WO2012124464A1 - 太陽電池 - Google Patents

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WO2012124464A1
WO2012124464A1 PCT/JP2012/054891 JP2012054891W WO2012124464A1 WO 2012124464 A1 WO2012124464 A1 WO 2012124464A1 JP 2012054891 W JP2012054891 W JP 2012054891W WO 2012124464 A1 WO2012124464 A1 WO 2012124464A1
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solar cell
electrode
back surface
metal film
connection
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Inventor
志敦 寺中
平　茂治
敏宏 木下
Original Assignee
三洋電機株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H01L31/0224—Electrodes
    • H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H01L31/022433—Particular geometry of the grid contacts
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Definitions

  • the present invention relates to a solar cell.
  • Patent Document 1 describes a solar cell including a photoelectric conversion unit, a light receiving surface electrode disposed on a light receiving surface of the photoelectric conversion unit, and a back electrode disposed on a back surface.
  • each of the light-receiving surface electrode and the back surface electrode includes a plurality of finger portions and a bus bar portion electrically connected to the plurality of finger portions.
  • the present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to provide a solar cell having improved photoelectric conversion efficiency.
  • the solar cell according to the present invention includes a photoelectric conversion unit, a light receiving surface electrode, and a back electrode.
  • the photoelectric conversion unit has a light receiving surface and a back surface.
  • the light receiving surface electrode is disposed on the light receiving surface.
  • the light-receiving surface electrode contains a metal.
  • the back electrode is arranged on the back surface.
  • the back electrode includes a metal.
  • the back electrode includes a metal film and a plurality of connection electrodes.
  • the metal film is disposed on at least a part of the back surface.
  • the plurality of connection electrodes are arranged on the metal film.
  • the plurality of connection electrodes are arranged at intervals from one another along one direction.
  • the solar cell according to the present invention further includes a first convex portion.
  • the 1st convex part is located between the connection electrodes adjacent in one direction.
  • a solar cell having improved photoelectric conversion efficiency can be provided.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a light receiving surface of the solar cell according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the second embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the third embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the fourth embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the fifth embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the sixth embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the seventh embodiment.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a light receiving surface of the solar cell according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the eighth embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the ninth embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the tenth embodiment.
  • FIG. 12 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the eleventh embodiment.
  • FIG. 1 is a schematic plan view of a light receiving surface of the solar cell according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the first embodiment.
  • the solar cell 10 has a photoelectric conversion unit 20.
  • the photoelectric conversion unit 20 is a member that generates carriers such as electrons and holes by receiving light.
  • the photoelectric conversion unit 20 is, for example, a substrate made of a crystalline semiconductor having one conductivity type, and a first amorphous semiconductor layer having another conductivity type disposed on one main surface of the substrate. And a second amorphous semiconductor layer having one conductivity type disposed on the other main surface of the substrate.
  • an i-type amorphous semiconductor layer having a thickness that does not substantially contribute to power generation may be provided between at least one of the first and second amorphous semiconductor layers and the crystalline semiconductor substrate.
  • the photoelectric conversion unit 20 may have a substrate in which an n-type dopant diffusion region and a p-type dopant diffusion region are exposed on the surface.
  • the photoelectric conversion unit 20 has a light receiving surface 20a and a back surface 20b.
  • Each of the light receiving surface 20a and the back surface 20b has a texture structure.
  • the “texture structure” refers to a concavo-convex structure formed to suppress surface reflection and increase the light absorption amount of the photoelectric conversion unit.
  • Specific examples of the texture structure include a pyramidal (quadrangular pyramid or quadrangular frustum-shaped) uneven structure obtained by performing anisotropic etching on the surface of a single crystal silicon substrate having a (100) plane. .
  • texture structure is not limited to this, and isotropic etching such as wet etching using acid or dry etching is performed on the surface of a substrate made of a crystalline semiconductor such as single crystal silicon or polycrystalline silicon.
  • isotropic etching such as wet etching using acid or dry etching is performed on the surface of a substrate made of a crystalline semiconductor such as single crystal silicon or polycrystalline silicon.
  • the resulting uneven structure may be used.
  • the light-receiving surface electrode 21a has a plurality of finger portions 21a1 and a plurality of bus bar portions 21a2.
  • Each of the plurality of finger portions 21a1 has a line shape extending along the y direction.
  • the plurality of finger portions 21a1 are arranged at predetermined intervals along the x direction.
  • Each of the plurality of bus bar portions 21a2 extends along the x direction orthogonal to the y direction.
  • Each of the plurality of bus bar portions 21a2 is electrically connected to the plurality of finger portions 21a1.
  • the plurality of finger portions 21a1 collects carriers generated by the photoelectric conversion unit 20 by light reception.
  • the bus bar portion 21a2 collects the carriers collected by the plurality of finger portions 21a1.
  • the constituent material of the light receiving surface electrode 21a includes a metal.
  • the light-receiving surface electrode 21a can be made of, for example, a metal such as silver, copper, aluminum, titanium, nickel, or chromium, or an alloy containing one or more of these metals.
  • the light-receiving surface electrode 21a may be configured by a laminated body of a plurality of conductive layers made of the above metal or alloy, for example.
