JP4608731B2 - 半導体レーザの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体発光素子およびその製造方法ならびに半導体装置およびその製造方法に関し、例えば、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体レーザに適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光ディスクの高密度化に必要である青色領域から紫外線領域におよぶ発光が可能な半導体レーザとして、AlGaInNなどの窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体レーザの研究開発が盛んに行われている。
【0003】
この窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体レーザの製造においては、有機金属化学気相成長(MOCVD)法によりサファイア基板などの基板の全面にGaN系半導体層をエピタキシャル成長させることによりレーザ構造を形成するのが最も一般的である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板全面にGaN系半導体層をエピタキシャル成長させることによりレーザ構造を形成する上述の従来の方法では、成長速度が遅いため、成長に多くの時間と原料とを必要とする。成長速度を速くするために原料供給量を増やすと、原料の消費量や無害化のための処理コストの増大をもたらすほか、多量の副生成物が発生することにより、MOCVD装置のメンテナンス周期が短縮され、生産性が低下する。
【0005】
一方、実屈折率導波型の半導体レーザを得るために活性層を数μm幅でエッチングすると、エッチング面に表面準位(欠陥)が形成され、レーザ特性を低下させる原因となる。また、イオン注入により電流狭窄構造を形成することも考えられるが、この方法は結晶の破壊を伴うため、同様の問題が予想される。
【0006】
さらに、基板面全体にエピタキシャル成長を行う上述の従来の方法では、基板とエピタキシャル層との熱膨張係数が互いに異なるため、エピタキシャル成長の温度変化の際に基板に反りが生じる。この反りによる基板の温度の不均一は活性層のIn組成やクラッド層のAl組成などの不均一化の原因となり、製造歩留まりの低下をもたらす。
【0007】
したがって、この発明が解決しようとする課題は、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体発光素子、より一般的には半導体装置を高い生産性でしかも低コストで製造することである。
【0008】
この発明が解決しようとする他の課題は、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた実屈折率導波型の半導体レーザを容易に製造することである。
【0009】
この発明が解決しようとするさらに他の課題は、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体発光素子、より一般的には半導体装置を高い製造歩留まりで製造することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明の第1の発明は、
窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体発光素子において、
基板の主面とほぼ水平方向に積層された複数の窒化物系III−V族化合物半導体層により発光素子構造が形成されている
ことを特徴とするものである。
【0011】
この発明の第2の発明は、
窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体発光素子の製造方法において、
基板の主面とほぼ水平方向に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させることにより発光素子構造を形成するようにした
ことを特徴とするものである。
【0012】
この発明の第3の発明は、
窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体装置において、
基板の主面とほぼ水平方向に積層された複数の窒化物系III−V族化合物半導体層により素子構造が形成されている
ことを特徴とするものである。
【0013】
この発明の第4の発明は、
窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体装置の製造方法において、基板の主面とほぼ水平方向に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させることにより素子構造を形成するようにした
ことを特徴とするものである。
【0014】
