JPH02243265A - 微量送り機構を備えた研削盤 - Google Patents

微量送り機構を備えた研削盤

Info

Publication number
JPH02243265A
JPH02243265A JP1060849A JP6084989A JPH02243265A JP H02243265 A JPH02243265 A JP H02243265A JP 1060849 A JP1060849 A JP 1060849A JP 6084989 A JP6084989 A JP 6084989A JP H02243265 A JPH02243265 A JP H02243265A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
feeding
moving body
piezoelectric element
feed
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1060849A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Ishizuki
石附 広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NIKKO KIKAI KK
Nicco Machine Tool Co Ltd
Original Assignee
NIKKO KIKAI KK
Nicco Machine Tool Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NIKKO KIKAI KK, Nicco Machine Tool Co Ltd filed Critical NIKKO KIKAI KK
Priority to JP1060849A priority Critical patent/JPH02243265A/ja
Publication of JPH02243265A publication Critical patent/JPH02243265A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はテーブルやサドル或は主軸頭やコラム等を正確
に位置決めできる、微量送り機構を備え〈従来の技術〉 サドルやテーブル或は主軸頭やコラム等が摺動する形式
の研削盤の送り機構としては、ねじ送りが一般的に広く
知られている。
又、高精度の加工用に、摺動部間に油やエアー等の流体
膜からなる積圧案内面を使用して、摺動部間の摩擦抵抗
を小さくしたタイプも存在する。
〈本発明が解決しようとする問題点〉 前述した従来の研削盤には次のような問題点がある。
〈イ〉−膜加工用の研削盤は、摩擦案内面を使用してね
じ送りをしている。
そのため、ねじのバックラッシや送りねじの撓みが原因
で各種摺動部材に微量の送り残しを発生し、これが位置
ぎめの誤差になる。
特に、このような機種にあっては位置決め誤差による加
工精度の低下は避けられず、高精度の加工に不向きであ
る。
〈口〉積圧案内面を使用するタイプの場合、摩擦係数を
小さくするための設備が必要である。
又、摺動部の摩擦係数が小さいということは、摺動部材
が移動し易いことを意味する。
そのため、摺動部材を安定して位置決めするためには、
送りねじに高い0剛性が要求される。
〈ハ〉積圧案内面流体膜を形成するタイプの場合、摺動
部の摩擦係数が小さいために摺動面の減衰能、即ち送り
方向の動剛性が低下する。
そのため、振動を生じ易い。
〈本発明の目的〉 本発明は以上の点に鑑みて成されたもので、正確な位置
決めを行え、しかも振動に対し高い減衰能があって動剛
性の改善が図れる、微量送り機構を備えた研削盤を提供
することを目的とする。
〈本発明の構成〉 以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。
〈イ〉微量送り機構のモデル 本発明の微量送り機構は、移動体の送り残しを検出する
検出部と、検出部の信号に基づいて移動体に衝撃を加え
る起振部と、起振部を制御する制御部よりなる。
第1図に示した微量送り機構の基本型を基に、これを詳
述する。
1は静止部材で、その上面に摩擦摺動面11を形成する
2は摺動部材と一体の移動体で、その下面に案内面21
を形成し、前記摩擦摺動面11上を摺動する。
3は静止部材1の上面に設置したモータ、4はモータ3
からのびる送りねじで、移動体2の一部に螺合し、モー
タ3の正転又は逆転により移動体2を図面の左右方向に
摺動する。
モータ3には、その回転角から移動体2の送り量を求め
て電気的に出力できる駆動部用の計測手段を装備してい
る。
摩擦摺動面11と案内面21の摺動部間は、従来のよう
な摩擦抵抗を小さ(するための設備を特別設けない。
5は移動体2に衝撃を与える起振部で、送りねじ4と平
行に配列した圧電素子51及びウェイト52とセンサ5
3よりなり、移動体2に搭載する。
圧電素子51は、通電時に例えば350 kg / m
の応力で以て1 / 100 m単位の伸縮を行う公知
のものであり、その一端を移動体2の一端に固着する。
ウェイト52は鋼製で約−5−以上が望ましい。
ウェイト52は図示するばね54やボルトで圧電素子5
1に圧接されている。
ばね54は常時A方向に付勢していて、且つ、ウェイト
52がB方向に移動した場合に衝撃を緩和せずに移動体
2へ伝達できる性質のものとする。
そして、圧電素子51の伸長時は移動体2がら反力を得
て圧電素子51がウェイト52を強打し、圧電素子51
の収縮時はウェイト52の付勢力で以て圧電素子51を
強打する。
センサ53は、ウェイト52を感知するためのセンサで
ある。
又、静止部材1は移動体2の移動量をμ単位で計測して
電気的に出力できる光学スケール等の計測手段を装備し
ている。
尚、静止部材1は移動体2に対する相対的な静止を意味
し、必ずしも絶対的な静止を意味するものではない。
従って、静止部材1が研削盤のベツドはもとより可動す
るテーブルに対してのサドルを意味し、移動体2が稼働
形式のサドル、テーブル、主軸頭、コラム等を意味する
〈口〉検出部 検出部は、モータ3に装備した計測手段及び静止部材1
に装備した計測手段によって、移動体2の駆動部側での
送り量と、実際に送られた量の間に差があるか否かを検
知する。
実際には、公知の偏差カウンタを用い、モータ3の回転
角と、光学スケール等から送られてくる移動体2の実際
の送り量を夫々偏差カウンタに入力して両者の送り量の
差の有無を検出して電気的に出力する。
〈ハ〉制御部 第3図に起振部5を制御する制御部のブロック図を示す
前記した検出部が送り残しを検知すると、これが起動信
号として制御部へ入力する。
制御部は、移動体2の送り方向によって、圧電素子51
の伸長回路と収縮回路を選択した後、起動回路を経て圧
電素子51を所定の方向に起動させる。
センサ53がウェイト52の移動速度及び加速度を計測
し、計測値を圧電素子51の伸長回路及び収縮回路にフ
ィードバックする。
〈作用〉 次に第1図を基に微量送り機構の作用について説明する
移動体2が例えばA方向にねじ送りして位置決めする場
合、送りねじ40バツクラツシや撓みによって、モータ
3の回転角から求められる送り量に対し、移動体2の実
測値が満たないで微量の送り残しが発生した場合につい
て説明する。
この場合、検知部がこの送り残しを検知して圧電素子5
1に収縮する起動信号を発し、圧電素子51が急激に伸
長する。
圧電素子51が伸長してウェイト52がB方向に移動す
るとき移動体2に反動が伝わり、この反動が送りねじ4
のバックラッシや撓みを解消して移動体2を微量送りす
る。
又、微量送りの終了後において、移動体2がモータ3例
の送り量に満たない場合は、両者の送り量が一致するま
でモータ3のねじ送り工程と上記微量送り工程で行われ
る。
尚、図面のB方向に移動体2を微量送りする場合は、圧
電素子51を急激に収縮してその反動を移動体2に伝え
て、移動体2のB方向へ微量送りをする。
く本発明の効果〉 本発明は以上説明したようになるから次の効果が得られ
る。
〈イ〉移動体に送り残しを生じた場合にのみ、自動的に
mu送りが成される。
従って、従来に比べ加工精度が向上する。
〈口〉従来は、摺動部の摩擦抵抗を小さ(することに配
慮していた。
これに対し、本発明は摺動部の摩擦抵抗を位置決めに利
用するものであから、送りねじに高い0剛性が要求され
ない。
〈ハ〉移動体に発生する振動エネルギーは、摺動部の摩
擦エネルギーと化して減衰される。
〈二〉あらゆる方向のwI量送りに適用でき、汎用、ト
1に冨む。
【図面の簡単な説明】
第1図:微量送り機構の基本型の説明図第2図:第1図
の■−■の断面図 第3図二制御部のブロック図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)静止部材及び静止部材に対し摺動可能な移動体を
    備えた研削盤において、 移動体の駆動部の送り量と実際に送られた送り量から送
    り残しを検出する検出部と、 検出部の信号に基づいて移動体上で急激な衝撃を発生す
    る起振部と、 前記起振部の起動を制御する制御部とよりなり、起振部
    が起動する際の反力で以て移動体を微量に送るよう構成
    したことを特徴とする、 微量送り機構を備えた研削盤。
JP1060849A 1989-03-15 1989-03-15 微量送り機構を備えた研削盤 Pending JPH02243265A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1060849A JPH02243265A (ja) 1989-03-15 1989-03-15 微量送り機構を備えた研削盤

