JP4613821B2 - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図10は、従来のCCDイメージセンサの一般的な構成例を示す平面図である。
このCCDイメージセンサは、半導体基板(Si基板、半導体チップ)10上に設けた撮像領域20内に、それぞれ画素となる光電変換部としてのフォトセンサ(フォトダイオード)22を配置し、各フォトセンサ列毎に複数の垂直転送レジスタ24及びチャネルストップ領域26を配置し、さらに、撮像領域20の外側に水平転送レジスタ32及び出力部34を設けたものである。
なお、撮像領域20の外側は、バスライン等を配置した周辺領域21となっている。
各フォトセンサ22で生成された信号電荷は、垂直転送レジスタ24に読み出されて各フォトセンサ列毎に垂直方向に転送され、順番に水平転送レジスタ32に出力される。
水平転送レジスタ32では、垂直転送レジスタ24によって転送された各フォトセンサ22の信号電荷を各行毎に水平方向に転送し、出力部34に順次出力する。
出力部34では、水平転送レジスタ32によって転送された信号電荷を順次電圧信号に変換し、増幅等を施して出力する。
また、チャネルストップ領域26は、隣接する各フォトセンサ列間の信号の漏洩を阻止している。
図示のように、半導体基板(Si基板)10の上層に、フォトセンサ22、垂直転送レジスタ24、及びチャネルストップ領域26が形成され、半導体基板10の上面には、絶縁膜(シリコン酸化膜)42を介して垂直転送レジスタ24の転送電極(ポリシリコン膜)44が配置され、その上層に遮光膜46が装着されている。
この遮光膜46には、フォトセンサ22の受光領域に対応して開口部46Aが形成され、この開口部46Aを通して光がフォトセンサ22に入射される。
また、フォトセンサ22は、上層のP+層22Aと下層のN層22Bを有し、P+層22Aに光電変換で発生した正孔が取り込まれ、N層22Bに信号電荷が生成される。
このN層22Bで生成された信号電荷は、N層22Bの下層に形成される空乏層に蓄積され、フォトセンサ22と垂直転送レジスタ24との間に設けられた読み出しゲート部の動作によってフォトセンサ22から垂直転送レジスタ24側に読み出される。
このオーバーフローバリア28は、半導体基板内の不純物分布を調整することにより、半導体基板10の内部領域にポテンシャルによるバリアを形成し、信号電荷の漏洩をせき止めるものである。また、過大光量の入射時には、フォトセンサ22で過剰に生成された信号電荷が、このオーバーフローバリア28を越えて半導体基板10の裏側に排出されるようになっている。
そして、その1つの手段として、従来はSi基板表面から3μm程度に形成しているオーバーフローバリアを、より深い位置(たとえば5μm〜10μm)に形成することが考えられる。
すなわち、図12はフォトセンサ及び垂直転送レジスタの各基板断面におけるポテンシャルの分布を示す説明図であり、縦軸はポテンシャルの深さ、横軸は基板表面からの深さを示している。そして、実線Aはフォトセンサ部分のポテンシャル分布、破線Bは垂直転送レジスタ部分のポテンシャル分布を示している。
また、図13はフォトセンサ領域におけるポテンシャルの分布を立体的に示す説明図であり、X軸が水平方向、Y軸がポテンシャル深さ方向、Z軸が基板の深さ方向をそれぞれ示し、X軸とY軸で構成される面が基板表面を示している。
なお、これらの図12及び図13において、図12の縦軸及び図13のY軸は、上から下に向かってポテンシャルが高いことを意味している。また、各軸に付した目盛りの数値は、便宜的に調整した値である。
したがって、このような状態では、センサ領域で光電変換された電荷が横方向(図13中の矢印Dで示す)に拡散してしまい、隣接画素のセンサ領域に入り込む、クロストークと呼ぶ問題が発生するという問題がある。
第1の本発明は、さらに、前記転送部下に一又は複数の不純物領域が形成され、前記フォトセンサ部下に形成された一又は複数の第2の不純物領域が、前記不純物領域とは各々異なる深さとなるように形成され、前記不純物領域が前記基板の深さ方向において4層に形成され、前記第2の不純物領域が前記基板の深さ方向において7層に形成されていることを特徴とする。
第2の本発明は、さらに、前記オーバーフローバリアの前記フォトセンサ部下の領域が、前記オーバーフローバリアでの該領域以外の領域よりも低濃度であり、前記転送部下の前記オーバーフローバリアでのポテンシャルが前記フォトセンサ部下の前記オーバーフローバリアでのポテンシャルよりも小さいことを特徴とする。