この発明の第1および第3の発明においては、典型的には、基板上にこの基板の主面の法線とほぼ平行な側面を有するパターンが設けられ、パターンの側面に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層が積層され、これらの窒化物系III−V族化合物半導体層により発光素子構造または素子構造が形成される。最も典型的には、このパターンは基板の主面の法線とほぼ平行な平面からなる四つの側面を有する直方体の形状を有する。パターンの厚さは、形成すべき発光素子構造または素子構造に応じて選ばれるが、例えば実屈折率導波型半導体レーザを形成する場合には、典型的には1μm以上4μm以下、好適には1μm以上2.5μm以下に選ばれる。パターンの側面の法線は、典型的には、〈1−100〉方向または〈11−20〉方向に選ばれる。特に、発光素子構造がレーザ構造である場合には、前者のようにパターンの側面の法線が〈1−100〉方向であるときは、パターンの〈1−100〉方向に平行な一対の側面間の長さが100μm以上1mm以下であり、後者のようにパターンの側面の法線が〈11−20〉方向であるときは、パターンの〈11−20〉方向に平行な一対の側面間の長さが100μm以上1mm以下である。これらの側面間の長さは共振器長に相当する。
【0015】
この発明の第2および第4の発明においては、典型的には、基板上にこの基板の主面の法線とほぼ平行な側面を有する少なくとも一つのパターンを設け、このパターンの側面に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させ、これらの窒化物系III−V族化合物半導体層により発光素子構造または素子構造を形成する。これらの窒化物系III−V族化合物半導体層の成長には、有機金属化学気相成長(MOCVD)のほか、必要に応じて、ハイドライド気相エピタキシー(ハライド気相エピタキシーとも呼ばれる)(HVPE)など、場合によっては分子線エピタキシー(MBE)などの方法を用いることができる。最も典型的には、パターンは基板の主面の法線に平行な平面からなる四つの側面を有する直方体の形状を有する。また、通常は、基板上に複数の発光素子構造または素子構造を同時に多数形成するために、複数のパターンを基板の主面に二次元アレイ状に互いに分離して設ける。パターンの厚さは、形成すべき発光素子構造または素子構造に応じて選ばれるが、例えば実屈折率導波型半導体レーザを形成する場合には、典型的には1μm以上4μm以下、好適には1μm以上2.5μm以下に選ばれる。パターンの側面の法線は、典型的には、〈1−100〉方向または〈11−20〉方向に選ばれる。特に、発光素子構造がレーザ構造である場合には、前者のようにパターンの側面の法線が〈1−100〉方向であるときは、パターンの〈1−100〉方向に平行な一対の側面間の長さが100μm以上1mm以下であり、後者のようにパターンの側面の法線が〈11−20〉方向であるときは、パターンの〈11−20〉方向に平行な一対の側面間の長さが100μm以上1mm以下である。これらの側面間の長さは共振器長に相当する。
【0016】
この発明において、窒化物系III−V族化合物半導体は、Ga、Al、In、BおよびTlからなる群より選ばれた少なくとも一種類のIII族元素と、少なくともNを含み、場合によってさらにAsまたはPを含むV族元素とからなる。この窒化物系III−V族化合物半導体の具体例を挙げると、GaN、AlGaN、AlN、GaInN、AlGaInN、InNなどである。
【0017】
この発明において、その側面に窒化物系III−V族化合物半導体層を積層または成長させるパターンは、典型的には窒化物系III−V族化合物半導体からなり、具体的には例えばAlx Ga1-x N(ただし、0≦x≦1)からなる。また、基板は、典型的には、窒化物系III−V族化合物半導体と異なる物質からなるもの、具体的には、例えば、サファイア基板、特にc面サファイア基板のほか、SiC基板、Si基板、スピネル基板などを用いることができる。
【0018】
この発明においては、パターンの側面に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる際に、基板上からの成長を抑え、成長方位を揃えるために、好適には、パターンの側面に成長させる複数の窒化物系III−V族化合物半導体層が基板と接触しないようにする。このために、具体的には、例えば、複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる前にパターンの周辺部の基板の最上部を除去する。
【0019】
この発明において、半導体発光素子は、典型的には半導体レーザであるが、発光ダイオードであってもよい。また、半導体装置は、例えば、半導体レーザや発光ダイオードなどの半導体発光素子のほか、電界効果トランジスタ(FET)などの電子走行素子などである。
【0020】
上述のように構成されたこの発明によれば、基板の主面とほぼ水平方向に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させることにより、具体的には、基板上にこの基板の主面の法線とほぼ平行な側面を有するパターンを設け、このパターンの側面に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を横方向成長させることにより発光素子構造または素子構造を形成するので、成長速度が速く、成長原料の消費効率も高い。また、例えば、発光素子構造のストライプ幅はこのパターンの厚さによって決まるため、このパターンの厚さを十分に薄く選ぶことにより、ストライプ幅を十分に狭くすることができる。さらに、窒化物系III−V族化合物半導体層は、基板全面に成長させるのではなく、パターンの側面に局所的に成長させるので、基板と窒化物系III−V族化合物半導体層との熱膨張係数差による基板の反りを抑えることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、実施形態の全図において、同一または対応する部分には同一の符号を付す。