  • the formation method of the light-receiving surface electrode 21a is not particularly limited.
  • the light-receiving surface electrode 21a can be formed using a conductive paste such as an Ag paste, for example.
  • the light receiving surface electrode 21a can be formed by using, for example, a sputtering method, a vapor deposition method, a screen printing method, a plating method, or the like.
  • the back electrode 21b includes a metal film 21b1 and a plurality of connection electrodes 21b2.
  • the back electrode 21b has a larger area than the light receiving surface electrode 21a. For this reason, the photoelectric conversion unit 20 can receive a lot of light.
  • the “metal film” includes an alloy film.
  • the metal film 21b1 is disposed on at least a part of the back surface 20b. Specifically, in the present embodiment, the metal film 21b1 is disposed on the inner region excluding the edge portion of the back surface 20b. The metal film 21b1 may be provided on the entire back surface 20b.
  • the metal film 21b1 has such a thickness that unevenness having a shape corresponding to the texture structure exists on the surface opposite to the back surface 20b of the metal film 21b1.
  • the thickness of the metal film 21b1 is preferably about 0.1 ⁇ m to 5 ⁇ m, for example.
  • the constituent material of the metal film 21b1 is not particularly limited, but it is preferable that the metal film 21b1 has high light reflectivity and high conductivity.
  • the metal film 21b1 can be made of a metal such as Ag, Al, Cu, Ni, Cr, Ti, Sn, Zn, or an alloy containing one or more of these metals.
  • the metal film 21b1 may be configured by a laminated body of a plurality of films made of the above metals or alloys.
  • the metal film 21b1 is disposed on the back surface 20b, and is disposed on the first Ag film having a thickness of about 0.1 ⁇ m to 1 ⁇ m and the first Ag film. It can be constituted by a laminate of an Al film having a thickness of about 0.1 ⁇ m to 1 ⁇ m and a second Ag film disposed on the Al film and having a thickness of about 0.1 ⁇ m to 1 ⁇ m.
  • the formation method of the metal film 21b1 is not particularly limited.
  • the metal film 21b1 can be formed using a conductive paste such as an Ag paste, for example.
  • the metal film 21b1 can be formed using, for example, a sputtering method, a vapor deposition method, a screen printing method, an offset printing method, an ink jet method, a plating method, or the like.
  • the metal film 21b1 may be formed directly on the back surface 20b, but a translucent conductive film may be provided between the metal film 21b1 and the back surface 20b. By providing the translucent conductive film, the adhesion to the back surface 20b of the metal film 21b1 can be improved.
  • the translucent conductive film can be made of a translucent conductive oxide such as indium oxide or zinc oxide. The thickness of the translucent conductive film is preferably about 0.05 ⁇ m to 3 ⁇ m.
  • connection electrodes 21b2 for electrical connection are disposed on the metal film 21b1.
  • the plurality of connection electrodes 21b2 are arranged at intervals from each other along one direction (y direction).
  • Each of the plurality of connection electrodes 21b2 is provided in a straight line extending in another direction (x direction) perpendicular to one direction (y direction).
  • the number of connection electrodes 21b2 is preferably the same as the number of bus bar portions 21a2. Further, the connection electrode 21b2 is preferably provided in a positional relationship overlapping the bus bar portion 21a2. By doing in this way, the connection of the wiring material mentioned later becomes easy.
  • the connection electrode 21b2 is an electrode that is electrically connected to the wiring member 11 when the solar cell module is configured by electrically connecting the plurality of solar cells 10 with the wiring member 11, for example. That is, by electrically connecting mainly the bus bar portion 21a2 of the light receiving surface electrode 21a of one solar cell 10 and the connection electrode 21b2 of the back surface electrode 21b of the other solar cell 10 by the wiring member 11, A solar cell string in which a plurality of solar cells 10 are electrically connected is configured.
  • the solar cell string is configured by sealing the solar cell string with a protective member on the light receiving surface side, a protective member on the back surface side, and a filler layer filled between the protective members.
  • the wiring material 11 and the solar cell 10 can be connected using solder or a resin adhesive.
  • the connecting electrode 21b2 has a thickness protruding from the convex portion of the texture structure of the back surface 20b.
  • the connection electrode 21b2 is preferably thicker than the metal film 21b1. Specifically, the thickness of the connection electrode 21b2 is preferably in the range of 5 ⁇ m to 30 ⁇ m.
  • connection electrode 21b2 includes a metal.
  • the connection electrode 21b2 can be made of, for example, a metal such as Cu, Ag, or Sn, or an alloy containing at least one of these metals. Further, the connection electrode 21b2 may be configured by a laminated body of a plurality of films made of the above metal or alloy.
  • connection electrode 21b2 can be formed using, for example, a conductive paste such as an Ag paste.
  • the connection electrode 21b2 can be formed using, for example, a sputtering method, a vapor deposition method, a screen printing method, a dispensing method, an offset printing method, an ink jet method, or the like.
  • a plurality of convex portions 30 are arranged on the metal film 21b1.
  • the plurality of convex portions 30 include a first convex portion 30a, a second convex portion 30b, and a third convex portion 30c.
  • the first protrusion 30a is located between adjacent connection electrodes 21b2 in one direction (y direction).
