JP3627109B2 - 精密微動ステージ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は、発光デバイス又は受光デバイスと光ファイバの接続作業などに用いられる精密微動ステージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、発光デバイスと光ファイバを接続する場合には、衝撃力を利用した光学用微動ステージが用いられている。このステージは、試料を取付ける第1プレートと、これの移動を精密ガイドを介してガイドする第2プレートと、前記第1、第2プレート間の空所に配置された駆動パックとを備え、前記駆動パックが第2プレートに摩擦接触する本体を有し、この本体内に圧電素子が配されると共に、圧電素子の変位方向一端が本体に結合され、圧電素子の他端に慣性体が結合されていることを特徴としている。(特開平3−129312号参照)
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の光学用微動ステージには次の様な問題がある。
(1)精密ガイドと摩擦保持部とは別構造であり、ステージの移動範囲、即ち、ステージストローク全域にわたり安定した摩擦力が得られないとともに、該構造が複雑となるためステージのコンパクト化に限界がある。
【0004】
(2)動作原理上、振動と音の発生が避けられず、特に高速駆動時の発生音域とステージに伝達される振動が大きな問題となっている。
【0005】
この発明は上記事情に鑑み、安定した摩擦力を得るとともにコンパクト化を図ることを目的とする。他の目的は、高速駆動時の発生音と振動のステージへの伝搬を防止することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明は、収納空間を有する方形状の移動体と,該収納空間内に移動可能に設けられた慣性体と,該収納空間内に設けられ、その一端が該移動体に固定され、他端が該慣性体に固定された圧電素子と,該移動体の両側縁部に形成された断面三角形状の被ガイド部と,該被ガイド部を嵌着せしめる断面V字状の摩擦ガイド溝を有する一対の固定保持体と可動保持体と,該可動保持体を載置する滑り板と、該滑り板に対し傾斜して設けられ、かつ、該可動保持体を押圧する調圧ねじと、を備えたことを特徴とする精密微動ステージ、である。
【0007】
【作用】
摩擦力調整手段により摩擦力を調整した後、圧電素子に電圧を印加すると、該圧電素子が急激に伸びる。そのため、移動体の被ガイド部は、摩擦ガイド溝の摩擦力に打ち勝ち、該ガイド溝に沿って移動する。その後、圧電素子はゆっくりと元の長さに戻り、慣性体もそれにつれて移動するが、被ガイド部は摩擦力により移動を阻止される。このような行程を繰り返すことにより所定位置にステージを移動させる。
【0008】
【実施例】
この発明の実施例を添付図面により説明する。長方形状の移動体15には長方形状の収納空間Sが設けられている。この移動体15の左右両側縁部2、3には、断面三角形状の被ガイド部4が形成されている。
【0009】
該収納空間S内には、慣性体5と圧電、電歪、磁歪等の素子6(以下、単に圧電素子という。)とが配設されている。該慣性体5はU字状の切欠溝8を備えた長方形状体であり、その切欠溝の底部8aは圧電素子6の先端6aに接着剤Cにより固着されている。該慣性体5の後端部5aにはピン11が設けられており、このピン11は移動体15のガイド溝16に遊嵌合されている。
【0010】
慣性体5の頭部5bに、ガイド溝5cが形成され、このガイド溝5cには移動体15に螺着したボルト19が遊嵌合されている。このボルト19は移動体15と慣性体の頭部5bと間に設けられた予圧ばね、例えば、皿ばね20を一定の力を保つよう調整し、支持している。
【0011】
圧電素子6は複数個、例えば、二個直列に接続されており、その後端6bは接着剤Cにより移動体15に固定されている。
【0012】
