JP6127173B2 - 太陽電池 - Google Patents
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Description
太陽電池は大体にシリコン系太陽電池、化合物半導体太陽電池及び有機太陽電池などの3種に分けられ、そのうち、シリコン系太陽電池の技術が最も成熟し、且つ最も普及され、特に、単結晶シリコン太陽電池の変換効率は全ての太陽電池において抜群に優れている。
次に、スクリーン印刷によって、アルミニウムペーストをレーザーアブレーションによる貫通孔にスクラッチし、続いて、更にアルミニウムペースト焼結工程を行うだけで、太陽電池の裏面に柵状の裏面電極を形成することができる。
図1は回転ずれの模式図(1)であり、図において、裏面電極91がレーザーアブレーションによるエッチング孔92に対してある角度回転したが、裏面電極91がまだレーザーアブレーションによるエッチング孔92を完全に覆うことができる。
図3は平行ずれの模式図(1)であり、図において、裏面電極91がレーザーアブレーションによるエッチング孔92に比べてある距離を移動したが、裏面電極91がまだレーザーアブレーションによるエッチング孔92を完全に覆うことができる。位置ずれが深刻ではなく、つまり裏面電極91がまだレーザーアブレーションによるエッチング孔92を覆うことができる場合に、位置ずれの存在は太陽電池の変換効率に実質的に顕著な影響を及ぼさない。
更に、図2と図4はそれぞれ回転ずれの模式図(2)と平行ずれの模式図(2)であり、位置ずれの程度は裏面電極91によってレーザーアブレーションによるエッチング孔92を完全に覆うことができなくなると、僅かな部分のエッチング孔92が裏面電極91によって覆われなくても、太陽電池の変換効率が大幅に低下する。太陽電池の分野では、変換効率が僅か0.1%低下しても、太陽エネルギー発電所の発電量がメガワット単位で計算するため、総発電ワット数が顕著に減少し、ワットあたりの発電のコストを向上させてしまう。
複数の裏面電界領域105は第1ドーパント層102に形成され、それぞれ複数の第1貫通孔103aに対応し、複数の裏面電界領域105のP型ドーパントの濃度は第1ドーパント層102のP型ドーパントの濃度よりも大きい。複数の裏面電極106は互いに間隔をあけて配列され、それぞれ複数の第2貫通孔104aと複数の第1貫通孔103aを介して複数の裏面電界領域105に電気的に接触する。
しかし、メッシュ99aと第1貫通孔103a及び第2貫通孔104aとの位置合わせに不可避的な機械位置合わせ誤差が存在し、なお、メッシュプレートに多回使用によって素材疲労が発生し、変形してしまうこともある。このため、実際において、メッシュプレート印刷が完成した後に、一部のレーザーアブレーションによる第1貫通孔103aと第2貫通孔104aにアルミニウムペーストが充填されていないことが頻繁に発生するプロセス欠陥である。更に検討すると、一部のレーザーアブレーションによる第1貫通孔103aと第2貫通孔104aにアルミニウムペーストが充填されていないのは、主にメッシュプレート99のメッシュ99aと第2貫通孔104aとの間に平行ずれ又は回転ずれが発生したためであることが発見された。
焼結過程において、アルミニウム原子が第1ドーパント層102に拡散し、アルミニウムとホウ素は同様にIIIA族元素に属するため、第1ドーパント層102と裏面電極106の接触箇所にP型ドーピング濃度が部分的に高い領域(Local Back Surface Field)が形成される。これが本実施例における裏面電界領域105であり、これによって、アルミニウム裏面電場と半導体基板との間の表面キャリアの複合効果の低減に寄与し、アルミニウムペーストの焼結による反り及び断片現象を避けることもできる。
以上のように、中央領域1011aが第1表面1011の面積の十分の一を占め、残りのサイド領域1011bが第1表面1011の面積の十分の九を占めると定義すると、つまり、90%の裏面電極106の幅が拡大され、10%の裏面電極の幅が縮小されるが、幅調整された裏面電極106の総面積は調整前のものと同じであるため、裏面入光による発電量は、裏面電極106の幅の調整に影響されない。
中央領域1011aが第1表面1011の面積の三分の一を占め、残りのサイド領域1011bが第1表面1011の面積の三分の二を占めると定義すると、三分の二の裏面電極106の幅が拡大され、三分の一の裏面電極の幅が縮小されるが、幅調整された裏面電極106の総面積が幅調整前のものと同じであるため、裏面入光による発電量は、裏面電極106の幅の調整に影響されない。
