JP2013146958A - メタルマスクおよび太陽電池の製造方法 - Google Patents
メタルマスクおよび太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013146958A JP2013146958A JP2012010360A JP2012010360A JP2013146958A JP 2013146958 A JP2013146958 A JP 2013146958A JP 2012010360 A JP2012010360 A JP 2012010360A JP 2012010360 A JP2012010360 A JP 2012010360A JP 2013146958 A JP2013146958 A JP 2013146958A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- metal mask
- groove
- plate
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】メタルマスク10は、第1面11a側が凸となるように第1面の裏面である第2面側から押圧力が加えられることで第1の方向に沿った引張力が加えられる板状部11と、第1の方向に沿って延びるように板状部の第1面側に形成された溝30と、溝の底面に形成されて第1面の裏面側である第2面側に貫通する複数の第1開口31と、溝につながるように形成されて、第1の方向と垂直な第2の方向に沿って延びるとともに板状部を貫通する第2開口32と、板状部の端部側となる領域であって、第1の方向に沿った溝の延長線上と重ならない領域に形成された第3開口33と、を備え、第3開口は、第2の方向に沿って延びるように形成される。
【選択図】図2
Description
まず、本発明の実施の形態1にかかるメタルマスクを用いて製造される太陽電池の概略構成について説明する。図1−1は、太陽電池の概略構成を示す断面図である。図1−2は、太陽電池の概略構成を示す平面図である。
図12は、本発明の実施の形態2にかかるメタルマスクの平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については同様の符号を付して、詳細な説明を省略する。本実施の形態2にかかるメタルマスク60では、溝30の延長線を挟んで形成されたダミー開口63同士が、互いに第1の方向にずれて形成されている。ダミー開口63が複数の貫通孔63a〜63cを並べて形成され、貫通孔63a〜63cの間には架橋パターン64が設けられている点については、上記実施の形態1と同様であり、貫通孔63a〜63c同士の間隔等についても同様であり、図12に示すD−D線に沿った矢視断面図は図5と同様になる。
図13は、本発明の実施の形態3にかかるメタルマスクの平面図である。図14は、図13に示すE−E線に沿った矢視断面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については同様の符号を付して、詳細な説明を省略する。本実施の形態3にかかるメタルマスク70では、図14に示すようにダミー開口73が、底面を有する溝として形成されている。そのため、スクリーン印刷時にダミー開口73をペースト材料が通過せず、表面電極23の形成時にダミーフィルム52を用いずに済む。そのため、工数を削減して印刷処理のより一層の高速化を図ることができる。
図15は、本発明の実施の形態4にかかるメタルマスクの平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については同様の符号を付して、詳細な説明を省略する。本実施の形態4にかかるメタルマスク80では、上記実施の形態3と同様にダミー開口83が溝として形成され、上記実施の形態2と同様に溝30の延長線を挟んで形成されたダミー開口83同士が、互いに第1の方向にずれて形成されている。
4 版枠
10,60,70,80 メタルマスク
11 板状部
11a 表面(第1面)
11b 裏面(第2面)
21 半導体基板
21a N層
22 反射防止膜
23 表面電極
23a グリッド電極
23b バス電極
24 裏面電極
25 受光面
30 溝
31 第1開口
31a 最端開口
32 第2開口
32a 最端開口
33 ダミー開口(第3開口)
33a〜33c 貫通孔
34 架橋パターン
50 太陽電池
51 ペースト材料
52 ダミーフィルム
63 ダミー開口(第3開口)
63a〜63c 貫通孔
73,83 ダミー開口(第3開口)
100 メタルマスク
P 印刷領域
Q ダミー領域
Claims (9)
- スクリーン印刷に用いられるメタルマスクであって、
板状の形状を呈する板状部と、
第1の方向に沿って延びるように前記板状部の第1面側に形成されるとともに、前記板状部の前記第1の方向に沿った端部に至らないように形成された溝と、
前記溝の底面に形成されて前記第1面の裏面側である第2面側に貫通する複数の第1開口と、
前記溝につながるように形成されて、前記第1の方向と略垂直な第2の方向に沿って延びるとともに前記板状部を貫通する第2開口と、
前記板状部の第1面側のうち、前記溝および前記第2開口が形成された領域よりも前記第1の方向に沿って端部側となる領域に形成された第3開口と、を備え、
前記第3開口は、前記第2の方向に沿って延びるように形成され、
前記溝の溝幅よりも前記第1の方向に沿った前記第2開口の幅のほうが小さいことを特徴とするメタルマスク。 - 前記第3開口は、前記第2面側に貫通することを特徴とする請求項1に記載のメタルマスク。
- 前記第3開口は、複数の貫通孔が前記第2の方向に沿って並べて形成されて構成されることを特徴とする請求項2に記載のメタルマスク。
- 前記第3開口の内部は、底面を有する溝形状であることを特徴とする請求項1に記載のメタルマスク。
- 前記第3開口は、前記第1の方向に沿った前記溝の延長線上と重ならない領域に形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のメタルマスク。