第3の本発明は、さらに、前記基板は、第1導電型の第1基板と、前記第1基板の上層に形成され前記第1基板よりも高抵抗である第1導電型又は第2導電型の第2基板とから形成されていることを特徴とする。
第4の本発明は、基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有し、前記オーバーフローバリアの前記フォトセンサ部下の領域に、前記オーバーフローバリアでの該領域以外の領域よりも低濃度である低濃度領域を形成し、前記転送部下のオーバーフローバリアでのポテンシャルが、前記フォトセンサ部下のオーバーフローバリアでのポテンシャルよりも小さいことを特徴とする。
第5の本発明は、基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有する固体撮像素子を製造する際に、前記オーバーフローバリアの前記フォトセンサ部下の領域を、前記オーバーフローバリアでの該領域以外の領域よりも低濃度に形成する工程を含むことを特徴とする。
図1に示すように、本例のイメージセンサは、図11に示すものと同様に、半導体基板(Si基板)110の上層に、フォトセンサ122、垂直転送レジスタ124、及びチャネルストップ領域126が形成され、半導体基板110の上面には、絶縁膜(シリコン酸化膜)142を介して垂直転送レジスタ124の転送電極(ポリシリコン膜)144が配置され、その上層に遮光膜146が装着されている。
この遮光膜146には、フォトセンサ122の受光領域に対応して開口部146Aが形成され、この開口部146Aを通して光がフォトセンサ122に入射される。
そして、フォトセンサ122は、上層のP+層122Aと下層のN層122Bを有し、P+層122Aに光電変換で発生した正孔が取り込まれ、N層122Bに信号電荷が生成される。
このN層122Bで生成された信号電荷は、N層122Bの下層に形成される空乏層に蓄積され、フォトセンサ122と垂直転送レジスタ124との間に設けられた読み出しゲート部の動作によってフォトセンサ122から垂直転送レジスタ124側に読み出される。
なお、本例では、P+層122Aの下に1層のN層122Bを設けた構成を示しているが、基板110の深い位置にオーバーフローバリア及び空乏層を形成する構成の場合、N層122Bの下層に低濃度のN−層を設けた構成とすることも可能である。
このオーバーフローバリア128は、半導体基板内の不純物分布を調整することにより、半導体基板110の内部領域にポテンシャルによるバリアを形成し、信号電荷の漏洩をせき止めるものである。また、過大光量の入射時には、フォトセンサ122で過剰に生成された信号電荷が、このオーバーフローバリア128を越えて半導体基板110の裏側に排出されるようになっている。
なお、半導体基板110は、N型基板110Aの上層に所定の方法(例えばエピタキシャル成長)で高抵抗層110Bを設け、この高抵抗層110Bに各種素子を形成したものであってもよい。その場合には、N型基板110Aと高抵抗層110Bの境界付近にオーバーフローバリア128が形成される。
このオーバーフローバリア128は、例えば、基板110の表面から5μm〜10μmの深さ位置に形成されているものとする。
また、これらの図2及び図3において、図2の縦軸及び図3のY軸は、上から下に向かってポテンシャルが高いことを意味している。
したがって、本例の状態では、センサ領域で光電変換された電荷は、両側の垂直転送レジスタ124及びチャネルストップ領域126の下層領域におけるポテンシャルが低いため、このポテンシャルバリアに遮られて、容易に拡散できない状態となり、隣接画素のセンサ領域に漏洩しにくくなることから、クロストークを有効に防止できることになる。
まず、半導体基板110(N型基板110A)の上層(すなわち、基板表面からオーバーフローバリアまでの間)に例えばエピタキシャル成長によって100Ω以上の高抵抗基板(高抵抗層110B)を形成する。
また、半導体基板110の表面からボロン等のP型不純物をイオン注入することにより、オーバーフローバリア128となるP型領域を形成する。
また、垂直転送レジスタ124及びチャネルストップ領域126の下層部分の深い位置(オーバーフローバリア128よりも上層)に、P型不純物をイオン注入することにより、P型領域150を形成する。
