JP2003062773A - マイクロマニピュレータ - Google Patents
マイクロマニピュレータInfo
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- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J17/00—Joints
- B25J17/02—Wrist joints
- B25J17/0258—Two-dimensional joints
- B25J17/0266—Two-dimensional joints comprising more than two actuating or connecting rods
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J7/00—Micromanipulators
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
- B25J9/0015—Flexure members, i.e. parts of manipulators having a narrowed section allowing articulation by flexion
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- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
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- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
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- Y10T74/20341—Power elements as controlling elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 並進３自由度が主たる動作になるマイクロマ
ニュピレータのリンク機構を一枚板の折り曲げ、打抜き
構造で成形し、簡単で高精度な位置決めを行い得る３自
由度マイクロマニピュレータを提供する。 【解決手段】 ベース部材２とエンドエフェクタ３は、
三つのリンク機構６により連結される。三つのリンク機
構６は、可撓性を有する板材を折り曲げ及び打ち抜き加
工してなり、エンドエフェクタの軸周り方向に幅を有す
る板状のアーム部６′を有し、各アーム部６′の長手方
向の両端に回転対偶Ｒとなるヒンジ部６ｂ，６ｆを形成
し、中間の位置にも回転対偶Ｒとなるヒンジ部６ｄを形
成する。また、アーム部６′の長手方向一端と中間部と
の間に並進対偶Ｐとなる平行四辺形リンク６ｃを形成す
る。
ニュピレータのリンク機構を一枚板の折り曲げ、打抜き
構造で成形し、簡単で高精度な位置決めを行い得る３自
由度マイクロマニピュレータを提供する。 【解決手段】 ベース部材２とエンドエフェクタ３は、
三つのリンク機構６により連結される。三つのリンク機
構６は、可撓性を有する板材を折り曲げ及び打ち抜き加
工してなり、エンドエフェクタの軸周り方向に幅を有す
る板状のアーム部６′を有し、各アーム部６′の長手方
向の両端に回転対偶Ｒとなるヒンジ部６ｂ，６ｆを形成
し、中間の位置にも回転対偶Ｒとなるヒンジ部６ｄを形
成する。また、アーム部６′の長手方向一端と中間部と
の間に並進対偶Ｐとなる平行四辺形リンク６ｃを形成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バイオテクノロジ
ー、医学、半導体集積回路製造・検査など微細操作が必
要な産業分野に利用でき、特に微小対象物の位置決め、
移送、切断、接合などの微細操作を正確かつ容易に行
い、あるいは精密位置決め試料台機構などへの利用に適
したマイクロマニピュレータに関する。
ー、医学、半導体集積回路製造・検査など微細操作が必
要な産業分野に利用でき、特に微小対象物の位置決め、
移送、切断、接合などの微細操作を正確かつ容易に行
い、あるいは精密位置決め試料台機構などへの利用に適
したマイクロマニピュレータに関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡下の微細作業に適したマイクロマ
ニピュレータとして、例えば、特開平１０−１３８１７
７号公報に記載された３自由度マイクロマニピュレータ
がある。
ニピュレータとして、例えば、特開平１０−１３８１７
７号公報に記載された３自由度マイクロマニピュレータ
がある。
【０００３】この従来技術は、顕微鏡下の微細作業で
は、互いに直交する３軸方向の並進３自由度の動作が主
たる動作になるという点に着目して開発された３自由度
マイクロマニピュレータであり、ベース部材とエンドエ
フェクタを結ぶ三つのリンク機構により、エンドエフェ
クタの３自由度の精密位置決め制御を実現するものであ
る。
は、互いに直交する３軸方向の並進３自由度の動作が主
たる動作になるという点に着目して開発された３自由度
マイクロマニピュレータであり、ベース部材とエンドエ
フェクタを結ぶ三つのリンク機構により、エンドエフェ
クタの３自由度の精密位置決め制御を実現するものであ
る。
【０００４】また、リンク機構については、回転対偶，
並進対偶を組合わせて（Ｒは回転対偶、Ｐは並進対
偶）、ＲＲＰＰ機構、ＲＰＲＰ機構、ＰＲＰＲ機構、Ｒ
ＰＰＲ機構などの４自由度のリンク機構を三つパラレル
に配置して、エンドエフェクタに３自由度の動作を行な
わせるようにし、また、回転対偶のヒンジ部や並進対偶
の連結杆部の両端を薄肉形成して、回転対偶や並進対偶
を保証している。
並進対偶を組合わせて（Ｒは回転対偶、Ｐは並進対
偶）、ＲＲＰＰ機構、ＲＰＲＰ機構、ＰＲＰＲ機構、Ｒ
ＰＰＲ機構などの４自由度のリンク機構を三つパラレル
に配置して、エンドエフェクタに３自由度の動作を行な
わせるようにし、また、回転対偶のヒンジ部や並進対偶
の連結杆部の両端を薄肉形成して、回転対偶や並進対偶
