JP6105143B1 - サーボモータ及びその制御方法 - Google Patents

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Abstract

既存のサーボモータにモータ出力誤差及び減速機伝動誤差が存在する問題を解決するために、本発明はサーボモータを提供する。該サーボモータは、制御回路、モータ、調和減速機及びセンサを備える。前記制御回路はモータと電気的に接続されている。前記調和減速機は、外筐体と、外筐体内に設けられる波動発生器と、可撓性歯車と、剛性歯車とを備え、前記モータは外筐体の一端に設けられ、前記波動発生器は前記モータにより駆動され、前記可撓性歯車は前記波動発生器の外部に外嵌連結され、前記剛性歯車は前記外筐体内に固定され、前記可撓性歯車は、前記剛性歯車の内部に位置し、かつ前記可撓性歯車と前記剛性歯車とは噛合されている。前記可撓性歯車には出力部が連結され、前記出力部の回転軸線には支柱が連結されている。前記センサは、前記外筐体内に設けられ、支柱の角変位を検出することに用いられる。同時に、本発明は前記サーボモータの制御方法をさらに開示する。本発明は、サーボモータの角度伝達精度を向上させることを目的とする。【選択図】図1

Description

本発明はモータ減速伝動技術の分野に属し、具体的にはサーボモータ及びその制御方法に関する。
サーボモータ例えばサーボ(Servo)は、直流電動機、減速歯車組、センサ及び制御回路により構成される自動制御システムである。既存のサーボモータの減速歯車組は主に平歯車減速機であり、一部は遊星歯車減速機である。性能要求のために、一般的に、サーボモータの減速比は1:200であり、さらに300以上に達する。平歯車減速機と遊星減速機は、上述の減速比に達するために、3〜5段減速が必要である。減速比に達するために、一般的に、4段減速の必要がある。実際の加工・組立の能力を考慮すると、単段歯車の効率が90%〜95%である場合、四段歯車の総合効率は65.6%〜81.5%である。設計・組立が適当でないとき、効率はさらに低くなり、歯車組構造の体積が大きくなることで、効率の低下を必然的にもたらす。平歯車減速機と遊星減速機は、円滑な伝動のために、歯車同士間に一定の隙間が必要である。これにより、減速機には理論的にバックラッシュが存在し、バックラッシュの単位はarcminである。一般的に、3arcminより低いものは高精度型であり、15arcmin以上のものは低精度型である。一般的に、遊星減速機のバックラッシュは15〜3arcminに達することができる。一般的に、平歯車減速機のバックラッシュは15arcminに達することができる。
別の種類の調和歯車減速機がさらに存在し、遊星歯車伝動の原理を用いて開発された新たな減速機である。調和歯車伝動(調和伝動と略称する)は、可撓性部品による弾性機械波によって、動力と動作を伝送する遊星歯車伝動である。調和減速機は、その簡単な構造、小さなサイズ、低い騒音、大きな伝動比、高い伝動精度、及び高い効率などの利点によって、ロボットの関節の重要な部材として幅広く用いられている。1955年に米国のC.W.マッサーは初めて調和減速機を発明して以来、世界の主要工業国は全面的な研究を実施し、さらに一連の種類と異なるサイズの多くの調和減速機を次々と製造している。この中で、小モジュール・インボリュート歯車歯形の調和減速機は最も広く使用されている。既存の調和減速機は、使用時に、構造及び技術の制限により、一般的にモータ後端のエンコーダの検出値に基づいて出力端の位置を制御しており、モータ出力誤差と調和伝動誤差を考慮しないため、伝動過程中の誤差を除去することができず、出力端のバックラッシュ誤差を制御できない。調和減速機の一般的なバックラッシュ誤差(バックラッシュ)は1arcmin以内であり、高精度調和減速機のバックラッシュ誤差は1/3arcmin以内である。しかしながら、減速機の使用に伴って、歯車は摩耗され、バックラッシュ誤差は大きくなる。