  • the 2nd convex part 30b is located in the one side (y1 side) in one direction (y direction) of the field in which a plurality of connection electrodes 21b2 were provided.
  • the 3rd convex part 30c is located in the other side (y2 side) in one direction (y direction) of the field in which a plurality of connection electrodes 21b2 were provided.
  • Each of the plurality of protrusions 30 includes a plurality of protrusions 31 arranged in a straight line at intervals in the x direction.
  • the height of the convex portion 30 is preferably substantially the same as or higher than the height of the connection electrode 21b2.
  • the width along the y direction of the convex portion 30 is preferably 1 to 10 times the width along the y direction of the connection electrode 21b2.
  • the constituent material of the convex part 30 is not particularly limited.
  • Specific examples of the convex portion 30 include, for example, resin and the same material as the connection electrode 21b2. By forming the convex part 30 with the same material as the connection electrode 21b2, the convex part 30 and the connection electrode 21b2 can be formed in the same process. Therefore, manufacture of the solar cell 10 becomes easy.
  • Specific examples of the resin that is preferably used as the constituent material of the convex portion 30 include, for example, an epoxy resin, an acrylic resin, and a urethane resin.
  • the metal film 21b1 is disposed.
  • the metal film 21b1 covers at least a part of the back surface 20b. For this reason, the light which permeate
  • the metal film 21b1 has such a thickness that unevenness having a shape corresponding to the texture structure exists on the surface opposite to the back surface 20b of the metal film 21b1. Therefore, the optical path length in the photoelectric conversion unit 20 of the light reflected by the metal film 21b1 can be increased. Therefore, more improved photoelectric conversion efficiency can be obtained.
  • the thickness of the semiconductor substrate used for the photoelectric conversion unit 20 can be reduced to, for example, 180 ⁇ m or less.
  • the thickness of the metal film 21b1 is preferably 0.1 ⁇ m or more. From the viewpoint of obtaining higher reliability, the thickness of the metal film 21b1 is preferably 5 ⁇ m or less.
  • the connection electrode 21b2 is preferably thicker than the metal film 21b1. Specifically, the thickness of the connection electrode 21b2 is preferably 5 ⁇ m or more. However, if the thickness of the connection electrode 21b2 is too thick, the connection electrode 21b2 is easily peeled from the metal film 21b1 due to the stress of the connection electrode 21b2. Therefore, the thickness of the connection electrode 21b2 is preferably 20 ⁇ m or less.
  • connection electrode 21b2 has a thickness protruding from the convex portion of the texture structure of the back surface 20b.
  • connection electrode 21b2 extends from the one side end side in the x direction of the back surface 20b to the other side end side.
  • the connection electrode 21b2 has a length of about 70% or more of the length of the photoelectric conversion unit 20. For this reason, even when a stress is generated between the wiring member 11 and the connection electrode 21b2 due to a temperature change or the like, the stress per unit area can be reduced. Therefore, peeling of the wiring material 11 can be suppressed more effectively.
  • the back surface 20b has a texture structure. For this reason, light is scattered on the back surface 20b, and the light is easily confined in the photoelectric conversion unit 20, so that more improved photoelectric conversion efficiency can be obtained.
  • the metal film 21b1 has such a thickness that unevenness having a shape corresponding to the texture structure exists on the surface opposite to the back surface 20b of the metal film 21b1. For this reason, the adhesion strength between the metal film 21b1 and the connection electrode 21b2 can be increased.
  • connection electrode 21b2 protrudes from the back surface 20b. For this reason, for example, when the solar cell 10 is in contact with another member during the process after the electrode forming step of the solar cell 10 or during the conveyance, a large stress may be concentrated on the connection electrode 21b2. . As a result, damage such as peeling may occur in a part of the connection electrode 21b2.
  • connection electrode 21b2 In contrast, in the solar cell 10, a plurality of convex portions 30 including the first convex portions 30a located between the adjacent connection electrodes 21b2 are provided. For this reason, even when the solar cell 10 comes into contact with another member during the transportation of the solar cell 10, stress is distributed and applied to the connection electrode 21 b 2 and the convex portion 30. Therefore, it is possible to suppress a large stress from being concentrated on the connection electrode 21b2. Therefore, damage to the connection electrode 21b2 can be suppressed.
  • the second and third electrodes are provided on both sides of the region where the plurality of connection electrodes 21b2 are provided. Protrusions 30b and 30c are provided. For this reason, it can suppress more effectively that a big stress is intensively added to the electrode 21b2 for a connection. Therefore, damage to the connection electrode 21b2 can be more effectively suppressed.
  • the convex portion 30 is arranged between the adjacent connection electrodes 21b2, when the external stress in the direction from the light receiving surface 20a to the back surface 20b is generated between the adjacent connection electrodes 21b2, the convex portion 30 is photoelectric. It works as a support for the conversion unit 20 and can suppress damage such as cracking of the solar cell 10.
  • the convex part 30 is resin, the elasticity of the convex part 30 becomes high. For this reason, it can suppress more effectively that big stress is intensively applied to the electrode 21b2 for connection, and can also suppress effectively that stress is applied to the photoelectric conversion part 20 via the convex part 30. FIG. Therefore, damage to the solar cell 10 can be suppressed more effectively.
