JP4613147B2

JP4613147B2 - 太陽電池

Info

Publication number: JP4613147B2
Application number: JP2006151085A
Authority: JP
Inventors: 聡之生島; 直揮石川; 寛之大塚
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd; Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 2006-05-31
Filing date: 2006-05-31
Publication date: 2011-01-12
Anticipated expiration: 2026-05-31
Also published as: JP2007324264A

Description

本発明は、フィンガ電極とバスバ電極との接続部分（つなぎ目部分）の印刷が安定し設計値通りのフィンガ電極形状を得ることができるようにした太陽電池の構造に関する。

図４は従来の太陽電池の受光面の電極の配置形状の１例を示す平面説明図である。図４において、３０は従来の太陽電池である。３２は太陽電池３０を構成する半導体基板である。半導体基板３２の第一主表面３４は太陽電池３０の受光面となる。太陽電池３０の受光面（第一主表面）３４には半導体基板３２から電力を取り出す櫛歯状のフィンガ電極３６と、そのフィンガ電極３６から電力を取り出すバスバ電極３８とが形成されている。通常、これらの電極３６，３８はスクリーン印刷によって作製されるが、その場合、工程削減のために、フィンガ電極３６とバスバ電極３８とを同時に印刷することが一般的である。

図５は従来の太陽電池の受光面の電極の配置形状を作製するためのスクリーン版の形状及び印刷時の版離れの状態を示す要部摘示拡大説明図である。従来の太陽電池３０を作製する場合には、スクリーン版Ｂの開口形状、即ち、フィンガ電極開口部３６ａの形状及びバスバ電極開口部３８ａの形状を、図５に示したように作製し、このスクリーン版Ｂを用いることによって従来の太陽電池３０を作製していた。なお、図５において、符号Ｐは版離れの先端部を示すが、従来のスクリーン印刷を行う際の版離れについては後述する。

しかし、上記したフィンガ電極３６とバスバ電極３８の同時印刷という方法では、フィンガ電極３６とバスバ電極３８との接続部分（つなぎ目部分）４０（図４）の印刷の仕上がりが不安定になるという問題点があった。具体的には、設計値よりも太くフィンガ電極３６が作製されることによる短絡電流の低下や、フィンガ電極３６のかすれや断線による直列抵抗の増大が挙げられる。

この問題に対しては、特許文献１において、バスバ電極近傍のフィンガ電極の電極幅を拡げるという方法が提案されている。しかし、この方法では、フィンガ電極による太陽光を遮る面積が増加し、太陽電池の効率が低下する。
特開２００５−１５０５４０

本発明の目的は、フィンガ電極とバスバ電極との接続部分（つなぎ目部分）の印刷が安定し、滲みやくびれのない設計値通りのフィンガ電極形状を得ることができ、高精度に電極が形成された太陽電池を提供することである。

上記目的を達成するために、本発明の太陽電池は、半導体基板と、受光面である前記半導体基板の第一主表面上にスクリーン印刷によって形成された互いに略平行な複数の出力取り出し用のフィンガ電極と、前記第一主表面上にスクリーン印刷によって形成されかつ前記フィンガ電極が左右の両側部に接続されるバスバ電極と、を有する太陽電池であって、前記第一主表面上の前記バスバ電極の両側部に接続される左右一対のフィンガ電極が一直線状に位置しないように、前記バスバ電極の両側部に接続される左右一対のフィンガ電極の形成位置を互いに所定距離ｒだけ、前記バスバ電極の長手方向と平行をなす方向に変位させることを特徴とする。

このように、同一バスバ電極に接続される左右一対のフィンガ電極同士を一直線状に位置しないように形成することにより、バスバ電極近傍に位置するフィンガ電極の幅が安定し、太陽電池の特性のばらつきが低減されるという利点がある。

上記した本発明の利点は、次に述べる２つの事由で実現される。
（１）１つ目の事由は、フィンガ電極を作製するためのスクリーン版開口部内への導電性ペーストの押し込み現象（ペーストのローリング現象）が、バスバ電極との接続部分（つなぎ目部分）で不連続となることである。この説明は、スキージの摺動方向が、フィンガ電極と平行の場合と、平行でない場合、直角の場合、の３通りに分けられるが、その詳細については後述する。