このようにして、高抵抗層110B中に部分的な高濃度のP型領域150を形成すことができる。ただし、これは一例であり、種々の方法が利用できる。
本発明の第2の実施の形態例では、より有効なバリア効果を発揮するために、上述したオーバーフローバリアを形成するためのP型ウェル領域のうち、フォトセンサ部(光電変換部)に対応する領域に部分的な低濃度領域を形成することにより、垂直転送レジスタ(転送部)のオーバーフローバリアにおけるポテンシャル、及び隣接する画素の中間部のオーバーフローバリアにおけるポテンシャルが、フォトセンサ部のオーバーフローバリアにおけるポテンシャルより小さくなるようにし、オーバーフローバリアでの電荷の漏洩をさらに完全に防止するようにしたものである。
これにより、垂直転送レジスタ124のオーバーフローバリアにおけるポテンシャル、及び隣接する画素の中間部のオーバーフローバリアにおけるポテンシャルが、フォトセンサ122のオーバーフローバリアにおけるポテンシャルより小さく(すなわち、低く)なっている。
また、これらの図5及び図6において、図5の縦軸及び図6のY軸は、上から下に向かってポテンシャルが高いことを意味している。
上述のようなオーバーフローバリア160の濃度分布を得るには、オーバーフローバリア全体に対する通常濃度のP型不純物のイオン注入とフォトセンサ122の対応領域へのN型不純物のイオン注入とを組み合わせる方法(第1の方法)と、オーバーフローバリア全体に対する低濃度のP型不純物のイオン注入とフォトセンサ122の対応領域への低濃度のP型不純物のイオン注入とを組み合わせる方法(第2の方法)とを用いることができる。
この方法では、オーバーフローバリア160を形成する全体領域に対して従来と同様の濃度でP型不純物のイオン注入を行う。次に、フォトセンサ122の対応領域へN型不純物のイオン注入を行うことにより、この部分のP型不純物濃度を緩和し、低濃度領域162を形成する。その他の領域は通常濃度領域164となる。
まず、図7(A)において、オーバーフローバリア160を形成する全体領域に対して低濃度でP型不純物のイオン注入を行い、不純物領域160Aを形成する。
次に、図7(B)において、フォトセンサ122の対応領域を除く、垂直転送レジスタ124と画素中間部の対応領域に対し、2回目の低濃度のP型不純物のイオン注入を行うことにより、この部分のP型不純物濃度が通常濃度となり、通常濃度領域164となる。
また、2回目のイオン注入を行わなかったフォトセンサ122の対応領域は、低濃度のままであり、これが低濃度領域162となる。
なお、1回目のイオン注入と2回目のイオン注入のドーズ量の比率は、フォトセンサ部のオーバーフローバリアのポテンシャルをどの程度深くするかで決めることになる。
このような第2の方法では、同じP型不純物を注入するため、不純物による飛程差(ボロン>燐>ヒ素)を配慮することなく、イオン注入を行うことが可能であり、その分、より深い位置までオーバーフローバリアを容易に形成することができる利点がある。
本発明の第3の実施の形態例では、垂直転送レジスタ(転送部)においてクロストークを抑制する有効なバリア効果を発揮させるとともに、フォトセンサ部(光電変換部)のポテンシャルを大きくすることにより、フォトセンサ部と垂直転送レジスタとのポテンシャルの差を大きくしてバリア効果を強めるようにしたものである。
また、本例においては、さらに、フォトセンサ122の下層領域の所定位置に、部分的なN型領域151がそれぞれ独立して7層形成され、このN型領域151によってフォトセンサ122の下層領域におけるポテンシャルが調整され、第1の実施の形態例よりもさらにフォトセンサの122の下層領域のポテンシャルが大きく(高く)形成されている。N型領域151は、P型領域150とは各々異なる深さとなるように形成されている。
また、本例では、さらに、フォトセンサ122の下層領域のポテンシャルが、図2に示した第1の実施の形態例の場合よりもさらに大きく形成されている。
したがって、本例の状態では、センサ領域で光電変換された電荷は、両側の垂直転送レジスタ124およびチャネルストップ領域126の下層領域におけるポテンシャルが低いため、このポテンシャルバリアに遮られて、容易に拡散できない状態となり、隣接画素のセンサ領域に漏洩しにくくなることから、クロストークを有効に防止できることになる。特に、本例ではフォトセンサ122の下層領域のポテンシャルが大きくなっていることにより、ポテンシャルバリアとの段差が大きくなり、バリア効果がより強くなっていることから、クロストークをより効果的に防止できることになる。
