JP4606776B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
絶縁層と、
前記絶縁層の中で第1表面の側に積層された第1多層配線構造と、
前記絶縁層の中で前記第1表面と反対側の第2表面の側に積層された第2多層配線構造と、
前記第2多層配線構造の表面のボールパッドとを備え、
前記第1多層配線構造において、
表面側の第1の導体層は、前記ボールパッドに対応する位置にフローティング導体と、前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体を有し、
前記第1の導体層より内面側の第2の導体層は、前記ボールパッドの周縁部分に対応する位置に信号線と、前記信号線と一定の間隙をおいて前記ボールパッドに対応する位置にフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
最も内面側の第3の導体層は、前記ボールパッドに対応する中央部分に信号線と、前記ボールパッドに対応する位置に前記信号線と一定の間隙をおいたフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
前記第2多層配線構造において、
最も内面側の第4の導体層は、前記ボールパッドに対応する中央部分に信号線と、前記ボールパッドに対応する位置に前記信号線と一定の間隙をおいたフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
前記第4の導体層より外面側の第5の導体層は、前記ボールパッドの周縁部分に対応する位置に信号線と、前記信号線層と一定の間隙をおいて前記ボールパッドに対応する位置にフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
表面側の第6の導体層は、前記ボールパッドと、このボールパッドのまわりに一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
さらに、前記第2の導体層の信号線を前記第3の導体層の信号線に接続する信号線、前記第3の導体層の信号線を前記第4の導体層の信号線に前記絶縁層を貫通して接続する信号線、前記第4の導体層の信号線を前記第5の導体層の信号線を経て前記ボールパッドに接続する信号線と、
前記ボールパッドに接続され外部端子として機能するボールとを備え、
前記第1多層配線構造上に配置された半導体チップを有する、
ものである。
図1、図2は、この発明の実施の形態1にかかる多層配線基板(以下、基板と略称する)の構造を示す図であり、図1は基板の一部の断面図、図2は図1に対応した基板部分の平面分解図である。なお、この基板は、積層基板あるいは半導体パッケージ用基板と称してもよい。この発明の実施の形態の基板は、図9に示した基板101と同様に用いられるものであり、以下同じ符号101で示す。
図1の断面図からわかるように、基板101は絶縁層31の中に六つの導体層、即ち導体第一層1(導体層1と略称する)、導体第二層2(導体層2と略称する)、導体第三層3(導体層3と略称する)、導体第四層4(導体層4と略称する)、導体第五層5(導体層5と略称する)、導体第六層6(導体層6と略称する)を積層して構成されている。なお、絶縁層31は、通常は多層の樹脂を積層して形成されている。
また、図1からわかるように、各導体層2,3,4,5に現れる信号線23は相互に接続され、さらに導体層5の信号線23は導体層6のボールパッド12に接続され、ボールパッド12はボール11に接続されている。
図3、図4は、この発明の実施の形態2にかかる基板の構造を示す図であり、図3は基板の一部の断面図、図4は図3に示した各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板内にビアがスタックされた構造の例を示す。
図5、図6は、この発明の実施の形態3にかかる基板の構造を示す図であり、図5は基板の一部の断面図、図6は図5に示した各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板にコア層が複数ある構造の例を示す。
図7、図8は、この発明の実施の形態4にかかる基板の構造を示す図であり、図7は基板の一部の断面図、図8は図7に示した各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板にコア層が複数ある構造の他の例を示す。
図9、図10は、この発明の実施の形態5にかかる基板の構造を示す図であり、図9は基板の一部の断面図、図10は図9の破断線から左側の各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板内で配線層がコア層にある構造の例を示す。
図11、図12は、この発明の実施の形態6にかかる基板の構造を示す図であり、図11は基板の一部の断面図、図12は図11の破断線から左側の各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板内で配線層がコア層にある構造の他の例を示す。
図13、図14は、この発明の実施の形態7にかかる基板の構造を示す図であり、図13は基板の一部の断面図、図14は図13に示した各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板内のフローティング導体の代わりに、電源/グランド導体にラインメッシュを入れた構造の例を示す。
図15、図16は、この発明の実施の形態8にかかる基板の構造を示す図であり、図15は基板の一部の断面図、図16は図15に示した各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板内のフローティング導体の代わりに、電源/グランド導体にラインメッシュを入れた構造の他の例を示す。
このようにこの実施の形態では、電源/グランド導体21が、ボールパッド12の直上部でフローティング状態に分離されている層と、メッシュ状で連続している層とが混在している。
図17、図18は、この発明の実施の形態9にかかる基板の構造を示す図であり、図17は基板の一部の断面図、図18は図17に示した各導体層の平面図である。この実施の形態では、基板内に差動ペア配線を有する構造の例を示す。
Claims (1)
- 絶縁層と、
前記絶縁層の中で第1表面の側に積層された第1多層配線構造と、
前記絶縁層の中で前記第1表面と反対側の第2表面の側に積層された第2多層配線構造と、
前記第2多層配線構造の表面のボールパッドとを備え、
前記第1多層配線構造において、
表面側の第1の導体層は、前記ボールパッドに対応する位置にフローティング導体と、前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体を有し、
前記第1の導体層より内面側の第2の導体層は、前記ボールパッドの周縁部分に対応する位置に信号線と、前記信号線と一定の間隙をおいて前記ボールパッドに対応する位置にフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
最も内面側の第3の導体層は、前記ボールパッドに対応する中央部分に信号線と、前記ボールパッドに対応する位置に前記信号線と一定の間隙をおいたフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
前記第2多層配線構造において、
最も内面側の第4の導体層は、前記ボールパッドに対応する中央部分に信号線と、前記ボールパッドに対応する位置に前記信号線と一定の間隙をおいたフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
前記第4の導体層より外面側の第5の導体層は、前記ボールパッドの周縁部分に対応する位置に信号線と、前記信号線層と一定の間隙をおいて前記ボールパッドに対応する位置にフローティング導体と、前記信号線と前記フローティング導体を囲むように一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
表面側の第6の導体層は、前記ボールパッドと、このボールパッドのまわりに一定の間隙をおいた電源/グランド導体とを有し、
さらに、前記第2の導体層の信号線を前記第3の導体層の信号線に接続する信号線、前記第3の導体層の信号線を前記第4の導体層の信号線に前記絶縁層を貫通して接続する信号線、前記第4の導体層の信号線を前記第5の導体層の信号線を経て前記ボールパッドに接続する信号線と、
前記ボールパッドに接続され外部端子として機能するボールとを備え、
前記第1多層配線構造上に配置された半導体チップを有する半導体装置。
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