（２）２つ目の事由は、版離れ現象の発生箇所がバスバ電極の両側部で不連続に生じることによる。これも、スキージの摺動方向が、フィンガ電極と平行の場合と、平行でない場合、直角の場合とに、分けて説明されるが、その詳細については後述する。

これらの現象は、太陽電池受光面に電極をスクリーン印刷によって形成する際の印刷方向によらず太陽電池受光面の電極配置形状によって生じる。従って、本発明の太陽電池の構造はスクリーン印刷を行う際に、いずれの印刷方向においても上記した効果が達成される。この場合、前記フィンガ電極とバスバ電極とが、直角に交わった構成であっても、上記効果が達成される。

従来の太陽電池では、図４に示したように、フィンガ電極とバスバ電極との配置を設定する際に、両者を直角に交わらせることが一般的である。図１に示したように、本発明の太陽電池は、従来の太陽電池と同様にフィンガ電極とバスバ電極とを直交させて作製することが可能であり、このことにより、受光面の外観に大きな変化を生じさせない。

また、本発明の太陽電池は、図３に示すように、フィンガ電極とバスバ電極とが、直交しないように作製することも可能である。しかし、そのようにフィンガ電極とバスバ電極を作製した場合、半導体基板の角部にフィンガ電極が配置できない領域が生じ、太陽電池の直列抵抗が増大して効率が低下してしまう。

このことからも、本発明の太陽電池においても、フィンガ電極とバスバ電極とが、直角に交わるようにすることが望ましい。

また、前記バスバ電極を挟んだフィンガ電極の相対的なずれ、即ち、変位距離ｒを０．１ｍｍから２．０ｍｍの範囲に設定するのが望ましい。

本発明の太陽電池では、フィンガ電極とバスバ電極とのつなぎ目（接続部分）同士の距離をできるだけ大きくすることが望ましい。それは、版離れ現象を局所的に集中させて発生させるのではなく、印刷面内に分散させるためである。

そのためには、バスバ電極を挟むように配置されるフィンガ電極同士を、フィンガ電極配置間隔Ｒの半分の距離だけ離して配置することが最適である。

そのずれの距離（変位距離ｒ）が０．１ｍｍから２．０ｍｍである根拠は、太陽電池によってフィンガ電極間隔が異なることと、基板外周部では必ずしもそのようにフィンガ電極を配置することができないことである。

本発明の太陽電池によれば、フィンガ電極とバスバ電極とのつなぎ目部分（接続部分）の印刷が安定し、設計値通りのフィンガ電極形状を得ることができるという著大な効果が達成される。また、本発明の太陽電池を作製するに際しては、スクリーン印刷におけるスキージ摺動方向はいずれの方向であっても適用可能であるので、装置の追加的な改造を必要としない。

以下、本発明の実施の形態について添付図面に基づいて説明するが、図示例は本発明の好ましい実施の形態を示すもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り、種々の変形が可能であることはいうまでもない。

図１は本発明の太陽電池の受光面の電極の配置状態の１例を示す平面説明図である。図２は図１の太陽電池の受光面の電極の配置形状を作製するためのスクリーン版の形状及び印刷時の版離れの状態を示す要部摘示拡大説明図である。図３は本発明の太陽電池の受光面の電極の配置状態の他の例を示す平面説明図である。

図１において、１０は本発明の太陽電池である。１２は太陽電池１０を構成する半導体基板である。半導体基板１２の第一主表面１４は太陽電池１０の受光面となる。太陽電池１０の受光面（第一主表面）１４には複数の櫛歯状のフィンガ電極１６が互いに略平行に形成されている。これらのフィンガ電極は半導体基板１２から電力を取り出す作用を行う。１８はバスバ電極で、前記受光面（第一主表面）１４に形成されるとともに、バスバ電極１８の左右の両側部には前記複数のフィンガ電極１６が接続されている。このバスバ電極１８は前記複数のフィンガ電極１６から電力を取り出す作用を行う。

本発明の太陽電池１０の特徴は、前記第一主表面（受光面）１４上のバスバ電極１８の両側部に接続される左右一対のフィンガ電極１６、１６が一直線状に位置しないように、前記バスバ電極１８の両側部に接続される左右一対のフィンガ電極１６、１６の形成位置を互いに所定距離ｒだけ変位させた点にある。この所定距離ｒ、換言すれば、前記バスバ電極１８を挟んだフィンガ電極１６，１６の相対的なずれは、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍであることが望ましい。

