JP4595711B2 - 半導体レーザ - Google Patents
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Description
(1)前記第3の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(2)前記第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第2の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(3)前記第3および第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記反射膜の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有する。
前記反射膜は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造を有しており、前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、該λは前記所定の波長範囲内の値を有する。
(1)前記第3の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(2)前記第3の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記反射膜の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有する。
前記反射膜は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造を有しており、前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、該λは前記所定の波長範囲内の値を有する。
(1)前記第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第2の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(2)前記第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記反射膜の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有する。
前記反射膜は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造を有しており、前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、該λは前記所定の波長範囲内の値を有する。
(1)前記第3の波長における前記フィルタ部の反射率が、前記第1の波長における前記フィルタ部の反射率より小さいこと、
(2)前記第4の波長における前記フィルタ部の反射率が、前記第2の波長における前記フィルタ部の反射率より小さいこと、
(3)前記第3および第4の波長における前記フィルタ部の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記フィルタ部の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有する。
前記フィルタ部は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造の反射膜を有しており、前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、該λは前記所定の波長範囲内の値を有する。
(1)第3の波長λ3における反射膜の反射率が、第1の波長λ1における反射膜の反射率より小さいこと
(2)第3の波長λ3における反射膜の反射率が、第1の波長λ1から第2の波長λ2までの波長範囲における反射膜の最大反射率の半分以下であること
を満たす反射スペクトルを有する反射膜を反射膜15に替えて用いることができる。
(1)第4の波長λ4における反射膜の反射率が、第2の波長λ2における反射膜の反射率より小さいこと
(2)第4の波長λ4における反射膜の反射率が、第1の波長λ1から第2の波長λ2までの波長範囲における反射膜の最大反射率の半分以下であること
を満たす反射スペクトルを示す反射膜を反射膜15に替えて用いることができる。
所望の特性が得られる反射膜は、
摂氏25度におけるブラッグ波長:1310nm
反射膜(誘電体多層膜):膜厚1.795μmのAl2O3(屈折率1.64)と、膜厚1.3μmのTiO2(屈折率2.27)を交互に全12層の積層
である。反射スペクトルは、1300nm〜1320nmの範囲(λ5〜λ6)で99%以上の反射率を示し、また1280nm(λ7)、1340nm(λ8)いずれの波長において99%の半分以下の反射率を示す。本実施例では設計を簡素に行うために高次のブラッグ反射を利用した誘電体多層膜を示しているけれども、高次のブラッグ反射を利用することが必須である訳ではない。誘電体膜としては、Al2O3やTiO2に限定されることなく、例えばSiNといったシリコン窒化物、SiO2といったシリコン酸化物、Ta2O5といったタンタル酸化物を用いることができ、さらに、これらの材料を混合したものを用いることができる。また、反射膜は、10層以上の誘電体膜を含む多層構造を有することが好ましく、これにより、反射スペクトルは、本実施の形態に係る半導体レーザのための狭い反射帯域幅に対して好適な急峻な立ち上がりおよび立ち下がりを有する。
Al2O3膜の屈折率:1.64
Al2O3膜の膜厚:1795nm
TiO2膜の屈折率:2.27
TiO2膜の膜厚:1299.6nm
である。1300nm〜1320nmの範囲で99%以上の反射率を得ることができ、また1280nmと1340nmいずれの波長でも反射率は99%の半分以下であり、所望の特性が得られる。
Al2O3膜の屈折率:1.64
Al2O3膜の膜厚:199.4nm
TiO2膜の屈折率:2.27
TiO2膜の膜厚:144.4nm
である。
Al2O3膜の屈折率:1.64
Al2O3膜の膜厚:199.4nm
TiO2膜の屈折率:2.27
TiO2膜の膜厚:144.4nm
である。
Claims (5)
- 動作保証上限温度から動作保証下限温度までの温度範囲においてファブリペロモードを抑制し分布帰還モードで発振する半導体レーザであって、
活性層と該活性層に光学的に結合されたブラッグ回折格子とを含み一端面および他端面を有する半導体領域と、
前記半導体領域の前記一端面に設けられた反射膜と
を備え、
前記ファブリペロモードは前記他端面と前記反射膜とを含む共振器に関連づけられており、前記分布帰還モードは前記ブラッグ回折格子に関連づけられており、
前記分布帰還モードにおける発振波長は、前記動作保証下限温度において第1の波長となると共に前記動作保証上限温度において第2の波長となる波長温度依存性を有し、
前記半導体レーザの利得ピーク波長は、前記動作保証下限温度において前記第1の波長より短い第3の波長にあると共に前記動作保証上限温度において前記第2の波長より長い第4の波長にある温度依存性を有しており、
前記反射膜は、条件
