JPWO2006098010A1 - 精密位置決め装置 - Google Patents
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- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 43
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
すなわち、その精密位置決め装置は、多軸方向に自由度を持った精密位置決め装置が、1個の一体構造物と、複数個の伸縮アクチュエータとを備え、位置決め対象物の各軸方向の移動が、前記位置決め対象物をその方向にのみ移動させるように変形する一体構造物の弾性変形によって行われ、前記弾性変形を生じさせる力が、前記一体構造物に組み込まれた前記伸縮アクチュエータの伸縮に基づくものとされていることを特徴とする精密位置決め装置である。
図1は、本実施例1の精密位置決め装置の斜視図である。本実施例1の精密位置決め装置1は、3軸方向に自由度を持った精密位置決め装置であって、図1に図示されるように、一体構造物2のベース部2aから直立した垂直部2bに設けられたZ軸方向弾性変形部3aと、垂直部2bの上端において直角に折曲されて水平方向に延びる水平部2cの基端側に設けられたX軸方向弾性変形部3bと、水平部2cの先端側にX軸方向弾性変形部3bに隣接して設けられたY軸方向弾性変形部3cとを備えて成る。Z、X、Y軸方向弾性変形部3a、3b、3cには、それぞれ伸縮アクチュエータ4a、4b、4cが組み込まれている。他に、伸縮アクチュエータ4a、4b、4cを電源に繋ぐ電気回路と、該電気回路に流れる電流を制御する制御装置等が備えられているが、図示省略されている。
位置決め対象物(各種ツール等)を3軸方向に移動させて位置決めする機構が、1個の一体構造物2と、該一体構造物2に組み込まれる複数個の伸縮アクチュエータ4a、4b、4cとのみから成るので、その構造がきわめて簡単であり、しかも、伸縮アクチュエータ4a、4b、4cの変形量を、一体構造物2のZ軸方向弾性変形部3a、X軸方向弾性変形部3b、Y軸方向弾性変形部3cそれぞれの弾性変形量に直接関係付けることができるので、位置決め対象物を3次元空間内の任意の位置に精密に位置決めすることが可能になる。
図2は、本実施例2の精密位置決め装置1’の斜視図であり、実施例1の精密位置決め装置1と対応する部分には、実施例1の精密位置決め装置1に用いられた符号と同一の符号に「’」を付している。
本実施例2の精密位置決め装置1’によれば、位置決め対象物を2次元空間内の任意の位置に精密に位置決めすることができる。その他、実施例1と同様の効果を奏することができる。
例えば、伸縮アクチュエータとしては、ピエゾ圧電素子以外にも、各種の伸縮性のアクチュエータを用いることができる。また、Z、X、Y軸方向弾性変形部3a、3b、3cの各形成位置、形成方向は、種々に変更が可能である。
Claims (3)
- 多軸方向に自由度を持った精密位置決め装置が、1個の一体構造物と、複数個の伸縮アクチュエータとを備え、
位置決め対象物の各軸方向の移動が、前記位置決め対象物をその方向にのみ移動させるように変形する一体構造物の弾性変形によって行われ、
前記弾性変形を生じさせる力が、前記一体構造物に組み込まれた前記伸縮アクチュエータの伸縮に基づくものとされている
ことを特徴とする精密位置決め装置。 - 前記伸縮アクチュエータが、ピエゾ圧電素子から成ることを特徴とする請求項1に記載の精密位置決め装置。
- 前記精密位置決め装置が、3軸方向に自由度を持った精密位置決め装置であることを特徴とする請求項1又は2に記載の精密位置決め装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2005/004608 WO2006098010A1 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 精密位置決め装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006098010A1 true JPWO2006098010A1 (ja) | 2008-08-21 |
JP4679572B2 JP4679572B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=36991370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007507980A Expired - Fee Related JP4679572B2 (ja) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | 精密位置決め装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7745972B2 (ja) |
JP (1) | JP4679572B2 (ja) |
CN (1) | CN101142633B (ja) |
WO (1) | WO2006098010A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012102566B4 (de) * | 2012-03-26 | 2019-02-21 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Übertragungselement für eine Stellbewegung eines optischen Elementes, Positioniereinrichtung sowie Bearbeitungskopf für eine Laserbearbeitungsmaschine |
US10139337B2 (en) * | 2014-02-06 | 2018-11-27 | The Boeing Company | System and method for testing a material system |
CN104464838A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-03-25 | 苏州大学 | 一种z轴负向放大一维精密定位平台 |
US10100907B2 (en) | 2016-04-04 | 2018-10-16 | Nec Corporation | Deformation motion mechanism |
CN113441938A (zh) * | 2020-03-24 | 2021-09-28 | 南宁富桂精密工业有限公司 | 螺丝锁付顺序控制方法及系统 |
FR3126467B1 (fr) * | 2021-08-25 | 2023-11-24 | Univ Paris Saclay | Dispositif et procédé de positionnement pour instrument optique |
FR3140681A1 (fr) * | 2023-10-06 | 2024-04-12 | Universite Paris-Saclay | Dispositif et procédé de positionnement pour instrument optique à double vis de réglage |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4686440A (en) * | 1985-03-11 | 1987-08-11 | Yotaro Hatamura | Fine positioning device |
JP2677625B2 (ja) | 1988-08-31 | 1997-11-17 | 株式会社東芝 | 位置調整装置 |
JPH06170762A (ja) | 1992-12-07 | 1994-06-21 | Nippon Chemicon Corp | マイクロマニピュレータ |
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JP3990197B2 (ja) | 2002-06-10 | 2007-10-10 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 薄膜磁気ヘッド |
-
2005
- 2005-03-16 WO PCT/JP2005/004608 patent/WO2006098010A1/ja active Application Filing
- 2005-03-16 US US11/886,427 patent/US7745972B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-16 JP JP2007507980A patent/JP4679572B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-16 CN CN2005800490993A patent/CN101142633B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6025284A (ja) * | 1983-07-22 | 1985-02-08 | Hitachi Ltd | 位置決め装置 |
JPH07109566B2 (ja) * | 1985-04-20 | 1995-11-22 | 洋太郎 畑村 | 微細位置決め装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4679572B2 (ja) | 2011-04-27 |
US7745972B2 (en) | 2010-06-29 |
CN101142633B (zh) | 2010-09-01 |
WO2006098010A1 (ja) | 2006-09-21 |
US20090045699A1 (en) | 2009-02-19 |
CN101142633A (zh) | 2008-03-12 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |