JP4595153B2 - 炭化ケイ素体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造部材用に好適な炭化ケイ素体およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体製造技術の発展に伴い、半導体ウエハ上に微細な回路のパターンを高精度に形成できる、プラズマエッチング装置が重要になっている。プラズマエッチング装置用部材としては、静電チャック、ヒータ、保護リング、スリーブ、チャンバ、電極等があるが、これらプラズマエッチング装置用部材に要求される特性としては高純度、高耐食性、高導電性(低い比抵抗)などがある。なかでも、比抵抗は、静電気を逃がすためやプラズマガスを均一に発生させるためなどから低いことが重要である。
【0003】
従来、プラズマエッチング装置用部材としては、主としてシリコン製部材が使用されていたが、プラズマガスに対する消耗が激しく、耐久性に問題があった。このため、シリコン製部材の代替として炭化ケイ素体部材が提案されている。炭化ケイ素は、バンドギャップが大きいために通常は絶縁性を示す。したがってプラズマエッチング用部材として、炭化ケイ素体を用いるには導電性を付与する必要がある。
【0004】
炭化ケイ素体に導電性を付与する方法として、焼結を利用する方法が提案されている。例えば、特開平11−79840にはα−SiC粉末とβ−SiC粉末を混合し、さらに有機ケイ素化合物と窒素元素を含む有機化合物を添加して焼結する方法が提案されている。しかし、この方法では、添加物に窒素元素を含んでいるため焼結が阻害され緻密な焼結体を得ることが難しい。
【0005】
また、特開平9−255428には高純度に対応するため、焼結助剤を使用せずにホットプレスで炭化ケイ素を焼結する方法が提案されているが、焼結密度が必ずしも高くない等の問題がある。
【0006】
焼結法の欠点である低い焼結密度を解消するため、CVD法による炭化ケイ素体の製造方法が注目されている。しかし、一般にCVD法で作製した炭化ケイ素体は、高純度で緻密ではあるが、比抵抗が高く、導電性に乏しい。特開平11−121311には、CVD法を用いて導電性のある炭化ケイ素体を得る方法として、炭化ケイ素表面に帯電防止層を作製する方法が提案されている。しかし、この方法でも比抵抗が102Ω・cm程度以上と導電性が充分ではなく、しかも製造工程数が多い等の問題がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、比抵抗が低く、しかも高純度、高密度、高耐食性である炭化ケイ素体の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、CVD法により得られた炭化ケイ素体であって、窒素元素の含有量が0.1〜100ppmであり、かつケイ素以外の金属元素の含有量が10ppm以下であり、比抵抗が0.01〜10Ω・cmであり、かつ比抵抗のバラツキが10%以下であることを特徴とする炭化ケイ素体である。
また、本発明は、CVD法により炭化ケイ素体を形成する方法であって、CVD炉に供給するガスとして、窒素含有ガスを前記供給ガス中に3〜25モル%含有することを特徴とする半導体製造部材用炭化ケイ素体の製造方法である。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の炭化ケイ素体(以下、本炭化ケイ素体という)は、CVD法により作製した炭化ケイ素体であって、窒素元素を0.1〜100ppm含有し、その比抵抗が0.01〜10Ω・cmの範囲に制御されたものである。さらに本炭化ケイ素体のケイ素以外の金属元素の含有量は10ppm以下である。
【0010】
本炭化ケイ素体中の窒素分が0.1ppm未満であると安定した比抵抗値を示さない。一方、窒素分が100ppmを超えるとプラズマガスに対する耐食性が劣化する。これは窒素分が結晶中に固溶せずに粒界に留まるためと考えられる。
窒素元素が0.5〜80ppmであると好ましい。
【0011】
本炭化ケイ素体の比抵抗値は、0.01Ω・cm未満であると部材の耐食性が低下し、逆に10Ω・cmを超えると導電性が低下して静電気によるトラブルが発生しやすくなる。比抵抗値が0.02〜5Ω・cmであると好ましい。なお、本明細書において、比抵抗は銀電極を形成し四端子法により測定する。
【0012】
本炭化ケイ素体において、ケイ素以外の金属元素の合計は10ppm以下である。ケイ素以外の金属元素の量が10ppmを超えると、半導体製造装置用部材としたときに半導体ウエハを汚染する原因となり好ましくない。本明細書において、金属元素の量はグロー放電質量分析法により測定する。
【0013】
また、本炭化ケイ素体が3質量%以上の6H型α−SiC結晶を含むと、耐ガス浸透性が向上し、エッチング工程で用いられるCF4やCHF3等のガスに対して高耐食性を示すため好ましい。この場合、本炭化ケイ素体の密度が3.15g/cm3以上であると耐食性の点でさらに好ましい。