を保証している。
【０００５】この従来技術は、ヒンジ部等にボールジョ
イントなどを必要とせず、部品ひいては機構の簡略化を
図り得る利点がある。ただし、マイクロマニピュレータ
のリンク機構を構成する柔軟構造物を、どのように製作
して安価で且つ小形化を図れるかとか、その材質、およ
び、駆動させる機構としてのアクチュエータ配設の具体
的提案はされていない。各リンクの駆動機構としては、
ピエゾ圧電素子を用いることが提案されている。
イントなどを必要とせず、部品ひいては機構の簡略化を
図り得る利点がある。ただし、マイクロマニピュレータ
のリンク機構を構成する柔軟構造物を、どのように製作
して安価で且つ小形化を図れるかとか、その材質、およ
び、駆動させる機構としてのアクチュエータ配設の具体
的提案はされていない。各リンクの駆動機構としては、
ピエゾ圧電素子を用いることが提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、微小
対象物を掴んで微細作業を正確にかつ容易に行うことが
できる、あるいは精密位置決めステージ機構などに適用
して簡単で高精度な位置決めを行い得る３自由度マイク
ロマニピュレータを提供することにある。
対象物を掴んで微細作業を正確にかつ容易に行うことが
できる、あるいは精密位置決めステージ機構などに適用
して簡単で高精度な位置決めを行い得る３自由度マイク
ロマニピュレータを提供することにある。
【０００７】また、三つのリンク機構でエンドエフェク
タを３軸方向に並進３自由度制御し得るマイクロマニピ
ュレータにおいて、リンク機構をプレスなどの打ち抜
き，折り曲げ加工により実現でき、マイクロマニピュレ
ータを小形で安価に、しかも簡単に製作し得るようにす
ることにある。
タを３軸方向に並進３自由度制御し得るマイクロマニピ
ュレータにおいて、リンク機構をプレスなどの打ち抜
き，折り曲げ加工により実現でき、マイクロマニピュレ
ータを小形で安価に、しかも簡単に製作し得るようにす
ることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、基本的には、ベース部材とエンドエフェ
クタとを連結する三つのリンク機構を備え、並進３自由
度動作を行うマイクロマニピュレータにおいて、前記三
つのリンク機構は、可撓性を有する薄板を曲げ加工と打
ち抜き加工して一体成形したものを提案する。
決するために、基本的には、ベース部材とエンドエフェ
クタとを連結する三つのリンク機構を備え、並進３自由
度動作を行うマイクロマニピュレータにおいて、前記三
つのリンク機構は、可撓性を有する薄板を曲げ加工と打
ち抜き加工して一体成形したものを提案する。
【０００９】また、ベース部材とエンドエフェクタとを
連結する三つのリンク機構を備えたマイクロマニピュレ
ータにおいて、前記三つのリンク機構は、可撓性を有す
る板材を成形加工したものであり、前記エンドエフェク
タの軸周り方向に幅を有する板状のアーム部と、前記各
アーム部の長手方向の両端と中間の位置とにあって微小
変位内であれば回転対偶とみなすことができるヒンジ部
と、前記長手方向一端と中間部との間に位置し微小変位
内であれば並進対偶とみなすことができるリンク要素
（例えば平行四辺形リンク部）と、が形成されているマ
ニピュレータを提案する。
連結する三つのリンク機構を備えたマイクロマニピュレ
ータにおいて、前記三つのリンク機構は、可撓性を有す
る板材を成形加工したものであり、前記エンドエフェク
タの軸周り方向に幅を有する板状のアーム部と、前記各
アーム部の長手方向の両端と中間の位置とにあって微小
変位内であれば回転対偶とみなすことができるヒンジ部
と、前記長手方向一端と中間部との間に位置し微小変位
内であれば並進対偶とみなすことができるリンク要素
（例えば平行四辺形リンク部）と、が形成されているマ
ニピュレータを提案する。
【００１０】上記のように構成すれば、例えば、各リン
ク機構は、可撓性のある板材を成形加工して、微小変位
内では回転対偶Ｒとみなすことができるヒンジ部を三
つ、並進対偶Ｐとみなすことができる平行四辺形リンク
部を一つ有しているものを実現させることができる。
ク機構は、可撓性のある板材を成形加工して、微小変位
内では回転対偶Ｒとみなすことができるヒンジ部を三
つ、並進対偶Ｐとみなすことができる平行四辺形リンク
部を一つ有しているものを実現させることができる。
【００１１】Ｐ，Ｒ対偶（並進対偶、回転対偶）を組み
合わせた４自由度リンク機構を検討すると、三つのＲ対
偶と一つのＰ対偶を利用する構成、二つづつのＰ、Ｒジ
ョイントを利用する構成が考えられる。本発明は、例え
ば、これらの４自由度リンク機構を薄板を打ち抜き、折
り曲げて立体的に組み上げ、三つパラレル配置し、圧電
素子で押し上げることで、先端のプレートひいてはエン
ドエフェクタに３軸方向の３自由度の運動を実現させる
ことができる。特に回転対偶のヒンジ部と並進対偶のリ
ンク要素に用いるヒンジ部との向きを変える場合であっ
ても、板材を折り曲げることで簡単に実現することがで
きる。この点については、実施の形態の説明の項で図４
及び図５を用いて詳述する。
合わせた４自由度リンク機構を検討すると、三つのＲ対
偶と一つのＰ対偶を利用する構成、二つづつのＰ、Ｒジ
ョイントを利用する構成が考えられる。本発明は、例え
ば、これらの４自由度リンク機構を薄板を打ち抜き、折
り曲げて立体的に組み上げ、三つパラレル配置し、圧電
素子で押し上げることで、先端のプレートひいてはエン
ドエフェクタに３軸方向の３自由度の運動を実現させる
ことができる。特に回転対偶のヒンジ部と並進対偶のリ
ンク要素に用いるヒンジ部との向きを変える場合であっ
ても、板材を折り曲げることで簡単に実現することがで
きる。この点については、実施の形態の説明の項で図４
及び図５を用いて詳述する。
【００１２】前記三つのリンク機構は１枚の板から打ち
抜きと折り曲げで一体成形したり、或いは、上下に分け
て三つのリンク機構の上側と下側の部分をそれぞれ一体
成形し、この上下の成形板材を組み合せて構成すること
も可能である。この板金による一体化加工をツールとし
て、微細なリンク機構を形成することが可能になり、こ