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1060849A JPH02243265A (ja) 1989-03-15 1989-03-15 微量送り機構を備えた研削盤

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02243265A true JPH02243265A (ja) 1990-09-27

Family

ID=13154237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1060849A Pending JPH02243265A (ja) 1989-03-15 1989-03-15 微量送り機構を備えた研削盤

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02243265A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007061925A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Nano Control:Kk 位置決めステージ及び回転ステージ
US8967927B2 (en) 2009-10-08 2015-03-03 Hitachi, Ltd. Machine tool

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007061925A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Nano Control:Kk 位置決めステージ及び回転ステージ
US8967927B2 (en) 2009-10-08 2015-03-03 Hitachi, Ltd. Machine tool

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5909939A (en) High accuracy coordinate measuring machine having a plurality of length-adjustable legs
JP3273026B2 (ja) 表面追従型測定機
JP2559816B2 (ja) 座標測定装置用の走査ヘツド
US7571669B2 (en) Machining apparatus for noncircular shapes
JP2001269776A (ja) 溶接電極間移動量検出方法および装置
EP0331265A2 (en) Position/force controlling apparatus for working machine with multiple of degrees of freedom
TW201027030A (en) Machine movement track measuring device, numerical control (NC) tool machine and method for measuring machine movement track
US20080066515A1 (en) Method for changing force control gain and die cushion control apparatus
CA2553476A1 (en) Automated robotic measuring system
US4565094A (en) Apparatus for precision placement and parameter measurement
CN103872973B (zh) 修正移动体反转时的位置误差的伺服控制装置
WO1982002016A1 (en) Copy cam driving device for machine tool
JPH0833763B2 (ja) 数値制御装置
JP5972553B2 (ja) 位置決め制御装置、これを備えた工作機械
JPH01252336A (ja) 工具微動台
JPH02243265A (ja) 微量送り機構を備えた研削盤
US5782674A (en) Sensors for internal grinding machines
JP4923441B2 (ja) 形状測定器
US6189375B1 (en) Driving arrangement for measuring instruments, and measuring instrument incorporating same
JP2587565B2 (ja) 倣いプローブ
JP2777759B2 (ja) 推力適応制御機能を備えた電気式推力発生装置
JP3292958B2 (ja) ネジ送り機構の熱変位補正方法
JP2008059016A (ja) 位置決め制御装置および位置決め制御方法
JP4939388B2 (ja) フィードフォワード制御装置
JP2018020415A (ja) 工作機械用駆動装置