本発明では、フィンガ電極１６とバスバ電極１８とのつなぎ目（接続部分）２０同士の距離ｒをできるだけ大きくすることが望ましい。それは、スクリーン印刷における版離れ現象を局所的に集中させて発生させるのではなく、印刷面内に分散させるためである。

そのためには、バスバ電極１８を挟むように配置される左右一対のフィンガ電極１６，１６同士を、互いに隣接するフィンガ電極１６，１６の配置間隔Ｒの半分の距離だけ離して配置することが最適である。

左右一対のフィンガ電極１６，１６のずれ（変位距離）ｒが０．１ｍｍ〜２．０ｍｍであるとする根拠は、太陽電池のサイズやタイプによって互いに隣接するフィンガ電極１６，１６の配置間隔Ｒが異なることと、半導体基板１２の外周部では必ずしもそのような変位距離ｒを形成した状態でフィンガ電極１６を配置することができないことである。

前記したフィンガ電極１６及びバスバ電極１８の形成方法としては、導電性ペーストのスクリーン印刷・焼成が採用される。スクリーン印刷を用いる場合、電極の形状や配置は、スクリーン版の開口形状によって決まる。そこで、本発明の太陽電池１０を作製する場合には、スクリーン版Ａの開口形状、即ち、フィンガ電極開口部１６ａの形状及びバスバ電極開口部１８ａの形状を、図２に示したように作製し、このスクリーン版Ａを用いることによって本発明の太陽電池１０を作製する。

なお、図１及び図２の説明においては、フィンガ電極１６とバスバ電極１８とが直交する場合を示したが、図３に示すように、フィンガ電極１６とバスバ電極１８とが９０度以外の角度で交わるように各受光面電極を配置形成することもできる。

一般に、太陽電池の受光面電極をスクリーン印刷によって作製する場合には、スクリーン版のフィンガ電極開口部と平行にスキージを摺動させて導電性ペーストを受光面に転移させる。しかし、本発明の太陽電池１０を作製する場合には、印刷方向、すなわちスキージの摺動方向は、特に限定されないという有利さがある。

上述したように、本発明の太陽電池１０においては、同一のバスバ電極１８に接続する左右一対のフィンガ電極同士を一直線状に位置しないように形成するという構成を採用しているので、スクリーン印刷によって本発明の太陽電池の受光面電極を作製すると、バスバ電極１８の近傍に位置するフィンガ電極１６の幅が安定し、太陽電池の特性のばらつきが低減されるという利点がある。

上記した本発明の太陽電池の利点は、次に述べる２つの事由で実現される。
（１）１つ目の事由は、本発明の太陽電池１０においては、そのフィンガ電極１６を作製するためのスクリーン版Ａのフィンガ電極開口部１６ａ内への導電性ペーストの押し込み現象（導電性ペーストのローリング現象）が、バスバ電極１８との接続部分（つなぎ目部分）で不連続となることである。

以下に、上記事由（１）の説明を、スキージ（図示せず）の摺動方向が、フィンガ電極開口部と平行の場合と、平行でない場合、直角の場合、の３通りに分け、従来の太陽電池３０の受光面電極の配置（左右一対のフィンガ電極３６を一直線状の位置に配置）の場合と比較して行う。

（１−１）スキージの摺動方向がフィンガ電極開口部と平行の場合において、図４に示した従来の太陽電池３０の受光面電極の配置のごとく、左右一対のフィンガ電極３６、３６を一直線状の位置に配置した場合には、図５に示すごとく、バスバ電極開口部３８ａの前方（印刷開始方向を前方とし、終了方向を後方とする）のフィンガ電極開口部３６ａ内への導電性ペーストの押し込み現象による導電性ペーストの慣性力が、そのままバスバ電極開口部３８ａの後方のフィンガ電極開口部３６ａ内に作用してしまう。その場合は、図４に示した従来の太陽電池３０の受光面電極において、バスバ電極３８の後方のフィンガ電極３６が滲みによって太くなってしまう。