  • the convex part 30 is lower than the connection electrode 21b2, an effect that it is possible to suppress a large stress from being concentrated on the connection electrode 21b2 described above can be obtained, but the effect is further enhanced.
  • the height of the convex portion 30 is preferably equal to or higher than the height of the connection electrode 21b2.
  • FIG. 3 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the second embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the third embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the fourth embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the fifth embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the sixth embodiment.
  • each of the plurality of protrusions 30 is configured by a plurality of protrusions 31 arranged at intervals along the x direction.
  • the shape of the convex portion 30 is not particularly limited.
  • the arrangement of the plurality of convex portions 30 is not particularly limited.
  • each of the plurality of convex portions 30 may be a linear convex portion extending along another direction (x direction) perpendicular to one direction (y direction).
  • the plurality of convex portions 30 may be configured by a plurality of linear convex portions that are arranged along the x direction and extend along the y direction.
  • the convex part 30 is dot-shaped, and the plurality of convex parts 30 may be arranged in a square matrix. Moreover, as shown in FIG. 6, the convex part 30 is dot shape, and the some convex part 30 may be distribute
  • the convex part 30 may be zigzag-shaped.
  • FIG. 8 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the seventh embodiment.
  • FIG. 9 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the eighth embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the ninth embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the tenth embodiment.
  • FIG. 12 is a schematic plan view of the back surface of the solar cell according to the eleventh embodiment.
  • connection electrode 21b2 is a linear electrode extending in the x direction.
  • shape of the connection electrode is not particularly limited.
  • connection electrodes 21b2 may be configured by a plurality of linear electrodes arranged along the x direction and extending along the y direction.
  • connection electrodes 21 b 2 are arranged along the x direction, and each crosses the first linear electrode portion extending along the y direction and the first linear electrode portion. And a plurality of electrodes including a plurality of second linear electrode portions extending along the x direction.
  • connection electrode 21b2 may be composed of a plurality of V-shaped electrodes arranged along the x direction.
  • connection electrode 21b2 may be composed of a plurality of linear electrodes arranged in a matrix.
