JP4564476B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
まず、図1乃至図4を用いてこの発明の第1の実施形態に係る半導体装置を説明する。図1は、この実施形態に係る半導体装置を示す回路図である。本例では、半導体装置の一例としてNAND型フラッシュメモリを一例に挙げて説明する。
次に、本例に係る半導体装置の書き込み動作、消去動作、プリチャージ動作、および読み出し動作の際のカットオフ回路19のバイアス関係について、図5乃至図7を用いて説明する。この説明においては、図5に則して説明する。
まず、奇数(Odd)書き込みの際のバイアス関係について説明する。この動作は、奇数ビット線BLに接続されたメモリセルトランジスタMT中の浮遊電極FGに電子をNANDセル列20単位で注入することにより行う。
偶数(Even)書き込み動作は、図5に示すように、奇数ゲートG1、G3および奇数ドレインD1、D3に印加する電圧と、偶数ゲートG2、G4および偶数ドレインD2、D4に印加する電圧とを、上記奇数(Odd)書き込み動作の際のバイアス関係とを置換したバイアス関係である。
次に、消去動作の際のバイアス関係について説明する。この動作は、上記書き込み動作の際にメモリセルトランジスタMT中の浮遊電極FGに注入した電子をブロックBlock単位で一括して基板21中に放出することにより行う。
次に、プリチャージ動作の際のバイアス関係について説明する。このプリチャージ動作は、読み出し動作前に、読み出しビット線BLを充電するための動作である。この説明では、ビット線BL1(単位高耐圧トランジスタ22の各ドレインD1)をプリチャージする場合を一例に挙げる。
次に、読み出し動作の際のバイアス関係について説明する。この動作は、プリチャージしたビット線BLに接続されたメモリセルトランジスタMTのデータをNANDセル列20単位でセンスアンプS/Aと導通させ、増幅することにより行う。この説明では、ビット線BL1に接続されたデータを読み出す場合を一例に挙げる。
次に、第2の実施形態に係る半導体装置について、図8を用いて説明する。この実施形態は、アクティブ領域AAが網目状であって、カットオフゲート(Cut-off Gate)を更に備える一例に関するものである。この説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の詳細な説明を省略する。
次に、本例に係る半導体装置の書き込み、消去、読み出し動作の際のカットオフ回路19のバイアス関係について、図9、図10を用いて説明する。この説明においては、図9に則して説明する。
次に、図10を用いて、消去動作の際のバイアス関係について説明する。
Claims (4)
- それぞれの電流経路の一端が共通接続され、電流経路の他端が第1書き込み用配線に接続され第1方向に配置された第1ゲートを有する第1高耐圧トランジスタと、電流経路の他端が第2書き込み用配線に接続され、前記第1方向と交差する第2方向に配置された第2ゲートを有する第2高耐圧トランジスタと、電流経路の他端が第3書き込み用配線に接続され、前記第1方向に配置された第3ゲートを有する第3高耐圧トランジスタと、電流経路の他端が第4書き込み用配線に接続され、前記第2方向に配置された第4ゲートを有する第4高耐圧トランジスタとを備えた単位高耐圧トランジスタを具備し、
前記単位高圧トランジスタが千鳥状に配置され、
前記第1、第3ゲートは、前記第1方向に隣接する前記複数の単位高耐圧トランジスタに共通接続され、
前記第2、第4ゲートは、前記第2方向に隣接する前記複数の単位高耐圧トランジスタに共通接続され、
前記第1書き込み用配線のプリチャージ動作の際、前記第2、第4ゲートは前記第1方向に沿って挟むように設けられ、異なる単位高耐圧トランジスタにおける第1高耐圧トランジスタの電流経路の第1書き込み用配線に同一の電位が印加され、異なる単位高耐圧トランジスタにおける第3高耐圧トランジスタの電流経路の第3書き込み用配線に同一の電位が印加され、
前記第2、第4ゲートに0Vが印加されること
を特徴とする半導体装置。 - 前記単位高耐圧トランジスタのアクティブ領域の平面レイアウトは、前記第1乃至第4高耐圧トランジスタの電流経路の他端が前記第1および第2方向に沿った十字形状であること
を特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記単位高圧トランジスタ間は素子分離膜により分離され、
前記第1高耐圧トランジスタの電流経路の他端が前記第2ゲートを挟んで向き合うように配置されること
を特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - それぞれの前記第1乃至第4書き込み用配線がビット線に接続され、
前記第1乃至第4の高耐圧トランジスタの共通接続された部分がセンスアンプに接続されること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置。
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