角度伝達精度は、任意の回転角が入力に伝達したときの理論回転出力の回転角度と実際の回転出力の回転角度との間の差値、即ち角度伝達誤差を意味する。上述したバックラッシュ及びモータ出力、調和伝動誤差はいずれもサーボモータの出力角度に影響を与え、サーボモータの角度伝達精度を低減する。
既存のサーボモータにモータ出力及び減速機伝動誤差が存在している問題に対して、本発明は、サーボモータ及びその制御方法を提供することによって、モータ出力及び減速機伝動誤差を低減し、角度伝達精度を向上させる。
本発明が上述の技術問題を解決するために採用する技術案は下記のとおりである。
サーボモータであって、制御回路、モータ、調和減速機及びセンサを備え、
前記制御回路はモータと電気的に接続され、制御回路の出力信号はモータの回転を制御しており、
前記調和減速機は、外筐体と、外筐体内に設けられる波動発生器と、可撓性歯車と、剛性歯車とを備え、前記モータは外筐体の一端に設けられ、前記波動発生器は前記モータにより駆動され、前記可撓性歯車は前記波動発生器の外部に外嵌連結され、前記剛性歯車は前記外筐体内に固定され、前記可撓性歯車は、前記剛性歯車の内部に位置し、かつ前記剛性歯車と噛合されており、
前記可撓性歯車には動力出力のための出力部が連結され、前記出力部の回転軸線には支柱が連結されており、
前記センサは、前記外筐体内に設けられ、支柱の角変位を検出することに用いられる。
さらに、前記モータの出力軸は前記外筐体内に延伸し、かつ第1歯車が設けられ、前記波動発生器には第2歯車が設けられ、前記第1歯車と第2歯車とは噛合されている。
さらに、前記第1歯車と第2歯車とは平歯車であり、かつ前記第1歯車の歯数は前記第2歯車の歯数より少ない。
さらに、前記調和減速機は、可撓性歯車押圧片と軸受内輪とをさらに備え、前記可撓性歯車押圧片は位置制限部と突出部とを備え、前記可撓性歯車の底部には第1貫通孔が開設され、前記軸受内輪には第2貫通孔が設けられ、前記可撓性歯車押圧片の突出部は順に第1貫通孔と第2貫通孔を通過し、前記可撓性歯車は可撓性歯車押圧片の位置制限部と軸受内輪との間に介設されている。
さらに、前記外筐体の前記モータから離れる一端が開口され、前記出力部は前記外筐体の開口に位置し、かつ前記出力部、軸受内輪、可撓性歯車及び可撓性歯車押圧片は固定連結されている。
さらに、前記外筐体と出力部との間には第1軸受が設けられ、前記軸受内輪の外周は前記第1軸受の内輪に嵌入されている。
さらに、前記第2歯車は中空の歯車部と延伸軸とを備え、前記歯車部の内部には、前記歯車部と前記外筐体との間に支持される第2軸受が設けられ、前記波動発生器は前記延伸軸に外嵌連結され、前記延伸軸の前記歯車部から離れる一端の外周と、前記可撓性歯車押圧片の位置制限部の内壁との間には第3軸受が設けられている。
さらに、前記可撓性歯車押圧片の中部には第3貫通孔が開設され、前記支柱は前記第2歯車、第3貫通孔及び出力部を順に通過し、前記支柱の一端は出力部の中心に連結され、かつ前記支柱の外周には、前記支柱と前記外筐体との間に支持される第4軸受がさらに設けられている。
さらに、前記波動発生器の中軸線には中空の伝動軸が設けられ、前記第2歯車は前記伝動軸に外嵌連結され、前記伝動軸の一端と前記外筐体との間には第5軸受が設けられ、前記伝動軸の他端と前記可撓性歯車押圧片との間には第6軸受が設けられている。
さらに、前記可撓性歯車押圧片の中部には第3貫通孔が開設され、前記支柱は前記伝動軸、第3貫通孔及び出力部を順に通過し、前記支柱の一端は出力部の中心に連結されている。