  • connection electrode 21b2 may be formed of a zigzag electrode.
  • the convex portion 30 may be the convex portion described in the second to sixth embodiments.
  • the light-receiving surface electrode may be a so-called bus bar-less electrode that includes only a plurality of finger portions and does not have a bus bar portion.
  • only one connection electrode may be provided, or three or more connection electrodes may be provided along the y direction.
  • the shapes of the first to third convex portions may be different from each other.

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Abstract

　改善された光電変換効率を有する太陽電池を提供する。　太陽電池１０は、光電変換部２０と、受光面２０ａの上に配された金属を含む受光面電極２１ａと、裏面２０ｂの上に配された金属を含む裏面電極２１ｂとを備えている。裏面電極２１ｂは、金属膜２１ｂ１と、複数の接続用電極２１ｂ２とを含む。金属膜２１ｂ１は、裏面２０ｂの少なくとも一部の上に配されている。複数の接続用電極２１ｂ２は、金属膜２１ｂ１の上に配されている。複数の接続用電極２１ｂ２は、一の方向ｙに沿って配列されている。太陽電池１０は、第１の凸部３０ａをさらに備えている。第１の凸部３０ａは、一の方向ｙにおいて隣り合う接続用電極２１ｂ２の間に位置している。

Description

太陽電池
　本発明は、太陽電池に関する。
　特許文献１には、光電変換部と、光電変換部の受光面の上に配された受光面電極と、裏面の上に配された裏面電極とを備える太陽電池が記載されている。この太陽電池では、受光面電極及び裏面電極のそれぞれが、複数のフィンガー部と、複数のフィンガー部に電気的に接続されているバスバー部とを備えている。
特開２００９－２９０２３４号公報
　近年、太陽電池の光電変換効率をさらに向上したいという要望が高まってきている。
　本発明は、斯かる点に鑑みて成されたものであり、その目的は、改善された光電変換効率を有する太陽電池を提供することにある。
　本発明に係る太陽電池は、光電変換部と、受光面電極と、裏面電極とを備えている。光電変換部は、受光面及び裏面を有する。受光面電極は、受光面の上に配されている。受光面電極は、金属を含む。裏面電極は、裏面の上に配されている。裏面電極は、金属を含む。裏面電極は、金属膜と、複数の接続用電極とを含む。金属膜は、裏面の少なくとも一部の上に配されている。複数の接続用電極は、金属膜の上に配されている。複数の接続用電極は、一の方向に沿って相互に間隔をおいて配列されている。本発明に係る太陽電池は、第１の凸部をさらに備えている。第１の凸部は、一の方向において隣り合う接続用電極の間に位置している。
　本発明によれば、改善された光電変換効率を有する太陽電池を提供することができる。
図1は、第１の実施形態に係る太陽電池の受光面の略図的平面図である。 図２は、第１の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図３は、第２の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図４は、第３の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図５は、第４の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図６は、第５の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図７は、第６の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図８は、第７の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図９は、第８の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図１０は、第９の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図１１は、第１０の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。 図１２は、第１１の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。
　以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、以下の実施形態は、単なる例示である。本発明は、以下の実施形態に何ら限定されない。
　実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
　《第１の実施形態》
　図１は、第１の実施形態に係る太陽電池の受光面の略図的平面図である。図２は、第１の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。
　太陽電池１０は、光電変換部２０を有する。光電変換部２０は、受光することによって電子や正孔などのキャリアを生成させる部材である。光電変換部２０は、例えば、一の導電型を有する結晶性半導体からなる基板と、その基板の一の主面上に配されており、他の導電型を有する第１の非晶質半導体層と、基板の他の主面上に配されており、一の導電型を有する第２の非晶質半導体層とを有するものであってもよい。その場合において、第１及び第２の非晶質半導体層の少なくとも一方と、結晶性半導体基板との間に、実質的に発電に寄与しない厚みのｉ型非晶質半導体層を設けてもよい。また、光電変換部２０は、ｎ型ドーパント拡散領域とｐ型ドーパント拡散領域とが表面に露出している基板を有するものであってもよい。
