JP4581543B2 - 減速機一体型アクチュエータおよびこれを備えたアクチュエータシステム - Google Patents

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本発明は、減速機一体型アクチュエータに関するもので、特に、出力軸の角度およびトルク信号検出が可能で、これらの検出信号を駆動ドライバ側へ伝送することを容易にするアクチュエータおよびこれを備えたアクチュエータシステムに関する。
従来の減速機一体型アクチュエータは、ACサーボ(検出器付き)および減速機をタンデム、もしくはモータのロータ内部び減速機を抱き込む構造が一般的であり、配備させる検出器は、モータ制御用エンコーダのみである(例えば、特許文献1参照)。
特開2001−218422号公報(図1)
図8は、特許文献1記載の従来の減速機一体形アクチュエータの側断面図である。図8において、中空アクチュエータ81は、中空型のACサーボモータ82と、これに隣接配置した中空型波動歯車減速機83と、中空モータ82における中空型波動歯車減速機83の反対側に隣接配置した回転位置検出器84とを有している。中空モータ82および中空型波動歯車減速機83はアクチュエータハウジング85に内蔵されている。
減速機83はハーモニック減速機を用いた構造で、フレクスプラインが出力軸側であり、入力側となるウェイブジェネレータにはモータ出力軸が連結されており、そのシャフト後端にはモータ制御用エンコーダが配備され、前記モータの駆動制御用信号を駆動ドライバ側に伝達するようになっている。
図9はこの減速機のヒステリシス特性を示す図である。
図において、前記減速機入力軸に力が伝達されると、減速機構により出力軸で速度は1/R、トルクはR倍となる。その際、減速機出力特性は、減速機の持つガタや摩擦により図のようなヒステリシスを有する。すなわち、減速比が大きい場合、(a)のようにヒステリシス特性は大きくなり、減速比が小さい場合、(b)のようにヒステリシス特性は小さくなる。
このように、従来の減速機一体型アクチュエータは、出力軸端に何のセンサも配備されておらず、単にモータ回転数を減速してトルクを増大させるだけの機能だけしか備えていなかった。
このように、従来の減速機一体型アクチュエータは、減速機出力軸にはエンコーダが配備していない構造となっていて、出力軸角度のセンシングをすることができないので、機械構造的に出るガタにより、出力軸の位置決め精度をダイレクトドライブ並に向上させることができないという問題があった。
また、図9のように減速機ガタ、摩擦によるヒステリシスにより、ダイレクトドライブ並に出力軸力制御ができないというような問題もあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、減速機の持つバックラッシュ等のガタ、またヒステリシス特性を補正することで、モータ出力性能をあたかもDDモータと同様の出力性能で、小形化した力制御アクチュエータを実現できるようにし、合わせてユーザ側のメンテナンス性と利便性も高めることができる減速機一体型アクチュエータを提供することを目的とする。
上記問題を解決するため、本発明は次のように構成したのである。
請求項1記載の発明は、減速機一体型アクチュエータに係るもので、モータと、減速機と、前記モータ出力軸と前記減速機入力軸とを結合させて前記モータ出力を前記減速機側に伝達し、前記モータ出力軸にモータ制御用検出器を備え、かつ前記減速機出力軸に出力軸エンコーダとトルクセンサとを備えてなる減速機一体型アクチュエータにおいて、前記モータ制御用検出器は前記モータを制御するための情報を検出し、前記出力軸エンコーダは前記減速機出力軸の回転角を検出し、
前記トルクセンサは、前記減速機の減速比を1/Rとした場合、減速機構により出力軸で速度は1/R、トルクはR倍にされ、前記減速機出力軸のトルクが負荷につながれた際その反力により生じるねじれトルクを検出し、前記減速機は、薄肉カップ状に形成されてカップ部外周に多数の歯を備えてなるフレクスプラインと、内側に多数の歯が形成されたリング状をして反負荷ブラケット側に締結固定されたサーキュラスプラインと、前記モータ出力軸と結合されて楕円状のカムの外周に薄肉のボールベアリングを嵌め、前記ボールベアリングの内輪をカムに固定し、外輪はボールを介して弾性変形するウェイブジェネレータと、から成るハーモニック減速機であり、かつ、前記フレクスプラインの前記カップ部を前記モータの電機子とロータの間のギャップ部に配置し、これらの前記モータ制御用検出器、前記減速機出力軸エンコーダ、および前記トルクセンサの検出した各検出信号を前記モータを駆動制御する駆動ドライバ側にフィードバックすることにより、前記減速機の出力軸制御を行うことを特徴としている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の減速機一体型アクチュエータに関するもので、前記モータ制御用検出器がモータ制御用エンコーダまたはモータの磁極を検出する磁極検出器のいずれかであることを特徴としている。
