JP4569169B2 - 固体撮像装置、および、その製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るCCD固体撮像装置の要部断面図であり、(a)は画素部における要部断面図であり、(b)は配線部における要部断面図である。
以上により、図2に示す構造が形成される。
図4は、本実施形態に係るCCD固体撮像装置の要部断面図であり、(a)は画素部における要部断面図であり、(b)は配線部における要部断面図である。なお、第1実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付しており、その説明は省略する。
図5は、本実施形態に係るCCD固体撮像装置の要部断面図であり、(a)は画素部における要部断面図であり、(b)は配線部における要部断面図である。なお、第1実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付しており、その説明は省略する。
図8は、本実施形態に係るCCD固体撮像装置の要部断面図であり、(a)は画素部における要部断面図であり、(b)は配線部における要部断面図である。なお、第1実施形態と同様の構成要素には同じ符号を付しており、その説明は省略する。
本実施形態では、CCD固体撮像装置を例に説明したが、CMOS固体撮像装置に本発明を適用することもできる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (5)
- 基板に複数の受光部が形成された画素部と、
前記基板において前記画素部の周辺に設けられ、前記画素部に信号を供給する配線が形成されている配線部と、
前記画素部および前記配線部を保護する保護膜と
を有し、
前記複数の受光部は、
青色可視光の波長以下の波長領域の光を受光する第1受光部と、
青色可視光の波長よりも長波長側の波長領域の光を受光する第2受光部と
を少なくとも含み、
前記保護膜は、窒化シリコンあるいは窒化酸化シリコンで形成され、前記第1受光部上の膜厚が、前記第2受光部上の膜厚、および、前記配線部における膜厚よりも薄い、
固体撮像装置。 - 前記保護膜は、
第1保護膜と、
第2保護膜と
を有し、
前記画素部において、前記第1受光部上には、前記第2保護膜のみが形成され、前記第2受光部上には、前記第1保護膜と前記第2保護膜とが積層されており、
前記配線部には、前記第1保護膜と前記第2保護膜とが積層されている、
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第2保護膜は、前記第1保護膜よりも近紫外から青色可視光の波長領域の光の吸収率が小さい、
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記基板は、シリコン基板である、
請求項1から3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 基板の画素部に、複数の受光部を形成する受光部形成工程と、
前記基板において前記画素部の周辺に位置する配線部に、前記画素部に信号を供給する配線を形成する配線形成工程と、
前記画素部および前記配線部を保護する保護膜を形成する保護膜形成工程と、
とを有し、
前記保護膜形成工程においては、前記複数の受光部のうち、青色可視光の波長以下の波長領域の光を受光する第1受光部上の膜厚が、青色可視光の波長よりも長波長側の波長領域の光を受光する第2受光部上の膜厚、および、前記配線部における膜厚よりも薄くなるように、窒化シリコンあるいは窒化酸化シリコンで前記保護膜を形成する、
固体撮像装置の製造方法。
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