　光電変換部２０は、受光面２０ａと裏面２０ｂとを有する。受光面２０ａ及び裏面２０ｂのそれぞれは、テクスチャ構造を有する。ここで、「テクスチャ構造」とは、表面反射を抑制し、光電変換部の光吸収量を増大させるために形成されている凹凸構造のことをいう。テクスチャ構造の具体例としては、（１００）面を有する単結晶シリコン基板の表面に異方性エッチングを施すことによって得られるピラミッド状（四角錐状や、四角錐台状）の凹凸構造が挙げられる。なお、テクスチャ構造は、これに限定されず、単結晶シリコン或いは多結晶シリコン等の結晶性半導体からなる基板の表面に、酸を用いたウェットエッチングやドライエッチング等による等方性エッチングを施すことによって得られる凹凸構造であってもよい。
　光電変換部２０の受光面２０ａの上には、金属を含む受光面電極２１ａが配されている。受光面電極２１ａは、複数のフィンガー部２１ａ１と、複数のバスバー部２１ａ２とを有する。複数のフィンガー部２１ａ１のそれぞれは、ｙ方向に沿って延びるライン状の形状を有する。複数のフィンガー部２１ａ１は、ｘ方向に沿って所定の間隔を隔てて配列されている。複数のバスバー部２１ａ２のそれぞれは、ｙ方向と直交するｘ方向に沿って延びている。複数のバスバー部２１ａ２のそれぞれは、複数のフィンガー部２１ａ１に電気的に接続されている。複数のフィンガー部２１ａ１は、受光により光電変換部２０で生成されたキャリアを収集する。バスバー部２１ａ２は、複数のフィンガー部２１ａ１で収集されたキャリアを集電する。
　受光面電極２１ａの構成材料は、金属を含む。受光面電極２１ａは、例えば、銀、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロムなどの金属や、それらの金属のうちの一種以上を含む合金により構成することができる。また、受光面電極２１ａは、例えば、上記金属や合金からなる複数の導電層の積層体により構成されていてもよい。
　受光面電極２１ａの形成方法は、特に限定されない。受光面電極２１ａは、例えば、Ａｇペースト等の導電性ペーストを用いて形成することができる。また、受光面電極２１ａは、例えば、スパッタ法、蒸着法、スクリーン印刷法、或いはメッキ法等を用いて形成することができる。
　光電変換部２０の裏面２０ｂの上には、金属を含む裏面電極２１ｂが配されている。裏面電極２１ｂは、金属膜２１ｂ１と、複数の接続用電極２１ｂ２とを含む。裏面電極２１ｂは、受光面電極２１ａより広い面積を有する。このため、光電変換部２０は、多くの光を受光することができる。
　本実施形態において、「金属膜」には、合金膜が含まれるものとする。
　金属膜２１ｂ１は、裏面２０ｂの少なくとも一部の上に配されている。具体的には、本実施形態では、金属膜２１ｂ１は、裏面２０ｂの端縁部を除く内側領域の上に配されている。金属膜２１ｂ１は、裏面２０ｂの全面上に設けられていてもよい。
　金属膜２１ｂ１は、金属膜２１ｂ１の裏面２０ｂとは反対側の表面にテクスチャ構造に対応した形状の凹凸が存するような厚みを有する。具体的には、金属膜２１ｂ１の厚みは、例えば、０．１μｍ～５μｍ程度であることが好ましい。
　金属膜２１ｂ１の構成材料は、特に限定されないが、光反射率が高く、かつ、高い導電性を有するものであることが好ましい。このため、金属膜２１ｂ１は、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｎ、Ｚｎなどの金属や、それらの金属の一種以上を含む合金により構成することができる。また、金属膜２１ｂ１は、上記金属や合金からなる複数の膜の積層体により構成されていてもよい。金属膜２１ｂ１は、具体的には、例えば、裏面２０ｂの上に配されており、厚みが０．１μｍ～１μｍ程度の第１のＡｇ膜と、第１のＡｇ膜の上に配されており、厚みが０．１μｍ～１μｍ程度のＡｌ膜と、Ａｌ膜の上に配されており、厚みが０．１μｍ～１μｍ程度の第２のＡｇ膜との積層体により構成することができる。
　金属膜２１ｂ１の形成方法は特に限定されない。金属膜２１ｂ１は、例えば、Ａｇペースト等の導電性ペーストを用いて形成することができる。また、金属膜２１ｂ１は、例えば、スパッタ法、蒸着法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、インクジェット法、或いはメッキ法等を用いて形成することができる。
　金属膜２１ｂ１は、裏面２０ｂの上に直接形成してもよいが、金属膜２１ｂ１と裏面２０ｂとの間に透光性導電膜を設けてもよい。透光性導電膜を設けることにより、金属膜２１ｂ１の裏面２０ｂに対する密着性を高めることができる。透光性導電膜は、例えば、酸化インジウムや酸化亜鉛等の透光性導電酸化物により構成することができる。透光性導電膜の厚みは、０．０５μｍ～３μｍ程度であることが好ましい。
　金属膜２１ｂ１の上には、複数の電気的接続用の接続用電極２１ｂ２が配されている。複数の接続用電極２１ｂ２は、一の方向（ｙ方向）に沿って相互に間隔をおいて配列されている。複数の接続用電極２１ｂ２のそれぞれは、一の方向（ｙ方向）に対して垂直な他の方向（ｘ方向）に延びる直線状に設けられている。接続用電極２１ｂ２の数は、バスバー部２１ａ２の数と同じにすることが好ましい。また、接続用電極２１ｂ２は、バスバー部２１ａ２と重なる位置関係に設けることが好ましい。このようにすることで、後述する配線材の接続が容易になる。
　接続用電極２１ｂ２は、例えば配線材１１により複数の太陽電池１０を電気的に接続して太陽電池モジュールを構成する際に、配線材１１と電気的に接続される電極である。すなわち、一の太陽電池１０の受光面電極２１ａの主としてバスバー部２１ａ２と、他の太陽電池１０の裏面電極２１ｂの主として接続用電極２１ｂ２とを配線材１１により電気的に接続していくことにより、複数の太陽電池１０が電気的に接続された太陽電池ストリングが構成される。その太陽電池ストリングを、受光面側の保護部材と、裏面側の保護部材と、両保護部材の間に充填された充填材層とにより封止することにより太陽電池モジュールが構成される。なお、配線材１１と太陽電池１０との接続は、半田や樹脂接着剤を用いて行うことができる。
　接続用電極２１ｂ２は、裏面２０ｂのテクスチャ構造が有する凸部から突出する厚みを有する。接続用電極２１ｂ２は、金属膜２１ｂ１よりも厚いことが好ましい。具体的には、接続用電極２１ｂ２の厚みは、５μｍ～３０μｍの範囲内にあることが好ましい。
　接続用電極２１ｂ２の構成材料は、金属を含む。接続用電極２１ｂ２は、例えば、Ｃｕ、Ａｇ、Ｓｎ等の金属や、それらの金属の少なくとも一種を含む合金により構成することができる。また、接続用電極２１ｂ２は、上記金属や合金からなる複数の膜の積層体により構成されていてもよい。