【0014】
なお、本炭化ケイ素体では、100%6H型α−SiC結晶からなっていてもよく、6H型以外のα−SiC結晶のポリタイプである3C型、2H型、4H型、15R型などを含んでいてもよい。本明細書において、各ポリタイプの比率は、粉末X線回折法のメインピークの積分強度の比により測定される。
【0015】
また、本炭化ケイ素体の熱伝導率は、200W・m-1・K-1以上であると、半導体製造装置用部材としたときに、装置の加熱・冷却時に装置内に温度分布が発生しにくいため好ましい。
【0016】
つぎに本発明の炭化ケイ素体の製造方法(以下、本製造方法という)について説明する。本発明において、CVD装置としては特に限定されないが、ガスの導入口、導出口を備えた、縦型や横型のバッチ式の電気加熱手段で加熱するタイプのものが好ましい。また、CVDの方法としては、CVD装置内に基材をセットし、原料ガス、キャリアガスなどのガスを装置内に導入し基材上で化学気相成長反応させるものであればよい。
【0017】
原料ガスは、炭素源およびケイ素源を含むガスである。原料ガスとしては、分子内に炭素原子とケイ素原子とを含むガス(例えば、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシランなど)の単独使用でもよく、分子内に炭素原子を含まずケイ素原子を含むガス(例えば、シラン、ジシラン、テトラクロロシラン、トリシランなど)と分子内にケイ素原子を含まず炭素原子を含むガス(例えば、メタン、エタンなど)との混合ガスの使用でもよい。
【0018】
これらの原料ガスは、希釈することなく導入してもよいが、水素、ヘリウム、アルゴン等をキャリアガスとして希釈して導入するのが好ましい。原料ガスをキャリアガスで希釈して導入する場合は、原料ガス/(原料ガス+キャリアガス)のモル比が3〜40%になるように調整して導入するのが好ましい。モル比が3%未満では、ガス濃度が低いため炭化ケイ素体の生成速度が遅く生産性が低い。モル比が40%を超えると、ガス濃度が高すぎるために、気相中で異常な核発生を起こし、比抵抗の不均一な部材となりやすい。
【0019】
本製造方法では、CVD炉に供給するガス(以下、単に供給ガスと略す)として少なくとも原料ガスと窒素含有ガスを使用し、キャリアガスを併用すると好ましい。窒素含有ガスとは、分子内に窒素原子を含有するガスを意味し、アンモニアガス、窒素ガスなどが例示できる。
【0020】
窒素含有ガスとしては窒素ガスが好ましい。窒素含有ガスとして窒素ガスを用いる場合、原料ガス、キャリアガス、窒素ガスは、CVD炉に入る直前に混合されて、CVD炉内に導入されると好ましい。また、供給ガス流量は、反応圧力が6.5×102〜1.01×105Paでガス滞留時間が0.2〜30秒となるようにマスフローコントローラーで調整されると好ましい。
ここで、滞留時間(分)は、[蒸着室の容積(L)/総ガス流量(SLM)]×[273/(273+反応温度(℃))]×[炉内圧力(Pa)/(1.013×105)]で計算される値である。なお、SLMは、体積を0℃、0.098MPaに換算した流量(L/m)のことである。
【0021】
窒素含有ガスは、供給ガス中に0.1〜50モル%含有される。供給ガス中の窒素含有ガス量が0.1モル%未満であると比抵抗が高くなり、しかも比抵抗がばらつく。供給ガス中の窒素含有ガス量が50モル%を超えると、炭化ケイ素体の比抵抗はほとんど変化せず、むしろ炭化ケイ素体の生成速度が遅くなり生産性が低下する。供給ガス中の窒素含有ガス量が3〜25モル%であると好ましい。
【0022】
本製造方法において、反応温度としては1200℃以上が好ましい。反応温度が1200℃未満であると、得られた炭化ケイ素体をプラズマエッチング部材として用いた場合、プラズマガスにより消耗される速度が大きくなってしまう。反応温度が1400〜1800℃であると、炭化ケイ素体の結晶相として6H型α−SiCを多く含ませることができるため好ましい。
【0023】
本製造方法では、基材表面上にCVD法で形成された炭化ケイ素体を、基材から分離することで炭化ケイ素体を得る。CVD法の基材としては炭化ケイ素、アルミナ、高純度のカーボン等を使用できる。なかでも基材がカーボンであると、純度や基材の除去の容易さの点から好ましい。
【0024】
【実施例】
[例1(実施例)]
基材として直径が110mm、厚さが5mmであり、純度が99.99%以上であるカーボン製円板を準備した。この円板を減圧CVD炉に入れて0.25Paの真空下で脱ガス後、15℃/分の昇温速度で1000℃に昇温後、水素ガスを導入し1.27×104Paの圧力で60分間保持し、ダスト等のクリーニング処理した。
【0025】