【0022】
図1はこの発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザを示す。このGaN系半導体レーザは、SCH(Separate Confinement Heterostructure)構造を有するものである。
【0023】
図1に示すように、この第1の実施形態によるGaN系半導体レーザにおいては、例えば厚さが400μmのc面サファイア基板1上に、アンドープのGaNバッファ層2を介して、n型GaN層3が積層されている。このn型GaN層3は〈11−20〉方向に延在するストライプ形状を有し、この〈11−20〉方向に平行な一対の側面は{1−100}面からなり、この〈11−20〉方向に垂直な一対の側面は{11−20}面からなる。ここで、GaNバッファ層2およびc面サファイア基板1の最上部も、このn型GaN層3と同一形状にパターニングされている。このn型GaN層3の{1−100}面からなる一方の側面に、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、例えばGa1-x Inx N/Ga1-y Iny N多重量子井戸構造の活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10が順次横方向(〈1−100〉方向)に積層されている。ここで、これらのn型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10は、c面サファイア基板1から浮いた状態に設けられている。また、この場合、これらのn型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10は、n型GaN層3の上面にもごく薄く延在しているが、これらのGaN系半導体層は結晶性が悪く、ほぼ絶縁体と言える状態にあり、レーザの動作に関しては無視することができるものである。
【0024】
GaNバッファ層2は厚さが例えば40nmである。n型GaN層3は厚さが例えば2.5μm、〈11−20〉方向の長さ(共振器長に相当する)は例えば450μm、〈1−100〉方向の長さ(幅)は例えば150μmであり、n型不純物として例えばシリコン(Si)が例えば2×1018cm-3程度ドープされている。n型AlGaNクラッド層4は厚さが例えば1.0μm、Al組成が例えば0.08であり、n型不純物として例えばSiがドープされている。n型GaN光導波層5は厚さが例えば0.08μmであり、n型不純物として例えばSiがドープされている。Ga1-x Inx N/Ga1-y Iny N多重量子井戸構造の活性層6は、例えば、障壁層であるGa1-x Inx N層は厚さが0.007μm、In組成xは0.02でn型不純物として例えばSiがドープされ、井戸層であるGa1-y Iny N層は厚さが0.0035μm、In組成yは0.10でアンドープであり、井戸数は3である。
【0025】
p型AlGaNキャップ層7は厚さが例えば0.002μm、Al組成が例えば0.15であり、p型不純物として例えばマグネシウム(Mg)がドープされている。p型GaN光導波層8は厚さが例えば0.85μmであり、p型不純物として例えばMgがドープされている。p型AlGaNクラッド層9は例えば厚さが0.5μm、Al組成が例えば0.07であり、p型不純物として例えばMgがドープされている。p型GaNコンタクト層10は厚さが例えば0.1μmであり、p型不純物として例えばMgがドープされている。
【0026】
符号11は、例えばTiO2 層上にSiO2 層を積層したTiO2 /SiO2 層からなる端面コーティング層を示す。図1には示されていないが、この端面コーティング層11は{11−20}面からなる両共振器端面を覆うように形成されている。
【0027】
p型GaNコンタクト層10に接してp側電極12が設けられている。このp側電極12は、例えばPd膜、Pt膜およびAu膜を順次積層したPd/Pt/Au構造を有し、これらのPd膜、Pt膜およびAu膜の厚さは例えばそれぞれ10nm、100nmおよび300nmである。ここで、Pd膜に代えて、例えばNi膜を用いてもよい。一方、n型GaN層3上にn側電極13が設けられている。このn側電極13は、例えばTi膜、Pt膜およびAu膜を順次積層したTi/Pt/Au構造を有し、これらのTi膜、Pt膜およびAu膜は例えばそれぞれ10nm、50nmおよび100nmである。
【0028】
次に、上述のように構成されたこの第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法について説明する。
【0029】
このGaN系半導体レーザを製造するには、まず、図2に示すように、あらかじめサーマルクリーニングなどにより表面を清浄化したc面サファイア基板1上にMOCVD法により常圧下において例えば490℃程度の温度でアンドープのGaNバッファ層2を成長させた後、基板温度を所定の成長温度、例えば1050℃に上昇させて、MOCVD法により加圧下、例えば圧力1.6気圧(1216Torr)において、GaNバッファ層2上にn型GaN層3をエピタキシャル成長させる。
【0030】