請求項3記載の発明は、減速機一体型アクチュエータシステムに関するもので、請求項2記載の減速機一体型アクチュエータとシリアル変換器と駆動ドライバとを備えてなる減速機一体型アクチュエータシステムにおいて、前記減速機出力軸エンコーダおよび前記トルクセンサからの2つの検出信号を前記シリアル変換器に入れてシリアル信号に変換し、1本のケーブルにて該シリアル変換器と前記駆動ドライバのフルクローズド信号用I/Fに接続することで2種のデータを前記ケーブル1本にて通信し、かつ前記モータ制御用エンコーダ信号は、前記駆動ドライバのエンコーダ信号用別I/Fに伝送することを特徴としている。
請求項4記載の発明は、減速機一体型アクチュエータシステムに関するもので、請求項2記載の減速機一体型アクチュエータとシリアル変換器と駆動ドライバとを備えてなる減速機一体型アクチュエータシステムにおいて、前記モータ制御用エンコーダの代わりに前記磁極検出器を配備し、前記減速機出力軸エンコーダおよび前記磁極検出器からの2つの検出信号を前記シリアル変換器に入れてシリアル信号に変換し、1本のケーブルにて前記駆動ドライバのエンコーダ信号用別I/Fに接続することで2種のデータをケーブル1本にて通信し、かつ前記トルクセンサからの信号を、これも2つめのシリアル変換器に入れシリアル信号に変換し、前記駆動ドライバのフルクローズド信号用I/Fに伝送することを特徴としている。
請求項5記載の発明は、請求項3又は4記載の減速機一体型アクチュエータシステムに関するもので、モータ定数およびモータ温度性能の少なくともいずれかの情報を、前記モータ制御用エンコーダ内部メモリかまたは前記シリアル変換機内部メモリに記録させ、前記駆動ドライバに接続した際、この間もシリアルデータとしてドライバ側へ伝送することを特徴としている。
請求項1および2記載の発明によると、減速機の持つバックラッシュ等のガタ、またヒステリシス特性を補正制御を行うことで、モータ出力性能を、あたかもDDモータと同様の出力性能で、小形化した力制御アクチュエータを実現する。
また、請求項3および4記載の発明によると、減速機出力軸補正制御を行うための信号データ伝送を容易にすることができ、請求項5記載の発明によると、ユーザ側のメンテナンス性、利便性を高めることができる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1は、本発明の第1実施例に係る減速機一体形力制御アクチュエータの側断面図である。
図において、1は減速機出力軸、2はL側ブラケット、3はトルクセンサ、4はトルクセンサリード、5はL側ベアリング、6は保持ベアリング、7はフレクスプライン、8はサーキュラスプライン、9はモータ出力軸、10はモータロータ、11はマグネット、12はウェイブジェネレータ、13は反L側ベアリング、14はフレーム、15は検出器コネクタA、16はモータコネクタ、17は検出器コネクタB、18は反Lブラケット、19はモータ制御用エンコーダ、20はモータ制御用エンコーダカバー、21はモータ制御用エンコーダリード、22はモータ電機子、23はモータリード、24は出力軸エンコーダヘッド、25は出力軸エンコーダスケール、26は出力軸エンコーダリード、27はトルクセンサ膜である。
減速機は、フレクスプライン7、サーキュラスプライン8、ウェイブジェネレータ12の3部品からなるハーモニック減速機を用いた減速機一体形力制御アクチュエータの例である。
フレクスプライン7は、SUS材のような非磁性材で薄肉カップ状に形成されており、このカップ部はモータ電磁部である電機子22と、ロータ10の間のギャップ部に配置され、そのカップ部外周に多数の歯が形成されている。その底部は減速機出力軸1を固定している。
サーキュラスプライン8は内側に多数の歯が形成されたリング状をしており、反Lブラケット18に締結固定されている。サーキュラスプライン8の歯数はフレクスプライン7の歯数よりも2枚多くなっている。
ウェイブジェネレータ12は楕円状のカムの外周に薄肉のボールベアリングを嵌めた部分で、そのボールベアリングの内輪はカムに固定され、外輪はボールを介して弾性変形する。
そして、モータロータ10と一体のモータ出力軸9はウェイブジェネレータ12と結合されて減速機の入力側を構成している。モータはモータ制御用エンコーダ19と駆動ドライバ41(図2)にて駆動され、モータ出力軸9の出力は、これと一体のウェイブジェネレータ12によって楕円状に撓められるフレクスプライン7とサーキュラスプライン8との歯数差で減速され、フレクスプライン7に固定の減速機出力軸1に伝達される構造となっている。