110A……N型基板
110B……P型層
122……フォトセンサ
122A……P+層
122B……N層
124……垂直転送レジスタ
126……チャネルストップ領域
128……オーバーフローバリア
142……絶縁膜
144……転送電極
146……遮光膜
150……P型領域
Claims (6)
- 基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、
前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、
前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有し、
前記転送部下に一又は複数の不純物領域が形成され、
前記フォトセンサ部下に形成された一又は複数の第2の不純物領域が、前記不純物領域とは各々異なる深さとなるように形成され、
前記不純物領域が前記基板の深さ方向において4層に形成され、前記第2の不純物領域が前記基板の深さ方向において7層に形成され、
前記基板の深さ方向において、前記転送部下のポテンシャルが、その最小ポテンシャル位置から前記オーバーフローバリアまでの間に亘って、前記フォトセンサ部下のポテンシャルより小さく形成されている固体撮像素子。 - 基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、
前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、
前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有し、
前記オーバーフローバリアの前記フォトセンサ部下の領域が、前記オーバーフローバリアでの該領域以外の領域よりも低濃度であり、
前記基板の深さ方向において、前記転送部下のポテンシャルが、その最小ポテンシャル位置から前記オーバーフローバリアまでの間に亘って、前記フォトセンサ部下のポテンシャルより小さく形成され、
前記転送部下の前記オーバーフローバリアでのポテンシャルが前記フォトセンサ部下の前記オーバーフローバリアでのポテンシャルよりも小さい固体撮像素子。 - 基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、
前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、
前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有し、
前記基板は、第1導電型の第1基板と、前記第1基板の上層に形成され前記第1基板よりも高抵抗である第1導電型又は第2導電型の第2基板とから形成され、
前記基板の深さ方向において、前記転送部下のポテンシャルが、その最小ポテンシャル位置から前記オーバーフローバリアまでの間に亘って、前記フォトセンサ部下のポテンシャルより小さく形成されている固体撮像素子。 - 前記第1導電型がN型であり、前記第2導電型がP型である請求項3に記載の固体撮像素子。
- 基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、
前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、
前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有し、
前記オーバーフローバリアの前記フォトセンサ部下の領域に、前記オーバーフローバリアでの該領域以外の領域よりも低濃度である低濃度領域を形成し、
前記転送部下のオーバーフローバリアでのポテンシャルが、前記フォトセンサ部下のオーバーフローバリアでのポテンシャルよりも小さい固体撮像素子。 - 基板の表面に設けられ、入射光を電荷に変換するフォトセンサ部と、前記基板の表面に形成され、前記フォトセンサ部から読み出された前記電荷を転送する転送部と、前記基板の内部に形成され、前記電荷の不要分を排出するオーバーフローバリアとを有する固体撮像素子の製造方法であって、
前記オーバーフローバリアの前記フォトセンサ部下の領域を、前記オーバーフローバリアでの該領域以外の領域よりも低濃度に形成する工程を含む固体撮像素子の製造方法。
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