次に、n型GaN層3をエピタキシャル成長させたc面サファイア基板1をMOCVD装置から取り出した後、n型GaN層3をエッチングによりパターニングして、図3および図4に示すように、〈11−20〉方向の長さが例えば450μm、〈1−100〉方向の長さ(幅)が例えば300μmのパターンの二次元アレイを形成する。ただし、図3Aは図4のA−A線に沿っての断面図、図3Bは図4のB−B線に沿っての断面図に相当する(以下同様)。このエッチングは、c面サファイア基板1の最上部がエッチングされるまで行う。ここで、〈1−100〉方向におけるパターンの互いに対向する一対の側面間の隙間の幅は、後の工程でこれらの側面に最後に横方向成長させるp型GaNコンタクト層10同士が互いに接触しないように選ばれ、具体的には、例えば100μmに選ばれる。n型GaN層3のパターニングは具体的には例えば次のような手順で行うことができる。すなわち、n型GaN層3の全面に例えばCVD法、真空蒸着法、スパッタリング法などにより例えば厚さが0.4μmのSiO2 膜(図示せず)を形成した後、このSiO2 膜上にリソグラフィーにより所定形状のレジストパターン(図示せず)を形成し、このレジストパターンをマスクとして、例えばフッ酸系のエッチング液を用いたウエットエッチング、または、CF4 やCHF3 などのフッ素を含むエッチングガスを用いた反応性イオンエッチング(RIE)法によりSiO2 膜をエッチングすることによりSiO2 膜からなるパターンの二次元アレイを形成する。次に、このSiO2 膜からなるパターンをマスクとして例えばRIE法によりc面サファイア基板1の最上部までエッチングを行う。このRIEのエッチングガスとしては例えば塩素系ガスを用いる。この後、SiO2 膜をエッチング除去する。
【0031】
次に、図5に示すように、上述のようにして形成したn型GaN層3のパターンを成長核として、レーザ構造を形成するGaN系半導体層、具体的には、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10をMOCVD法により順次エピタキシャル成長させる。この際、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面におけるGaN系半導体層の成長速度に比べて、n型GaN層3の〈1−100〉方向に平行な側面におけるGaN系半導体層の成長速度は極端に遅く、無視することができる。このようにして、図5に示すように、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面にn型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10がエピタキシャル成長し、一方、n型GaN層3の〈1−100〉方向に平行な側面にはこれらのGaN系半導体層が成長しないようにすることができる。この場合、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面に成長したGaN系半導体層の両端面をそのまま共振器面として用いる。
【0032】
ここで、n型AlGaNクラッド層4、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10の成長温度は例えば1020℃とし、活性層6およびp型AlGaNキャップ層7の成長温度は例えば785℃とする。また、n型GaN光導波層5の成長温度は、成長初期は例えば1020℃とし、途中から例えば785℃に下げる。また、p型GaN光導波層8の成長温度は、成長当初は例えば785℃とし、途中から例えば1020℃に上昇させる。成長時の圧力は、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8およびp型AlGaNクラッド層9の成長時には例えば0.26気圧(200Torr)とし、p型GaNコンタクト層10の成長時には例えば1気圧(760Torr)とする。また、これらのGaN系半導体層の成長原料は、例えば、III族元素であるGaの原料としてはトリメチルガリウム((CH3 )3 Ga、TMG)を、III族元素であるAlの原料としてはトリメチルアルミニウム((CH3 )3 Al、TMA)を、III族元素であるInの原料としてはトリメチルインジウム((CH3 )3 In、TMI)を、V族元素であるNの原料としてはアンモニア(NH3 )を用いる。また、キャリアガスとしては、例えば、水素(H2 )と窒素(N2 )との混合ガスを用いる。ドーパントについては、n型ドーパントとしては例えばモノシラン(SiH4 )を、p型ドーパントとしては例えばビス=メチルシクロペンタジエニルマグネシウム((CH3 C5 H4 )2 Mg)あるいはビス=シクロペンタジエニルマグネシウム((C5 H5 )2 Mg)を用いる。
【0033】
また、n型GaN層3の周辺部のc面サファイア基板1の最上部がエッチングされていてこの部分のc面サファイア基板1の表面はn型GaN層3の下面より下に位置するため、n型GaN層3の側面にGaN系半導体層が横方向成長する際に、c面サファイア基板1の表面からの成長が競合するおそれがなく、これらのGaN系半導体層をc軸方位に揃えることができる。
【0034】
なお、上述の横方向成長の際には、c面サファイア基板1の基板面に垂直な方向、すなわちc軸方向の成長が完全に抑制されない結果、n型GaN層3の上面にもn型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10がごく薄く成長するが、すでに述べたように、これらのGaN系半導体層は結晶性が悪く、ほぼ絶縁体と言える状態にあるため、レーザの動作に関しては無視することができるものである。
【0035】