また、減速機出力軸1には出力軸エンコーダのヘッド24およびスケール25とトルクセンサ3が配備され、出力軸エンコーダのヘッド24およびスケール25は力軸角度検出を行っており、トルクセンサは軸トルクを検出し、駆動ドライバ41側にフィードバックする力制御システムとなっている。
図2は第1実施例に係る減速機一体形力制御アクチュエータを含む力制御アクチュエータシステムの全体構成図である。
図において、100は減速機一体型アクチュエータ、28はシリアル変換器、31はシリアル通信ケーブル、32はエンコーダケーブル、33はモータケーブル、34はトルクセンサケーブル、35は出力軸エンコーダケーブル、41は駆動ドライバである。
図から判るように、減速機一体型アクチュエータシステムは、減速機一体型アクチュエータ100とシリアル変換器28と駆動ドライバ41とを備えており、検出器コネクタA15とシリアル変換器28の間を出力軸エンコーダケーブル35で結び、減速機出力軸エンコーダ(24〜26)およびトルクセンサ3からの2つの検出信号をシリアル変換器28に伝送している。シリアル変換器28ではこれらの2つの信号をシリアル信号に変換し、これを1本のシリアル通信ケーブル31にて駆動ドライバ41のフルクローズド信号用I/Fに伝送している。このようにすることで2種のデータをケーブル1本にて通信できることとなる。
また、検出器コネクタB17と駆動ドライバ41のエンコーダ信号用別I/Fの間をエンコーダケーブル32で結び、検出器コネクタB17からの検出信号を駆動ドライバ41に伝送している。
一方、モータコネクタ16と駆動ドライバ41の間をモータケーブル33で結び、駆動ドライバ41からのモータ制御電流をモータコネクタ16を介してモータ電機子22(図1)に与えている。
図3はこのアクチュエータシステムの制御ブロック図を示している。
図において、モータMには減速機Gが一体結合され、モータ出力軸には磁極検出器PSとモータ制御用エンコーダEmが設けられ、減速機出力軸には本発明によりトルクセンサTSと出力軸エンコーダEgが設けられている。
いま、トルク指令とポジション(位置)指令が与えられると、ポジション指令は本発明により設けられた出力軸エンコーダからのポジションフィードバック信号との差(誤差)がポジションループゲインKpに与えられる。ポジションループゲインKpの出力はモータ制御用のエンコーダからの速度フィードバック信号との差(誤差)が速度ループゲインKvに与えられる。
一方、トルク指令は本発明により設けられたトルクセンサからのトルクフィードバック信号との差(誤差)が積分された後、前記速度ループゲインKvの出力との差を出し、その後、これと、磁極検出器とモータ電流との差とであるトルクフィードバック信号との差が電流ループゲインKtへ送られる。これによってモータに所定の電流が供給される。
本発明が特許文献1と異なる部分は、出力軸には出力軸エンコーダとトルクセンサが設けられ、これらの各出力軸エンコーダとトルクセンサからの信号により、それぞれポジションフィードバックのループとトルクフィードバックのループの2つのフルクローズドループを備えている点である。
図4は、本発明の第1実施例に係るシリアル変換器の動作を示す図である。
図において、28はシリアル変換器、29はシリアル変換器28内のシリアル変換回路、30はメモリIC、31はシリアル通信ケーブルである。
図に示すように、各エンコーダ信号は、シリアル変換器28にてシリアル信号に変換され、駆動ドライバ側にデータ送信されることで、位置ループとトルクループの2つのフルクローズ制御することができる。
また、シリアル変換器28内部のメモリIC30に、モータパラメータを記憶させ、これも各エンコーダ信号とともに駆動ドライバ41側にデータ伝送させる仕組みとなっている。
図5は、本発明の第2実施例に係る減速機一体形力制御アクチュエータの側断面図である。
図において、第2の実施例が第1の実勢例と異なる点は、モータの回転情報を検出するのに磁極検出器(36〜39)と出力軸エンコーダ(24〜26)で行う点である。その他は第1実施例と同じである。
この場合、図6に示すように、磁極検出信号をシリアル信号に変換するシリアル変換器28Bを必要とし、これには、出力軸エンコーダ信号も入力して、同時にデータ化される。そしてもう一つシリアル変換器28Aには、トルクセンサ信号のみ入力されシリアルデータ化される。
このように、モータ用センサが、磁極検出器のみとなるような構成をしているので、モータ制御用エンコーダの部分を簡素化することができる。
図7はこのアクチュエータシステムの制御ブロック図を示している。
図において、モータMには減速機Gが一体結合され、本発明により、モータ出力軸には磁極検出器PSが設けられ、減速機出力軸にはトルクセンサTSと出力軸エンコーダEgが設けられている。