これに対し、図１に示した本発明の太陽電池１０の受光面電極の配置においては左右一対のフィンガ電極１６，１６を一直線状の位置に配置しない構成、即ち所定距離ｒだけ互いに変位させる構成を採用することによって、図２において、バスバ電極開口部１８ａの後方のフィンガ電極開口部１６ａ内に導電性ペーストの慣性力が直接作用せず、その結果、図１に示した本発明の太陽電池１０おいては、バスバ電極１８後方のフィンガ電極１６を高精度に印刷することができる。また、本発明の太陽電池１０の受光面電極をスクリーン印刷によって作製する場合、バスバ電極開口部１８ａの側壁に慣性力が作用し、バスバ電極開口部１８ａ内の導電性ペーストの圧力が高まるが、そこからバスバ電極開口部１８ａ後方のフィンガ電極開口部１６ａが十分に離れているため、その影響を受けることはない。

（１−２）スキージの摺動方向がフィンガ電極と平行でない場合は、図４に示した従来の太陽電池３０の受光面電極の配置のごとく、左右一対のフィンガ電極３６、３６を一直線状の位置に配置した場合であっても、図５から明らかなように、慣性力の作用方向の延長線上にバスバ電極開口部１８ａ後方のフィンガ電極開口部３６ａが存在しない。このため、従来の太陽電池３０の受光面電極を作製する場合においてはフィンガ電極開口部３６ａ内に導電性ペーストの慣性力が直接作用することはない。

しかし、バスバ電極開口部３８ａの側壁に慣性力が作用することでバスバ電極開口部３８ａ内の導電性ペーストの圧力が高まり、その圧力の逃げ道として近くに存在するバスバ電極開口部３８ａ後方のフィンガ電極開口部３６ａ内が選ばれてしまい、印刷の高精度化は困難である。この場合、スキージの摺動方向とフィンガ電極の長手方向とがなす角を大きくすることで、フィンガ電極開口部３６ａ同士の距離は遠くなる。しかし、この角度を大きくすると、太陽電池全面に電極を印刷するためのスキージ移動距離（印刷範囲）を長く（広く）しなければならなくなる。その結果、スキージ摺動面の利用効率の低下や印刷に要する時間の増大を招き、現実的ではない。

一方、図１に示した本発明の太陽電池１０の受光面電極の配置においては左右一対のフィンガ電極１６，１６を一直線状の位置に配置しない構成を採用しているので、バスバ電極開口部１８ａの側壁に慣性力が作用することでバスバ電極開口部１８ａ内の導電性ペーストの圧力が高まるが、バスバ電極開口部１８ａ後方のフィンガ電極開口部１６ａがその付近に存在しないため、印刷の精度は確保される。

（１−３）スキージの摺動方向がフィンガ電極と直角の場合、スキージの先端部がフィンガ電極一本一本の開口部に落ち込むこととなる。図４に示した従来の太陽電池３０の受光面電極の配置のごとく、左右一対のフィンガ電極３６、３６を一直線状の位置に配置した場合には、上記現象が、フィンガ電極開口部３６ａの全長（半導体基板３２の幅にほぼ相当）に渡って同時に生じる。これに対し、図１に示した本発明の太陽電池１０の受光面電極の配置においては左右一対のフィンガ電極１６，１６を一直線状の位置に配置しない構成を採用しているので、スキージの先端部が半導体基板１２の全幅に渡ってフィンガ電極開口部１６ａに落ち込むことが回避される。その結果、フィンガ電極１６の印刷を安定して行なうことができる。

（２）２つ目の事由は、本発明の太陽電池１０においては、版離れ現象（半導体基板に導電性ペーストを転移した直後にスクリーン版が半導体基板から離れること）の発生箇所がバスバ電極１８の両側部で不連続に生じることによる。

以下に、上記事由（２）の説明を、スキージ（図示せず）の摺動方向が、フィンガ電極開口部と平行の場合と、平行でない場合、直角の場合、の３通りに分け、従来の太陽電池３０の受光面電極の配置（左右一対のフィンガ電極３６を一直線状の位置に配置）の場合と比較して行う。