次に、上述のようにしてレーザ構造を形成するGaN系半導体層を成長させたc面サファイア基板1をMOCVD装置から取り出した後、図6に示すように、端面コーティング層11を基板全面に例えばCVD法、真空蒸着法、スパッタリング法などにより形成する。この端面コーティング層11としては、例えばTiO2 層上にSiO2 層を積層したTiO2 /SiO2 層を用いる。
【0036】
次に、端面コーティング層11上に所定形状のレジストパターン(図示せず)を形成し、このレジストパターンをマスクとして端面コーティング層11をエッチングすることにより、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面にエピタキシャル成長したp型GaNコンタクト層10を露出させ、真空蒸着法などにより基板全面にNi膜、Pt膜およびAu膜を順次形成した後、レジストパターンをその上のNi膜、Pt膜およびAu膜とともに除去する(リフトオフ)。これによって、図7に示すように、p型GaNコンタクト層10に接してp側電極12が形成される。次に、端面コーティング層11上に再び所定形状のレジストパターン(図示せず)を形成し、このレジストパターンをマスクとして端面コーティング層11をエッチングすることにより、n型GaN層3の上面の所定部分を露出させ、真空蒸着法などにより基板全面にTi膜およびAl膜を順次形成した後、レジストパターンをその上のTi膜およびAl膜とともに除去する(リフトオフ)。これによって、図8に示すように、n型GaN層3上にn側電極13が形成される。この後、p側電極12およびn側電極13をオーミック接触させるためのアロイ処理を行う。
【0037】
次に、上述のようにしてレーザ構造が形成されたc面サファイア基板1を図8Bに示す破線に沿って劈開して〈11−20〉方向に延在するバー状に加工した後、このバーを劈開してチップ化する。以上により、図1に示すように、目的とするSCH構造のGaN系半導体レーザが製造される。
【0038】
この第1の実施形態によれば、次のような種々の利点を得ることができる。すなわち、この第1の実施形態においては、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面にレーザ構造を形成するGaN系半導体層を横方向成長させているが、この横方向成長の成長速度は、従来のように基板全面にGaN系半導体層を成長させる場合の成長速度に比べてずっと速く、成長原料の消費効率も高いため、成長時間を短くすることができ、成長原料も少なくすることができる。また、成長速度を速めるために原料供給量を増やす必要がないため、成長原料の消費量および無害化のための処理コストの低減を図ることができるとともに、成長時に発生する副生成物の量も少ないため、MOCVD装置のメンテナンス周期が長くなり、生産性の向上を図ることができる。すなわち、GaN系半導体レーザを高い生産性でしかも低コストで製造することができる。
【0039】
また、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面へのGaN系半導体層の横方向成長により、ストライプ幅が例えば2.5μmと狭い実屈折率導波型GaN系半導体レーザを容易に製造することができる。このため、従来の方法で実屈折率導波型GaN系半導体レーザを製造する場合のように、活性層を数μm幅でエッチングする必要がなくなり、したがってエッチング面に形成される表面準位がレーザ特性を劣化させる問題がない。
【0040】
さらに、レーザ構造を形成するGaN系半導体層は基板全面に成長させるのではなく、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面に局所的に成長させており、しかも、これらのGaN系半導体層の合計の厚さは2〜3μm程度と薄いことから、c面サファイア基板1とこれらのGaN系半導体層との熱膨張係数差によるc面サファイア基板1の反りは極めて少ない。このため、これらのGaN系半導体層を高い均一性でエピタキシャル成長させることができ、したがってレーザの製造歩留まりも高くすることができる。
【0041】
また、共振器端面は、横方向成長されたGaN系半導体層の成長面からなるので、共振器端面を劈開により形成する場合に比べて、劈開の工程を削減することができ、製造プロセスの簡略化を図ることができるとともに、平坦性が良好な共振器端面を容易に得ることができ、これによって良好なレーザ特性および高い信頼性を得ることができ、製造歩留まりの向上を図ることができる。
【0042】
図9はこの発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザを示す。このGaN系半導体レーザもSCH構造を有するものである。
【0043】
図9に示すように、この第2の実施形態によるGaN系半導体レーザにおいては、n型GaN層3の{1−100}面からなる側面にのみ、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10が順次横方向に積層されており、n型GaN層3の上面にはこれらのGaN系半導体層は積層されていない。その他のことは第1の実施形態によるGaN系半導体レーザと同様であるので、説明を省略する。
【0044】
次に、この第2の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法について説明する。
【0045】
このGaN系半導体レーザを製造するには、まず、第1の実施形態と同様にして、c面サファイア基板1上にGaNバッファ層2およびn型GaN層3を成長させる。
