JP4586762B2 - セラミックシート積層体の切断方法、切断装置および該切断方法を用いたセラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
10 検査部
11 検査テーブル
13 検査部画像処理装置
15、17、55、57 マーク認識カメラ
19、21 側面認識カメラ
30 通信ライン
51 切断テーブル
53 切断部画像処理装置
100 セラミックシート積層体
120 セラミックシート
123、125 切断位置
145 切断マーク
147 重心
D1 相対切断位置
Claims (8)
- 内部電極とセラミックシートとが交互に積層され、積層方向の互いに対向する端面と、該端面と略直交し互いに対向する第1側面および第2側面とを有し、少なくとも該第1側面には該内部電極の一部が露出する電極露出部を有する積層体を準備する積層体準備工程と、
少なくとも一方の該端面に複数の位置決めマークを形成するマーク形成工程と、
該位置決めマークと該電極露出部との相対位置を検出し、検出した該相対位置に応じて、該位置決めマークを基準とした相対切断位置を算出する切断位置算出工程と、
該位置決めマークの位置と算出された該相対切断位置とに応じた切断位置で該積層体を切断する切断工程とを有し、
該位置決めマークは、該端面と該第1側面との境界をなす第1辺に沿って等間隔に設けられ、
該切断位置算出工程は、該第1側面に沿った方向において隣り合う該電極露出部同士の最短距離を規定する一方の該電極露出部の一端と他方の該電極露出部の一端との中間点を算出する工程と、該中間点から該第1側面に沿った方向における該中間点の近傍の該位置決めマークまでの距離を該相対切断位置として算出する工程とを有し、
該切断工程では、該位置決めマークを撮像して該位置決めマークの表示位置を検出する表示位置検出工程と、該表示位置と該位置決めマークについての該相対切断位置とから切断位置を算出する工程と、該切断位置において切断する切断実行工程と、を該第1側面に沿って各該位置決めマークについて行うことを特徴とするセラミックシート積層体の切断方法。 - 該位置決めマークは、該端面と該第2側面との境界をなす第2辺に沿って等間隔に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のセラミックシート積層体の切断方法。
- 該電極露出部は、該第1辺及び該第2辺に沿って略等間隔に第1側面及び第2側面において露出していることを特徴とする請求項2に記載のセラミックシート積層体の切断方法。
- 該切断工程では該切断実施工程の前に、該積層体の端面に切断痕をつける工程と、該切断痕を利用して該積層体に対する該切断痕の傾き及び位置ずれを切断刃校正データとして算出する工程とを行うことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載のセラミックシート積層体の切断方法。
- 該切断工程では該切断実施工程の前に、該切断刃校正データを用いて該積層体の位置を調整する工程を行うことを特徴とする請求項4記載のセラミックシート積層体の切断方法。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一記載のセラミックシート積層体の切断方法を有することを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
- 内部電極とセラミックシートとが交互に積層され、積層方向の互いに対向する端面と、該端面と略直交し互いに対向する第1側面および第2側面とを有し、少なくとも該第1側面には該内部電極の一部が露出する電極露出部を有し、端面の少なくとも一方には、複数の位置決めマークが形成されている積層体の、該位置決めマークの位置を第1位置として検出する第1検出部と、
該電極露出部の位置を第2位置として検出する電極検出部と、
該第1位置および該第2位置に基づき相対切断位置を決定する切断位置決定部と、
切断時の該位置決めマークの位置を第3位置として検出する第2検出部と、
該第3位置を基準として該相対切断位置に応じた切断位置で該積層体を切断する切断部とを有し、
該位置決めマークは、該端面と該第1側面との境界をなす第1辺に沿って等間隔に設けられ、
該電極検出部では、該第1側面に沿った方向において隣り合う該電極露出部同士の最短距離を規定する一方の該電極露出部の一端と他方の該電極露出部の一端との中間点を第2位置として検出し、
該切断位置決定部では、該中間点から該第1側面に沿った方向における該中間点の近傍の該位置決めマークまでの距離を該相対切断位置として算出し、
該切断部は、該位置決めマークを撮像して該位置決めマークの表示位置を検出する表示位置検出工程と、該表示位置と該位置決めマークについての該相対切断位置とから切断位置を算出する工程と、該切断位置において切断する切断実行工程と、を該第1側面に沿って各該位置決めマークについて行うことを特徴とするセラミックシート積層体の切断装置。 - 該第1検出部および該電極検出部を備えた第1ステージと、
該第2検出部および該切断部を備え該第1ステージと分離した第2ステージとを有することを特徴とする請求項7に記載のセラミックシート積層体の切断装置。
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