（２−１）スキージの摺動方向がフィンガ電極と平行の場合には、バスバ電極開口部の版離れ現象が完了した直後、版離れの張力がバスバ電極後方のフィンガ電極とのつなぎ目部分（接続部分）に集中して作用する。このため、バスバ電極とフィンガ電極とのつなぎ目部分の印刷精度が低下してしまう。この場合、つなぎ目部分近傍のフィンガ電極のかすれや断線が生じてしまう。これは、図４に示した従来の太陽電池３０の受光面電極の配置のごとく、左右一対のフィンガ電極３６、３６を一直線状の位置に配置した構成の場合に特に強く作用する。その理由は、図５に示すように、版離れがフィンガ電極開口部３６ａで最も遅れて生じるためである。図５において、符号Ｐは版離れの先端部を示す。

これに対し、図１に示した本発明の太陽電池１０の受光面電極の配置においては左右一対のフィンガ電極１６，１６を一直線状の位置に配置しない構成を採用しているので、図２において、バスバ電極開口部１８ａ後方のフィンガ電極開口部１６ａでも版離れが早く生じる領域にフィンガ電極１６とバスバ電極１８とのつなぎ目部分を配置することができる。この結果、バスバ電極開口部１８ａの版離れ現象が完了するより前に、フィンガ電極開口部１６ａとバスバ電極開口部１８ａとのつなぎ目部分の版離れ現象を開始させておくことが可能となる。その結果、バスバ電極１８後方のフィンガ電極１６の印刷精度を向上させることができる。図２において、符号Ｐは版離れの先端部を示す。

（２−２）スキージの摺動方向がフィンガ電極と平行でない場合は、本発明の太陽電池１０におけるバスバ電極開口部３８ａの版離れ現象が開口部の全長にわたって連続的に生じるため、版離れ現象がつなぎ目部分のみで同時に生じることはない。このことから、版離れの引っ張り力がつなぎ目部分に集中しないこととなりフィンガ電極開口部３６ａとバスバ電極開口部３８ａとのつなぎ目部分の版離れ現象の面からは好ましい。しかし、前述の導電性ペースト押し込み現象の作用があるために、印刷精度向上には限界がある。

（２−３）スキージの摺動方向がフィンガ電極と直角の場合、図４に示した従来の太陽電池３０の受光面電極の配置のごとく、左右一対のフィンガ電極３６、３６を一直線状の位置に配置した構成では、フィンガ電極開口部３６ａの版離れが半導体基板３２全幅に渡って同時に生じてしまう。これに対し、図１に示した本発明の太陽電池１０の受光面電極の配置においては左右一対のフィンガ電極１６，１６を一直線状の位置に配置しない構成を採用しているので、フィンガ電極開口部１６ａの版離れ現象がバスバ電極開口部１８ａを境にして分散して生じる。この結果、フィンガ電極開口部１６ａとバスバ電極開口部１８ａとのつなぎ目部分の版離れもバスバ電極１８の両側で交互に生じるようになり、フィンガ電極１６のつなぎ目部分近傍の印刷精度を高めることができる。

上述した本発明の太陽電池をスクリーン印刷によって作製する際の利点は、印刷方向によらず本発明の太陽電池における特有の電極配置形状によって生じる。つまり、本発明の太陽電池をスクリーン印刷によって作製する際に達成される本発明特有の構成に起因する効果は、スクリーン印刷の際の印刷方向によらず達成されるものである。

なお、本発明の太陽電池１０においては、前記フィンガ電極１６とバスバ電極１８とが直角に交わる構成を採用しても良い。従来の太陽電池３０では、フィンガ電極とバスバ電極との配置では、両者を直角に交わらせることが一般的である。本発明の太陽電池は、従来の太陽電池と同様にフィンガ電極とバスバ電極とを直交させて作製することが可能であり、このことにより、本発明の太陽電池は、従来の太陽電池と比較しても、その受光面の外観に大きな変化を生じさせない。

また、図３に示すように、フィンガ電極１６とバスバ電極１８とが、直交しないように太陽電池を作製することも可能である。しかし、そのようにフィンガ電極１６とバスバ電極１８を作製した場合、半導体基板の角部にフィンガ電極１６が配置できない領域が生じ、太陽電池の直列抵抗が増大して効率が低下してしまうという不利が存在する。従って、本発明の太陽電池においては、フィンガ電極とバスバ電極とが、直角に交わるようにすることが望ましい。

以下に本発明の実施例を挙げて具体的に説明するが、この実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるものではない。