【0046】
次に、n型GaN層3をエピタキシャル成長させたc面サファイア基板1をMOCVD装置から取り出す。次に、図10に示すように、n型GaN層3の全面に例えばCVD法、真空蒸着法、スパッタリング法などにより例えば厚さが0.4μmのSiO2 膜14を形成した後、このSiO2 膜14上にリソグラフィーにより所定形状のレジストパターン(図示せず)を形成し、このレジストパターンをマスクとして、例えばフッ酸系のエッチング液を用いたウエットエッチング、または、CF4 やCHF3 などのフッ素を含むエッチングガスを用いたRIE法によりSiO2 膜14をエッチングすることによりSiO2 膜14からなるパターンの二次元アレイを形成する。次に、このSiO2 膜14からなるパターンをマスクとして例えばRIE法によりc面サファイア基板1の最上部までエッチングを行う。このRIEのエッチングガスとしては例えば塩素系ガスを用いる。
【0047】
次に、SiO2 膜14を成長マスクとし、n型GaN層3のパターンを成長核として、レーザ構造を形成するGaN系半導体層、具体的には、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10をMOCVD法により順次エピタキシャル成長させる。この際、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面におけるGaN系半導体層の成長速度に比べて、n型GaN層3の〈1−100〉方向に平行な側面におけるGaN系半導体層の成長速度は極端に遅く、無視することができる。また、n型GaN層3の上面にはSiO2 膜14が形成されているため、このn型GaN層3の上面ではGaN系半導体層の成長は起きないことから、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10の厚さの制御性の向上を図ることができる。このようにして、図11に示すように、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面にのみn型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10を順次エピタキシャル成長させることができる。この場合、n型GaN層3の〈11−20〉方向に平行な側面に成長したGaN系半導体層の両端面をそのまま共振器面として用いる。
【0048】
ここで、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10の成長温度、成長圧力、成長原料などは、第1の実施形態と同様である。
【0049】
この場合も、n型GaN層3の周辺部のc面サファイア基板1の最上部がエッチングされていてこの部分のc面サファイア基板1の表面はn型GaN層3の下面より下に位置するため、n型GaN層3の側面にGaN系半導体層が横方向成長する際に、c面サファイア基板1の表面からの成長が競合するおそれがなく、これらのGaN系半導体層をc軸方位に揃えることができる。
【0050】
次に、上述のようにしてレーザ構造を形成するGaN系半導体層を成長させたc面サファイア基板1をMOCVD装置から取り出した後、SiO2 膜14をエッチング除去する。
【0051】
次に、図12に示すように、端面コーティング層11を基板全面に例えばCVD法、真空蒸着法、スパッタリング法などにより形成する。この端面コーティング層11としては、例えばTiO2 層上にSiO2 層を積層したTiO2 /SiO2 層を用いる。
【0052】
次に、第1の実施形態と同様にして、図13に示すように、p側電極12を形成する。次に、第1の実施形態と同様にして、図14に示すように、n側電極13を形成する。この後、p側電極12およびn側電極13をオーミック接触させるためのアロイ処理を行う。
【0053】
次に、第1の実施形態と同様にして、レーザ構造が形成されたc面サファイア基板1を劈開してチップ化する。これによって、図9に示すように、目的とするSCH構造のGaN系半導体レーザが製造される。
【0054】
この第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様な利点を得ることができる。
【0055】
次に、この発明の第3の実施形態によるGaN系半導体レーザについて説明する。
【0056】
この第3の実施形態によるGaN系半導体レーザにおいては、{11−20}面からなる両共振器端面が、劈開面またはエッチング面からなる。その他のことは第1の実施形態によるGaN系半導体レーザと同様であるので、説明を省略する。
【0057】
次に、この第3の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法について説明する。
【0058】
第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法においては、レーザ構造を形成するGaN系半導体層の横方向成長を行う際の成長核として島状にパターニングされたn型GaN層3を用いているのに対し、この第3の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法においては、図15に示すように、成長核としてのn型GaN層3は〈11−20〉方向に延在する細長いストライプ形状を有する。このストライプ形状のn型GaN層3は第1の実施形態と同様な方法により形成することができる。