さらに、前記センサはエンコーダであり、前記エンコーダはエンコーダ回路板とマグネットとを備え、前記マグネットは、前記支柱の前記出力部から離れる一端に設けられ、前記エンコーダ回路板は、前記外筐体に固定され、かつ前記マグネットと正対する。
さらに、前記外筐体は第1筐体と第2筐体とを備え、前記第1筐体と第2筐体との間には、前記調和減速機を取り付けるための減速機キャビティ体が形成され、前記第1筐体と第2筐体との連結位置にはそれぞれ第1階段状溝と第2階段状溝が設けられ、前記剛性歯車の縁部は前記第1階段状溝と第2階段状溝内に収容されている。
本発明はサーボモータの制御方法をさらに開示する。該サーボモータの制御方法は、
制御回路は初期の動作計画を制御計画に変換してモータに送信するステップと、
モータは前記制御計画に応じて角変位を出力するステップと、
調和減速機は、モータに対して減速出力を行い、かつ支柱を回転させるステップと、
センサは、支柱の角変位を検出し、支柱の角変位と初期の動作計画の理論的に達成可能な角変位との偏差値を計算し、該偏差値に応じて1つ以上の動作計画を追加し、制御回路により制御計画に変換し、かつ、偏差値がセンサの分解能または動作計画の最小許容誤差より小さくなるまで、モータの実行を制御するステップと、を含む。
さらに、調和減速機がモータに対して減速を行う前、
平歯車伝動装置によりモータに対して第1段階減速を行うことがさらに含まれる。
本発明が開示するサーボモータ及びその制御方法によれば、調和減速機によりモータに対して減速出力を行い、調和減速機の出力部には支柱が設けられ、センサにより支柱の回転状態を検出することができ、即ち出力部の角変位を正確に検出することができ、これにより出力部の角変位と初期の動作計画の論理的に達成可能な角変位との間の偏差値を取得し、制御回路に返送し、1つ以上の動作計画を追加して、モータ出力及び減速機伝動誤差による回転偏差を相殺し、角度伝達の精度を向上させる。
本発明の実施例1によるサーボモータの構造分解図である。 本発明の実施例1によるサーボモータの断面図である。 本発明の実施例2によるサーボモータの断面図である。 本発明の実施例3によるサーボモータの制御フローチャートである。
本発明が解決しようとする技術問題、技術的手段及び有益な効果をさらに明らかにするために、以下は図面及び実施例を組み合わせて、本発明をさらに詳細に説明する。ここで述べた具体的な実施例は本発明の解釈のために用いられ、本発明を限定するためのものではないことを理解するべきである。
〈実施例1〉
図1と図2に示すように、本実施例には、サーボモータが開示され、制御回路1、モータ2、調和減速機3及びセンサを備え、
モータ2の角変位、回転速度及びトルクを制御するために、前記制御回路1とモータ2とは電気的に接続されており、
前記調和減速機3は、外筐体5と、外筐体5内に設けられる波動発生器32と、可撓性歯車34と、剛性歯車33とを備える。前記波動発生器32は、径方向長さが一致しないカムであり、外周にはローラ軸受が設けられている。前記モータ2は外筐体5の一端に設けられ、前記波動発生器32は前記モータ2により駆動される。前記可撓性歯車34は前記波動発生器32の外部に外嵌連結され、波動発生器32により可撓性歯車34は制御可能な弾性変形を発生する。前記剛性歯車33は前記外筐体5内に固定され、前記可撓性歯車34の外部には外歯が設けられ、前記剛性歯車33は環形の内歯車であり、前記可撓性歯車34は前記剛性歯車33の内部に位置し、かつ前記可撓性歯車34と剛性歯車33とは噛合されている。波動発生器32が回転するとき、可撓性歯車34の外形は波動発生器32の回転方向に伴って絶えず変わって、可撓性歯車34と剛性歯車33との間の噛合状態を促進することによって、可撓性歯車34が剛性歯車33に対して波動発生器32と反対の方向に沿って回転することを実現する。