いま、トルク指令とポジション(位置)指令が与えられると、ポジション指令は本発明により設けられた出力軸エンコーダからのポジションフィードバック信号との差(誤差)がポジションループゲインKpに与えられる。ポジションループゲインKpの出力は出力軸エンコーダEgからのポジションフィードバック信号を乗算器を介して、その差(誤差)が速度ループゲインKvに与えられる。
一方、トルク指令は本発明により設けられたトルクセンサTSからのトルクフィードバック信号との差(誤差)が積分された後、前記速度ループゲインKvの出力との差を出し、その後、これと、磁極検出器PSとモータ電流との差とであるトルクフィードバック信号との差が電流ループゲインKtへ送られる。これによってモータに所定の電流が供給される。
以上、本発明によれば、減速機の出力軸の回転角とトルク信号にて、位置ループとトルクループの2つのフルクローズドループを備えた力制御アクチュエータシステムにすることによって、図9に示す減速機のガタ、ヒステリシスを制御補正することができるので、小型軽量・高トルクが必要とされるヒュ−マノイドロボット駆動用という用途にも適用できる。
本発明の第1実施例を示す減速機一体形力制御アクチュエータの側断面図である。 本発明の第1実施例を示す減速機一体形力制御アクチュエータのシステム構成図である。 本発明の第1実施例を示す減速機一体形力制御アクチュエータの制御ブロック図である。 本発明のシリアル変換器の動作を示す断面図である。 第2実施例を示す減速機一体形力制御アクチュエータの側断面図である。 第2実施例を示す減速機一体形力制御アクチュエータのシステム構成図である。 第2実施例を示す減速機一体形力制御アクチュエータの制御ブロック図である。 従来の減速機一体形アクチュエータの側断面図である。 減速機のヒステリシス特性である。
符号の説明
1:減速機出力軸
2:L側ブラケット
3:トルクセンサ
4:トルクセンサリード
5:L側ベアリング
6:保持ベアリング
7:フレクスプライン
8:サーキュラスプライン
9:モータ出力軸
10:モータロータ
11:マグネット
12:ウェイブジェネレータ(減速機入力軸)
13:反L側ベアリング
14:フレーム
15:検出器コネクタA
16:モータコネクタ
17:検出器コネクタB
18:反Lブラケット
19:モータ制御用エンコーダ
20:モータ制御用エンコーダカバー
21:モータ制御用エンコーダリード
22:モータ電機子
23:モータリード
24:出力軸エンコーダヘッド
25:出力軸エンコーダスケール
26:出力軸エンコーダリード
27:トルクセンサ膜
28:シリアル変換器
29:シリアル変換回路
30:メモリIC
31:シリアル通信ケーブル
32:エンコーダケーブル
33:モータケーブル
34:トルクセンサケーブル
35:出力軸エンコーダケーブル
36:磁極検出器ヘッド
37:磁極検出器マグネット
38:磁極検出器カバー
39:磁極検出器リード
40:磁極検出ケーブル
41:駆動ドライバ

Claims (5)

  1. モータと、減速機と、前記モータ出力軸と前記減速機入力軸とを結合させて前記モータ出力を前記減速機側に伝達し、前記モータ出力軸にモータ制御用検出器を備え、かつ前記減速機出力軸に出力軸エンコーダとトルクセンサとを備えてなる減速機一体型アクチュエータにおいて
    前記モータ制御用検出器は前記モータを制御するための情報を検出し、
    前記出力軸エンコーダは前記減速機出力軸の回転角を検出し、
    前記トルクセンサは、前記減速機の減速比を1/Rとした場合、減速機構により出力軸で速度は1/R、トルクはR倍にされ、前記減速機出力軸のトルクが負荷につながれた際その反力により生じるねじれトルクを検出し、
    前記減速機は、薄肉カップ状に形成されてカップ部外周に多数の歯を備えてなるフレクスプラインと、内側に多数の歯が形成されたリング状をして反負荷ブラケット側に締結固定されたサーキュラスプラインと、前記モータ出力軸と結合されて楕円状のカムの外周に薄肉のボールベアリングを嵌め、前記ボールベアリングの内輪をカムに固定し、外輪はボールを介して弾性変形するウェイブジェネレータと、から成るハーモニック減速機であり、かつ、前記フレクスプラインの前記カップ部を前記モータの電機子とロータの間のギャップ部に配置し、
    これらの前記モータ制御用検出器、前記減速機出力軸エンコーダ、および前記トルクセンサの検出した各検出信号を前記モータを駆動制御する駆動ドライバ側にフィードバックすることにより、前記減速機の出力軸制御を行うことを特徴とする減速機一体型アクチュエータ。
  2. 前記モータ制御用検出器はモータ制御用エンコーダまたはモータの磁極を検出する磁極検出器のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の減速機一体型アクチュエータ。