被ガイド部4は保持体31、32の断面V字状の摩擦ガイド溝30に嵌着されている。この摩擦ガイド溝30の内面には、例えば、硬質のポリマ系材料、好的には結晶性の熱可塑性プラスチックであるポリエーテルエチルケトン(PEEK)材により形成されたV字状のピース30Pが固着されている。この保持体31、32は通常ステンレスにより形成されているが、これを硬質のポリマ系材料で形成すると、前記ピース30Pを省略できる。又、ステンレス製の摩擦ガイド溝30の内面に前記ピース30Pを固着する代わりに、硬質のポリマ系材料を塗着しても良いことは勿論である。
【0013】
保持体31は、基台40に固定されている固定保持体であり、又、該保持体32は基台40に滑り板34を介して接続されている可動保持体である。この可動保持体32には滑り板34に対して傾斜角度θで傾斜する押圧溝35が形成されている。該押圧溝35は、板ばね36を介して調圧ねじ37により押圧されている。調圧ねじ37はゆるみ止めの点からダブルナット39を用いることが好ましい。前記滑り板34は、例えば、硬質のポリマ系材料、好的には、結晶性の熱可塑性プラスチックであるポリエーテルエチルケトン(PEEK)材により形成されており、安定した保持摩擦力を付加している。
【0014】
この調圧ねじ37は、基台40のアーム38に螺着され、滑り板34に対し傾斜角度θ傾斜している。この傾斜角度θは30度〜60度の範囲で適宜選択されるが、例えば、水平方向A1の力と垂直方向A2の力とが1対1となる角度、即ち、傾斜角度θ=45度が選ばれる。
【0015】
移動体15の上面には搬送物を載置するテーブル50が設けられている。
【0016】
この発明の第1実施例の作動について説明する。調圧ねじ37を所定方向に回すと、板ばね36を介して可動保持体32が押圧される。この時、該可動保持体32は滑り板34上に載置されているので、滑りながら水平方向A1に移動し、移動体15を固定保持体31側に押し付ける。そのため、被ガイド部4の上面4aと下面4bは摩擦ガイド溝30により均等な摩擦力を与えられながら保持される。
【0017】
圧電素子6に急激に電圧を印加すると、該圧電素子6に歪みが発生し急激に伸びる。この時、摩擦ガイド溝30により支持されている移動体15の被ガイド部4は、該摩擦ガイド溝30の摩擦力に打ち勝ち該溝30に案内されながら、該移動体15を矢印A15方向に移動して停止する。
【0018】
次に、印可電圧をゆっくりと元に戻すことにより該圧電素子6をゆっくりと元の長さに戻す。この時、該移動体15はそのままの状態を維持するが、慣性体5は元の位置の方に戻る。その後圧電素子6を急に止めることで慣性体5を圧電素子6を介して移動体15に衝突させ、更に移動体15を矢印A15方向に移動させて停止する。
【0019】
該慣性体5は皿ばね20により予圧を与えられて圧電素子6の先端6aを常時押圧している。そのため、該圧電素子6は急速に変形する時に引っ張り力を受けることがないので、破損することがない。該慣性体5の後端5aのピン11はガイド溝16によりガイドされるので、該圧電素子6に大きな負荷がかかるのを防止できる。
【0020】
このようにして、一サイクルの前進移動が完了するが、これを繰り返すことによりテーブル50を所定位置に位置決めする。
【0021】
この発明の実施例は、上記に限定されるものではなく、例えば、図3〜図5の様に構成してもよい。図3は第2実施例を示す図で、第1実施例と相違する点は、移動体15とテーブル50との間に防振部材60を介在せしめたことである。この防振部材60として板状の硬質ポリマー系材料が用いられる。この防振部材60は移動体15とテーブル50を機械的振動から隔絶する作用をする。
【0022】
図4〜図5は第3実施例を示す図で、第1実施例と相違する点は、移動体15の収納空間Sにおける隙間G、即ち、移動体15と慣性体5との間、及び圧電素子6と慣性体5の切欠溝8との間、の間隙に振動伝搬防止剤70を充填することである。この防止剤70として、例えば、シリコン樹脂等が用いられる。この防止剤70により圧電素子6の耐環境性を向上させることができるとともに、該圧電素子6の振動の空間伝搬を低減させることができる。
【0023】
【発明の効果】
この発明は以上の様に構成したので、次の様な顕著な効果を奏する。
(1)移動体の両側縁部に断面三角形状の被ガイド部を形成し、該被ガイド部を保持体の断面V字状の摩擦ガイド溝に嵌着したので、従来例と異なり、簡単な構造のステージとなるとともにステージ全域にわたり安定した摩擦力を得ることができる。