　接続用電極２１ｂ２の形成方法は特に限定されない。接続用電極２１ｂ２は、例えば、Ａｇペースト等の導電性ペーストを用いて形成することができる。また、接続用電極２１ｂ２は、例えば、スパッタ法、蒸着法、スクリーン印刷法、ディスペンス法、オフセット印刷法、インクジェット法等を用いて形成することができる。
　太陽電池１０では、金属膜２１ｂ１の上に、複数の凸部３０が配されている。複数の凸部３０は、第１の凸部３０ａと、第２の凸部３０ｂと、第３の凸部３０ｃとを含む。第１の凸部３０ａは、一の方向（ｙ方向）において隣り合う接続用電極２１ｂ２の間に位置している。第２の凸部３０ｂは、複数の接続用電極２１ｂ２が設けられた領域の一の方向（ｙ方向）における一方側（ｙ１側）に位置している。第３の凸部３０ｃは、複数の接続用電極２１ｂ２が設けられた領域の一の方向（ｙ方向）における他方側（ｙ２側）に位置している。
　複数の凸部３０のそれぞれは、ｘ方向に沿って相互に間隔をおいて直線状に配列されている複数の凸部３１を含む。
　凸部３０の高さは、接続用電極２１ｂ２の高さと略同一か、またはそれ以上であることが好ましい。
　凸部３０のｙ方向に沿った幅は、接続用電極２１ｂ２のｙ方向に沿った幅の１倍以上１０倍以下であることが好ましい。
　凸部３０の構成材料は、特に限定されない。凸部３０の具体例としては、例えば、樹脂や、接続用電極２１ｂ２と同じ材料が挙げられる。凸部３０を接続用電極２１ｂ２と同じ材料により構成することにより、凸部３０と接続用電極２１ｂ２とを同一工程で形成できる。従って、太陽電池１０の製造が容易となる。凸部３０の構成材料として好ましく用いられる樹脂の具体例としては例えば、エポキシ系の樹脂、アクリル系の樹脂、ウレタン系の樹脂が挙げられる。
　以上説明したように、本実施形態では、金属膜２１ｂ１が配されている。そして、その金属膜２１ｂ１により裏面２０ｂの少なくとも一部が覆われている。このため、光電変換部２０を透過した光が金属膜２１ｂ１によって受光面２０ａ側に反射される。よって、光の有効利用を図ることができる。
　また、金属膜２１ｂ１は、金属膜２１ｂ１の裏面２０ｂとは反対側の表面にテクスチャ構造に対応した形状の凹凸が存するような厚みを有する。よって、金属膜２１ｂ１で反射された光の光電変換部２０における光路長を長くすることができる。従って、より改善された光電変換効率を得ることができる。
　また、熱膨張係数の違いに起因して生じる金属膜２１ｂ１から光電変換部２０へのストレスを低減することができる。その結果、光電変換部２０に用いる半導体の基板の厚みを例えば１８０μｍ以下といった薄い厚みにすることができる。
　より改善された光電変換効率を得る観点からは、金属膜２１ｂ１の厚みは、０．１μｍ以上であることが好ましい。より高い信頼性を得る観点からは、金属膜２１ｂ１の厚みは、５μｍ以下であることが好ましい。
　また接続用電極２１ｂ２と配線材１１との接続をより確実なものにする観点からは、接続用電極２１ｂ２は、金属膜２１ｂ１よりも厚いことが好ましい。具体的には、接続用電極２１ｂ２の厚みは、５μｍ以上であることが好ましい。但し、接続用電極２１ｂ２の厚みが厚すぎると、接続用電極２１ｂ２の応力により金属膜２１ｂ１から剥離しやすくなる。従って、接続用電極２１ｂ２の厚みは、２０μｍ以下であることが好ましい。
　また、接続用電極２１ｂ２は、裏面２０ｂのテクスチャ構造が有する凸部から突出する厚みを有することが好ましい。このようにすることで、接続用電極２１ｂ２と配線材１１との接続をより確実なものとすることができる。特に、樹脂接着剤を用いて配線材１１を接続電極２１ｂ２に接続する場合に、両者の接続をより確実なものとすることができる。
　本実施形態では、接続用電極２１ｂ２は、裏面２０ｂのｘ方向における一方側端側から他方側端側に延びている。接続用電極２１ｂ２は、光電変換部２０の長さの約７０％以上の長さを有する。このため、温度変化などに起因して配線材１１と接続用電極２１ｂ２との間に応力が生じた場合であっても、単位面積あたりの応力を小さくすることができる。従って、配線材１１の剥離をより効果的に抑制することができる。
　本実施形態では、裏面２０ｂがテクスチャ構造を有する。このため、裏面２０ｂにおいて光が散乱し、光電変換部２０内に光が閉じ込められやすくなるため、より改善された光電変換効率を得ることができる。
　さらに、金属膜２１ｂ１が、金属膜２１ｂ１の裏面２０ｂとは反対側の表面にテクスチャ構造に対応した形状の凹凸が存するような厚みを有する。このため、金属膜２１ｂ１と接続用電極２１ｂ２との密着強度を高めることができる。
　ところで、凸部３０を設けない場合は、接続用電極２１ｂ２のみが裏面２０ｂから突出することとなる。このため、例えば、太陽電池１０の電極形成工程以降の工程処理中、搬送途中などにおいて太陽電池１０が他の部材と接触した場合に、接続用電極２１ｂ２に大きな応力が集中的に加わる虞がある。この結果、接続用電極２１ｂ２の一部に、剥がれ等の損傷が生じる可能性がある。
　それに対して、太陽電池１０では、隣り合う接続用電極２１ｂ２の間に位置している第１の凸部３０ａを含む複数の凸部３０が設けられている。このため、太陽電池１０の搬送途中などにおいて太陽電池１０が他の部材と接触した場合においても、接続用電極２１ｂ２と凸部３０とに応力が分散して加わる。よって、接続用電極２１ｂ２に大きな応力が集中的に加わることを抑制することができる。従って、接続用電極２１ｂ２の損傷を抑制することができる。
　また、本実施形態では、隣り合う接続用電極２１ｂ２の間に位置している第１の凸部３０ａに加えて、複数の接続用電極２１ｂ２が設けられた領域の両側に第２及び第３の凸部３０ｂ、３０ｃが設けられている。このため、接続用電極２１ｂ２に大きな応力が集中的に加わることをより効果的に抑制することができる。従って、接続用電極２１ｂ２の損傷をより効果的に抑制することができる。
　また、隣り合う接続用電極２１ｂ２の間に凸部３０が配置されていることにより隣り合う接続用電極２１ｂ２間に受光面２０ａから裏面２０ｂ方向の外部応力が発生した場合において、凸部３０は光電変換部２０の支持体として働き、太陽電池１０の割れ等の損傷を抑制することが可能となる。
　また、凸部３０が樹脂製である場合は、凸部３０の弾性が高くなる。このため、接続用電極２１ｂ２に大きな応力が集中的に加わることをさらに効果的に抑制できると共に、凸部３０を介して光電変換部２０に応力が加わることも効果的に抑制することができる。従って、太陽電池１０の損傷をより効果的に抑制することができる。
　なお、凸部３０が接続用電極２１ｂ２よりも低い場合であっても上述の接続用電極２１ｂ２に大きな応力が集中的に加わることを抑制できるという効果は得られるが、当該効果がより強く奏されるようにする観点からは、凸部３０の高さは、接続用電極２１ｂ２の高さ以上であることが好ましい。