【0059】
次に、第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法と同様にプロセスを進めてp型GaNコンタクト層10の横方向成長まで終了する。次に、第1の実施形態と同様にしてp側電極12およびn側電極13を形成する。次に、第1の実施形態と同様にしてc面サファイア基板1の劈開を行ってバー状に加工して両共振器端面を形成し、さらに端面コーティングを行った後、このバーを劈開することによりチップ化する。この場合、共振器端面は劈開面となる。あるいは、別の方法では、c面サファイア基板1の劈開を行う前に、n型GaN層3の側面に横方向成長したストライプ状のGaN系半導体層の所定部分を選択的にエッチングすることによりエッチング面からなる共振器端面を形成し、次に第1の実施形態と同様にしてc面サファイア基板1の劈開を行ってバー状に加工し、さらに端面コーティングを行った後、このバーを劈開することによりチップ化する。
以上により、目的とするGaN系半導体レーザを製造する。
【0060】
この第3の実施形態によれば、第1の実施形態とほぼ同様な利点を得ることができる。
【0061】
次に、この発明の第4の実施形態によるGaN系半導体レーザについて説明する。
【0062】
この第4の実施形態によるGaN系半導体レーザにおいては、{11−20}面からなる両共振器端面が、劈開面またはエッチング面からなる。また、n型GaN層3の{1−100}面からなる側面にのみ、n型AlGaNクラッド層4、n型GaN光導波層5、活性層6、p型AlGaNキャップ層7、p型GaN光導波層8、p型AlGaNクラッド層9およびp型GaNコンタクト層10が順次横方向に積層されており、n型GaN層3の上面にはこれらのGaN系半導体層は積層されていない。その他のことは第1の実施形態によるGaN系半導体レーザと同様であるので、説明を省略する。
【0063】
次に、この第4の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法について説明する。
【0064】
第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法においては、レーザ構造を形成するGaN系半導体層の横方向成長を行う際の成長核として島状にパターニングされたn型GaN層3を用いているのに対し、この第4の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法においては、図15に示すように、成長核としてのn型GaN層3は〈11−20〉方向に延在する細長いストライプ形状を有する。また、このn型GaN層3上には第2の実施形態と同様にSiO2 膜14を成長マスクとして形成しておく。
【0065】
この後、第3の実施形態と同様にプロセスを進めて、目的とするGaN系半導体レーザを製造する。
【0066】
この第4の実施形態によれば、第1の実施形態とほぼ同様な利点を得ることができる。
【0067】
以上、この発明の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【0068】
例えば、上述の第1、第2、第3および第4の実施形態において挙げた数値、構造、基板、原料、プロセスなどはあくまでも例に過ぎず、必要に応じて、これらと異なる数値、構造、基板、原料、プロセスなどを用いてもよい。
【0069】
また、上述の第1、第2、第3および第4の実施形態においては、ストライプの延びる方向をc面サファイア基板1の〈11−20〉方向にしているが、このストライプの延びる方向は〈1−100〉方向にしてもよい。
【0070】
また、上述の第1、第2、第3および第4の実施形態においては、基板としてc面サファイア基板を用いているが、必要に応じて、SiC基板、Si基板、スピネル基板などを用いてもよい。
【0071】
さらに、上述の第1、第2、第3および第4の実施形態においては、この発明をSCH構造のGaN系半導体レーザに適用した場合について説明したが、この発明は、例えば、DH(Double Heterostructure)構造のGaN系半導体レーザに適用してもよいことは勿論、窒化物系III−V族化合物半導体を用いたFETなどの電子走行素子に適用してもよい。
【0072】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、基板の主面とほぼ水平方向に複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させることにより発光素子構造、より一般的には素子構造を形成することにより、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体発光素子、より一般的には半導体装置を高い生産性でしかも低コストで製造することができる。また、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた実屈折率導波型の半導体レーザを容易に製造することができる。さらに、窒化物系III−V族化合物半導体を用いた半導体発光素子、より一般的には半導体装置を高い製造歩留まりで製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザを示す斜視図である。