のマニピュレータの微細作業を利用してマイクロマシン
の組立等を実現することもできる。また、最近のフォト
エッチング技術を利用した微細加工により本発明に係る
マイクロマニピュレータを製作することも可能である。
抜きと折り曲げで一体成形したり、或いは、上下に分け
て三つのリンク機構の上側と下側の部分をそれぞれ一体
成形し、この上下の成形板材を組み合せて構成すること
も可能である。この板金による一体化加工をツールとし
て、微細なリンク機構を形成することが可能になり、こ
のマニピュレータの微細作業を利用してマイクロマシン
の組立等を実現することもできる。また、最近のフォト
エッチング技術を利用した微細加工により本発明に係る
マイクロマニピュレータを製作することも可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。
いて説明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施例に係るマイクロ
マニピュレータの斜視図、図２は本実施例のマイクロマ
ニピュレータに用いるリンク機構の動作原理図、図３は
本実施例の用いる三つのリンク機構の展開図、図４は回
転対偶Ｒと並進対偶Ｐとの要素を示す原理図、図５は、
本実施例に係る回転対偶Ｒと並進対偶Ｐとの要素を示す
原理図、図６は、本実施例におけるリンク機構を駆動さ
せる駆動機構を示す断面図およびそのＡ矢視図（部分平
面図）である。
マニピュレータの斜視図、図２は本実施例のマイクロマ
ニピュレータに用いるリンク機構の動作原理図、図３は
本実施例の用いる三つのリンク機構の展開図、図４は回
転対偶Ｒと並進対偶Ｐとの要素を示す原理図、図５は、
本実施例に係る回転対偶Ｒと並進対偶Ｐとの要素を示す
原理図、図６は、本実施例におけるリンク機構を駆動さ
せる駆動機構を示す断面図およびそのＡ矢視図（部分平
面図）である。
【００１５】図１に示すマイクロマニピュレータ１は、
単数或いは複数或いは他の形態のマニピュレータ要素と
組み合わせて使用されるものであり、複数或いは他の形
態のマニピュレータ要素（ニードルを有するもの）と組
み合わせて使用する場合には、ニードル４が箸的な動作
を行うことができ、微小対象物を微細動作で摘んだり移
送することができる。
単数或いは複数或いは他の形態のマニピュレータ要素と
組み合わせて使用されるものであり、複数或いは他の形
態のマニピュレータ要素（ニードルを有するもの）と組
み合わせて使用する場合には、ニードル４が箸的な動作
を行うことができ、微小対象物を微細動作で摘んだり移
送することができる。
【００１６】マイクロマニピュレータ１は、アクチュエ
ータ（例えば図６に示すピアゾ圧電素子６１）を内装し
た筒体によって構成されるベース部材２と、ニードル４
を有するエンドエフェクタ３と、ベース部材２とエンド
エフェクタ３とを連結する三つのリンク機構６を備えて
なる。
ータ（例えば図６に示すピアゾ圧電素子６１）を内装し
た筒体によって構成されるベース部材２と、ニードル４
を有するエンドエフェクタ３と、ベース部材２とエンド
エフェクタ３とを連結する三つのリンク機構６を備えて
なる。
【００１７】本実施例に係る三つのリンク機構６は、可
撓性を有する薄板（例えば燐青銅などのばね材）を成形
加工して一体成形される。リンク機構６は、エンドエフ
ェクタ３を取り付ける可動プレート部６ａが頂部にあ
り、リンク要素の本体となる三つの板状のアーム部６′
が可動プレート部６ａと一体となって、可動プレート部
６ａ（エンドエフェクタ４）の軸周りに１２０°間隔で
三方に向けて配設されている。
撓性を有する薄板（例えば燐青銅などのばね材）を成形
加工して一体成形される。リンク機構６は、エンドエフ
ェクタ３を取り付ける可動プレート部６ａが頂部にあ
り、リンク要素の本体となる三つの板状のアーム部６′
が可動プレート部６ａと一体となって、可動プレート部
６ａ（エンドエフェクタ４）の軸周りに１２０°間隔で
三方に向けて配設されている。
【００１８】三つのアーム部６′は、展開状態では図３
に示すような三方に展開する形状を呈しているが、組立
状態では、その中間位置６ｄでＶ字形に折り曲げられ、
その一端が可動プレート部６ａにつながり、他端６ｇ
は、ベース部材２の上面中央付近に固着されている。本
実施例では、三つのアーム部６′の端部６ｇは隙間無く
付き合わせることができるように、端部６ｇ先端が１２
０°の角度をなすようにしてある。
に示すような三方に展開する形状を呈しているが、組立
状態では、その中間位置６ｄでＶ字形に折り曲げられ、
その一端が可動プレート部６ａにつながり、他端６ｇ
は、ベース部材２の上面中央付近に固着されている。本
実施例では、三つのアーム部６′の端部６ｇは隙間無く
付き合わせることができるように、端部６ｇ先端が１２
０°の角度をなすようにしてある。
【００１９】三つのアーム部６′は、中間位置６ｄで折
り曲げられてベース部材２に取り付けられるために、こ
の取付け状態では、図１に示すように、エンドエフェク
タ３（可動プレート部６ａ）及びベース部材２の位置か
ら三方に向けられている。また、アーム部６′は、板状
であり、エンドエフェクタ３（可動プレート部６ａ）の
軸周り方向に幅を有している。
り曲げられてベース部材２に取り付けられるために、こ
の取付け状態では、図１に示すように、エンドエフェク
タ３（可動プレート部６ａ）及びベース部材２の位置か
ら三方に向けられている。また、アーム部６′は、板状
であり、エンドエフェクタ３（可動プレート部６ａ）の
軸周り方向に幅を有している。
【００２０】ここで、アーム部６′に形成される回転対
偶Ｒと並進対偶Ｐの原理について、図４および図５を用
いて説明する。
偶Ｒと並進対偶Ｐの原理について、図４および図５を用
いて説明する。
【００２１】図４（ａ）に示すように、一対の対偶部材
１９の間を薄肉部（くびれ部）２３で連結することによ
り回転対偶Ｒを実現することができる。すなわち、図４
（ａ）で示す円弧ヒンジは、変位が微小であれば、１自
由度の回転対偶Ｒとみなすことができる。
１９の間を薄肉部（くびれ部）２３で連結することによ