【0024】
(2)可動保持体に摩擦力調整手段を設けたので、ステージの摺動に最適な摩擦力を当てることができる。そのため、該ステージを円滑に作動させることができる。
【0025】
(3)調整ねじが、滑り板に対して傾斜しているので、調圧ねじを回して可動保持体を押圧すると、円滑に可動保持体が水平方向に移動し、可動保持体及び固定保持体の摩擦ガイド溝の摩擦力を均等に調整することができる。
【0026】
(4)慣性体と移動体との間に予圧ばねを設けたので、慣性体と移動体とは圧電素子と予圧ばねが並列に接続された構造になり、圧電素子は常に慣性体と移動体との間で予圧力を受けている。そのため、圧電素子に引っ張り力が加わると慣性体もばね力により圧電素子に追従するので、実質的に圧電素子に引っ張り力が加わることはない。従って、この予圧ばねは圧電素子の破損を防止する。
【0027】
(5)慣性体の一端にピンを設け、該ピンを該移動体のガイド溝に遊嵌合せしめたので、慣性体は移動体により支持される。そのため、圧電素子に慣性体の大きな荷重が加わることはない。
【0028】
(6)移動体の収納空間の隙間に振動伝搬防止剤を充填したので、圧電素子の耐環境性が向上するとともに圧電素子の振動の空気伝搬を低減することができる。
【0029】
(7)移動体が、防振部材を介してテーブルに接続されているので、移動体とテーブルを機械的振動から隔絶することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す縦断面図である。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】本発明の第2実施例を示す縦断面図であり、図1に相当する図である。
【図4】本発明の第3実施例を示す縦断面図で、図1に相当する図である。
【図5】図4のV−V線断面図である。
【符号の説明】
2 移動体の側縁部
3 移動体の側縁部
4 被ガイド部
5 慣性体
6 圧電素子
15 移動体
30 摩擦ガイド溝
31 固定保持体
32 可動保持体
34 滑り板
37 調圧ねじ
50 テーブル
S 収納空間
G 隙間
Claims (8)
- 収納空間を有する方形状の移動体と,
該収納空間内に移動可能に設けられた慣性体と,
該収納空間内に設けられ、その一端が該移動体に固定され、他端が該慣性体に固定された圧電素子と,
該移動体の両側縁部に形成された断面三角形状の被ガイド部と,
該被ガイド部を嵌着せしめる断面V字状の摩擦ガイド溝を有する一対の固定保持体と可動保持体と,
該可動保持体を載置する滑り板と、
該滑り板に対し傾斜して設けられ、かつ、該可動保持体を押圧する調圧ねじと、,
を備えたことを特徴とする精密微動ステージ。 - 該摩擦ガイド溝の内面に、硬質のポリマ系材料を塗着したことを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
- 該摩擦ガイド溝の内面に、硬質のポリマ系材料で形成したV字状のピースを固着したことを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
- 該調圧ねじが、ばねを介して該可動保持体を押圧していることを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
- 該慣性体と該移動体との間に予圧ばねが設けられていることを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
- 該慣性体の一端にピンを設け、該ピンを移動体のガイド溝に遊嵌合せしめたことを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
- 該移動体の収納空間の隙間に振動伝搬防止材を充填したことを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
- 該移動体が、防振部材を介してテーブルに接続されていることを特徴とする請求項1記載の精密微動ステージ。
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