可撓性歯車34と剛性歯車33との間の歯数差によって、伝動比が制御される。調和減速機3の可撓性歯車34の歯は、伝動過程において均一の径方向の移動を行う。そのため、入力速度が非常に高くても、歯車の歯の相対スリップ速度が依然として低いので、歯車の歯の磨耗が小さく、効率が高く、69%〜96%に達し得る。一般的な減速機と比較して、出力トルクが同じであるとき、調和歯車減速機の体積は2/3減少することができ、重量は1/2軽減することができ、サーボモータ製品は全体的に小型化、軽量化することができる。
前記可撓性歯車34には動力出力のための出力部37が連結され、前記出力部37の回転軸線には支柱6が連結されている。
前記センサは、前記外筐体5内に設けられ、支柱6の角変位を検出することに用いられる。
本実施例において、前記モータ2には出力軸22が設けられ、前記出力軸22は前記外筐体5内に延伸し、且つ第1歯車21が設けられている。前記波動発生器32には第2歯車31が設けられ、前記第1歯車21と第2歯車31とは噛合されて、1段伝動を行う。モータ2は、前記出力軸22によりトルクを出力し、第1歯車21と第2歯車31との歯車伝動によりトルクを前記波動発生器32に伝達して、調和減速機3へのトルク入力を実現し、調和減速機3により減速伝動出力を行う。
前記第1歯車21と第2歯車31とは平歯車であり、かつ前記第1歯車21の歯数は前記第2歯車31の歯数より少なく、平歯車減速伝動となる。なお、前記平歯車減速伝動は本実施例の好適な一実施形態に過ぎず、他の歯車伝動方式により置き換えられる技術案、例えば傘歯車伝動、スクリュー伝動などは、本発明の保護範囲内に含まれるべきである。
前記調和減速機3は、前記可撓性歯車34と連結し可撓性歯車34のトルク出力を伝導するための可撓性歯車押圧片35と軸受内輪36とを備える。前記可撓性歯車押圧片35はT字形の円錐台構造であり、位置制限部351と突出部352とを備える。前記位置制限部351は円環構造であり、突出部352は円柱状である。前記可撓性歯車34の底部には第1貫通孔341が開設され、前記第1貫通孔341は前記可撓性歯車34の中軸線に位置する。前記軸受内輪36には第2貫通孔361が開設され、前記可撓性歯車押圧片35の突出部352は第1貫通孔341と第2貫通孔361とを順に通過する。前記可撓性歯車34は、可撓性歯車押圧片35の位置制限部351と軸受内輪36との間に挟持され、可撓性歯車押圧片35と軸受内輪36とを可撓性歯車34に固定して、可撓性歯車34が回転するとき、前記可撓性歯車押圧片35と軸受内輪36とをその中軸線のまわりに回転するように同時に駆動できる。
前記外筐体5の前記モータ2から離れる一端が開口され、前記出力部37は前記外筐体5の開口に位置し、かつ前記出力部37、軸受内輪36、可撓性歯車34及び可撓性歯車押圧片35は固定連結されている。具体的な連結方式は下記のとおりである。出力部37、軸受内輪36、可撓性歯車34及び可撓性歯車押圧片35の対応する位置にはいずれも複数のネジ貫通孔が設けられている。前記ネジ貫通孔はそれぞれ出力部37、軸受内輪36、可撓性歯車34及び可撓性歯車押圧片35の表面に環状配列で配置され、複数のネジが前記出力部37、軸受内輪36、可撓性歯車34及び可撓性歯車押圧片35のネジ貫通孔を順に通過するように設置することによって、これらを固定連結する。本実施例において、出力部37は駆動盤である。他の実施例において、出力部37駆動軸などの構造であってもよい。
前記外筐体5と出力部37との間には第1軸受391が設けられ、前記軸受内輪36の外周の一部は前記第1軸受391の内輪に嵌入されて、可撓性歯車34及び出力部37の回転精度が保証される。