  3. 請求項2記載の減速機一体型アクチュエータとシリアル変換器と駆動ドライバとを備えてなる減速機一体型アクチュエータシステムにおいて、
    前記減速機出力軸エンコーダおよび前記トルクセンサからの2つの検出信号を前記シリアル変換器に入れてシリアル信号に変換し、1本のケーブルにて該シリアル変換器と前記駆動ドライバのフルクローズド信号用I/Fに接続することで2種のデータを前記ケーブル1本にて通信し、かつ前記モータ制御用エンコーダ信号は、前記駆動ドライバのエンコーダ信号用別I/Fに伝送することを特徴とする減速機一体型アクチュエータシステム。
  4. 請求項2記載の減速機一体型アクチュエータとシリアル変換器と駆動ドライバとを備えてなる減速機一体型アクチュエータシステムにおいて、
    前記モータ制御用エンコーダの代わりに前記磁極検出器を配備し、前記減速機出力軸エンコーダおよび前記磁極検出器からの2つの検出信号を前記シリアル変換器に入れてシリアル信号に変換し、1本のケーブルにて前記駆動ドライバのエンコーダ信号用別I/Fに接続することで2種のデータをケーブル1本にて通信し、かつ前記トルクセンサからの信号を、これも2つめのシリアル変換器に入れシリアル信号に変換し、前記駆動ドライバのフルクローズド信号用I/Fに伝送することを特徴とする減速機一体型アクチュエータシステム。
  5. モータ定数およびモータ温度性能の少なくともいずれかの情報を、前記モータ制御用エンコーダ内部メモリかまたは前記シリアル変換機内部メモリに記録させ、前記駆動ドライバに接続した際、この間もシリアルデータとしてドライバ側へ伝送することを特徴とする請求項3又は4記載の減速機一体型アクチュエータシステム。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105181329A (zh) * 2015-10-13 2015-12-23 西安交通大学 一种工业机器人关节减速器综合测试平台
CN105813812A (zh) * 2014-04-28 2016-07-27 株式会社乐博特思 带有输入输出位置反馈的多输入方式减速器
CN106208543A (zh) * 2016-07-30 2016-12-07 深圳市优必选科技有限公司 一种伺服电机及其控制方法

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5403366B2 (ja) * 2010-02-02 2014-01-29 株式会社安川電機 減速機付きモータ
JP5645423B2 (ja) * 2010-02-23 2014-12-24 キヤノン株式会社 回転駆動装置及びロボットアーム
KR101208406B1 (ko) * 2012-03-30 2012-12-05 한국기계연구원 중공구동모듈
US9293962B2 (en) 2012-03-30 2016-03-22 Korea Institute Of Machinery & Materials Hollow driving module
JP5431521B2 (ja) * 2012-04-23 2014-03-05 株式会社ケーヒン 回転式アクチュエータ
CN102901625B (zh) * 2012-10-11 2016-03-02 西安交通大学 一种机器人关节用减速器综合性能测试系统
JP6146816B2 (ja) * 2014-08-11 2017-06-14 株式会社ロボテック トルク検出器
US10029366B2 (en) * 2014-11-21 2018-07-24 Canon Kabushiki Kaisha Control device for motor drive device, control device for multi-axial motor, and control method for motor drive device
JP6584102B2 (ja) * 2015-03-13 2019-10-02 キヤノン株式会社 ロボット装置、ロボット制御方法、プログラム、記録媒体、及び物品の製造方法
CN105846610B (zh) * 2016-03-22 2018-11-16 沈阳艾克申机器人技术开发有限责任公司 连续旋转的高角位置精度的数字电机
JP2018054563A (ja) 2016-09-30 2018-04-05 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、駆動ユニットおよびロボット
US10300609B2 (en) * 2016-12-15 2019-05-28 Boston Dynamics, Inc. Motor and controller integration for a legged robot
WO2018159032A1 (ja) * 2017-02-28 2018-09-07 ソニー株式会社 アクチュエータ