り回転対偶Ｒを実現することができる。すなわち、図４
（ａ）で示す円弧ヒンジは、変位が微小であれば、１自
由度の回転対偶Ｒとみなすことができる。
【００２２】また、図４（ｂ）に示すように、一対の平
行な対偶部材（上下辺）２０の両端を一対の連結杆部
（左右辺）２１によりそれぞれの薄肉部（くびれ部）２
２を介して連結すると、並進対偶Ｐを実現する柔軟構造
物（平行四辺形リンク）を形成することができる。すな
わち、図４（ｂ）のような構造物は、変位が大きければ
底辺のヒンジ（薄肉部）２２を中心とした円軌道を描く
が、微小変位内では１自由度の並進対偶Ｐとみなすこと
ができる。
行な対偶部材（上下辺）２０の両端を一対の連結杆部
（左右辺）２１によりそれぞれの薄肉部（くびれ部）２
２を介して連結すると、並進対偶Ｐを実現する柔軟構造
物（平行四辺形リンク）を形成することができる。すな
わち、図４（ｂ）のような構造物は、変位が大きければ
底辺のヒンジ（薄肉部）２２を中心とした円軌道を描く
が、微小変位内では１自由度の並進対偶Ｐとみなすこと
ができる。
【００２３】三つのリンク機構を使用して３自由度のパ
ラレルメカニズムを設計する際、これらの対偶Ｒ，Ｐを
組み合わせることで並進３自由度動作を実現することが
できる。しかし、ヒンジの向きが最低でも２方向必要と
され、機構製作にあたっては、加工が困難となる。
ラレルメカニズムを設計する際、これらの対偶Ｒ，Ｐを
組み合わせることで並進３自由度動作を実現することが
できる。しかし、ヒンジの向きが最低でも２方向必要と
され、機構製作にあたっては、加工が困難となる。
【００２４】ここで、図５（ａ）に示すように薄板２４
にスリット２５を打ち抜くことで、スリット２５の両脇
にヒンジ（幅狭部）２３が形成され、容易に回転対偶Ｒ
を構成できる。
にスリット２５を打ち抜くことで、スリット２５の両脇
にヒンジ（幅狭部）２３が形成され、容易に回転対偶Ｒ
を構成できる。
【００２５】また、図５（ｂ）に示すように、１枚の薄
板２４に打ち抜きと曲げ加工を組み合わせることで、ヒ
ンジ（くびれ部）２２の向きを変更させ、容易に図４
（ｂ）に相当する並進対偶Ｐを実現させることができ
る。図５（ｂ）においては、角孔３０（コーナーに切り
込みスリット２８が付いたもの）と小スリット２９（ス
リット２８と幅方向に並んでいる）を打ち抜き加工し、
及び側板部２７を曲げ加工することにより、くびれ部２
２を形成しまたその向きを変えることができる。また、
一対の側板部２７は、一対の対偶２６（図４の一対の対
偶２０に相当する）を連結する連結杆部（図４の連結杆
部２１に相当する）となるものである。
板２４に打ち抜きと曲げ加工を組み合わせることで、ヒ
ンジ（くびれ部）２２の向きを変更させ、容易に図４
（ｂ）に相当する並進対偶Ｐを実現させることができ
る。図５（ｂ）においては、角孔３０（コーナーに切り
込みスリット２８が付いたもの）と小スリット２９（ス
リット２８と幅方向に並んでいる）を打ち抜き加工し、
及び側板部２７を曲げ加工することにより、くびれ部２
２を形成しまたその向きを変えることができる。また、
一対の側板部２７は、一対の対偶２６（図４の一対の対
偶２０に相当する）を連結する連結杆部（図４の連結杆
部２１に相当する）となるものである。
【００２６】本実施例では、図５（ａ）（ｂ）に示すリ
ンク要素（回転対偶Ｒ、並進対偶Ｐ）を組み合わせてリ
ンク機構６を構成するもので、その展開図を図３に、組
立完成図を図１に示すものである。
ンク要素（回転対偶Ｒ、並進対偶Ｐ）を組み合わせてリ
ンク機構６を構成するもので、その展開図を図３に、組
立完成図を図１に示すものである。
【００２７】本実施例では、図１，図３に示すように、
三方に向けられた板状の各アーム部６′の長手方向の両
端に幅方向のスリット７，９を形成し、中間の位置にも
幅方向のスリット８を形成する。これらのスリット７，
８，９を形成することで、また、スリット位置７，８を
それぞれ折り曲げ形成する。これらのスリットにより実
質板幅の減らされた個所７′，８′，９′がヒンジ部６
ｂ、６ｄ、６ｆとなって、計３個所の回転対偶Ｒ（図５
（ａ）に相当するもの）が形成される。なお、スリット
の形態は種々考えられ、実施例のものに限定されるもの
ではない。
三方に向けられた板状の各アーム部６′の長手方向の両
端に幅方向のスリット７，９を形成し、中間の位置にも
幅方向のスリット８を形成する。これらのスリット７，
８，９を形成することで、また、スリット位置７，８を
それぞれ折り曲げ形成する。これらのスリットにより実
質板幅の減らされた個所７′，８′，９′がヒンジ部６
ｂ、６ｄ、６ｆとなって、計３個所の回転対偶Ｒ（図５
（ａ）に相当するもの）が形成される。なお、スリット
の形態は種々考えられ、実施例のものに限定されるもの
ではない。
【００２８】また、アーム部６′の長手方向一端（本例
では、可動プレート部６ａとの結合側一端）と中間部６
ｄとの間には、角穴１０（角穴１０はコーナーに幅方向
に延びる切り欠きスリット１０′が付いている）とスリ
ット１１とを形成する。切り欠き１０′とスリット１１
は、図５（ｂ）の符号２８，２９で示すスリットに相当
し、スリット１０′，スリット１１間にヒンジ２２で形
成される。
では、可動プレート部６ａとの結合側一端）と中間部６
ｄとの間には、角穴１０（角穴１０はコーナーに幅方向
に延びる切り欠きスリット１０′が付いている）とスリ
ット１１とを形成する。切り欠き１０′とスリット１１
は、図５（ｂ）の符号２８，２９で示すスリットに相当
し、スリット１０′，スリット１１間にヒンジ２２で形
成される。
【００２９】図３に示すように、各アーム部６′の幅方
向の左右には側板部１２が形成される。この側板部１２
は、図３の破線Ｈの位置で折り曲げられ、図５（ｂ）の
連結杆部２７に相当するものである。切り欠きスリット
１０′は、折り曲げ線Ｈと交差するように延設されてい
る。この側板部１２の折り曲げによりヒンジ部２２の向
きを変えることができる。
向の左右には側板部１２が形成される。この側板部１２
は、図３の破線Ｈの位置で折り曲げられ、図５（ｂ）の
連結杆部２７に相当するものである。切り欠きスリット
１０′は、折り曲げ線Ｈと交差するように延設されてい