本実施例において、前記第2歯車31は中空のT字形の歯車であり、歯車部311と延伸軸312とを備える。前記第1歯車21と噛合するように、前記歯車部311の外部には外歯が設けられている。前記歯車部311の内部には、前記歯車部311と前記外筐体5との間に支持される第2軸受392が設けられている。前記歯車部311と波動発生器32とはネジにより互いに固定連結され、かつ前記波動発生器32は前記延伸軸312に外嵌連結されている。前記延伸軸312の前記歯車部311から離れる一端の外周と、前記可撓性歯車押圧片35の位置制限部351の内壁との間には、第3軸受393が設けられている。前記第2軸受392と第3軸受393により、第2歯車31及び波動発生器32の回転精度は保証される。
前記可撓性歯車押圧片35の中部には第3貫通孔353が開設され、前記支柱6は前記第2歯車31、第3貫通孔353及び出力部37を順に通過する。前記支柱6の一端は出力部37の中心に連結され、かつ前記支柱6の外周には、前記支柱6と前記外筐体5との間に支持される第4軸受394がさらに設けられている。前記出力部37の中心には第4貫通孔が開設され、前記支柱6の底部にはねじ山部が設けられ、前記ねじ山部は前記第4貫通孔を通過する。同時に、前記ねじ山部を締め付けるために、ナットが設けられている。
本実施例において、センサはエンコーダ4であり、磁場変化を感応するためのエンコーダ回路板41及びマグネット42を備える。前記マグネット42は、前記支柱6の前記出力部37から離れる一端に設けられている。前記エンコーダ回路板41は、前記外筐体5に固定され、かつ前記マグネット42と正対する。エンコーダ回路板41は、支柱6の中心のマグネット42の磁場変化を検出することで、出力部37の実際の動作データを正確に検出することができる。従来技術によれば、エンコーダ回路板は16ビットのデータを検出することができ、即ち最小検出角度は360/65536=0.0055度=0.33arcminであるため、バックラッシュと角度伝達精度は0.33arcminまで検出され得る。
本実施例において、前記外筐体(5)は第1筐体(51)と第2筐体(52)とを備える。前記第1筐体(51)と第2筐体(52)との間には、前記調和減速機(3)を取り付けるための減速機キャビティ体が形成されている。前記第1筐体(51)と第2筐体(52)との連結位置にはそれぞれ第1階段状溝511と第2階段状溝521とが設けられている。前記剛性歯車33は前記第1階段状溝511と第2階段状溝521との間に位置し、第1階段状溝511と第2階段状溝521により剛性歯車33は挟持されて、剛性歯車33の位置が固定される。前記第1筐体51には筒形支持部512がさらに設けられ、前記筒形支持部512は前記減速機キャビティ体内に位置し、かつ筒形支持部512の外壁と前記第2軸受392の内輪とは連結され、筒形支持部512の内壁と前記第4軸受394の外周とは連結されている。
前記第1筐体51の前記減速機キャビティ体から離反する側にはモータ2のキャビティ体が設けられ、前記モータ2と制御回路1とはいずれも前記モータ2のキャビティ体内に位置し、モータ2のキャビティ体の前記減速機キャビティ体から離れる一端には、密閉のためにモータ2の裏カバーが設けられている。
本実施例のサーボモータは、調和減速機3によりモータ2に対して減速出力を行い、調和減速機3の出力部37には支柱6が設けられ、センサにより支柱6の回転状態を検出することができ、即ち出力部37の角変位を正確に検出することができ、これにより出力部37の角変位と初期の動作計画の論理的に達成可能な角変位との間の偏差値を取得し、制御回路に返送し、1つ以上の動作計画を追加して、モータ出力及び減速機伝動誤差による回転偏差を相殺し、角度伝達の精度を向上させる。既存の調和減速機が使用されるときには、センサは入力モータの末端に置かれる。モータの性能が一定である場合、減速機の出力精度の向上のために、さらに精密な調和減速機を使用する必要がある。一方、本発明は、一般的な調和減速機を採用して、センサの角変位検出値を用いて減速機の実際の出力精度を制御するため、コストが精密調和減速機の1/4であり、精密調和減速機を用いる技術案のコストよりもはるかに低い。
