JP4614061B2 - 巨大磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサ及び同磁気センサの製造方法 - Google Patents

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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5165963B2 (ja) 2007-08-14 2013-03-21 新科實業有限公司 磁気センサ及びその製造方法
JP4798191B2 (ja) * 2008-09-02 2011-10-19 株式会社村田製作所 磁気センサ装置
JP4735686B2 (ja) * 2008-09-02 2011-07-27 株式会社村田製作所 磁気センサ
CN101363903B (zh) * 2008-09-16 2011-05-18 北京科技大学 一种利用铁磁性纳米环巨磁电阻效应的磁场传感器
JP2011038855A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Tdk Corp 磁気センサ
JP2011064653A (ja) * 2009-09-18 2011-03-31 Tdk Corp 磁気センサおよびその製造方法
JP5096442B2 (ja) * 2009-11-17 2012-12-12 株式会社日立製作所 回転角計測装置,モータシステム及び電動パワーステアリング・システム
US9146287B2 (en) 2010-11-15 2015-09-29 Infineon Technologies Ag XMR sensors with high shape anisotropy
JP4771015B2 (ja) * 2011-02-09 2011-09-14 株式会社村田製作所 磁気センサ
CN102298124B (zh) * 2011-03-03 2013-10-02 江苏多维科技有限公司 一种独立封装的桥式磁场角度传感器
CN102790613B (zh) * 2011-05-16 2015-04-29 江苏多维科技有限公司 一种开关传感器
JP5062453B2 (ja) * 2011-05-24 2012-10-31 Tdk株式会社 磁気センサ
JP5062454B2 (ja) * 2011-05-24 2012-10-31 Tdk株式会社 磁気センサ
CN102565727B (zh) * 2012-02-20 2016-01-20 江苏多维科技有限公司 用于测量磁场的磁电阻传感器
JP5447616B2 (ja) * 2012-08-07 2014-03-19 Tdk株式会社 磁気センサの製造方法
CN104143232A (zh) * 2013-05-08 2014-11-12 北京嘉岳同乐极电子有限公司 一种芯片磁传感器
JP6308784B2 (ja) * 2014-01-08 2018-04-11 アルプス電気株式会社 磁気センサ
CN103913709B (zh) * 2014-03-28 2017-05-17 江苏多维科技有限公司 一种单芯片三轴磁场传感器及其制备方法
GB201518430D0 (en) 2015-10-19 2015-12-02 Giamag Technologies As Magnet apparatus for generating high gradient magnetic field
CN105572609B (zh) * 2015-12-18 2018-09-25 中国人民解放军国防科学技术大学 一种可调量程的多铁异质磁场传感器及量程调节方法
JP6350841B2 (ja) * 2017-05-22 2018-07-04 Tdk株式会社 磁界発生体および磁気センサ
JP6885797B2 (ja) * 2017-06-12 2021-06-16 昭和電工株式会社 磁気センサ及び磁気センサの製造方法
JP7022765B2 (ja) * 2017-12-26 2022-02-18 アルプスアルパイン株式会社 磁界印加バイアス膜ならびにこれを用いた磁気検出素子および磁気検出装置
JP6597820B2 (ja) * 2018-03-12 2019-10-30 Tdk株式会社 磁気センサおよび位置検出装置
CN109585120B (zh) * 2018-11-08 2021-02-26 中国工程物理研究院电子工程研究所 基于磁印章转写技术的永磁体磁化方法
CN111929625B (zh) * 2020-08-13 2023-03-28 中国科学院微电子研究所 磁场传感器及测试方法
CN115453432A (zh) * 2022-11-09 2022-12-09 南方电网数字电网研究院有限公司 石墨烯磁阻传感器及其制备方法、磁阻测量方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002092829A (ja) * 2000-09-21 2002-03-29 Fujitsu Ltd 磁気抵抗センサ及び磁気抵抗ヘッド
JP2002525889A (ja) * 1998-09-28 2002-08-13 シーゲート テクノロジー,インコーポレイテッド カッドgmrサンドイッチ
JP2004163419A (ja) * 2002-10-23 2004-06-10 Yamaha Corp 磁気センサ、同磁気センサの製造方法及び同製造方法に適したマグネットアレイ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5287238A (en) * 1992-11-06 1994-02-15 International Business Machines Corporation Dual spin valve magnetoresistive sensor
DE4243358A1 (de) * 1992-12-21 1994-06-23 Siemens Ag Magnetowiderstands-Sensor mit künstlichem Antiferromagneten und Verfahren zu seiner Herstellung
US5583725A (en) * 1994-06-15 1996-12-10 International Business Machines Corporation Spin valve magnetoresistive sensor with self-pinned laminated layer and magnetic recording system using the sensor
DE69522304T2 (de) * 1994-12-13 2002-04-25 Toshiba Kawasaki Kk Film mit Austauschkopplung und magnetoresistives Element
US5701222A (en) * 1995-09-11 1997-12-23 International Business Machines Corporation Spin valve sensor with antiparallel magnetization of pinned layers
JP4316806B2 (ja) * 1998-05-11 2009-08-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 磁気多重層センサ
US6282068B1 (en) * 1999-03-30 2001-08-28 International Business Machines Corporation Antiparallel (AP) pinned read head with improved GMR
US6946834B2 (en) * 2001-06-01 2005-09-20 Koninklijke Philips Electronics N.V. Method of orienting an axis of magnetization of a first magnetic element with respect to a second magnetic element, semimanufacture for obtaining a sensor, sensor for measuring a magnetic field

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002525889A (ja) * 1998-09-28 2002-08-13 シーゲート テクノロジー,インコーポレイテッド カッドgmrサンドイッチ
JP2002092829A (ja) * 2000-09-21 2002-03-29 Fujitsu Ltd 磁気抵抗センサ及び磁気抵抗ヘッド
JP2004163419A (ja) * 2002-10-23 2004-06-10 Yamaha Corp 磁気センサ、同磁気センサの製造方法及び同製造方法に適したマグネットアレイ

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