ２１上を配線する
ことにより、移動体の駆動による実施例１で発生しやす
い断線等の問題を未然に防止することができるものであ
る。

【００５０】（実施例３）次に、本発明の第３の実施例
３について、図８を参照しながら説明する。

【００５１】図８は、本発明の第３の実施例のヘッドア
クチュエータの平面図である。同図は、第１及び第２の
実施例のガイド軸１０による移動体６の案内をやめ、平
行バネ２２で移動体６を挟持し、振動体３に加圧接触さ
せる構造とするものである。

【００５２】以上のように本実施例によれば、平行バネ
２２を用いたので、第１及び第２の実施例のガイド軸１
０構造時、移動体６との摺動による摩耗の問題や摺動抵
抗による移動体の移動量の非線形性の問題が解消できる
ものである。また、位置検出器は実施例２と同様の構成
とできるため、安価で信頼性の高いヘッドアクチュエー
タとすることができる。

【００５３】ここで、本実施例では平行バネ構成とした
が、１枚バネ構成でも良いことは言うまでもない。

【００５４】（実施例４）次に本発明の第４の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。

【００５５】図９は、本発明の第４の実施例のヘッドア
クチュエータの平面図である。同図は、第３の実施例に
おいて、半円筒形の曲げ部２３を設けた平行バネ２４と
したものである。他の構成は実施例３と同様である。

【００５６】第３の実施例の平行バネ２２を用いた構造
では、移動体６の振れ幅は平行バネの伸び量に依存する
ので、余り大きくはとれないが、半円筒形の曲げ部２３
を持つ平行バネ２４を用いた構造の本実施例によれば、
曲げ部２３の変形により移動体６の振れ幅を大きく拡大
できるものである。

【００５７】（実施例５）次に本発明の第５の実施例に
ついて、図面を参照しながら説明する。

【００５８】図１０は、本発明の第５の実施例のヘッド
アクチュエータの斜視図である。同図においては、第１
から第４の実施例における弾性体１の断面形状を三角形
の弾性体２５としたものである。他の構成は各実施例と
同様である。

【００５９】次に、図１１（ａ）、（ｂ）の片側の圧電
体で駆動する場合を例として動作原理を説明する。基本
的には図４と同様である。図１１（ａ）、（ｂ）に示す
ように、斜辺ＡとＢの法線方向の振動が励振された場
合、各振動変位量ξ_Aとξ_Bはξ _A1とξ_A2方向およびξ_B1
とξ_B2方向の成分に分解でき、移動体６をξ_A2とξ_B2に
よって反対方向に駆動するものである。

【００６０】以上のように本実施例によれば、三角形の
断面を持つ振動体構造では各圧電体での共振周波数が四
角形の振動体に比べてずれにくく、またずれても単独に
調整することができる。

【００６１】さらに、図１０に示したように斜辺と底辺
に挟まれた角度をθ₁、θ₂とした時、ξ_A2、ξ_B2は（数
６）、（数７）で表わせ、

【００６２】

【数６】

【００６３】

【数７】

【００６４】この時、例えば振動体を正三角形とすれ
ば、θ₁＝θ₂＝６０度でξ_A2、ξ_B2はξ_A、ξ_Bの約８７
％となり、正方形のθ₁＝θ₂＝４５度での約７１％に比
べて大きな振幅を得ることができ、高効率駆動ができる
ヘッドアクチュエータを得ることができる。なお、振動
体の三角形の形状は正三角形か２等辺三角形が好ましい
が、この限りではない。

【００６５】（実施例６）更に、本発明の第６の実施例
について、図面を参照しながら説明する。

【００６６】本実施例は、第１から第５の実施例の構成
において、振動体３の少なくとも移動体６が加圧接触す
る稜線部１aに、図１２の振動体の断面図に示すよう
に、丸み２５を形成しエッジを無くしたヘッドアクチュ
エータであり、他の構成は各実施例と同様である。

【００６７】上記のように本実施例によれば、第１から
第５の実施例の駆動時に発生する振動体３のエッジでの
引っかかりによる移動体６の摩耗が非常に少なくなるた
め、ヘッドアクチュエータの寿命を著しく向上させ、長
時間にわたり高い信頼性のアクチュエータを得ることが
でき、工業上のメリットは計り知れないものである。

【００６８】（実施例７）次に、本発明の第７の実施例
について、図面を参照しながら説明する。

【００６９】図１３は、本実施例７の移動体の断面図で
ある。同図（ａ）、（ｂ）は、片持ち梁構造の移動体２
６を示し、同図（ｃ）は両持ち梁構造の移動体２７を示
す。他の構成は各実施例と同様である。

【００７０】上記のように本実施例によれば、この移動
体構成により片持ち部や両持ち部で加圧バネ機構と同じ
作用を持たすことができるため加圧機構部を省略するこ
とができる。もちろん加圧機構部を設けても良いことは
言うまでもない。また、移動体２６、２７に加圧力を調
節する機能があるため、ヘッドアクチュエータの組立時
の微調整が非常に容易となり応用範囲が拡大できるもの
である。さらに移動体２６、２７の片持ち部や両持ち部
により振動体３の不要振動を吸収するため、さらなる均
一接触性と騒音などの発生をなくすことができるもので
ある。