ついで、10℃/分の昇温速度で1350℃まで加熱後、炭化ケイ素体の原料ガスであるテトラクロロシランとメタンを、窒素ガスおよび水素ガスとともに混合導入した。各ガスのモル比は、テトラクロロシラン:メタン:水素:窒素=13:13:64:10であった。
【0026】
供給速度は総ガス流量合計で4.2SLMとし、CVD炉内圧力を0.013MPaに調整した。この状態で5時間保持した後、5℃/分の降温速度で室温まで冷却し、さらにカーボン基材を機械加工で除去した。得られた炭化ケイ素体の厚さは3.0mmであった。
【0027】
[例2(実施例)]
例1と同様のカーボン基材を使用して、10℃/分の昇温速度で1500℃まで加熱後、炭化ケイ素体の原料ガスであるメチルトリクロロシランを、窒素ガスおよび水素ガスとともに混合導入した。各ガスのモル比は、メチルトリクロロシラン:水素:窒素=10:80:10であった。
【0028】
供給速度は総ガス流量合計で15.3SLMとし、CVD炉内圧力を0.098MPaに調整した。この状態で5時間保持した後、5℃/分の降温速度で室温まで冷却し、さらにカーボン基材を機械加工で除去した。得られた炭化ケイ素体の厚さは4.0mmであった。
【0029】
[例3(実施例)]
加熱温度を1500℃のかわりに1250℃に変更し、保持時間を5時間のかわりに30時間に変更すること以外は、例2と同様にした。得られた炭化ケイ素体の厚さは2.0mmであった。
【0030】
[例4(比較例)]
アチソン法により得られた平均粒子直径2.5μmの6H型α−SiC粉末を91質量%、ポリビニルアルコール水溶液(固形分を4質量%含む)を3質量%、ワックスを3質量%、焼結助剤としてAl2O3を3質量%添加して湿式混合、乾燥、造粒した。この造粒粉末を等方圧プレス成形して成形体を得た。この成形体をアルゴン雰囲気下2000℃で5時間焼結して常圧焼結法による炭化ケイ素体を得た。
【0031】
[例5(比較例)]
β−SiC粉末(平均粒子直径0.06μm)10質量%、β−SiC粉末(平均粒子直径0.3μm)65質量%、6H型α−SiC粉末(平均粒子直径0.3μm)25質量%の3種類の粉末をメタノール溶媒とともにボールミルに入れて湿式混合した。混合した粉末を乾燥、造粒した後、一軸プレス機にて圧力20MPaで成形し成形体を得た。ついで、この成形体をホットプレス容器に詰め、アルゴン雰囲気中、2300℃、圧力40MPaの条件下で4時間、ホットプレスして炭化ケイ素体を作製した。
【0032】
[評価]
各例で得られた炭化ケイ素体の評価結果を表1に示す。
炭化ケイ素体の密度はアルキメデス法で測定した。炭化ケイ素体の比抵抗は、四端子法により10サンプル測定して平均値を求め、さらに((最大値−最小値)/平均値)×100(%)で比抵抗のバラツキを示した。
炭化ケイ素体に含有されている窒素量は、酸素窒素同時分析装置(LECO社製、商品名:TC−436型)で測定した。
【0033】
炭化ケイ素体中のFe、Cu、Mg、Al、V、Ni、Na、K、CaおよびCrの各金属元素濃度をグロー放電質量分析装置(VG ELEMENTAL社製、商品名:VG9000)により測定し、その合計量を示す。なお、上記金属元素およびケイ素以外の金属元素は検出されなかった。
結晶構造の分析は、粉末X線回折装置(理学電機社製、商品名:GEIGERFLEX RAD−IIA)により測定した。
消耗速度は、炭化ケイ素体をプラズマエッチング装置に投入し、プラズマガスによりエッチングして測定した。すなわち、並行平板型プラズマエッチング装置の処理室に試料をセットし、装置の圧力を133Paに設定し、処理室にアルゴンガスおよびCHF3ガスを供給し、高周波電源から上部電極に13.56MHzの高周波電界を印加してプラズマを発生させ試料をエッチングした。その際の試料の時間当りの質量変化を測定し、プラズマに晒される試料の表面積、各炭化ケイ素体の密度から消耗速度を算出した。
【0034】
【表1】
【0035】
【発明の効果】
本発明の炭化ケイ素体は、高密度、高純度であって、かつ、高導電性を有し、その電気特性(比抵抗)のバラツキも非常に小さいため、電子情報機器産業や半導体工業、特に半導体製造部材用などの分野において極めて有用である。
Claims (3)
- CVD法により得られた炭化ケイ素体であって、窒素元素の含有量が0.1〜100ppmであり、かつケイ素以外の金属元素の含有量が10ppm以下であり、比抵抗が0.01〜10Ω・cmであり、かつ比抵抗のバラツキが10%以下であることを特徴とする半導体製造部材用炭化ケイ素体。
- 前記炭化ケイ素体が、6H型α−SiC結晶を3質量%以上含有する請求項1記載の半導体製造部材用炭化ケイ素体。
- CVD法により炭化ケイ素体を形成する方法であって、CVD炉に供給するガスとして、窒素含有ガスを前記供給ガス中に3〜25モル%含有することを特徴とする半導体製造部材用炭化ケイ素体の製造方法。
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