- 前記第3開口は、前記溝の延長線を挟んで両側に形成されており、
前記溝の延長線を挟んだ前記第3開口同士は、互いに前記第1の方向に沿ってずれた位置に形成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のメタルマスク。 - 前記板状部の前記第1の方向に沿った最も端部寄りに形成された前記第2開口よりもさらに端部寄りに、前記第1開口が形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のメタルマスク。
- グリッド電極とバス電極とが受光面側に形成された太陽電池の製造方法であって、
請求項1〜7のいずれか1つに記載のメタルマスクを、その第1面が所定の間隔を設けて前記受光面に対向するように配置するステップと、
スキージで前記第2面側を押圧することで前記第1〜第3開口を通してペースト状の電極材料を前記受光面に供給するステップと、を含み、
前記溝および前記第1開口を通過した電極材料によって前記バス電極が形成され、
前記第2開口を通過した電極材料によって前記グリッド電極が形成されることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記メタルマスクを配置するステップの後に、前記メタルマスクの第3開口と前記太陽電池との間にダミーフィルムを配置するステップと、
前記受光面に電極材料を供給するステップの後に、前記ダミーフィルムを除去するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012010360A JP5542162B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | メタルマスクおよび太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012010360A JP5542162B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | メタルマスクおよび太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013146958A true JP2013146958A (ja) | 2013-08-01 |
JP5542162B2 JP5542162B2 (ja) | 2014-07-09 |
Family
ID=49044975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012010360A Expired - Fee Related JP5542162B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | メタルマスクおよび太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5542162B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015030075A1 (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 印刷用マスク及びこのマスクを用いた印刷方法 |
WO2017013866A1 (ja) * | 2015-07-22 | 2017-01-26 | 信越化学工業株式会社 | スクリーン印刷機、スクリーン印刷方法及び太陽電池の電極形成方法 |
CN113543488A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-10-22 | 景旺电子科技(龙川)有限公司 | 电路板的树脂塞孔方法及电路板 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004025709A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷版およびその製造方法 |
WO2005109524A1 (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 太陽電池及びその製造方法 |
WO2008001430A1 (en) * | 2006-06-27 | 2008-01-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Screen printing machine and solar battery cell |
JP2010023352A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Ricoh Co Ltd | スクリーン版、層間絶縁膜、回路基板、アクティブマトリックス回路基板及び画像表示装置 |
JP2011213069A (ja) * | 2010-04-02 | 2011-10-27 | Process Lab Micron:Kk | 印刷用メタルマスク |
-
2012
- 2012-01-20 JP JP2012010360A patent/JP5542162B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004025709A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | スクリーン印刷版およびその製造方法 |
WO2005109524A1 (ja) * | 2004-05-07 | 2005-11-17 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 太陽電池及びその製造方法 |