(1)前記第3の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(2)前記第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第2の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(3)前記第3および第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記反射膜の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有し、
前記反射膜は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造を有しており、
前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、
前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、
各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
該λは前記所定の波長範囲内の値を有する、ことを特徴とする半導体レーザ。 - 動作保証上限温度から動作保証下限温度までの温度範囲においてファブリペロモードを抑制し分布帰還モードで発振する半導体レーザであって、
活性層と該活性層に光学的に結合されたブラッグ回折格子とを含み一端面および他端面を有する半導体領域と、
前記半導体領域の前記一端面に設けられた反射膜と
を備え、
前記ファブリペロモードは前記他端面と前記反射膜とを含む共振器に関連づけられており、前記分布帰還モードは前記ブラッグ回折格子に関連づけられており、
前記分布帰還モードにおける発振波長は、前記動作保証下限温度において第1の波長となると共に前記動作保証上限温度において第2の波長となる波長温度依存性を有し、
前記半導体レーザの利得ピーク波長は、前記動作保証下限温度において前記第1の波長より短い第3の波長にあると共に前記動作保証上限温度において第4の波長にある温度依存性を有しており、
前記反射膜は、条件
(1)前記第3の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(2)前記第3の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記反射膜の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有し、
前記反射膜は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造を有しており、
前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、
前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、
各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
該λは前記所定の波長範囲内の値を有する、ことを特徴とする半導体レーザ。 - 動作保証上限温度から動作保証下限温度までの温度範囲においてファブリペロモードを抑制し分布帰還モードで発振する半導体レーザであって、
活性層と該活性層に光学的に結合されたブラッグ回折格子とを含み一端面および他端面を有する半導体領域と、
前記半導体領域の前記一端面に設けられた反射膜と
を備え、
前記ファブリペロモードは前記他端面と前記反射膜とを含む共振器に関連づけられており、前記分布帰還モードは前記ブラッグ回折格子に関連づけられており、
前記分布帰還モードにおける発振波長は、前記動作保証下限温度において第1の波長となると共に前記動作保証上限温度において第2の波長となる波長温度依存性を有し、
前記半導体レーザの利得ピーク波長は、前記動作保証下限温度において第3の波長にあると共に前記動作保証上限温度において前記第2の波長より長い第4の波長にある温度依存性を有しており、
前記反射膜は、条件
(1)前記第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第2の波長における前記反射膜の反射率より小さいこと、
(2)前記第4の波長における前記反射膜の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記反射膜の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有し、
前記反射膜は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造を有しており、
前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、
前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、
各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
該λは前記所定の波長範囲内の値を有する、ことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記反射膜は、10層以上の誘電体膜を含む多層構造を有する、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載された半導体レーザ。
- 動作保証上限温度から動作保証下限温度までの動作保証温度範囲においてファブリペロモードを抑制し分布帰還モードで発振する半導体レーザであって、
活性層と該活性層に光学的に結合されたブラッグ回折格子とを含み一端面および他端面を有する半導体領域と、
前記動作保証温度範囲において前記半導体領域の前記一端面の反射率より大きい反射率を有するフィルタ部と
を備え、
前記半導体領域は、前記他端面と前記フィルタ部との間に位置しており、
前記ファブリペロモードは前記他端面および前記フィルタ部を含む共振器に関連づけられており、前記分布帰還モードは前記ブラッグ回折格子に関連づけられており、
前記分布帰還モードにおける発振波長は、前記動作保証下限温度において第1の波長となると共に前記動作保証上限温度において第2の波長となる波長温度依存性を有し、
前記半導体レーザの利得ピーク波長は、前記動作保証下限温度において前記第1の波長より短い第3の波長にあると共に前記動作保証上限温度において前記第2の波長より長い第4の波長にある温度依存性を有しており、
前記フィルタ部は、条件
(1)前記第3の波長における前記フィルタ部の反射率が、前記第1の波長における前記フィルタ部の反射率より小さいこと、
(2)前記第4の波長における前記フィルタ部の反射率が、前記第2の波長における前記フィルタ部の反射率より小さいこと、
(3)前記第3および第4の波長における前記フィルタ部の反射率が、前記第1の波長から前記第2の波長までの波長範囲における前記フィルタ部の最大反射率の70%以下であること、
を満たす反射スペクトルを有し、
前記フィルタ部は、複数の第1の誘電体膜および複数の第2の誘電体膜を含む多層構造の反射膜を有しており、
前記第1および第2の誘電体膜は交互に配置されており、
前記第1の誘電体膜の屈折率は前記第2の誘電体膜の屈折率と異なり、
各第1の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
各第2の誘電体膜の厚さは、n×λ/4(nは3以上の奇数)の値に対応付けられており、
該λは前記所定の波長範囲内の値を有する、
ことを特徴とする半導体レーザ。
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