　以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
　《第２～第６の実施形態》
　図３は、第２の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図４は、第３の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図５は、第４の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図６は、第５の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図７は、第６の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。
　第１の実施形態では、複数の凸部３０のそれぞれが、ｘ方向に沿って相互に間隔をおいて配列された複数の凸部３１により構成されている例について説明した。但し、本発明において凸部３０の形状は特に限定されない。また、複数の凸部３０の配列も特に限定されない。
　例えば図３に示すように、複数の凸部３０のそれぞれは、一の方向（ｙ方向）に対して垂直な他の方向（ｘ方向）に沿って延びる線状凸部であってもよい。
　図４に示すように、複数の凸部３０は、ｘ方向に沿って配列されており、ｙ方向に沿って延びる複数の線状凸部により構成されていてもよい。
　図５に示すように、凸部３０は、ドット状であり、複数の凸部３０は、正方マトリクス状に配されていてもよい。また、図６に示すように、凸部３０は、ドット状であり、複数の凸部３０は、斜方マトリクス状に配されていてもよい。
　図７に示すように、凸部３０は、ジグザグ状であってもよい。
　以上のような構成においても、前述の実施形態と同様の効果を奏する。
　《第７～第１１の実施形態》
　図８は、第７の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図９は、第８の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図１０は、第９の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図１１は、第１０の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。図１２は、第１１の実施形態に係る太陽電池の裏面の略図的平面図である。
　第１の実施形態では、接続用電極２１ｂ２がｘ方向に延びる線状電極である例について説明した。但し、本発明において、接続用電極の形状は特に限定されない。
　例えば、図８に示すように、接続用電極２１ｂ２は、ｘ方向に沿って配列されており、各々ｙ方向に沿って延びる複数の線状電極により構成されていてもよい。
　図９に示すように、接続用電極２１ｂ２は、ｘ方向に沿って配列されており、各々、ｙ方向に沿って延びる第１の線状電極部と、第１の線状電極部と交差しており、ｘ方向に沿って延びる複数の第２の線状電極部とを備える複数の電極により構成されていてもよい。
　図１０に示すように、接続用電極２１ｂ２は、ｘ方向に沿って配列された複数のＶ字状の電極により構成されていてもよい。
　図１１に示すように、接続用電極２１ｂ２は、マトリクス状に配列された複数の線状電極により構成されていてもよい。
　図１２に示すように、接続用電極２１ｂ２は、ジグザグ状の電極により構成されていてもよい。
　以上のような構成においても、前述の実施形態と同様の効果を奏する。
　なお、第７～第１１の実施形態において、凸部３０を、第２～第６の実施形態において説明した凸部としてもよい。
　本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含む。例えば、受光面電極は、複数のフィンガー部のみにより構成されており、バスバー部を有さない所謂バスバーレスの電極であってもよい。また、接続用電極は、１本のみ設けられていてもよし、ｙ方向に沿って３本以上設けられていてもよい。また、第１～第３の凸部の形状は、相互に異なっていてもよい。以上のように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含む。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
１０…太陽電池
１１…配線材
２０…光電変換部
２０ａ…受光面
２０ｂ…裏面
２１ａ…受光面電極
２１ａ１…フィンガー部
２１ａ２…バスバー部
２１ｂ…裏面電極
２１ｂ１…金属膜
２１ｂ２…接続用電極
３０…凸部
３０ａ…第１の凸部
３０ｂ…第２の凸部
３０ｃ…第３の凸部

Claims (6)

  1. 　受光面及び裏面を有する光電変換部と、
    　前記受光面の上に配された金属を含む受光面電極と、
    　前記裏面の上に配された金属を含む裏面電極と、
    を備え、
    　前記裏面電極は、
    　前記裏面の少なくとも一部上に配された金属膜と、
    　前記金属膜の上に配されており、一の方向に沿って相互に間隔をおいて配列された複数の接続用電極と、
    を含み、
    　前記金属膜の上に配されており、前記一の方向において隣り合う前記接続用電極の間に位置している第１の凸部をさらに備える、太陽電池。
  2. 　前記金属膜の上に配されており、前記複数の接続用電極が設けられた領域の前記第一の方向の一方側に位置している第２の凸部と、
    　前記金属膜の上に配されており、前記複数の接続用電極が設けられた領域の前記一の方向の他方側に位置している第３の凸部と、
    をさらに備える、請求項１に記載の太陽電池。
  3. 　前記複数の接続用電極は、前記一の方向に対して垂直な他の方向に沿って延びる複数の線状の接続用電極と、前記他の方向に沿って配列された複数の電極により構成されている接続用電極とのうちの少なくとも一方を含み、
    　前記第１～第３の凸部の少なくとも一つは、前記他の方向に沿って配列された複数の凸部を含む、請求項２に記載の太陽電池。
  4. 　前記凸部は、樹脂製である、請求項１～３のいずれか一項に記載の太陽電池。
  5. 　前記凸部は、前記接続用電極と同じ材料からなる、請求項１～３のいずれか一項に記載の太陽電池。
  6. 　前記凸部の高さは、前記接続用電極の高さ以上である、請求項１～５のいずれか一項に記載の太陽電池。
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