る。この側板部１２の折り曲げによりヒンジ部２２の向
きを変えることができる。
【００３０】符号の１３は図５（ｂ）の一対の対偶２６
に相当するものである。すなわち、一対の側板部（連結
杆部）１２および一対の対偶１３により平行四辺形リン
ク６ｃを構成する。平行四辺形リンク６ｃは、微小変位
内でみれば並進対偶Ｐとみなすことができる。
に相当するものである。すなわち、一対の側板部（連結
杆部）１２および一対の対偶１３により平行四辺形リン
ク６ｃを構成する。平行四辺形リンク６ｃは、微小変位
内でみれば並進対偶Ｐとみなすことができる。
【００３１】上記構成により、各リンク機構６は、可撓
性のある板材を成形加工して、三つの回転対偶Ｒと一つ
の並進対偶Ｐとを有することになる。図２には、本実施
例に係る回転対偶Ｒと並進対偶Ｐとを組み合わせた模式
図を示し、図２（ａ）が図１のリンク機構を側面からみ
た対偶メカニズム、図２（ｂ）が正面からみた対偶メカ
ニズムである。
性のある板材を成形加工して、三つの回転対偶Ｒと一つ
の並進対偶Ｐとを有することになる。図２には、本実施
例に係る回転対偶Ｒと並進対偶Ｐとを組み合わせた模式
図を示し、図２（ａ）が図１のリンク機構を側面からみ
た対偶メカニズム、図２（ｂ）が正面からみた対偶メカ
ニズムである。
【００３２】図２に示すように本実施例では、各リンク
機構がＲＰＲＲ機構を採用し、これを三つ採用すること
で、この機構の下部を圧電素子押し上げることで、先端
のプレート６ａに３軸３自由度の運動を実現することが
できる。
機構がＲＰＲＲ機構を採用し、これを三つ採用すること
で、この機構の下部を圧電素子押し上げることで、先端
のプレート６ａに３軸３自由度の運動を実現することが
できる。
【００３３】次に本実施例のマニピュレータ（リンク機
構）の駆動機構を図６により説明する。
構）の駆動機構を図６により説明する。
【００３４】図６に示すようにマニピュレータの駆動源
となるアクチェータ６１は、例えばピエゾ圧電素子が用
いられる。ピエゾ圧電素子６１は、リンク機構６の数に
合わせて３個用意される。ベース部材（筒体）２には、
軸周りに１２０°間隔でピエゾ圧電素子６１が配設され
ている。
となるアクチェータ６１は、例えばピエゾ圧電素子が用
いられる。ピエゾ圧電素子６１は、リンク機構６の数に
合わせて３個用意される。ベース部材（筒体）２には、
軸周りに１２０°間隔でピエゾ圧電素子６１が配設され
ている。
【００３５】すなわち、各リンク機構６（アーム部
６′）の位置に対応してピエゾ圧電素子６１が配設され
る。ベース部材２には、アーム部６′の裏側に位置する
ようにして軸方向に向けた孔２ｂが配設され、この孔２
ｂにピエゾ圧電素子６１が内挿されている。また、図６
（ｂ）に示すように、孔２ｂと併せてピエゾ圧電素子６
１のリード線引出し溝２ｃが形成されている。
６′）の位置に対応してピエゾ圧電素子６１が配設され
る。ベース部材２には、アーム部６′の裏側に位置する
ようにして軸方向に向けた孔２ｂが配設され、この孔２
ｂにピエゾ圧電素子６１が内挿されている。また、図６
（ｂ）に示すように、孔２ｂと併せてピエゾ圧電素子６
１のリード線引出し溝２ｃが形成されている。
【００３６】ピエゾ圧電素子２４は、その一端（上端）
がアーム部６′の底部６ｅの裏面６０により受け止めら
れている。ピエゾ圧電素子６１の他端（下端）は、ベー
スプレート２ａで押えられ、かつ、ねじ３１によりピエ
ゾ圧電素子６１に与圧が掛けられ、圧電素子６１と受け
面６０との接触面に隙間を生じさせないような構造にな
っている。
がアーム部６′の底部６ｅの裏面６０により受け止めら
れている。ピエゾ圧電素子６１の他端（下端）は、ベー
スプレート２ａで押えられ、かつ、ねじ３１によりピエ
ゾ圧電素子６１に与圧が掛けられ、圧電素子６１と受け
面６０との接触面に隙間を生じさせないような構造にな
っている。
【００３７】３本のピエゾ圧電素子６１を伸縮させた
り、その伸縮度合いを制御信号に応じて個別に変化させ
ることにより、リンク機構６の受け面６０を押して各対
偶を駆動させることができるようになっている。
り、その伸縮度合いを制御信号に応じて個別に変化させ
ることにより、リンク機構６の受け面６０を押して各対
偶を駆動させることができるようになっている。
【００３８】ベース部材２５の材質はピエゾ圧電素子６
１の発熱による熱膨張が生じても熱平衡が保たれるよう
に、ピエゾ圧電素子６１と略同じか近似する線膨張係数
の材質を使用することが好ましい。
１の発熱による熱膨張が生じても熱平衡が保たれるよう
に、ピエゾ圧電素子６１と略同じか近似する線膨張係数
の材質を使用することが好ましい。
【００３９】本実施例のマイクロマニピュレータ１は、
図２のＲＰＲＲ機構を構成するリンク機構６の三つを、
ベース部材２とエンドエフェクタ３との間において、中
心軸線の周りに１２０°の間隔で対称型に配置してい
る。ピエゾ圧電素子６１は、例えば積層型のものが使用
される。
図２のＲＰＲＲ機構を構成するリンク機構６の三つを、
ベース部材２とエンドエフェクタ３との間において、中
心軸線の周りに１２０°の間隔で対称型に配置してい
る。ピエゾ圧電素子６１は、例えば積層型のものが使用
される。
【００４０】符号の３２，３２′は、アクチュエータ６
１に電圧を供給するリード線である。アクチュエータ６
１として用いるピエゾ圧電素子は、応答が速く、微小変
位と高出力が得られものの、ヒステリシスが非常に大き
く、駆動電圧のみによるオープンループ制御では、正確
な位置決めを行うことが困難である。このため、変位量
を測定してフィードバック制御することが望ましく、こ
の場合には、特に、コンパクトな変位測定手段とサーボ
駆動系が要求される。
１に電圧を供給するリード線である。アクチュエータ６
１として用いるピエゾ圧電素子は、応答が速く、微小変
位と高出力が得られものの、ヒステリシスが非常に大き
く、駆動電圧のみによるオープンループ制御では、正確
な位置決めを行うことが困難である。このため、変位量
を測定してフィードバック制御することが望ましく、こ
の場合には、特に、コンパクトな変位測定手段とサーボ
駆動系が要求される。