〈実施例2〉
図3に示すように、本実施例は、サーボモータを開示し、実施例1における技術的特徴の大部分を含むが、下記の点で異なる。
本実施例において、前記波動発生器32の中軸線には伝動軸38が設けられ、前記伝動軸38には軸肩部381が設けられ、前記軸肩部381と前記波動発生器32とがネジ連結され、前記第2歯車31は締りばめによって前記伝動軸38に外嵌連結されている。前記第2歯車31には、前記第1歯車21と噛合するように外歯が設けられている。前記伝動軸38は中空構造である。前記波動発生器32は、前記伝動軸38の外部に外嵌連結されている。前記伝動軸38の一端と前記外筐体5との間には第5軸受395が設けられ、前記伝動軸38の他端と前記可撓性歯車押圧片35との間には第6軸受396が設けられ、前記第5軸受395と第6軸受396とにより第2歯車31及び波動発生器32の回転精度は保証される。
前記可撓性歯車押圧片35の中部には第3貫通孔353が開設され、前記支柱6は前記第3貫通孔353と伝動軸38を通過し、かつ出力部37の中心軸線に連結されている。前記出力部37の中心には第4貫通孔が設けられ、前記支柱6の底部にはねじ山部が設けられ、前記ねじ山部は前記第4貫通孔を通過する。同時に、前記ねじ山部を締め付けるために、ナットが設けられている。
本実施例において、前記外筐体(5)は第1筐体(51)と第2筐体(52)とを備える。前記第1筐体(51)と第2筐体(52)との間には、前記調和減速機(3)を取り付けるための減速機キャビティ体が形成されている。前記第1筐体(51)と第2筐体(52)との連結位置にはそれぞれ第1階段状溝511と第2階段状溝521とが設けられている。前記剛性歯車33は前記第1階段状溝511と第2階段状溝521との間に位置し、第1階段状溝511と第2階段状溝521により剛性歯車33は挟持されて、剛性歯車33の位置が固定される。
〈実施例3〉
図4に示すように、本実施例はサーボモータの制御方法を開示する。該サーボモータの制御方法は、
制御回路1は初期の動作計画を制御計画に変換してモータ2に送信するステップと、
モータ2は前記制御計画に応じて角変位、回転速度及びトルクを出力し、具体的にはモータ2の入力電流を制御することによってモータ制御を実現するステップと、
調和減速機3は、モータ2に対して減速出力を行い、かつ支柱6を回転させるステップと、
センサは、支柱6の角変位を検出し、支柱6の角変位と初期の動作計画の理論的に達成可能な角変位との偏差値を計算し、該偏差値に応じて1つ以上の動作計画を追加し、制御回路1により制御計画に変換し、かつ、偏差値がセンサの分解能または動作計画の最小許容誤差より小さくなるまで、モータ2の実行を制御するステップと、を含む。本実施例では、磁気エンコーダはセンサとして用いられる。
出力部37の角変位は、センサにより支柱6の回転データを直接検出することによって得られる。支柱6は前記出力部37に固定され、かつ支柱6と出力部37との間には伝動誤差を引き起こす他の配置がないため、センサが検出し得た回転データは、出力部37の実際の動作を直接フィードバックすることができる。
前記初期の動作計画の論理的に達成可能な角変位は、サーボモータ2自体に存在するバックラッシュと角度伝達誤差などの偏差を無視して、動作計画により得られた出力部37の論理的に実現可能な角変位であり、即ち期待される動作計画に合う期待される角変位である。