本実施例において五分の四の裏面電極106の幅が拡大され、五分の一の裏面電極106の幅が縮小されるが、幅調整された裏面電極106の総面積が幅調整前のものと同じであるため、裏面入光による発電量は、裏面電極106の幅の調整に影響されない。
本実施例の一態様において、裏面電極106の幅は、サイド領域1011bの最も外側に位置する裏面電極106の幅W1aから中央領域1011aの最も中間に位置する裏面電極106の幅W2aまで線形的に減少し、つまり、隣接する裏面電極106の幅差は一定である。
101 半導体基板
101e 半導体基板の縁部
1011 第1表面
1011a 中央領域
1011b サイド領域
1012 第2表面
102 第1ドーパント層
103 第1パッシベーション層
103a 第1貫通孔
104 第1反射防止層
104a 第2貫通孔
105 裏面電界領域
106 裏面電極
107 第2ドーパント層
108 第2パッシベーション層
108a 第3貫通孔
109 第2反射防止層
109a 第4貫通孔
110 表面電極
2 太陽電池
91 裏面電極
92 エッチング孔
99 メッシュプレート
99a メッシュ
Claims (11)
- 第1型ドーパントがドープされ、第1表面と該第1表面に対向する第2表面を有し、該第1表面は、中央領域とそれぞれ該中央領域の両側に位置する少なくとも2つのサイド領域を有し、該第2表面に第2ドーパント層が形成され、該第2ドーパント層に第2ドーパントがドープされる半導体基板と、
該第1表面に位置し、複数の第1貫通孔を有する第1パッシベーション層と、
該第1パッシベーション層に位置し、それぞれ該複数の第1貫通孔に対応する複数の第2貫通孔を有する第1反射防止層と、
該第1表面に位置し、それぞれ該複数の第1貫通孔に対応し、該第1型ドーパントの濃度は該半導体基板の該第1型ドーパントの濃度よりも大きい複数の裏面電界領域と、
互いに間隔をあけて配列され、それぞれ該複数の第2貫通孔と該複数の第1貫通孔を介して該複数の裏面電界領域に電気的に接触する複数の裏面電極であって、該少なくとも2つのサイド領域に位置する複数の裏面電極の幅は、該中央領域に位置する複数の裏面電極の幅よりも大きい複数の裏面電極と、
該第2ドーパント層に位置し、複数の第3貫通孔を有する第2パッシベーション層と、
該第2パッシベーション層に位置し、それぞれ該複数の第3貫通孔に対応する複数の第4貫通孔を有する第2反射防止層と、
それぞれ該第3貫通孔と該第4貫通孔を介して該第2ドーパント層に電気的に接触する複数の表面電極と、を備える、
太陽電池。 - 該中央領域の、該裏面電極の長手方向に平行する両側は、該半導体基板の縁部まで延び、該少なくとも2つのサイド領域は、それぞれ該中央領域の、該裏面電極の長手方向に垂直な両側に位置し、該中央領域の面積が該第1表面の面積の十分の一〜三分の一を占める請求項1に記載の太陽電池。
- 該中央領域の面積は該第1表面の面積の十分の一〜五分の一を占める請求項2に記載の太陽電池。
- 該中央領域に位置する複数の裏面電極の幅は30ミクロン〜100ミクロンである請求項3に記載の太陽電池。
- 該少なくとも2つのサイド領域に位置する複数の裏面電極の幅は40ミクロン〜250ミクロンである請求項4に記載の太陽電池。
- 該中央領域に位置する複数の裏面電極の幅は30ミクロン〜150ミクロンである請求項2に記載の太陽電池。
- 該少なくとも2つのサイド領域に位置する複数の裏面電極の幅は40ミクロン〜250ミクロンである請求項6に記載の太陽電池。
- 該半導体基板の第1表面に第1ドーパント層が形成され、該第1ドーパント層に該第1型ドーパントがドープされ、該第1ドーパント層の該第1型ドーパントの濃度は、該半導体基板の該第1型ドーパントの濃度よりも高い請求項1〜7のいずれかに記載の太陽電池。
- 該中央領域における複数の裏面電極の幅は互いに同じである請求項1〜7のいずれかに記載の太陽電池。
- 該少なくとも2つのサイド領域に位置する複数の裏面電極の幅は互いに同じである請求項1〜7のいずれかに記載の太陽電池。
- 該第1表面において、該中央領域の中央に該裏面電極の長手方向に平行する中心線を定義し、該複数の裏面電極は該中心線に垂直な方向に沿って間隔をあけて配列され、該複数の裏面電極の幅は該中心線から離れるほど大きくなる請求項1に記載の太陽電池。
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