【００４１】このような変位測定手段としては、アクチ
ュエータ６１の伸縮方向に歪みゲージを直接貼り付けて
（図示は省略してある）、それら圧電素子のサーボ系と
しては、符号３３に示すように計算機を用いたソフトウ
エアサーボや演算増幅器を用いたアナログサーボ等を採
用することができる。
ュエータ６１の伸縮方向に歪みゲージを直接貼り付けて
（図示は省略してある）、それら圧電素子のサーボ系と
しては、符号３３に示すように計算機を用いたソフトウ
エアサーボや演算増幅器を用いたアナログサーボ等を採
用することができる。
【００４２】サーボ系制御回路３３の指令信号はリード
線３２、３２´を介してアクチュエータ（圧電素子）６
１に送られる。
線３２、３２´を介してアクチュエータ（圧電素子）６
１に送られる。
【００４３】三つのアクチュエータ６１を駆動してリン
ク機構６との接触部である受け面６０を押し、エンドエ
フェクタ３を所定量可動させ微細操作をする。この微細
操作は、歪ゲージからの各アクチュエータ６１の変位量
を検出し、この変位量からサーボ制御回路３３がニード
ル（指片）５の現位置を算出し、これをフィードバック
して所定の位置決め指令値と比較し、その偏差量がなく
なるまでアクチュエータ６１をサーボ駆動することによ
り行う。
ク機構６との接触部である受け面６０を押し、エンドエ
フェクタ３を所定量可動させ微細操作をする。この微細
操作は、歪ゲージからの各アクチュエータ６１の変位量
を検出し、この変位量からサーボ制御回路３３がニード
ル（指片）５の現位置を算出し、これをフィードバック
して所定の位置決め指令値と比較し、その偏差量がなく
なるまでアクチュエータ６１をサーボ駆動することによ
り行う。
【００４４】ピエゾ圧電素子６１に電圧を掛けたときピ
エゾ素子自身が発熱し熱膨張するが、この発熱が筒形の
ベース部材２に流れ熱的に早く安定し熱膨張を抑えるの
で、熱ドリフトがニードル５に伝わりにくい。ニードル
５が振動、及び熱ドリフトの影響を受け難いので、マイ
クロマニピュレーションの技術がレベルアップされ、マ
イクロエレクトニクス、バイオテクノロジー、医療の分
野により貢献することが可能となる。
エゾ素子自身が発熱し熱膨張するが、この発熱が筒形の
ベース部材２に流れ熱的に早く安定し熱膨張を抑えるの
で、熱ドリフトがニードル５に伝わりにくい。ニードル
５が振動、及び熱ドリフトの影響を受け難いので、マイ
クロマニピュレーションの技術がレベルアップされ、マ
イクロエレクトニクス、バイオテクノロジー、医療の分
野により貢献することが可能となる。
【００４５】なお、図１に示す３自由度マニピュレータ
は、その一対により２本指状に構成したり、その任意数
を用いて、微小対象物の位置決め、ハンドリング、切
断、接合などの微細作業に適用し、あるいは精密位置決
めステージ機構などに利用することができる。
は、その一対により２本指状に構成したり、その任意数
を用いて、微小対象物の位置決め、ハンドリング、切
断、接合などの微細作業に適用し、あるいは精密位置決
めステージ機構などに利用することができる。
【００４６】また、本実施例によればマニピュレータを
薄板を簡単なプレス打ち抜き及び曲げ加工により製作で
きるので、加工が容易であり、したがって、製作コスト
を安価にするとともに、小形成形を容易にし、マニピュ
レータの小形化を図ることができる。
薄板を簡単なプレス打ち抜き及び曲げ加工により製作で
きるので、加工が容易であり、したがって、製作コスト
を安価にするとともに、小形成形を容易にし、マニピュ
レータの小形化を図ることができる。
【００４７】なお、本実施例では、アクチュエータ６１
をピエゾ圧電素子としたが、これに限定されるものでは
なく、その他にバイモルフ型の圧電素子などを用いるこ
とも可能である。例えば、アーム部６′の部材６ｅにバ
イモルフ型の圧電素子を張り付けてリンクを押し上げる
ことでも動作可能である。
をピエゾ圧電素子としたが、これに限定されるものでは
なく、その他にバイモルフ型の圧電素子などを用いるこ
とも可能である。例えば、アーム部６′の部材６ｅにバ
イモルフ型の圧電素子を張り付けてリンクを押し上げる
ことでも動作可能である。
【００４８】図７は、本発明の他の実施例に係るマニピ
ュレータのリンク機構６のみを示す斜視図である。な
お、リンク機構以外の構成は、図１の実施例同様である
ので、その説明及び図示を省略する。
ュレータのリンク機構６のみを示す斜視図である。な
お、リンク機構以外の構成は、図１の実施例同様である
ので、その説明及び図示を省略する。
【００４９】先の実施例では三つのリンク機構６全体を
１枚の板から打ち抜きと折り曲げで構成したが、本実施
例では、三つのリンク機構６は、上下に分けて成形した
板材４０，４１よりなる。この上板４０，下板４１とも
に中心から三方にアーム部６′が延びる形状をなし、上
板４０が三つのリンク機構６の上半分になり、下板４１
が三つのリンク機構６の下半分になる。この上板４０，
下板４１をアーム部６′の全体（上板と下板のアーム部
をトータルしたもの）の中間位置となる個所にねじ孔
（連結用孔）４８を設けて、ねじ（図示省略）により結
合している。
１枚の板から打ち抜きと折り曲げで構成したが、本実施
例では、三つのリンク機構６は、上下に分けて成形した
板材４０，４１よりなる。この上板４０，下板４１とも
に中心から三方にアーム部６′が延びる形状をなし、上
板４０が三つのリンク機構６の上半分になり、下板４１
が三つのリンク機構６の下半分になる。この上板４０，
下板４１をアーム部６′の全体（上板と下板のアーム部
をトータルしたもの）の中間位置となる個所にねじ孔
（連結用孔）４８を設けて、ねじ（図示省略）により結
合している。
【００５０】本実施例では、リンク機構６は、ベース部
材２（図示は省略してある）にねじ４９で固定されてい
る。
材２（図示は省略してある）にねじ４９で固定されてい
る。
【００５１】上板４０，下板４１を結合して各リンク機
構のアーム部６′をみると、各アーム部６′には、図１
の実施例と同様に、各アーム部６′の長手方向の両端
（符号４３，４５のある位置、換言すれば可動プレート
部６ａ側一端とベース部材２取付け側一端）と中間位置
（符号４４のある位置）とに回転対偶Ｒとみなすことが
できるヒンジ部６ｂ，６ｄ，６ｆを形成する。また、長
手方向一端４３と中間部４４との間に並進対偶Ｐとみな
すことができる平行四辺形リンク６ｃを形成する。
構のアーム部６′をみると、各アーム部６′には、図１
の実施例と同様に、各アーム部６′の長手方向の両端
（符号４３，４５のある位置、換言すれば可動プレート
部６ａ側一端とベース部材２取付け側一端）と中間位置
（符号４４のある位置）とに回転対偶Ｒとみなすことが
できるヒンジ部６ｂ，６ｄ，６ｆを形成する。また、長
手方向一端４３と中間部４４との間に並進対偶Ｐとみな
すことができる平行四辺形リンク６ｃを形成する。
【００５２】本実施例では、回転対偶Ｒを構成するヒン
ジ部６ｂ，６ｄ，６ｆを、図１のスリットに代わりアー
ム部６′の幅方向に延びる薄肉部（例えば断面Ｖの字
溝）４３、４４、４５で構成する。
ジ部６ｂ，６ｄ，６ｆを、図１のスリットに代わりアー
ム部６′の幅方向に延びる薄肉部（例えば断面Ｖの字
溝）４３、４４、４５で構成する。
【００５３】また、並進対偶Ｐとなる平行四辺形リンク
６ｃにおいては、一対の対偶１３を連結杆部１２でヒン
ジ部（くびれ部）４６，４７を介して連結している。
６ｃにおいては、一対の対偶１３を連結杆部１２でヒン
ジ部（くびれ部）４６，４７を介して連結している。
【００５４】上記構成によれば、図１に示すマイクロマ
ニピュレータと同様な機能を有し、三つのリンク機構で
エンドエフェクタの３自由度の精密位置決め制御を実現
することができる。
ニピュレータと同様な機能を有し、三つのリンク機構で
エンドエフェクタの３自由度の精密位置決め制御を実現
することができる。
【００５５】なお、以上の実施例の場合には、リンク機
構６の製作については、プレスによる打ち抜き，折り曲
げ加工のほかに、半導体を微細加工するエッチング（例
えばフォトエッチング）技術を導入することも可能であ
る。この場合には、リンク機構の材質はシリコンなどで
構成される。
構６の製作については、プレスによる打ち抜き，折り曲
げ加工のほかに、半導体を微細加工するエッチング（例
えばフォトエッチング）技術を導入することも可能であ
る。この場合には、リンク機構の材質はシリコンなどで
構成される。
【００５６】
【発明の効果】以上のように本発明の３自由度マイクロ
マニピュレータによれば、微細作業では並進３自由度が
主たる動作になるという特性を有効に利用し、三つのリ
ンク機構でエンドエフェクタの３自由度の精密位置決め
制御を実現することができる。
マニピュレータによれば、微細作業では並進３自由度が
主たる動作になるという特性を有効に利用し、三つのリ
ンク機構でエンドエフェクタの３自由度の精密位置決め
制御を実現することができる。
【００５７】これにより、操作が容易で高精度な位置決
めを行い得るマイクロマニピュレータを低コストで得る
ことができる。
めを行い得るマイクロマニピュレータを低コストで得る
ことができる。
【００５８】また、本発明によれば、機械加工が容易で
製作費が安価な板金加工による一体化加工をツールとし
て、微細なリンク機構を形成することが可能となったの
で、マイクロマシンの組立等の実現を図ることができ
る。さらには、回転ジョイント、直動ジョイントの微小
変位機構としても応用することができる。
製作費が安価な板金加工による一体化加工をツールとし
て、微細なリンク機構を形成することが可能となったの
で、マイクロマシンの組立等の実現を図ることができ
る。さらには、回転ジョイント、直動ジョイントの微小
変位機構としても応用することができる。
【図１】本発明の一実施例に係るマイクロマニピュレー
タの斜視図。
タの斜視図。
【図２】上記マイクロマニピュレータに用いるリンク機
構の動作原理図。
構の動作原理図。
【図３】上記マニピュレータに用いる三つのリンク機構
の展開図。
の展開図。
【図４】回転対偶Ｒと並進対偶Ｐとの要素を示す原理
図。
図。
【図５】本実施例に係る回転対偶Ｒと並進対偶Ｐとの要
素を示す原理図。
素を示す原理図。
【図６】本実施例におけるリンク機構を駆動させる駆動
機構を示す断面図およびそのＡ矢視図（部分平面図）。
機構を示す断面図およびそのＡ矢視図（部分平面図）。
【図７】本発明の他の実施例に係るマイクロマニピュレ
ータのリンク機構を示す斜視図。
ータのリンク機構を示す斜視図。
１…マイクロマニピュレータ、２…ベース部材、３…エ
ンドエフェクタ、６…リンク機構、６ａ…可動プレート
部、６ｂ，６ｄ，６ｆ…回転対偶Ｒ、６ｃ…並進対偶Ｐ
（平行四辺形リンク）、７，８，９…スリット、７′，
８′，９′…ヒンジ部、１０…打ち抜き孔、１０′…切
り込みスリット、１１…スリット、６１…ピエゾ圧電素
子。
ンドエフェクタ、６…リンク機構、６ａ…可動プレート
部、６ｂ，６ｄ，６ｆ…回転対偶Ｒ、６ｃ…並進対偶Ｐ
（平行四辺形リンク）、７，８，９…スリット、７′，
８′，９′…ヒンジ部、１０…打ち抜き孔、１０′…切
り込みスリット、１１…スリット、６１…ピエゾ圧電素
子。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 森田 一弘
茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株
式会社日立サイエンスシステムズ内
(72)発明者 浮穴 基英
茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株
式会社日立サイエンスシステムズ内
(72)発明者 藤井 和博
茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株
式会社日立サイエンスシステムズ内
(72)発明者 砂子沢 成人
茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株
式会社日立製作所計測器グループ内
(72)発明者 小池 英巳
茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株
式会社日立製作所計測器グループ内
(72)発明者 谷川 民生