【図2】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図3】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図4】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための斜視図である。
【図5】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図6】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図7】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図8】この発明の第1の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図9】この発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザを示す斜視図である。
【図10】この発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図11】この発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図12】この発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図13】この発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図14】この発明の第2の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図15】この発明の第3の実施形態によるGaN系半導体レーザの製造方法を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
1・・・c面サファイア基板、3・・・n型GaN層、4・・・n型AlGaNクラッド層、5・・・n型GaN光導波層、6・・・活性層、7・・・p型AlGaNキャップ層、8・・・p型GaN光導波層、9・・・p型AlGaNクラッド層、10・・・p型GaNコンタクト層、11・・・端面コーティング層、12・・・p側電極、13・・・n側電極、14・・・SiO2 膜
Claims (12)
- 基板上に、窒化物系III−V族化合物半導体からなり、上記基板の主面の法線に平行な平面からなる四つの側面を有し、これらの四つの側面は〈11−20〉方向に平行な一対の側面および〈1−100〉方向に平行な一対の側面からなり、上記〈11−20〉方向に平行な一対の側面は{1−100}面からなり、上記〈1−100〉方向に平行な一対の側面は{11−20}面からなり、〈11−20〉方向の長さが共振器長に相当する直方体の形状を有する少なくとも一つのパターンを設け、
上記パターンを成長核として複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を順次エピタキシャル成長させることによりレーザ構造を形成するようにした半導体レーザの製造方法。 - 上記パターン上に成長マスクとしてSiO 2 膜を有する請求項1記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記パターンを構成する上記窒化物系III−V族化合物半導体はAl x Ga 1-x N(ただし、0≦x≦1)である請求項1または2記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記Al x Ga 1-x NはGaNである請求項3記載の半導体レーザの製造方法。
- 複数の上記パターンを上記基板の主面に二次元アレイ状に互いに分離して設けるようにした請求項1〜4のいずれか一項記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記パターンの厚さが1μm以上4μm以下である請求項1〜5のいずれか一項記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記パターンの上記〈1−100〉方向に平行な一対の側面間の長さが100μm以上1mm以下である請求項1〜6のいずれか一項記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記パターンの上記〈11−20〉方向に平行な一対の側面間の長さが100μm以上1mm以下である請求項1〜7のいずれか一項記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記基板は窒化物系III−V族化合物半導体と異なる物質からなる請求項1〜8のいずれか一項記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記基板はサファイア基板である請求項9記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記パターンの上記側面に積層された上記複数の窒化物系III−V族化合物半導体層が上記基板と接触しないようにする請求項1〜10のいずれか一項記載の半導体レーザの製造方法。
- 上記複数の窒化物系III−V族化合物半導体層を成長させる前に上記パターンの周辺部の上記基板の最上部を除去するようにした請求項11記載の半導体レーザの製造方法。
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