JP7056448B2 (ja) 2018-08-01 2022-04-19 株式会社デンソー クラッチ制御装置
US11045950B2 (en) * 2018-11-02 2021-06-29 Canon Kabushiki Kaisha Driving device and detecting device
WO2022209711A1 (ja) * 2021-03-31 2022-10-06 本田技研工業株式会社 クラッチ制御装置
DE102021133572A1 (de) * 2021-12-17 2023-06-22 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren zum Steuern einer Ausgangswelle bei einer Antriebseinheit
CN114378801B (zh) * 2022-01-19 2023-11-14 苏州艾利特机器人有限公司 一种集成编码器的减速器组件及多关节机器人

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000330641A (ja) * 1999-05-18 2000-11-30 Toshiba Mach Co Ltd サーボ制御装置
JP2002101692A (ja) * 2000-09-22 2002-04-05 Sony Corp アクチュエータ装置
JP2002176790A (ja) * 2000-12-08 2002-06-21 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 減速機付サーボモータ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2728697B2 (ja) * 1988-11-07 1998-03-18 工業技術院長 電動機のトルク制御方式
JP2662900B2 (ja) * 1990-11-06 1997-10-15 ファナック株式会社 シリアルエンコーダ
JPH11161336A (ja) * 1997-11-28 1999-06-18 Fanuc Ltd エンコーダ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000330641A (ja) * 1999-05-18 2000-11-30 Toshiba Mach Co Ltd サーボ制御装置
JP2002101692A (ja) * 2000-09-22 2002-04-05 Sony Corp アクチュエータ装置
JP2002176790A (ja) * 2000-12-08 2002-06-21 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 減速機付サーボモータ

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105813812A (zh) * 2014-04-28 2016-07-27 株式会社乐博特思 带有输入输出位置反馈的多输入方式减速器
CN105813812B (zh) * 2014-04-28 2017-09-12 株式会社乐博特思 带有输入输出位置反馈的多输入方式减速器
CN105181329A (zh) * 2015-10-13 2015-12-23 西安交通大学 一种工业机器人关节减速器综合测试平台
CN105181329B (zh) * 2015-10-13 2017-12-26 西安交通大学 一种工业机器人关节减速器综合测试平台
CN106208543A (zh) * 2016-07-30 2016-12-07 深圳市优必选科技有限公司 一种伺服电机及其控制方法
JP6105143B1 (ja) * 2016-07-30 2017-03-29 深セン市優必選科技有限公司 サーボモータ及びその制御方法
KR20180013686A (ko) * 2016-07-30 2018-02-07 유비테크 로보틱스 코프 서보모터 및 그 제어 방법
US10084362B2 (en) 2016-07-30 2018-09-25 UBTECH Robotics Corp. Servomotor and control method thereof
KR101908689B1 (ko) * 2016-07-30 2018-10-16 유비테크 로보틱스 코프 서보모터 및 그 제어 방법
CN106208543B (zh) * 2016-07-30 2018-10-19 深圳市优必选科技有限公司 一种伺服电机及其控制方法

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