茨城県つくば市東１−１−１ 独立行政法
人産業技術総合研究所 つくばセンター内
Ｆターム(参考） 2H052 AF19
3C007 AS09 BS24 BS30 BT16 CU07
HS29 XG04
Claims (9)
- 【請求項１】 ベース部材とエンドエフェクタとを連結
する三つのリンク機構を備え、並進３自由度動作を行う
マイクロマニピュレータにおいて、 前記三つのリンク機構は、可撓性を有する薄板を曲げ加
工と打ち抜き加工して一体成形されていることを特徴と
するマイクロマニピュレータ。 - 【請求項２】 ベース部材とエンドエフェクタとを連結
する三つのリンク機構を備えたマイクロマニピュレータ
において、 前記三つのリンク機構は、可撓性を有する板材を成形加
工したものであり、前記エンドエフェクタの軸周り方向
に幅を有する板状のアーム部と、前記各アーム部の長手
方向の両端と中間の位置とにあって微小変位内であれば
回転対偶とみなすことができるヒンジ部と、前記長手方
向一端と中間部との間に位置し微小変位内であれば並進
対偶とみなすことができるリンク要素と、が形成されて
いることを特徴とするマイクロマニピュレータ。 - 【請求項３】 ベース部材とエンドエフェクタとを連結
する三つのリンク機構を備えたマイクロマニピュレータ
において、 前記各リンク機構は、可撓性のある板材を成形加工し
て、三つの回転対偶と一つの並進対偶とを有してなるこ
とを特徴とするマイクロマニピュレータ。 - 【請求項４】 前記回転対偶となるヒンジ部は、前記板
状アーム部の幅方向にスリット或いは薄肉部を設けて形
成され、前記並進対偶となるリンク要素は、平行四辺形
リンク部により構成されている請求項２記載のマイクロ
マニピュレータ。 - 【請求項５】 前記各リンク機構は、板材を打ち抜きと
折り曲げ加工することにより、或いはエッチングによる
微細加工により、前記回転対偶となるヒンジ部と前記並
進対偶となるリンク要素とが形成されている請求項２な
いし４のいずれか１項記載のマイクロマニピュレータ。 - 【請求項６】 前記三つのリンク機構は、1枚の板材を
打ち抜きと折り曲げ加工することにより一体成形してな
る請求項２ないし４のいずれか１項記載のマイクロマニ
ピュレータ。 - 【請求項７】 前記三つのリンク機構は、上下に分けて
成形した板材よりなり、この上板，下板ともに中心から
三方にアーム部が延びる形状をなし、前記上板が三つの
リンク機構の上半分になり、前記下板が三つのリンク機
構の下半分になり、この上板，下板を結合してなる請求
項２ないし５のいずれか１項記載のマイクロマニピュレ
ータ。 - 【請求項８】 前記三つのリンク機構に駆動力を付与す
るピエゾ圧電素子が前記ベース部材に配設されている請
求項１ないし７のいずれか１項記載のマイクロマニピュ
レータ。 - 【請求項９】 前記ピエゾ圧電素子は、与圧が掛けられ
前記三つのリンク機構との接触面に隙間を生じさせない
ように構成されている請求項８記載のマイクロマニピュ
レータ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001253389A JP3748395B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | マイクロマニピュレータ |
| US10/214,196 US7146872B2 (en) | 2001-08-23 | 2002-08-08 | Micro manipulator |
| DE10237881A DE10237881B4 (de) | 2001-08-23 | 2002-08-19 | Mikromanipulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001253389A JP3748395B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | マイクロマニピュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003062773A true JP2003062773A (ja) | 2003-03-05 |
| JP3748395B2 JP3748395B2 (ja) | 2006-02-22 |
Family
ID=19081731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001253389A Expired - Lifetime JP3748395B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | マイクロマニピュレータ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7146872B2 (ja) |
| JP (1) | JP3748395B2 (ja) |
| DE (1) | DE10237881B4 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009202269A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | マニピュレータ |
| CN101804635A (zh) * | 2010-03-17 | 2010-08-18 | 上海大学 | 基于球铰链三自由度欠驱动机器人手腕装置 |
| JP2017515695A (ja) * | 2014-05-19 | 2017-06-15 | ユニベルシテ ドゥ モンペリエ | 対象物に作用するパラレルロボットのためのプラットフォーム |
| CN113319881A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-08-31 | 吉林大学 | 一种高效高精度的三自由度微夹持器及其控制方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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