WO2008001430A1 (en) * | 2006-06-27 | 2008-01-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Screen printing machine and solar battery cell |
JP2010023352A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Ricoh Co Ltd | スクリーン版、層間絶縁膜、回路基板、アクティブマトリックス回路基板及び画像表示装置 |
JP2011213069A (ja) * | 2010-04-02 | 2011-10-27 | Process Lab Micron:Kk | 印刷用メタルマスク |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015030075A1 (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 印刷用マスク及びこのマスクを用いた印刷方法 |
JP2015044382A (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-12 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 印刷用マスク及びこのマスクを用いた印刷方法 |
WO2017013866A1 (ja) * | 2015-07-22 | 2017-01-26 | 信越化学工業株式会社 | スクリーン印刷機、スクリーン印刷方法及び太陽電池の電極形成方法 |
CN107848314A (zh) * | 2015-07-22 | 2018-03-27 | 信越化学工业株式会社 | 丝网印刷机、丝网印刷方法及太阳能电池的电极形成方法 |
JPWO2017013866A1 (ja) * | 2015-07-22 | 2018-04-19 | 信越化学工業株式会社 | スクリーン印刷機、スクリーン印刷方法及び太陽電池の電極形成方法 |
JP2019214207A (ja) * | 2015-07-22 | 2019-12-19 | 信越化学工業株式会社 | スクリーン印刷機、スクリーン印刷方法及び太陽電池の電極形成方法 |
US11101391B2 (en) | 2015-07-22 | 2021-08-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Screen printing apparatus, screen printing method, and electrode formation method of solar battery |
CN113543488A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-10-22 | 景旺电子科技(龙川)有限公司 | 电路板的树脂塞孔方法及电路板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5542162B2 (ja) | 2014-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6665166B2 (ja) | 太陽電池モジュールおよびその製造方法 | |
JP4656996B2 (ja) | 太陽電池 | |
JP5174903B2 (ja) | 太陽電池セルの製造方法 | |
JP5213188B2 (ja) | 裏面電極型太陽電池、および裏面電極型太陽電池の製造方法 | |
JP6120984B2 (ja) | 太陽電池およびその製造方法、太陽電池モジュール | |
JP5989259B2 (ja) | 太陽電池およびその製造方法、太陽電池モジュール | |
JP5542162B2 (ja) | メタルマスクおよび太陽電池の製造方法 | |
JP5516063B2 (ja) | コンビネーションマスク及び太陽電池の製造方法 | |
KR20100113712A (ko) | 태양전지의 제조 방법 | |
WO2013098955A1 (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JP2015053303A (ja) | 太陽電池セル、太陽電池モジュール、および太陽電池セルの製造方法。 | |
JP2015026665A (ja) | 裏面電極型太陽電池、裏面電極型太陽電池を使用した太陽電池モジュールおよび裏面電極型太陽電池の製造方法 | |
JP5436699B2 (ja) | パターン形成方法および太陽電池の製造方法 | |
JP2015130367A (ja) | 太陽電池およびその製造方法 | |
JP4322199B2 (ja) | 太陽電池セル、太陽電池セルユニットの製造方法および太陽電池モジュール | |
JP6127173B2 (ja) | 太陽電池 | |
JP6064920B2 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2012134398A (ja) | 太陽電池セルおよびその製造方法 | |
TWI458114B (zh) | 太陽能電池之製造方法 | |
JP2013171885A (ja) | 太陽電池セルおよびメタルマスク | |
JP2017183426A (ja) | 太陽電池セルおよび太陽電池セルの製造方法 | |
JP2018006454A (ja) | 太陽電池製造用印刷マスク、及び、太陽電池の製造方法 | |
TWI404224B (zh) | 太陽能電池之製造方法 | |
JP2013062308A (ja) | 太陽電池とその製造方法および太陽電池モジュール | |
KR20120080903A (ko) | 태양 전지 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5542162 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |