JP4568225B2 - 脈理のないシリカ・チタニアガラスの製造方法 - Google Patents
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Description
前記均質化されたガラス体を前記ステップ110及びステップ112と同様に成型処理することにより(ステップ220:第4の成型工程)、円筒状等、所望の形状に成型された三方向に脈理のないシリカ・チタニアガラスが得られる。
四塩化珪素及び四塩化チタンを酸水素バーナー火炎中に導入し回転する皿状基体上に堆積、溶融して直径300mm、厚さ400mmの円盤状シリカ・チタニアガラス塊を得た。なお、シリカ・チタニアガラスを成長する際の四塩化珪素と四塩化チタンの流量割合を調整して、得られるシリカ・チタニアガラスの組成をシリカ分93質量%、チタニア分7質量%に調整した。円盤状シリカ・チタニアガラス塊の一部を切り出し、脈理構造を調べた結果、円盤の上下面にほぼ平行に0.2mmの周期で層状の脈理が認められた。
実施例1と同じ方法でシリカ分93質量%、チタニア分7質量%の円盤状シリカ・チタニアガラス塊を作製し、方形状のシリカ・チタニアガラス塊に成型した。このシリカ・チタニアガラス塊を実施例1と同様の方法で、切り出し工程、面取り工程、第1の成型工程、及び2回の一方向目の均質化処理工程(第1の均質化処理工程)を実施した。
Claims (11)
- 一方向に脈理のないシリカ・チタニアガラスの製造方法であって、
層状の脈理を有するシリカ・チタニアガラス塊から、脈理と平行な面を有する棒状ガラス体を切り出す工程と、
前記棒状ガラス体の両端部を一対の回転可能な保持手段で保持し、前記脈理と平行な軸と垂直な方向にせん断応力が作用するように帯域溶融法を適用して脈理を除去する均質化処理を施す均質化処理工程と、を含むことを特徴とするシリカ・チタニアガラスの製造方法。 - 一方向に脈理のないシリカ・チタニアガラスの製造方法であって、
層状の脈理を有するシリカ・チタニアガラス塊から、長手方向に平行に脈理を有する角柱状の棒状ガラス体を切り出す切り出し工程と、
前記棒状ガラス体の角部を面取りする面取り工程と、
前記棒状ガラス体の長手方向の両端部を一対の回転可能な保持手段で保持し、バーナーで該ガラス体の一部を加熱しながら該一対の回転可能な保持手段に回転差を与えつつ該バーナーを移動して断面が略円形な棒状ガラス体に成型する第1の成型工程と、
前記成型された棒状ガラス体の一部をバーナーで強熱しつつ、前記一対の回転可能な保持手段に大きな回転差を与えながらバーナーを移動させることにより該棒状ガラス体の長軸と垂直な方向にせん断応力を作用させて、脈理を除去し、組成の均一化を図る均質化処理工程と、を含むことを特徴とするシリカ・チタニアガラスの製造方法。 - 前記均質化処理工程後、前記均質化された棒状ガラス体の一部をバーナーで強熱しつつ、前記一対の回転可能な保持手段間の距離を狭めることにより該棒状ガラス体の径を大きくする第2の成型工程を含むことを特徴とする請求項1又は2記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
- 前記棒状ガラス体を前記一対の回転可能な保持手段で保持する際、0〜900℃における線膨張係数が0×10−7/℃以上6×10−7/℃以下のガラス支持棒を介して保持することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
- 三方向に脈理のないシリカ・チタニアガラスの製造方法であって、
層状の脈理を有するシリカ・チタニアガラス塊から、脈理と平行な面を有する棒状ガラス体を切り出す工程と、
前記棒状ガラス体の両端部を一対の回転可能な保持手段で保持し、前記脈理と平行な軸と垂直な方向にせん断応力が作用するように帯域溶融法を適用して脈理を除去する均質化処理を施す第1の均質化処理工程と、
前記均質化処理後のガラス体に対し均質化処理軸を変えて帯域溶融法による均質化処理を施す第2の均質化処理工程と、を含むことを特徴とするシリカ・チタニアガラスの製造方法。 - 三方向に脈理のないシリカ・チタニアガラスの製造方法であって、
層状の脈理を有するシリカ・チタニアガラス塊から、長手方向に平行に脈理を有する角柱状の棒状ガラス体を切り出す切り出し工程と、
前記棒状ガラス体の角部を面取りする面取り工程と、
前記棒状ガラス体の長手方向の両端部を0〜900℃における線膨張係数が0×10−7/℃以上6×10−7/℃以下であるガラス支持棒を介して一対の回転可能な保持手段で保持し、バーナーで該棒状ガラス体の一部を加熱しながら該一対の回転可能な保持手段に回転差を与えつつ該バーナーを移動して断面が略円形な棒状ガラス体に成型する第1の成型工程と、
前記成型された棒状ガラス体の一部をバーナーで強熱しつつ、前記一対の回転可能な保持手段に大きな回転差を与えながら該バーナーを移動させることにより該棒状ガラス体の長軸と垂直な方向にせん断応力を作用させて、脈理を除去し、組成の均一化を図る第1の均質化処理工程と、
前記均質化された棒状ガラス体の一部をバーナーで強熱しつつ、前記一対の回転可能な保持手段間の距離を狭めることにより該棒状ガラス体の径を大きくし、球状ガラス体に成型する第2の成型工程と、
前記成型された球状ガラス体を前記ガラス支持棒から切り離し、略90度回転したのち再度ガラス支持棒を取り付ける持ち替え工程と、
前記持ち替えた球状ガラス体をバーナーで加熱しつつ前記一対の回転可能な保持手段の間隔を広げることにより延伸する延伸工程と、
前記延伸したガラス体に対して、前記一対の回転可能な保持手段に回転差を与えながら、バーナーを移動し、該ガラス体全体を円筒状に成型する第3の成型工程と、
前記得られた円筒状ガラス体の一部を強熱しつつ、前記一対の回転可能な保持手段に大きな回転差を与えながらバーナーを移動させることにより該ガラス体の長軸と垂直な方向にせん断応力を作用させて、脈理を除去し、組成の均一化を図る第2の均質化処理工程と、
前記得られたガラス体の一部をバーナーで加熱しつつ円筒状に成型する第4の成型工程と、を含むことを特徴とするシリカ・チタニアガラスの製造方法。 - 前記均質化処理を複数回繰り返すことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
- 前記均質化処理工程において前記一対の回転可能な保持手段に大きな回転差を与える方法が、前記一対の回転可能な保持手段を逆回転することであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
- 前記シリカ・チタニアガラスの組成が、チタニア濃度が2質量%以上15質量%以下で残部がSiO2であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
- 前記均質化処理を施す棒状ガラス体の外径が30mm以上150mm以下であることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
- 前記一対の回転可能な保持手段が旋盤に設けられた左右のチャックであることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項記載のシリカ・チタニアガラスの製造方法。
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