（実施例１及び比較例１）
III族元素のガリウムを不純物元素とするp型単結晶太陽電池用シリコンウエハ（１００ｍｍ角、面方位｛１００｝、基板厚２５０μｍ、抵抗率０．８Ωｃｍ）を、水酸化カリウム水溶液によりエッチングしてダメージ層を取り除く。さらにＩＰＡを混入した水酸化カリウム水溶液により、反射防止構造であるテクスチャ構造を形成する。

引き続き、受光面側にＰＯＣｌ₃液体ソースを利用した熱拡散によってＶ族元素のリンを不純物としたｎ領域を受光面に作製する。また、この工程は塗布拡散、もしくはイオン注入法によって行うこともできる。

ここで、太陽光反射防止と表面保護をかねて、プラズマＣＶＤ法によって膜厚７０ｎｍの窒化膜を受光面上に形成する。この窒化膜の成膜には、ＰＶＤ法を用いても問題ない。さらに、裏面（受光面と反対側の面）に対し、アルミニウム粒子を含む導電性ペーストを全面に印刷する。

続いて、受光面に対し、銀粒子を含む導電性ペーストをフィンガ電極とバスバ電極の形状に印刷する。スクリーン版には、図１に示した本発明による配置（実施例１）と図４に示した従来の配置（比較例１）の２種類を用意した。版の開口幅（フィンガ電極部）は、１００μｍである。受光面電極の印刷方向は、フィンガ電極の長手方向と平行である。

次に、基板を７５０℃で３分間焼成する。次に、ソーラシミュレータ（光強度：１ｋＷ／ｍ²、スペクトル：ＡＭ１．５グローバル）を用いて、作製した太陽電池の出力特性を測定した。得られた出力特性を、次の表１に示す。

また、バスバ電極近傍のフィンガ電極幅を、印刷方向のバスバ電極前後で測定した結果も、表１に示す。このフィンガ電極幅の測定は、太陽電池の面内５箇所で行い、示した値はその平均値である。

本発明によって、印刷方向におけるバスバ電極前後のフィンガ電極幅の差が小さくなるとともに、フィンガ電極幅が設計仕様である版開口幅に近付いた。それによって、本発明による太陽電池（実施例）では、従来品（比較例）に比べて、より高い短絡電流とフィルファクタを得、変換効率が０．７％向上した。

本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、如何なるものであっても本発明の技術範囲に包含される。

本発明の太陽電池の受光面の電極の配置状態の１例を示す平面説明図である。図１の太陽電池の受光面の電極の配置形状を作製するためのスクリーン版の形状及び印刷時の版離れの状態を示す要部摘示拡大説明図である。本発明の太陽電池の受光面の電極の配置状態の他の例を示す平面説明図である。従来の太陽電池の受光面の電極の配置状態の１例を示す平面説明図である。図４の太陽電池の受光面の電極の配置形状を作製するためのスクリーン版の形状及び印刷時の版離れの状態を示す要部摘示拡大説明図である。

符号の説明

１０：本発明の太陽電池、３０：従来の太陽電池、１２、３２：半導体基板、１４，３４：受光面、１６、３６：フィンガ電極、１６ａ、３６ａ：フィンガ電極開口部、１８，３８：バスバ電極、１８ａ，３８ａ：バスバ電極開口部、２０，４０：つなぎ目部分（接続部分）、Ａ，Ｂ：スクリーン版、Ｐ：版離れの先端部。

Claims

半導体基板と、
受光面である前記半導体基板の第一主表面上にスクリーン印刷によって形成された互いに略平行な複数の出力取り出し用のフィンガ電極と、
前記第一主表面上にスクリーン印刷によって形成されかつ前記フィンガ電極が左右の両側部に接続されるバスバ電極と、
を有する太陽電池であって、
前記第一主表面上の前記バスバ電極の両側部に接続される左右一対のフィンガ電極が一直線状に位置しないように、前記バスバ電極の両側部に接続される左右一対のフィンガ電極の形成位置を互いに所定距離ｒだけ、前記バスバ電極の長手方向と平行をなす方向に変位させることを特徴とする太陽電池。
前記フィンガ電極とバスバ電極とが直角に交わる状態で形成されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池。
前記バスバ電極に接続する左右一対のフィンガ電極の互いの形成位置の変位距離ｒが０．１ｍｍ〜２．０ｍｍであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の太陽電池。