【００７１】

【発明の効果】以上のように本発明は、四角形や三角形
断面を有する振動体の稜線部に移動体を加圧機構部を通
して加圧接触して駆動することにより、振動体の平面精
度や移動体との平行度に対する制約を皆無とすることが
でき、低コストで量産性に優れ、特性の安定したヘッド
アクチュエータを実現できる。

【００７２】また、振動体の稜線部での駆動により、片
方の圧電体に印加した交流電圧で励振される振動変位の
余弦方向成分で移動体を一方向に駆動でき、また他方の
圧電体に交流電圧を切り替えて印加することにより、移
動体の移動方向を反転することができるため、低入力駆
動が可能で高効率のヘッドアクチュエータが簡単な構成
で容易に実現できるものである。

【００７３】そして、移動体をガイド軸や平行バネ構造
で移動させることにより、スペーシング角がほぼゼロで
振れ幅が大きく、かつ摩擦駆動によりリンギングのない
小型で軽量のヘッドアクチュエータを実現できるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヘッドアクチュエータの一実施例の斜
視図

【図２】棒の１次の自由振動分布図

【図３】同実施例の合成駆動の動作説明図

【図４】（ａ）は、同実施例の第１の圧電体での動作説
明図（ｂ）は、同実施例の第２の圧電体での動作説明図

【図５】図１における光学式位置検出器の構成図

【図６】同実施例の圧電体の配置図

【図７】本発明の第２の実施例の平面図

【図８】本発明の第３の実施例の平面図

【図９】本発明の第４の実施例の平面図

【図１０】本発明の第５の実施例の斜視図

【図１１】同実施例の動作説明図

【図１２】本発明の第６の実施例の斜視図

【図１３】本発明の第７の実施例における、片持ち梁構
造の移動体の断面図

【図１４】従来の複合バイモルフ構造のヘッドアクチュ
エータの斜視図

【図１５】図１４のアクチュエータの駆動原理の説明図

【図１６】従来の平行バネ型バイモルフ構造のヘッドア
クチュエータの駆動原理の説明図

【符号の説明】

１弾性体２ａ、２ａ’ 第１の圧電体２ｂ、２ｂ’ 第２の圧電体３振動体６移動体７ガイド軸９、２０位置検出器１０ヘッド２２平行バネ２４平行バネ２５三角形状の弾性体２６移動体２７移動体２８バイモルフ構造圧電体３５ヘッド３９フレキシブルヘッドホルダー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川崎修大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】断面形状が四角形である棒状の弾性体と、
少なくとも１組の交差する前記弾性体の平面の１面に第
１の圧電体と他の面に第２の圧電体を設けた振動体と、
前記振動体の少なくとも１つの稜線部には接触しガイド
軸に沿って移動する移動体と、前記移動体と前記振動体
を加圧する加圧機構部と、前記移動体上に設けられた信
号検出部と、前記移動体の位置を光学的に検出する位置
検出部からなることを特徴とするヘッドアクチュエー
タ。
【請求項２】断面形状が四角形である棒状の弾性体と、
少なくとも１組の交差する前記弾性体の平面の１面に第
１の圧電体と他の面に第２の圧電体を設けた振動体と、
前記振動体の少なくとも１つの稜線部には接触しガイド
軸に沿って移動する移動体と、前記移動体に固定した位
置検出素子を設けた板バネと、前記移動体と前記振動体
を加圧する加圧機構部と、前記移動体上に設けられた信
号検出部からなることを特徴とするヘッドアクチュエー
タ。
【請求項３】断面形状が四角形である棒状の弾性体と、
少なくとも１組の交差する前記弾性体の平面の１面に第
１の圧電体と他の面に第２の圧電体を設けた振動体と、
前記振動体の少なくとも１つの稜線部には接触し平行バ
ネで挟持された移動体と、前記平行板バネに設けた位置
検出部と、前記移動体と前記振動体を加圧する加圧機構
部と、前記移動体上に設けられた信号検出部とからなる
ことを特徴とするヘッドアクチュエータ。
【請求項４】第１と第２の圧電体の交流電圧の印加によ
り励振される合成振動により駆動する請求項１から３の
いずれかに記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項５】第１と第２の圧電体に印加する交流電圧を
前記圧電体ごとに切り替えることにより各振動の移動体
の移動方向成分により駆動する請求項１から３のいずれ
かに記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項６】弾性体の断面形状が三角形であり、少なく
とも２面に第１と第２の圧電体を設けた請求項１から５
のいずれかに記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項７】振動体の稜線部において、少なくとも移動
体と接触する部分に丸みを設けた請求項１から６の何れ
かに記載のヘッドアクチュエータ。
【請求項８】平行バネの一部に半円筒形の曲げ部を設け
た請求項３から７の何れかに記載のヘッドアクチュエー
タ。
【請求項９】移動体を片持ちまたは両持ち梁構造として
バネ性を付与した請求項１から８の何れかに記載のヘッ
ドアクチュエータ。