本実施例において、前記モータ2と調和減速機3との間には平歯車減速装置がさらに設けられる。前記モータ2は、平歯車により1段伝動減速された後、調和減速機3により2段伝動減速される。該配置は、伝動比をさらに向上することができ、同時にモータ2の位置は、異なるサイズの歯車を設けることによって適応的に調節することができる。
上述は本発明の好適な実施形態に過ぎず、本発明はこれに限定されるものでなく、本発明の精神および原則内に属する限り、行われるすべての修正、同等の置き換え、改善などは、いずれも本発明の保護範囲内に含まれるべきである。
1 制御回路
2 モータ
21 第1歯車
22 出力軸
3 調和減速機
31 第2歯車
311 歯車部
312 延伸軸
32 波動発生器
33 剛性歯車
34 可撓性歯車
341 第1貫通孔
35 可撓性歯車押圧片
351 位置制限部
352 突出部
353 第3貫通孔
36 軸受内輪
361 第2貫通孔
37 出力部
38 伝動軸
381 軸肩部
391 第1軸受
392 第2軸受
393 第3軸受
394 第4軸受
395 第5軸受
396 第6軸受
4 エンコーダ
41 エンコーダ回路板
42 マグネット
5 外筐体
51 第1筐体
511 第1階段状溝
512 筒形支持部
52 第2筐体
521 第2階段状溝
6 支柱

Claims (13)

  1. サーボモータであって、制御回路(1)、モータ(2)、調和減速機(3)及びセンサを備え、
    前記制御回路(1)はモータ(2)と電気的に接続され、前記制御回路(1)の出力信号は前記モータ(2)の回転を制御しており、
    前記調和減速機(3)は、外筐体(5)と、外筐体(5)内に設けられる波動発生器(32)と、可撓性歯車(34)と、剛性歯車(33)とを備え、前記モータ(2)は外筐体(5)の一端に設けられ、前記波動発生器(32)は前記モータ(2)により駆動され、前記可撓性歯車(34)は前記波動発生器(32)の外部に外嵌連結され、前記剛性歯車(33)は前記外筐体(5)内に固定され、前記可撓性歯車(34)は、前記剛性歯車(33)の内部に位置し、かつ前記剛性歯車(33)と噛合されており、
    前記可撓性歯車(34)には動力出力のための出力部(37)が連結され、前記出力部(37)の回転軸線には支柱(6)が連結されており、
    前記センサは、前記外筐体(5)内に設けられ、支柱(6)の角変位を検出することに用いられ、
    前記モータ(2)の出力軸(22)は前記外筐体(5)内に延伸し、かつ第1歯車(21)が設けられ、前記波動発生器(32)には第2歯車(31)が設けられ、前記第1歯車(21)と第2歯車(31)とは噛合されている、サーボモータ。
  2. 前記第1歯車(21)と第2歯車(31)とは平歯車であり、かつ前記第1歯車(21)の歯数は前記第2歯車(31)の歯数より少ない、請求項に記載のサーボモータ。
  3. 前記調和減速機(3)は、可撓性歯車押圧片(35)と軸受内輪(36)とをさらに備え、前記可撓性歯車押圧片(35)は、位置制限部(351)と突出部(352)を備え、前記可撓性歯車(34)の底部には第1貫通孔(341)が開設され、前記軸受内輪(36)には第2貫通孔(361)が設けられ、前記可撓性歯車押圧片(35)の突出部(352)は順に第1貫通孔(341)と第2貫通孔(361)を通過し、前記可撓性歯車(34)は可撓性歯車押圧片(35)の位置制限部(351)と軸受内輪(36)との間に介設されている、請求項に記載のサーボモータ。
  4. 前記外筐体(5)の前記モータ(2)から離れる一端が開口され、前記出力部(37)は前記外筐体(5)の開口に位置し、かつ前記出力部(37)、軸受内輪(36)、可撓性歯車(34)及び可撓性歯車押圧片(35)は固定連結されている、請求項に記載のサーボモータ。
  5. 前記外筐体(5)と出力部(37)との間には第1軸受(391)が設けられ、前記軸受内輪(36)の外周は前記第1軸受(391)の内輪に嵌入されている、請求項に記載のサーボモータ。
  6. 前記第2歯車(31)は中空の歯車部(311)と延伸軸(312)とを備え、前記歯車部(311)の内部には、前記歯車部(311)と前記外筐体(5)との間に支持される第2軸受(392)が設けられ、前記波動発生器(32)は前記延伸軸(312)に外嵌連結され、前記延伸軸(312)の前記歯車部(311)から離れる一端の外周と、前記可撓性歯車押圧片(35)の位置制限部(351)の内壁との間には第3軸受(393)が設けられている、請求項3〜5のいずれか一項に記載のサーボモータ。
  7. 前記可撓性歯車押圧片(35)の中部には第3貫通孔(353)が開設され、前記支柱(6)は前記第2歯車(31)、第3貫通孔(353)及び出力部(37)を順に通過し、前記支柱(6)の一端は出力部(37)の中心に連結され、かつ前記支柱(6)の外周には、前記支柱(6)と前記外筐体(5)との間に支持される第4軸受(394)がさらに設けられている、請求項に記載のサーボモータ。
  8. 前記波動発生器(32)の中軸線には中空の伝動軸(38)が設けられ、前記第2歯車(31)は前記伝動軸(38)に外嵌連結され、前記伝動軸(38)の一端と前記外筐体(5)との間には第5軸受(395)が設けられ、前記伝動軸(38)の他端と前記可撓性歯車押圧片(35)との間には第6軸受(396)が設けられている、請求項3〜5のいずれか一項に記載のサーボモータ。
  9. 前記可撓性歯車押圧片(35)の中部には第3貫通孔(353)が開設され、前記支柱(6)は前記伝動軸(38)、第3貫通孔(353)及び出力部(37)を順に通過し、前記支柱(6)の一端は出力部(37)の中心に連結されている、請求項に記載のサーボモータ。
  10. 前記センサはエンコーダ(4)であり、前記エンコーダ(4)はエンコーダ回路板(41)とマグネット(42)とを備え、前記マグネット(42)は、前記支柱(6)の前記出力部(37)から離れる一端に設けられ、前記エンコーダ回路板(41)は、前記外筐体(5)に固定され、かつ前記マグネット(42)と正対する、請求項1に記載のサーボモータ。
  11. 前記外筐体(5)は第1筐体(51)と第2筐体(52)とを備え、前記第1筐体(51)と第2筐体(52)との間には、前記調和減速機(3)を取り付けるための減速機キャビティ体が形成され、前記第1筐体(51)と第2筐体(52)との連結位置にはそれぞれ第1階段状溝と第2階段状溝が設けられ、前記剛性歯車(33)の縁部は前記第1階段状溝と第2階段状溝内に収容されている、請求項1に記載のサーボモータ。
  12. 請求項1〜11のいずれか一項に記載のサーボモータの制御方法であって、
    制御回路(1)は初期の動作計画を制御計画に変換してモータ(2)に送信するステップと、
    モータ(2)は前記制御計画に応じて角変位を出力するステップと、
    調和減速機(3)は、モータ(2)に対して減速出力を行い、かつ支柱(6)を回転させるステップと、
    センサは、支柱(6)の角変位を検出し、支柱(6)の角変位と初期の動作計画の理論的に達成可能な角変位との偏差値を計算し、該偏差値に応じて1つ以上の動作計画を追加し、制御回路(1)により制御計画に変換し、かつ、偏差値がセンサの分解能または動作計画の最小許容誤差より小さくなるまで、モータ(2)の実行を制御するステップと、を含むサーボモータの制御方法。
  13. 調和減速機(3)がモータ(2)に対して減速を行う前、
    平歯車伝動装置によりモータ(2)に対して第1段階減速を行うことをさらに含む、請求項12に記載のサーボモータの制御方法。
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